JPH03257844A - 半導体装置の収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体製造装置で製造された半導体装置を
収納する半導体装置の収納装置に関するものである。

ｌ。

８゜ 〔従来の技術〕 第５図は従来の半導体装置の収納装置？示す平面図、同
じく第６図にその正面図を示す。図において巾は前工程
の半導体製造装置で製造され、エアー搬送部＋２１で搬
送されてきた半導体装置、３１はこの半導体装置ｊｌ＋
をピッチＡで順次厘線的に送りていくピッチ送り機構（
図示せず）を有する搬送装置、（第１は上記半導体装ｔ
ｉｌｔ　Ｉｌｌ會ビツチムで直列に複数個、ブロックＤ
分収納される交換式の収納治具、Ｉ６）は先端に真空チ
ャック等ｔ−角し、上記半導体装置＋１１會吸着、移載
する移載装置である。

〔従来技術の動作〕

次に、動作につめて説明する。まず第５及び第６図にお
−て、半導体装置ＩＩ＋はエアー搬送部：２により搬送
Ｍ＃・３）に運ばれ、内蔵されたピッチ機構により、図
中に示すピツチムで順次ピッチ送りされ蟹列される。

次に、搬送装置（３１上に整列された半導体装置：ｌｊ
は移載装置１５１により、ビッチムで所要数（プロツク
Ｄの分）同時に取り上げられ、収納治具（第１の左端に
収納される。

同様にして、２回目は収納治具１４）上には、ｌ回目収
納した位置からピンチムずれた位置に収納され、さらに
列をずらして収納され、満杯になる。

満杯になった収納治具１４）は次の空の治具と交換され
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

以上の様に、従来の発明によれば、搬送装置３１上の半
導体装置Ｉｌｌ　ｉ移載装置・第１により収納治具・３
）上に収納する様に８Ｉ成したので、収納治具３１上の
半導体装置…が満杯になり、空の収納治具と交換する時
は、搬送装置）２）や移載袋１１１第１の動作を停止し
なければならず、稼働率が低下するという問題点があっ
た。

〔発明の目的〕

この発明は上記の様な問題点を解決するためになされた
もので、装置の動作を中断することなく、収納治具の交
換ができる半導体装置の収納装置を侍ることを目的とす
る。

〔課題を解決するための手段〕

この発明における半導体装置の収納装置は、搬送装置上
で所定ピンチで頑送りされる半導体装置を、第ｌの移載
装置で中間収納治具上の第１の収納面上Ｖｃ襟数個づつ
収納すると共に、中間収納治具を水平に回転させ、第２
の移載装置で隣接の収納治具上に複数個づつ収納する様
にしたものである。

〔作用〕

この発明における半導体装置の収納装置は、搬送装置上
の半導体装置がＩ８１の移載装置で隣設の中間収納治具
上に複数個づつ収納されると共に、中間収納治具が回転
され、第２の移載装置で隣設の収納治具上に複数個づつ
収納される。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の一大旌例を第１図について説明する。

図において、１１１〜＋６１は従来例と同じにつき説明
は省略する。

６）に上記半導体装置中をピツチムで直列に複数個、且
つピッチＢで複数列収納される中間収納治具で、　ｒ６
ａ）及び（６ｂ）に分割されている。

（７）はこの中間収納治具を１８０°回転させる駆動源
、１８１Ｕ上記搬送ｇＩＣＩＩ　ｔｉｌｌから上記中間
収納治具６）へ上記半導体装置…を水平に９０°回転し
て移載する第１の移載装置。

〔実施例の作用、動作〕

次に、この発明の動作にクーて説明する。まず第１図に
お−で、半導体装置Ｉｌ＋はエアー搬送部（りにより搬
送装置＋３１に運ばれ、内置されたピッチ送り機構によ
り、図中に示すピッチＡで順ベビツチ送りされ整列され
る。次に搬送装置（３）上に餐列された半導体装置…は
、第８及び第４図の様にもｌの移載装置ｌｌ　ｉ８１に
より、ピッチムで所要数（ブロックＣで示す）同時に取
り上げられ、９０’水平に回転されて中間収納治具（６
ａ）に収納される。

同様に、２回目に中間収納治具（６）上には１回目収納
した治具ｒ６ａ）からピッチＢずれた治具（ａｂ）に収
納され、以後ピッチＢで１７７２９分が収納される。

さらに、Ｄブロン２分収納後、駆動源１７１　Ｋより中
間収納治具１６）を１８００回転すると図の様に、半導
体装置１１の１７７２９分は収納治具１６１側に位置す
る。

次に、第２の移載ｉ　［：６１にて中間収納治具（６１
上から半導体装置１１ｉブロックＤ分取り上げて。

収納治具・４）上に平行移動して収納きれる。

同様に、２回目は、１回目の１４にブロック９分全収納
し、８回目は１回目と並行して１１向次収納される。

ここで、満杯になった収納治具（４）は第ｌの移載装置
１１８１の搬送装置・３１から中間収納治具（６ａ）へ
移載中に取り外されて１次の空の収納治具と交換される
。

又、半導体装置中が変わってピッチＣが変わた場合の治
具の交換も同様である。

さらに、中間収納治具１６）上のピッチＣが変わった場
合の治具交換は、第２移載装＠　１６１の中間収納治具
（６ｂ）から収納治具（第１への移載中に中間４゜ 収納治具（６ａ）を交換し、第１移載装置１８）の搬送
装置（３１から中間収納治具（６ａトの移載中に中間収
納治具（６ｂ）を交換することによって、常に装置全体
が稼働状ｍにあるようにする。

〔その他への転用例〕

尚、上記説明では半導体装置の収納装置について述べた
が半導体装置以外の小物部品等の搬用後の収納装置とし
て利用できることは勿論である。

〔発明の効果〕

以上の様に、この発明によれば、搬送部と収納治具との
間に１回転機能を持った中間治具を設けると共に、搬送
部と中周治具、及び中周治具と収納治具間に移１１！装
置を設ける様に構成したので、各装置間の工程待ちがな
くなシ、生産性の向上が図れる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図にこの発明の一実施１１ＲＪ　ｋ　＃９Ｌ明する
ための平面図、第２図は同じくその正面図、第８図にこ
の発明の動作状Ｉ１４を１ｔｉ２ＥＡするための平面図
、の正面図である。 図中、ＩＩＩ　Ｊｄ半導体装置、１３１は搬送装置、１
第１は収納治具、（６）に中間収納治具、（７）は回転
用駆動源である。 尚、図中−−符号ｔａ同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体装置を所定ピッチで順送りする搬送装置と、この
   搬送装置に隣接して回転機能を有し、その回転軸に対し
   対称的に第１と第２の収納面を備える中間収納治具と、
   さらにこの中間収納治具に隣接して設けられ収納面を有
   する収納治具と、上記搬送装置上の半導体装置を複数個
   づつ上記中間収納治具の第１収納面に移動させる第１の
   移載装置と、上記中間収納治具の第２の収納面上の半導
   体装置を複数個づつ上記収納治具の収納面上に移動させ
   る第２の移載装置とを備えてなる半導体装置の収納装置
   。