JPH04282849A - 半導体装置の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体装置の製造装置に
係わり、特にウェーハプロセスにおいて、ウェーハを持
ち運びする搬送用キャリアと、ウェーハを処理するため
に用いられる処理用キャリアとの間で、ウェーハの移替
えを効率的に行う半導体装置の製造装置に関する。

【０００２】近年、エレクトロニクスの発展は目ざまし
いものがあるが、その発展は半導体装置の製造技術の革
新に負うところが大きい。ところで、シリコンウェーハ
から半導体素子に仕上げるまでの一連の工程、いわゆる
ウェーハプロセスにおいては、ウェーハに対していろい
ろな処理がなされ、ウェーハの上には数百個の素子がパ
ターン形成される。そして、このウェーハプロセスにお
いては、ウェーハはウェーハキャリアと呼ばれる保持治
具に数十枚単位で収納され、それをロットの単位として
取り扱われている。

【０００３】ところが、いろいろな処理工程の各所で、
ウェーハを持ち運ぶために用いられる搬送用のウェーハ
キャリア（以下、搬送キャリアと略称）と、ウェーハを
処理装置の中に搬入したり処理装置の中から搬出したり
するために用いられる処理用のウェーハキャリア（以下
、処理キャリアと略称）との間で、ウェーハの移替え作
業が必要になる。このウェーハの移替え作業を効率的に
行うことは、ウェーハプロセス全体の生産性を向上させ
る上で重要な製造技術となっている。

【０００４】

【従来の技術】従来から、ウェーハプロセスにおいては
、数十枚のウェーハをウェーハキャリアに収納して、そ
れをロットの単位として取り扱う方法が採られている。 このウェーハキャリアには、２５枚とか４０枚といった
ウェーハを収納できるように、溝状に複数個の棚が設け
られている。そして、例えば２５枚入りのキャリア２個
分の５０枚を１ロットとするといった取り扱いがなされ
ている。

【０００５】しかも、ウェーハに対して、通常の持ち運
びなどに際しては、搬送キャリアが用いられ、いろいろ
な処理が行われる際には、その処理の条件に応じて耐薬
品性や耐熱性に長けた例えばふっ素系の樹脂などで作ら
れた処理キャリアが用いられる。そして、通常、ウェー
ハを処理を行う前に、一旦、搬送キャリアから処理キャ
リアへの移替えが行われ、処理が終わると処理キャリア
から搬送キャリアへの移替えが行われる。

【０００６】ところで、拡散とかＣＶＤといった処理工
程においては、膜厚が重要な要素となっている。そこで
、このような処理工程においては、処理条件を最適化す
るために、試験を行うテストウェーハが用いられる。 このテストウェーハは処理が行われる前に、予めそれぞ
れのロット、つまりそれぞれのキャリアの中に１枚ずつ
加えられる。

【０００７】一方、工程の途中で、例えばウェーハが破
損したり不具合が生じたりすると、そのウェーハが欠落
して搬送キャリアの棚に空きが生ずる。このウェーハの
欠落をそのまゝ残した状態で、搬送キャリアから処理キ
ャリアへウェーハの移し替えを行い、引続き行われるい
ろいろな処理工程、例えば拡散工程とかＣＶＤ（化学蒸
着）工程などに移行すると、特に工程が自動化されてい
る場合には、存在しないウェーハを処理することになり
兼ねない。そこで、処理キャリアの空いた棚にはダミー
ウェーハを補充して埋め合わせることが行われる。

【０００８】こうしたテストウェーハやダミーウェーハ
を処理キャリアに収納したり、処理キャリアから回収し
たりする作業は、通常、搬送キャリアと処理キャリアと
の間でウェーハの移替え作業を行う際に同時に行われて
いる。

【０００９】このウェーハの移替え作業は、従来の拡散
工程やＣＶＤ工程などにおいては、拡散装置とかＣＶＤ
装置などのそれぞれの主装置ごとにハンドリングロボッ
トなどを用いた移替え機構を組み込んで行ったり、ある
いは手作業によって行なわれたりしている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】このように、搬送キャ
リアに収納された複数枚のウェーハをロットの単位とし
て取り扱う場合、処理キャリアにテストウェーハを追加
したり、ダミーウェーハで処理キャリアの空いた棚の埋
め合わせを行ったり、あるいはテストウェーハやダミー
ウェーハを回収したりする作業は、従来から、搬送キャ
リアと処理キャリアとの間でウェーハの移替え作業を行
う際に同時に行われている。

【００１１】ところが、このようなウェーハの移替え作
業を、個々の処理装置ごとにハンドリングロボットなど
を用いた移替え機構を組み込んで行う場合には、装置全
体が大掛かりになり高価なものになっていた。

【００１２】また、このウェーハの移替え作業を手作業
で行う場合には、作業が煩瑣であるばかりでなく、発生
した塵埃によってウェーハを汚してしまうことが避けら
れない問題があった。

【００１３】そこで本発明は、搬送キャリアと処理キャ
リアとの間で行うウェーハの移替え作業を単独で行う機
能を具え、しかもウェーハをキャリア間で移替えする際
に、同時にテストウェーハやダミーウェーハの収納・回
収も自動的に行うことができてなる半導体の製造装置を
提供することを目的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上で述べた課題は、ハン
ドリング部と、該ハンドリング部を挟んで対向配設され
た搬送部と処理部を有し、前記搬送部は、テストウェー
ハまたはダミーウェーハが収納されたキャリアが載る第
１ステーションと、ウェーハが収納される搬送キャリア
が載る第２ステーションを有するものであり、前記処理
部は、キャリアが載る第３ステーションと、ウェーハが
収納される処理キャリアが載る第４ステーションを有す
るものであり、前記ハンドリング部は、第１と第３ステ
ーションの間に配設された第１アームロボットと、第２
と第４ステーションの間に配設された第２アームロボッ
トと、該第１と第２アームロボットの間に配設された第
１ステージを有するものであり、前記ハンドリング部は
、第１アームロボットが、第１ステージと、第１ステー
ションまたは第３ステーションとの間で、テストウェー
ハまたはダミーウェーハを移し替え、かつ第２アームロ
ボットが、第２ステーションと第４ステーションとの間
、および該第１ステージと第４ステーションとの間で、
ウェーハとテストウェーハとダミーウェーハを移し替え
るものであるように構成された半導体装置の製造装置に
よって解決される。

【００１５】

【作用】搬送キャリアと処理キャリアとの間でウェーハ
を移し替えたり、テストウェーハやダミーウェーハを処
理キャリアに収納したり回収したりする際、従来は主装
置に移替え機構を組み込んだり、手作業で行ったりして
いたのに対して、本発明においては、いろいろな主装置
に付設してウェーハの移替えが人手を介さずにできるよ
うになっている。

【００１６】すなわち、搬送部と処理部を、２個のアー
ムロボットと、１個のウェーハステージを設けたハンド
リング部を挟んで対向配設させるようにしている。そし
て、搬送部には搬送キャリアと、テストウェーハまたは
ダミーウェーハが収納されたキャリアを載せるキャリア
ステーションを設け、処理部には処理キャリアと、テス
トウェーハまたはダミーウェーハが収納されたキャリア
を載せるキャリアステーションを設けるようにしている
。

【００１７】搬送キャリアと処理キャリアの間で行うウ
ェーハの移替え作業は、第１アームロボットで行い、テ
ストウェーハまたはダミーウェーハが収納されたキャリ
アと処理キャリアの間で行う移替え作業は、ウェーハス
テージを介して第２アームロボットによって行うように
している。

【００１８】搬送キャリアから処理キャリアにウェーハ
を移し替えるに際して、まず最初に、処理キャリアの所
定の棚にテストウェーハを収納する場合には、第２アー
ムロボットがキャリアからテストウェーハをウェーハス
テージに運び、そのテストウェーハを第１アームロボッ
トが処理キャリアに収納するようにしている。

【００１９】また、移替えの途中で搬送キャリアの棚に
空きがあってウェーハが欠品している場合には、第２ア
ームロボットがキャリアからダミーウェーハをウェーハ
ステージに運び、そのダミーウェーハを第１アームロボ
ットが処理キャリアに収納するようにしている。

【００２０】こうして、処理キャリアの棚には、テスト
ウェーハと処理しようとするウェーハとダミーウェーハ
が空きのないように移し替えられる。そして、所定の処
理が終了して、処理キャリアから搬送キャリアにウェー
ハを移し替える際には、逆の過程をたどる。

【００２１】すなわち、テストウェーハやダミーウェー
ハは第１アームロボットがウェーハステージに運び、そ
のウェーハを第２アームロボットが所定のキャリアに戻
す。また、処理済みのウェーハは、第１アームロボット
が処理キャリアから搬送キャリアに移し替える。

【００２２】こうした、一連の移替え作業は、最初の搬
送キャリアから処理キャリアへの移替え作業のデータを
記憶しておけば、処理キャリアから搬送キャリアへの移
替え作業は人手を介さずに自動的に行うことができる。

【００２３】

【実施例】図１は本発明の第１の実施例の斜視図、図２
は図１のウェーハの流れを示す平面図、図３は本発明の
第２の実施例の平面図、図４は本発明の第３の実施例の
動作説明図である。図において、１ａ、１ｂ、１ｃはそ
れぞれ第１、第２、第３アームロボット、２ａ、２ｂは
それぞれ第１、第２ステージ、３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ
、３ｅ、３ｆはそれぞれ第１、第２、第３、第４、第５
、第６ステーション、４はウェーハ、４ａはテストウェ
ーハ、４ｂはダミーウェーハ、５はキャリア、５ａは搬
送キャリア、５ｂは処理キャリア、１０はハンドリング
部、２０は搬送部、３０は処理部である。

【００２４】こゝで、「ステージ」は、一般にウェーハ
ステージと呼ばれるウェーハの支持機構を略称しており
、「ステーション」は一般にキャリアステーションと呼
ばれるウェーハキャリアの支持機構を略称している。

【００２５】実施例：１ 図１において、ハンドリング部１０を挟んで搬送部２０
と処理部３０が対向した配設された構成になっている。

【００２６】ハンドリング部１０には、アーム先端部に
ウェーハ４を着脱する例えば真空チャックをもち、旋回
動作を行う第１アームロボット１ａと第２アームロボッ
ト１ｂが設けられている。そして、その二つのロボット
１ａ、１ｂの間に挟まれて上昇、下降動作を行う第１ス
テージ２ａが設けられている。

【００２７】搬送部２０には、間欠的に上昇、下降動作
する第１ステーション３ａと第２ステーション３ｂが設
けられており、処理部３０には、間欠的に上昇、下降動
作する第３ステーション３ｃと第４ステーション３ｄが
設けられている。

【００２８】対向する二つのステーション３ａと３ｃに
は、テストウェーハ４ａまたはダミーウェーハ４ｂのど
ちらか一方が収納されたキャリア５が載置されるように
なっており、対向する二つのステーション３ｂと３ｄの
うちで、第２ステーション３ｂには、処理前や処理後の
ウェーハ４を持ち運びするための搬送キャリア５ａが載
置され、第４ステーション３ｄには、処理前のウェーハ
４を図示してないウェーハ処理装置へ搬入したり、処理
装置で処理されたウェーハ４を搬出するための処理キャ
リア５ｂが載置されるようになっている。

【００２９】図２において、第１アームロボット１ａは
、二つのステーション３ａと３ｃの間に配設されており
、矢印Ａで示したように、二種類のウェーハ４ａまたは
４ｂを、適宜キャリア５から第１ステージ２ａに運ぶ作
業を行うロボットである。また、第２アームロボット１
ｂは、矢印Ｂで示したように、第２ステーション３ｂに
載せられた搬送キャリア５ａから第４ステーション３ｄ
に載せられた処理キャリア５ｂにウェーハ４を移し替え
る作業と、矢印Ｃで示したように、第１アームロボット
１ａが適宜第１ステージ２ａに運んだ二種類のウェーハ
４ａや４ｂを、処理キャリア５ｂに移し替える作業の二
つの作業を受け持っている。

【００３０】搬送キャリア５ａから処理キャリア５ｂに
ウェーハ４を移し替える際には、まず、第１アームロボ
ット１ａがキャリア５から運び出して第１ステージ２ａ
に載せたテストウェーハ４ａを、第２アームロボット１
ｂが拾い上げて処理キャリア５ｂの例えば一番上の棚に
載置する。

【００３１】次いで、第２アームロボット１ｂは、旋回
などを繰り返しながら、例えば間欠的に下降していく搬
送キャリア５ａに収納されているウェーハ４を順次処理
キャリア５ｂに移し替えていく。

【００３２】そして、移替え作業の途中で、搬送キャリ
ア５ａにウェーハ４が入っていない空きがあった場合に
は、第２アームロボット１ｂがキャリア５からダミーウ
ェーハ４ｂを運び出して第１ステージ２ａに載せ、その
ダミーウェーハ４ｂを第１アームロボット１ａが処理キ
ャリア５ｂに収納して埋め合わせを行うようになってい
る。

【００３３】こうして、搬送キャリア５ａに不具合が生
じてウェーハ４が抜けている場合があっても、処理キャ
リア５ｂには、テストウェーハ４ａとウェーハ４とダミ
ーウェーハ４ｂが過不足なく収納されることになる。

【００３４】実施例：２ 図３において、搬送部２０には、第１ステーション３ａ
を中央に挟んで第２ステーション３ｂの逆側に、間欠的
に上昇、下降動作する第５ステーション３ｅが設けられ
ている。また、処理部３０には、第３ステーション３ｃ
を中央に挟んで、第４ステーション３ｄの逆側に、間欠
的に上昇、下降動作する第６ステーション３ｆが設けら
れている。

【００３５】ハンドリング部１０には、第５ステーショ
ン３ｅと第６ステーション３ｆの間に第３アームロボッ
ト１ｃが設けられており、この第３アームロボット１ｃ
と第１アームロボット１ａの間に、第２ステージ２ｂが
設けられている。

【００３６】二つのステーション３ｅと３ｆは対向して
おり、第５ステーション３ｅには、処理前や処理後のウ
ェーハ４を持ち運びするための搬送キャリア５ａが載置
され、第６ステーション３ｆには、処理前のウェーハ４
を図示してないウェーハ処理装置へ搬入したり、処理装
置で処理されたウェーハ４を搬出するための処理キャリ
ア５ｂが載置されるようになっている。

【００３７】第１アームロボット１ａは、二種類のウェ
ーハ４ａまたは４ｂを、矢印Ａで示したように、実施例
１と同様キャリア５から第１ステージ２ａに運ぶととも
に、矢印Ｄで示したように、第２ステージ２ｂにも運ぶ
作業を行う。また、第３アームロボット１ｃは、矢印Ｅ
で示したように、第５ステーション３ｅに載せられた搬
送キャリア５ａから第６ステーション３ｆに載せられた
処理キャリア５ｂにウェーハ４を移し替える作業と、矢
印Ｆで示したように、第１アームロボット１ａが適宜第
２ステージ２ｂに運んだ二種類のウェーハ４ａや４ｂを
処理キャリア５ｂに移し替える作業の二つの作業を受け
持っている。

【００３８】一方、第２アームロボット１ｂは、実施例
１で述べたと同様、矢印Ｂで示したように、第２ステー
ション３ｂに載せられた搬送キャリア５ａから第４ステ
ーション３ｄに載せられた処理キャリア５ｂにウェーハ
４を移し替える作業と、矢印Ｃで示したように、第１ア
ームロボット１ａが適宜第１ステージ２ａに運んだ二種
類のウェーハ４ａや４ｂを、処理キャリア５ｂに移し替
える作業の二つの作業を受け持っている。

【００３９】つまり、実施例２においては、第１アーム
ロボット１ａに対して、テストウェーハ４ａやダミーウ
ェーハ４ｂを第１ステージ２ａと第２ステージ２ｂの両
方に運ぶ作業を兼ね持たせている。ところが、テストウ
ェーハ４ａやダミーウェーハ４ｂの移替え作業は、一連
の移替え作業の中で動作頻度が相対的に少ない。従って
、第１アームロボット１ａによる兼務作業によって、ウ
ェーハ４の移替え作業全体の能率が低下することはない
。

【００４０】しかも、実施例２においては、２個ずつの
搬送キャリア５ａや処理キャリア５ｂをそれぞれ対（ペ
ア）にして同時に移替え作業を行うことができるので、
例えば２個のキャリア５に収納されたウェーハ４を以て
１ロットとする取り扱いの場合には真に好都合である。

【００４１】なお、実施例１または実施例２において、
搬送キャリア５ａのどの棚にウェーハ４の欠落があるか
、またテストウェーハ４ａを処理キャリア５ｂのどの位
置に収納するかといった情報を、予めマイクロプロセッ
サなどのデータ処理装置に入力しておけば、移替え作業
を人手を介さずに自動化することが可能である。

【００４２】また、処理が終了したウェーハ４を処理キ
ャリア５ｂから搬送キャリア５ａへ戻す移替え作業の際
には、搬送キャリア５ａから処理キャリア５ｂへ移し替
える際に行われた作業手順を逆方向にたどればよく、テ
ストウェーハ４ａやダミーウェーハ４ｂなどを仕分けて
回収しながら移替え作業ができる。そして、マイクロプ
ロセッサなどでデータ処理すれば、この移替えして戻す
作業も自動化が可能である。

【００４３】実施例：３ 図４において、第２アームロボット１ｂあるいは第３ア
ームロボット１ｃによって対向する搬送キャリア５ａと
処理キャリア５ｂの間のウェーハ４の移替えを１ｂを効
率よく行うために、それぞれのロボット１ｂと１ｃの軸
１１に２本のアーム１２、１３が支持されている。そし
て、このアーム１２、１３は、搬送キャリア５ａや処理
キャリア５ｂの棚５１の１段分の段違いになるように背
向している。こゝでは、アーム１２が下段で、アーム１
３が上段になっている。

【００４４】いま、図４（Ａ）において、アーム１２が
搬送キャリア５ａでウェーハ４を吸着しながら、アーム
１３が処理キャリア５ｂにウェーハ４を脱着して移し替
えた際のアーム１２、１３とウェーハ４の位置関係を見
る。図４（Ｂ）で軸１１を　１８０度回転させると、ア
ーム１２は処理キャリア５ｂの次の棚に位置するのでそ
のまゝウェーハ４を脱着すればよい。しかし、アーム１
３は搬送キャリア５ａのウェーハ４のない棚の位置にく
る。そこで、搬送キャリア５ａを２段上昇させる。

【００４５】そうすると、図４（Ｃ）に示したように、
アーム１３がウェーハ４を処理キャリア５ｂで脱着する
とともに、アーム１２が搬送キャリア５ａで次のウェー
ハ４を吸着することができるようになる。

【００４６】このように、アーム１２、１３を段違いに
背向させ、搬送キャリア５ａや処理キャリア５ｂの上昇
、下降の動作をアーム１２、１３の動作に連動させて制
御すれば、アーム１２、１３が１８０度旋回するごとに
効率よくウェーハ４の移替えが可能である。

【００４７】

【発明の効果】搬送キャリアと処理キャリアとの間でウ
ェーハを移し替える際、テストウェーハやダミーウェー
ハを追加収納したり回収したりする作業は、従来、いろ
いろな処理装置に移替え機構を組み込んで行ったり、手
作業で行ったりしていた。それに対して、本発明になる
装置においては、ハンドリング部を挟んで搬送部と処理
部を対向させ、搬送キャリアと処理キャリアとの間のウ
ェーハの移替えや、テストウェーハやダミーウェーハの
収納、回収などをハンドリング部に設けたアームロボッ
トとウェーハステージで行わせるようにしている。しか
も、この装置は移替え機能を有する単能機となっている
。

【００４８】従って、搬送キャリアや処理キャリアを本
装置のキャリアステーションに載せれば、人手を介さず
に自動的にウェーハの移替え作業を行うことができ、半
導体装置の製造工程におけるウェーハプロセスの合理化
に対して、本発明は寄与するところが大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】　　本発明の第１の実施例の斜視図である。

【図２】　　図１のウェーハの流れを示す平面図である
。

【図３】　　本発明の第２の実施例の平面図である。

【図４】　　本発明の第３の実施例の動作説明図である
。

【符号の説明】

１ａ　　第１アームロボット　　　　　　　　　　１ｂ
　　第２アームロボット １ｃ　　第３アームロボット ２ａ　　第１ステージ　　　　　　　　　　　　　　　
　２ｂ　　第２ステージ３ａ　　第１ステーション　　
　　　　　　　　　　３ｂ　　第２ステーション ３ｃ　　第３ステーション　　　　　　　　　　　　３
ｄ　　第４ステーション ３ｅ　　第５ステーション　　　　　　　　　　　　３
ｆ　　第６ステーション ４　　ウェーハ ４ａ　　テストウェーハ　　　　　　　　　　　　　　
４ｂ　　ダミーウェーハ５　　キャリア ５ａ　　搬送キャリア　　　　　　　　　　　　　　　
　５ｂ　　処理キャリア１０　　ハンドリング部　　　
　　　　　　　　　　　１１　　軸１２、１３　　アー
ム ２０　　搬送部 ３０　　処理部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　ハンドリング部（１０）と、該ハンド
   リング部（１０）を挟んで対向配設された搬送部（２０
   ）と処理部（３０）を有し、前記搬送部（２０）は、テ
   ストウェーハ（４ａ）またはダミーウェーハ（４ｂ）が
   収納されたキャリア（５）　が載る第１ステーション（
   ３ａ）と、ウェーハ（４）　が収納される搬送キャリア
   （５ａ）が載る第２ステーション（３ｂ）を有するもの
   であり、前記処理部（３０）は、前記キャリア（５）　
   が載る第３ステーション（３ｃ）と、前記ウェーハ（４
   ）　が収納される処理キャリア（５ｂ）が載る第４ステ
   ーション（３ｄ）を有するものであり、前記ハンドリン
   グ部（１０）は、前記第１と第３ステーション（３ａ）
   、（３ｃ）の間に配設された第１アームロボット（１ａ
   ）と、前記第２と第４ステーション（３ｂ）、（３ｄ）
   の間に配設された第２アームロボット（１ｂ）と、該第
   １と第２アームロボット（１ａ）、（１ｂ）の間に配設
   された第１ステージ（２ａ）を有するものであり、前記
   ハンドリング部（１０）は、第１アームロボット（１ａ
   ）が、第１ステージ（２ａ）と、前記第１ステーション
   （３ａ）または第３ステーション（３ｃ）との間で、前
   記ウェーハ　（４ａ、４ｂ）　を移し替え、かつ第２ア
   ームロボット（１ｂ）が、前記第２ステーション（３ｂ
   ）と第４ステーション（３ｄ）との間、および該第１ス
   テージ（２ａ）と第４ステーション（３ｄ）との間で、
   前記ウェーハ　（４、４ａ、４ｂ）　を移し替えるもの
   であることを特徴とする半導体装置の製造装置。
2. 【請求項２】　　前記搬送部（２０）は、前記第１ステ
   ーション（３ａ）を中央に挟んで第５ステーション（３
   ｅ）を有するものであり、前記処理部（３０）は、前記
   第３ステーション（３ｃ）を中央に挟んで第６ステーシ
   ョン（３ｆ）を有するものであり、前記ハンドリング部
   （１０）は、前記第５と第６ステーション（３ｅ）、（
   ３ｆ）の間に配設された第３アームロボット（１ｃ）と
   、前記第１と第３アームロボット（１ａ）、（１ｃ）の
   間に配設された第２ステージ（２ｂ）を有するものであ
   り、前記ハンドリング部（１０）は、第２アームロボッ
   ト（１ｂ）が、前記第１または第３ステーション（３ａ
   ）、（３ｃ）と、前記第１または第２ステージ（２ａ）
   、（２ｂ）との間で、前記ウェーハ（４ａ、４ｂ）を移
   し替え、かつ第３アームロボット（１ｃ）が、該第２ス
   テージ（２ｂ）と、前記第５または第６ステーションン
   （３ｅ）、（３ｆ）との間で、前記ウェーハ　（４、４
   ａ、４ｂ）　を移し替えるものである請求項１記載の半
   導体装置の製造装置。
3. 【請求項３】　　前記第２と第３アームロボット（１ｂ
   ）、（１ｃ）は、回動駆動される軸（１１）と、該軸（
   １１）に支持されて旋回する２本のアーム　（１２、１
   ３）　を有するものであり、かつ該アーム　（１２、１
   ３）　が、前記キャリア（５ａ　、５ｂ）　の棚（５１
   ）の１段分の段違いに背向しているものである請求項１
   または２記載の半導体装置の製造装置。
4. 【請求項４】　　前記ウェーハ（４）　を前記搬送キャ
   リア（５ａ）から、および前記テストウェーハ（４ａ）
   とダミーウェーハ（４ｂ）をキャリア（５）　からそれ
   ぞれ前記処理キャリア（５ｂ）に移し替える際のデータ
   に基づいて、該処理キャリア（５ｂ）から該搬送キャリ
   ア（５ａ）に移し替える際、該ウェーハ　（４ａ、４ｂ
   ）　を該キャリア（５）　に自動的に回収する請求項１
   または２記載の半導体装置の製造装置。