JPS60239040A - ウエハのブレーキング方法 - Google Patents

ウエハのブレーキング方法

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JPS60239040A
JPS60239040A JP60090498A JP9049885A JPS60239040A JP S60239040 A JPS60239040 A JP S60239040A JP 60090498 A JP60090498 A JP 60090498A JP 9049885 A JP9049885 A JP 9049885A JP S60239040 A JPS60239040 A JP S60239040A
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JP
Japan
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jig
wafer
groove
breaking
vacuum
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JP60090498A
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English (en)
Japanese (ja)
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Inventor
Yukio Goto
幸生 後藤
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Seikosha KK
Original Assignee
Seikosha KK
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014082301A (ja) * 2012-10-16 2014-05-08 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 脆性材料基板のブレイク用治具及びブレイク方法
JP2015062257A (ja) * 2014-12-24 2015-04-02 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料基板のブレイク用治具及びブレイク方法
JP2016184650A (ja) * 2015-03-26 2016-10-20 三星ダイヤモンド工業株式会社 ブレイク装置

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JP2016184650A (ja) * 2015-03-26 2016-10-20 三星ダイヤモンド工業株式会社 ブレイク装置

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