JPS60235278A - パタ−ン検出装置 - Google Patents
パタ−ン検出装置Info
- Publication number
- JPS60235278A JPS60235278A JP9150784A JP9150784A JPS60235278A JP S60235278 A JPS60235278 A JP S60235278A JP 9150784 A JP9150784 A JP 9150784A JP 9150784 A JP9150784 A JP 9150784A JP S60235278 A JPS60235278 A JP S60235278A
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- JP
- Japan
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- scanning
- light emitting
- pattern
- detected
- emitting elements
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、例えばモールド成型品やプレス加工２頁
品などの内外周などに存在する特異点や欠陥などの検査
や、検出対象の一部分のみを検査し度い場合等に利用し
て好適な同心状走査検出装置に関するものである。
や、検出対象の一部分のみを検査し度い場合等に利用し
て好適な同心状走査検出装置に関するものである。
従来、この種の検出装置としては、２次元センサー等を
使用し、画像処理によって必要々部分のみを抽出する方
式や、多数のフォ））ランジスタを円形に配列し、その
走査回路を含めてＩＣ化した所謂サー′キーラセンサー
を用いたもの等が広く使用されている。
使用し、画像処理によって必要々部分のみを抽出する方
式や、多数のフォ））ランジスタを円形に配列し、その
走査回路を含めてＩＣ化した所謂サー′キーラセンサー
を用いたもの等が広く使用されている。
しかし前者の方式は、このような目的に対しては無効部
分が多く、処理速度が遅く、しかも信号処理系が複雑化
し価格も高価である等の欠点がある。また後者はサーキ
ーラセンサー自体が高価であり、しかも検出対象の外形
が円形のものに限定されるという大きな欠点をもってい
る。
分が多く、処理速度が遅く、しかも信号処理系が複雑化
し価格も高価である等の欠点がある。また後者はサーキ
ーラセンサー自体が高価であり、しかも検出対象の外形
が円形のものに限定されるという大きな欠点をもってい
る。
また従来同心状（渦巻状を含む）の走査検出を行うには
、大変面倒な機械的操作が必要で簡単にはいかないとい
う問題があった。
、大変面倒な機械的操作が必要で簡単にはいかないとい
う問題があった。
本発明の目的は、このような従来の問題点を改３頁
善し、比較的簡易な手段によって同心状の走査検出を容
易に行えるようにすることにある。
易に行えるようにすることにある。
第１図は本発明の原理を示すもので、図中Ａが検出対象
である被検体を表わしている。
である被検体を表わしている。
この被検体Ａは、発光ダイオードの如き多数の先
発行素子ＴＪＩ 、Ｌ２１ Ｌ５・・・・・を並べて構
成された走査光源りによって照射され、その反射光はレ
ンズ１によってフォトトランジスタ、フォトダイオード
の如き光電変換素子から成る光電センサー２の受光面に
結像されるようになっている。
成された走査光源りによって照射され、その反射光はレ
ンズ１によってフォトトランジスタ、フォトダイオード
の如き光電変換素子から成る光電センサー２の受光面に
結像されるようになっている。
走査光源■、の発光素子群は、第２図に示すように、任
意の被検出パターン（図示の例では円形）に対応した形
に並べられ、順次点灯回路６によって第６図に示すよう
カタイミングで順次に点灯される。従って光電センサー
２の出力信号は、走査光源中のその時点で点灯している
発光素子からの光によるものが得られることになる。
意の被検出パターン（図示の例では円形）に対応した形
に並べられ、順次点灯回路６によって第６図に示すよう
カタイミングで順次に点灯される。従って光電センサー
２の出力信号は、走査光源中のその時点で点灯している
発光素子からの光によるものが得られることになる。
従って、走査光源の駆動タイミングと光電センサー２の
出力信号の同期をとれば、検出対象の特異点や欠陥個所
の有無、その位置等を検出すると特開昭Ｇｏ−２３５２
７８（２） とができる。
出力信号の同期をとれば、検出対象の特異点や欠陥個所
の有無、その位置等を検出すると特開昭Ｇｏ−２３５２
７８（２） とができる。
尚光電センサー２の受光面又はその近傍には、第４図に
示すように、被検出パターンに対応した形状のスリット
４を有するマスク５が設けられている。
示すように、被検出パターンに対応した形状のスリット
４を有するマスク５が設けられている。
今、第１図に示すように、光電センサー２の受光面から
レンズ１迄の距離をｄｌ、レンズ１から被検体Ａ迄の距
離をｄｌとすれば、被検出パターンの大きさＨに対する
受光面上の実像の大きさｒの比、即ち倍率りは Ｄエ ｒ＝−も−００１１００００１３，（１） ｄｌ で表わされる。
レンズ１迄の距離をｄｌ、レンズ１から被検体Ａ迄の距
離をｄｌとすれば、被検出パターンの大きさＨに対する
受光面上の実像の大きさｒの比、即ち倍率りは Ｄエ ｒ＝−も−００１１００００１３，（１） ｄｌ で表わされる。
従って、距離ｄ１＋ ｄｌを△ｄだけ変化させると倍率
りも変化し、後述するように同心状（渦巻状を含む）の
走査検出が可能となる。
りも変化し、後述するように同心状（渦巻状を含む）の
走査検出が可能となる。
第５図はこのような原理を用いた本発明の一実施例を示
すもので、ここでは第１図のｄ、を可変にするため、光
電センサー２を磁石乙の磁界の中に設置されたムービン
グコイル７の内部に取付け、５頁 機械的又は電気的ダンパ８によってセンタ位置と可動系
のダンピングを規制させである。
すもので、ここでは第１図のｄ、を可変にするため、光
電センサー２を磁石乙の磁界の中に設置されたムービン
グコイル７の内部に取付け、５頁 機械的又は電気的ダンパ８によってセンタ位置と可動系
のダンピングを規制させである。
以上の構成において、ムービングコイル７に第６図（ａ
）に示すようなランプ状信号を送ると、第１図に示した
原理によって第６図（ｂ）に示すような渦巻状の走査が
行われる。
）に示すようなランプ状信号を送ると、第１図に示した
原理によって第６図（ｂ）に示すような渦巻状の走査が
行われる。
また第７図（ａ）に示すような階段波形の信号を送ると
第７図（ｂ）に示すような同心円状の走査が行われる。
第７図（ｂ）に示すような同心円状の走査が行われる。
このような結果は必ずしも光電センサー２のみでなく、
（１）式の倍率りを変化させ得るその他の要素、例えば
レンズ１、マスク５を移動させても同様な結果が得られ
る。
（１）式の倍率りを変化させ得るその他の要素、例えば
レンズ１、マスク５を移動させても同様な結果が得られ
る。
また光電センサー２とレンズ１を同時に移動させてもよ
いし、或いは複数のレンズを用いその倍率を変化させて
も同様な結果が得られる。
いし、或いは複数のレンズを用いその倍率を変化させて
も同様な結果が得られる。
そのような倍率りを可変する可動要素の駆動源としては
ムービングコイルの他色々なものを用いることができる
。
ムービングコイルの他色々なものを用いることができる
。
以上の実施例は円形走査の場合を示したが、走６頁
青光源りの配列形状や、受光面のマスク５のスリット形
状等を適当な形にすれば、どのようなパターンにも対応
させて同心状に走査することができる。
状等を適当な形にすれば、どのようなパターンにも対応
させて同心状に走査することができる。
但し走査の範囲を拡げるために、変化量△ｄを大きくす
ると、焦点のずれも大きくなって受光面上の像もボケて
くるので、その場合は光学系中に紋り等を挿入して調節
する必要がある。
ると、焦点のずれも大きくなって受光面上の像もボケて
くるので、その場合は光学系中に紋り等を挿入して調節
する必要がある。
本発明によれば、きわめて簡易な手段により、従来面倒
な機械的操作などで行われていた同心状（渦巻状を含む
）の走査検出を容易に行えるという効果がある。
な機械的操作などで行われていた同心状（渦巻状を含む
）の走査検出を容易に行えるという効果がある。
なお、ここで同心状というのは必ずしも円形とは限らず
、角形、楕円形等をも含むことは勿論である。
、角形、楕円形等をも含むことは勿論である。
第１図は本発明の原理解説図、第２図は走査光源の配列
形状を例示した図、第３図は走査光源のタイミングを示
すグラフ、第４図はマスクノー 例を示す図、第５図は
本発明の一実施例を示す配置７頁 図、第６図と第７図はムービングコイルに入力される信
号と走査形状を例示したグラフである。 ■、は走査光源、Ｔ、１〜Ｌｎは発光素子、１はレンズ
、２は光電センサー、 ６は順次点灯回路、４はスリット、５はマスク、６は磁
石、７はムービングコイル 特開昭ＧＧ−２３５２７８（３） 八−１回 」 ４−−１−１４よ ←ポ毅
形状を例示した図、第３図は走査光源のタイミングを示
すグラフ、第４図はマスクノー 例を示す図、第５図は
本発明の一実施例を示す配置７頁 図、第６図と第７図はムービングコイルに入力される信
号と走査形状を例示したグラフである。 ■、は走査光源、Ｔ、１〜Ｌｎは発光素子、１はレンズ
、２は光電センサー、 ６は順次点灯回路、４はスリット、５はマスク、６は磁
石、７はムービングコイル 特開昭ＧＧ−２３５２７８（３） 八−１回 」 ４−−１−１４よ ←ポ毅
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 多数の発光素子を被検出パターンに対応する形状に
配列した走査光源と、それらの発光素子を順次に点灯し
て走査を行わせる順次点灯回路と、点灯された発光素子
から検出対象に対して発せられた光を受光する光電セン
サーを有するパターン検出装置において、被検出パター
ンと光電センサーの受光面に結像された実像との倍率を
変化させる要素を可動にし、この可動要素を駆動するこ
とにより同心状に走査検出を行うことを特徴とするパタ
ーン検出装置。 ２ 前記可動要素の駆動源にムービングコイルを用いた
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のパターン
検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9150784A JPS60235278A (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | パタ−ン検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9150784A JPS60235278A (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | パタ−ン検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60235278A true JPS60235278A (ja) | 1985-11-21 |
Family
ID=14028319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9150784A Pending JPS60235278A (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | パタ−ン検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60235278A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5159646A (en) * | 1990-01-29 | 1992-10-27 | Ezel, Inc. | Method and system for verifying a seal against a stored image |
| JP2000028476A (ja) * | 1998-07-11 | 2000-01-28 | Masami Nishiko | 光学検査方式 |
| NL1035110C2 (nl) * | 2008-02-29 | 2009-09-01 | Nl Bank Nv | Inrichting voor het bepalen van een vervuiling van een waardedocument. |
-
1984
- 1984-05-08 JP JP9150784A patent/JPS60235278A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5159646A (en) * | 1990-01-29 | 1992-10-27 | Ezel, Inc. | Method and system for verifying a seal against a stored image |
| US5367580A (en) * | 1990-01-29 | 1994-11-22 | Ezel, Inc. | Method and system for establishing a coincidence between two images |
| US5490225A (en) * | 1990-01-29 | 1996-02-06 | Ezel Inc. | Method and system for comparing two images by making an initial rough judgement |
| JP2000028476A (ja) * | 1998-07-11 | 2000-01-28 | Masami Nishiko | 光学検査方式 |
| NL1035110C2 (nl) * | 2008-02-29 | 2009-09-01 | Nl Bank Nv | Inrichting voor het bepalen van een vervuiling van een waardedocument. |
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