JPS61120905A - 光学式測定機器におけるエツジ検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

この発明は、物体の寸法、変位量等を測定するための光
学式測定機器におけるエツジ検出装置に係り、特に、透
明でない測定対象物に、直接走査光線を照射し、これに
より生じる透過光又は反射光、あるいはこれら透過光又
は反射光による測定対象物の投影像を、光電素子に受光
させて電気信号を取り出し、この信号に基づき該測定物
の寸法測定、位置判別、形状判断等を行うための光学式
測定機器におけるエツジ検出装置に関する。

【従来の技術】

従来この種光学式測定機器、例えば、投影機は、載物台
上の測定対象物を平行な光線により照射して、その透過
光又は反射光に基づきスクリーン上に該測定対象物の投
影像を結像させ、この結像から測定対象物の寸法形状等
を測定するものであるが、スクリーンに投影された測定
対象物の象のエツジ（端部）は一般的にいわゆるにじみ
があり、従って、載物台上の測定対象物を移動させ、そ
のスクリーン上の結像とヘアラインとの一致から測定値
を正確に読み込むことは困難である。 かかる問題点を解消するために、従来は、結像のエツジ
を光電素子を相対移動させることにより、光電素子の受
光面に投影された像の明部と暗部との面積の割合の変化
から光電素子から出力する電気信号の大きさの変化を、
参照電圧と比較して、投影画像の端部を検出するものが
ある。 しかしながら、この方法は、外乱光等のノイズの影響が
大きいと共に、光電素子から得られる信号又は参照電圧
の変動による測定精度の低下が大きいという問題点があ
る。 更に、スクリーン上の投影画像の境界（エツジ）に対し
て光電素子を相対移動させ、その時の出力信号を２階微
分して波形信号を得、これと参照電圧との比較によって
エツジを検出するものがあるが、光電素子と投影画像と
の相対移動速度の大小によって、検出されるエツジの位
置が異なることがあり、更に、前記と同様に参照電圧の
変動による測定精度の低下が大きいという問題点がある
。 更に、光電素子を２１１！配置して、これを投影画像の
エツジに対して相対移動させ、これにより得られた複数
の出力信号から波形の信号を得、これと参照電圧との比
較によってエツジを検出するものがあるが、前記と同様
に光電素子から得られた出力信号と参照電圧との相対変
化、レベル変動等から測定が非常に不安定となり、更に
、照射光線の照度に対する適用範囲が狭く、又、測定態
様が限定され且つ、センサ一部あるいは回路部分が複雑
になるという問題点がある。 特に、投影機においては、照射用の光源ランプの疲労、
投影系のレンズ特性、外乱光によりスクリーン上の投影
画像の明るさが変化し、又、投影倍率の切替により投影
画像の明るさが変化したり、更には測定者側の条件とし
て、例えば測定者の瞳の色（人種により異なる）により
作業に好適な明るさが異なるため、これを適宜に選択し
なければならないが、前記のように照射光線の照度に対
す小適用範囲が狭いと、結果として投影機の能力を低下
させてしまうことになる。 又、従来のエツジ検出方法では、投影画像のフォーカス
がずれていた場合は、光電素子による出力波形がなだら
かになってしまうので、正確なエツジ検出ができないと
いう問題点があった。 この問題点は、投影殿のみならず、一般的に透過光又は
反射光を検出して、直接的又は間接的に測定対象物の寸
法測定等をするための光学式測定機器におけるエツジ検
出に共通の問題である。 これに対して例えば特開昭５８−１７３４０８号に開示
されるように、透過光又は反射光を検出して、直接的又
は間接的に測定対象物の寸法測定をするための光学式測
定機器におけるエツジ検出装置において、前記測定対象
物との相対移動時に生ずる明暗に基づき、少なくとも２
組の位相ずれ信号を発生するよう移動面と略平行な面内
に配設された４個の受光素子からなるセンサーと、前記
各組の位相ずれ信号の差を演算する第１及び第２の演算
手段と、これら第１及び第２の演算手段の出力信号の差
を演算する第３の演算手段及び和を演算する第４の演算
手段と、この第４の演算手段の出力信号が所定レベルに
ある間に生じる、前記第３の演算手段の出力信号と基準
レベルのクロス信号を出力する検知手段を設けたものが
提案されている。 このエツジ検出装置は、測定対象物を照射する光強度、
測定中の外乱光等のノイズ、光電素子の出力信号あるい
は参照電圧の変動による影響を伴なうことなく、しかも
簡単な構成で、測定対象物のエツジを検出することがで
き、又投影機において、投影画像の焦点ずれがあっても
、正確にエツジを検出することができ、更に、光電素子
からのアナログ信号を直接処理することにより、測定対
象物のエツジを検出することができるという利点がある
。 しかしながら、上記特開昭５８−１７３４０８号公報に
開示されるエツジ検出装置は、そのセンサーが田型に配
置された４個の受光素子から形成されているために、例
えば投影機におけるスクリーン上の投影画像に対する相
対移動時に、受光素子の境界線と移動方向が一致した時
、投影画像のエツジを検出できない場合があり、従って
、投影画像に対するセンサーの移動方向の制限が生じる
という問題点がある。 これに対して本出願人は特願昭５９−１９９８７６号に
より、透過光又は反射光を検出して、直接的又は間接的
に測定対象物の寸法測定をするだめの光学式測定機器に
おけるエツジ検出装置において、前記測定対象物との相
対移動時に生ずる明暗に基づき、位相ずれ信号を発生す
るよう移動面と略平行な面内に同心状に配設された２個
の受光素子を含み、両受光素子の出力に基づくセンサ出
力信号のセンサ出力端子におけるレベルが、前記相対移
動時に生ずる明及び暗のそれぞれの時に等値となるよう
形成されたセンサーと、このセンサーにおける前記セン
サ出力端子に接続され、前記位相ずれ信号の差を演算す
る差演算器と、前記センサーの出力信号の一方を入力信
号とし、前記位相ずれ信号の基準レベル信号とのクロス
ポイントを含む特定領域で信号を出力する領域信号発生
器と、この領域信号発生器から信号が出力されている間
に、前記差演算器の出力信号と予め設定された基準レベ
ル信号とのクロス信号を出力する検知手段と、を設け、
前記領域信号発生器を、前記センサ出力信号の一方の信
号と参照信号とを比較し、該一方の信号のレベルが一定
範囲にあるとき領域信号を発生するウィンドコンパレー
タを含むようにしたものを提案した。 この発明は、センサーを構成する一対の受光素子が、同
心円状に配置され、従って、受光素子の境界線と移動方
向が一致することがなく、該センサーの測定対象物に対
する相対移動方向の如何にかかわらず、確実にエツジを
検出するものである。 しかしながら、上記のような光学式測定機器におけるエ
ツジ検出装置は、差演算器による出力信号と基準レベル
信号とのクロスポイントの１つを特定するために、１つ
の受光素子の出力信号をウィンドコンパレータを含む領
域信号発生器により参照信号と比較して該出力信号のレ
ベルが一定範囲になる時に領域信号を発生するようにし
ているので、測定対象物の材質によっては領域信号を発
生することができない場合があるという問題点がある。 即ち、測定対象物が半透明ガラス製品、ＰＣＢセロハン
原板の配線墨入れ部等の場合は、光を完全に遮断するこ
とができないので光洩れを生じ、投影機の場合は、スク
リーン上の投影画像が完全暗部とならない。 このため、受光素子からの出力信号のレベルは、完全明
部を「１」とした時、暗部に対応する出力信号は「１」
よりも小さく且っｒＯＪよりも大きくなるので、出力信
号の波形の振幅が小さくなり、ｆｉＪ述の参照信号のレ
ベルに到達しないことがあり、この場合はエツジを検出
できないことになる。

【発明が解決しようとする問題点】

この発明は、測定対象物が半透明ガラス製品等の光を完
全に遮断できないものの場合でも、そのエツジを確実に
検出することができるようにした光学式測定機器におけ
るエツジ検出回路を提供することを目的とする。

【問題点を解決するための手段】

この発明は、透過光又は反射光を検出して、直接的又は
間接的に測定対象物の寸法測定をするための光学式測定
機器におけるエツジ検出装置において、前記測定対象物
との相対移動時に生ずる明暗に基づき、位相ずれ信号を
発生するよう移動面と略平行な園内に配設された複数の
受光素子を含み、前記受光素子の出力に基づくセンサ出
力信号のセンサ出力端子におけるレベルが、前記相対移
動時に生ずる明及び暗のそれぞれの時に等値となるよう
形成されたセンサーと、このセンサーにおける前記セン
サ出力端子に接続され、前記位相ずれ信号の差を演算す
る差演算器と、この差演算器の出力信号を入力信号とし
、前記位相ずれ信号の基準レベル信号とのクロスポイン
トを含む特定領域で信号を出力する領域信号発生器と、
この領域信号発生器から信号が出力されている間に、前
記差演算器の出力信号と予め設定された基準レベル信号
とのクロス信号を出力する検知手段と、を設けることに
より上記目的を達成するものである。 又、前記センサーを、同心円状に配置され、外周が円形
となると共に、その受光面積が等しくされた２個の受光
素子から構成することにより上記目的を達成するもので
ある。 又、前記領域信号発生器を、前記差演算器の出力信号を
、前記基準レベル信号を間とする高位レベル及び低位レ
ベルの参照信号と比較し、前記差演算器の出力信号のレ
ベルがこれら高位レベルと低位レベルの間の範囲にある
時領域信号を発生するウィンドコンパレータを含むよう
にして上記目的を達成するものである。 又、前記領域信号発生器を、前記差演算器の出力信号と
高位レベルの参照信号とを比較し、該出力信号が高位レ
ベルの参照信号よりも大きい時信号を出力する第１の比
較器と、前記差演算器の出力信号と低位レベルの参照信
号とを比較し、該出力信号が低位レベルの参照信号より
も小さい時信号を出力する第２の比較器と、前記第１の
比較器の出力信号をトリガ信号とする第１の双安定マル
チバイブレータと、前記第２の比較器の出力信号をトリ
ガ信号とする第２の双安定マルチバイブレータと、前記
第１及び第２の双安定マルチバイブレータにおける出力
信号を入力信号とし、その一方のみが入力される一領域
信号を発生するエクスクル−シブＯＲゲートと、から構
成することにより上記目的を達成するものである。

【作用】

この発明において、領域信号発生器は、センサーにおけ
る複数の受光素子の出力信号の差信号に基づいて、セン
サ出力信号の基準レベル信号とのクロスポイントを含む
特定領域で信号を出力するようにされ、従って、測定対
象物が半透明ガラス製品等であって、受光素子の出力信
号の波形の振幅が小さい場合であっても、確実に前記ク
ロスポイントを含む特定領域で信号を出力し、測定対象
物のエツジを検出することができる。

【実施例】

以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。 この実施例は、本発明を、投影機に適用したものであり
、第１図及び第２図に示されるように、光源ランプ１か
らの光をコンデンサレンズ２を介して載物台３の下方か
ら、あるいは他の光路を介して載物台３の上方から、該
載物台３上の測定対象物４を照射して、その透過光又は
反射光に基づき、投影レンズ５を介してスクリーン６上
に、測定対象物４の投影画像を結像させ、この投影画像
により、間接的に測定対象物４の寸法測定等をするため
の投影機１０におけるエツジ検出装置において、前記測
定対象物４との相対移動時に生ずる明暗に基づき、位相
ずれ信号を発生するよう移動面と略平行な面内に同心状
に配設された２個の受光素子１２Ａ、１２Ｂを含み、両
受光素子１２Ａ、１２Ｂの出力に基づくセンサ出力信号
のセンサ出力端子１４Ａ、１４Ｂにおけるレベルが、前
記相対移動時に生ずる明及び暗のそれぞれの時に等値と
なるよう形成されたセンサー１２と、このセンサー１２
における前記センサ出力端子１４Ａ、１４Ｂに接続され
、前記位相ずれ信号の差を演算する差演算器１６と、こ
の差演算器１６の出力信号を入力信号とし、前記位相ず
れ信号の基準レベル信号とのクロスポイントを含む特定
領域で信号を出力、する＠域信号発生器１８と、この領
域信号発生器１８から信号が出力されている間に、前記
差演算器１６の出力信号と予め設定された基準レベル信
号とのクロス信号を出力する検知手段２０とを設けたも
のである。 前記センサー１２は、第１図に示されるように、投影１
１１０のスクリーン６の上面にこれと平行に且つ摺動可
能に載置された透明板２２と一体的に設けられ、前記透
明板２２と共に、移動できるようにされている。 前記センサー１２を構成する受光素子１２Ａは、断面円
形状に形成され、又、受光素子１２Ｂは、受光素子１２
Ａの周囲に、半径方向の間隔をおいて受光素子１２Ａと
同心の輪状に形成されている。 ここで、前記センサー１２は、前記受光素子１２Ａ、１
２Ｂの他に、受光素子１２Ａ及び受光素子１２Ｂの出力
を変換するための電流−電圧変換器２４Ａ、２４Ｂ及び
これらの出力を増幅するためのアンプ２５Ａ、２５Ｂを
備えている。 これらのアンプ２５Ａ及び２５Ｂは、全暗で、前記受光
素子１２Ａ、１２Ｂの暗電圧をキャンセルするようにオ
フセット調整されると共に、全明で、センサ出力端子１
４Ａ、１４Ｂでの出力が同一レベルとなるようにゲイン
の調整がなされている。 前記領域信号発生器１８は、前記差演算器１６の出力信
号と高位レベルの参照信号Ｖｒｅｆ＋とを比較し、該出
力信号が高位レベルの参照信号Ｖｒｅｒ＋よりも大きい
時信号を出力する第１の比較器２６Ａと、前記差演算器
１６の出力信号と低位レベルの参照信号Ｖｒｅｆ−とを
比較し、該出力信号が低位レベルの参照信号Ｖｒｅｒ−
よりも小さい時信号を出力する第２の比較器２６Ｂと、
前記第１の比較器２６Ａの出力信号をトリガ信号とする
第１の双安定マルチバイブレータ２８Ａと、前記第２の
比較器２６Ｂの出力信号をトリが信号とする第２の双安
定マルチバイブレータ２８Ｂと、前記第１及び第２の双
安定マルチバイブレータ２８Ａ、２８Ｂにおける出力信
号を入力信号とし、その一方のみが入力される時領域信
号を発生するエクスクル−シブＯＲゲート３０と、を備
えて形成されている。 又、前記検知手段２０は、前記差演算器１６の出力信号
と基準レベルの信号とを比較して、両者が一致する時、
即ちクロスポイントにおいて信号を出力する比較器３２
と、この比較器３２から信号が出力され、且つ、これが
解除される時、これに基づいてエツジパルス信号を発生
するパルス信号発生器３４と、このパルス信号発生器３
４及び前記領域信号発生器１８の両者から信号が出力さ
れでいる時のみエツジ検出信号を出力するＡＮＤゲート
３６と、を備えている。 このＡＮＤゲート３６から出力されるエツジ検出信号は
、変位量検出装置３８におけるカウンタ４ｏに入力され
るようになっている。 前記変位量検出装置！３８は、載物台３の移動量に応じ
てパルス信号を出力するエンコーダ４２と、このエンコ
ーダ４２の出力信号をカウントするための前記カウンタ
４０と、から構成されている。 該カウンタ４０は、前記ＡＮＤゲート３６からエツジ検
出信号゛が入力された時に、その時点における読取り値
を記憶装置４４に出力するようにされている。 次に上記実施例の作用を説明する。 スクリーン６上に結像された測定対象物４の投影面＠４
Ａに対して、センサー１２を、位置方向に相対的に移動
させ、投影面１４Ａのエツジがセンサー１２を横切るよ
うにする。 投影面１４Ａが、センサー１２に相対的に接近し且つこ
れを通過した場合は、受光素子１２Ａ及び１２Ｂにより
得られ、且つ、電流−電圧変換器２４Ａ、２４Ｂを経て
アンプ２５Ａ、２５Ｂにより調整されて、センサ出力端
子１４Ａ、１４Ｂから発生する出力信号は、第３図（Ａ
）に符号ａ及びｂによって示されるように、振幅の等し
い位相ずれ信号となる。これらの出力信号は、第３図（
Ｂ）に示されるように、差演算器１６によりＣ−ａ−ｂ
に演篩され、出力される。 差演算器１６によって出力される信号は検知手段２０の
比較器３２に入力され、この比較器３２は、第３図（Ｃ
）に示されるように、出力信号へ−Ｂｔｆｉｏの基準レ
ベル信号よりも小さい時に「１」のデジタル信号「を出
力する。 比較器３２の出力に基づき、その立上り及び立下り時に
、パルス信号発生器３４は、第３図（Ｄ）に示されるよ
うなパルス信号ｐをＡＮＤゲート３６に出力する。 一方、前記差演算器１６からの出力信号Ｃ−ａ−ｂは、
前記領域信号発生器１８の第１及び第２の比較器２６Ａ
、２６Ｂにそれぞれ入力される。 第３図（Ｅ）に示されるように、前記第１の比較器２６
△は、参照電圧Ｖ　ｒｅｆ＋と入力信号Ｃとを比較して
信号ＣがＶ　ｒｅｆ＋よりも大きい時「１」のデジタル
信号ｄを前記第１の双安定マルチバイブレータ２８Ａに
出力する。又、前記第２の比較器２６Ｂは、入力された
信号ＣとＶ　ｒｅｆ−とを比較して、信号Ｃが’Ｊ　ｒ
ｅｆ−よりも小さい時「１」のデジタル信号ｅを第２の
双安定マルチバイブレータ２８Ｂに出力する。 前記第１の双安定マルチバイブレータ２８Ａは、第３図
（Ｅ）及び（Ｇ）に示されるように、デジタル信号ｄの
入力毎に、デジタル信号ｄ１を出力し、且つ解除する過
程を繰返す。 同様に、前記第２の双安定マルチバイブレータ２８Ｂは
、第３図（Ｆ）及び（Ｈ）に示されるように、デジタル
信号ｅが入力される毎に、デジタル信号ｅ１を出力し、
且つこれを解除する過程を繰返す。 これら第１及び第２の双安定マルチバイブレータ２８Ａ
、２８Ｂから出力されるデジタル信号ｄ１及びｅｌは前
記エクスクル−シブＯＲゲート３０に入力される。 このエクスクル−シブＯＲゲート３０は、第１及び第２
の双安定マルチバイブレータ２８Ａ、２８Ｂの一方のみ
から信号が出力されている時に、第３図（１）に示され
るようにＮＪのデジタル信号りを出力する。 前記パルス信号発生器３４がらのパルス信号ｐと、エク
スクル−シブＯＲゲート３ｏがらのデジタル信号りは、
ＡＮＤゲート３６に入力され、このＡＮＤゲート３６は
、該入力信号が共に「１」の時に、第３図（Ｊ）で示さ
れるように、例えば、１０μｓｅｃのパルス信号ｇを出
力し、この時点で、投影面（ｌ１４Ａのエツジが検出さ
れる。 即ち、ＡＮＤゲート３６から出力されたパルス信号りは
変位量検出装置３８におけるカウンタ４０に入力され、
カウンタ４０は該パルス信号１゜の入力の時点で、その
読取り値を記憶装置４４に出力し、これによって載物台
３上の測定対象物４のエツジが検出されることになる。 この実施例においては、領域信号発生器１８が差演算器
１６の出力信号ｃ　−ａ−ｂに基づいて領域信号りを出
力するようにされているので、例えば第３図（Ａ＞にお
いて二点鎖線で示されるように、２つの受光素子１２Ａ
、１２Ｂにおける出力信号のレベルが低い場合であって
も、両者の差、即ちｃ　−ａ−ｂの波形における振幅は
小さくなることがなく、従って、参照信号Ｖ　ｒｅｆ十
及びＶｒｅｆ−と信号Ｃとの交点を確実に検出すること
ができ、これによって、受光素子１２Ａ、１２Ｂの出力
が弱い場合でも確実に領域信号りを発生させることがで
きる。 従って、例えば半透明ガラス製品からなる測定対象物４
を測定する場合であっても、確実にそのエツジを検出づ
゛ることができる。 又、この実施例においては、センサー１２を構成する受
光素子１２Ａ、１２Ｂが、同心円状に形成され、且つこ
れらによって発生するセンサ出力端子１４Ａ、１４Ｂに
おける信号の出力レベルが等しくされているので、受光
素子１４Ａと１４８の境界線と移動方向が一致すること
なく、センサー１２の投影画像４Ａに対する相対的移動
方向の如何にかかわらず、均一の出力の信号を得ること
ができ、従ってセンサーの、被測定物に対する相対移動
方向の制限がなく、高精度にエツジ検出を行うことがで
きる。 又、上記のように、センサー１２を構成する受光素子１
２Ａ、１２Ｂを同心円状に構成しているので、受光素子
１２Ａ、１２Ｂの受光面の、被測定物に対する対面面積
を小さくすることができ、従って、小型の測定機器にも
適用できるのみならず、その支持手段の簡素化、又、投
影機においてはスクリーンの目視有効範囲を増大させる
ことができる。 又、センサー１２が小型であるので、複雑な形状の被測
定対象物のエツジ検出にも適用できる。 なお、上記実施例は、受光素子１２Ａを円形状に、受光
素子１２Ｂを円形の受光素子１２Ａの周囲を間隔をおい
て囲む同心輪状に形成したものであるが、本発明はこれ
に限定されるものでなく、センサーを構成する受光素子
は、位相ずれ信号を出力できるものであればよい。 従って、例えば、４個の受光素子をブロック状に配置し
たり、あるいは、一対のリング状の受光素子を同心状に
配置したりするようにしてもよい。 又、上記実施例において領域信号発生器１８は、２つの
比較器２６Ａ、２６Ｂ、第１及び第２の双安定マルチバ
イブレータ２８Ａ、２８Ｂ、及びエクスクル−シブＯＲ
ゲート３０とから構成されたものであるが、この領域信
号発生器は、差演算器１６からの出力信号の基準レベル
信号とのクロスポイントを含む特定領域を検出するもの
であればよく、実施例の構成に限定されない。 又、前記実施例において、受光索子１２Ａ、１２Ｂは、
その受光面積が等しくされることによって、センサ出力
端子１４Ａ、１４Ｂが等しくなるようにされているが、
これは、センサ出力端子１４Ａと１４８における出力信
号が同一レベルとなるものであればよく、従って、受光
素子１２Ａ、１２Ｂとセンサ出力端子１４Ａ、１４Ｂと
の間にアンプを配置したり、又は、アンプを設けること
なく、両センサ出力端子１４Ａ、１４Ｂの出力レベルを
等しくするようにしてもよい。 更に前記実施例は、投影画像４Ａに対してセンサー７を
移動させるものであるが、これは、例えば載物台３を移
動させることにより投影面１４Ａをセンサー７に対して
移動するようにしてもよい。 又、上記実施例は、投影機においてそのスクリーン上の
投影画像のエツジを測定する場合のものであるが、本発
明はこれに限定されるものでなく、透過光又は反射光を
検出して、直接的又は間接的に測定対象物の寸法測定を
するための光学式測定製器におけるエツジ検出装置に一
般的に適用されるものである。 従って、例えば、光学格子を形成したメインスケール及
びインデックススケールの相対移動から、光電的に寸法
等を測定するための光電式測長器、あるいはレーザー光
等により測定対象物を平行走査して、その明部と暗部か
ら該測定対象物の寸法等を測定する測定機器等における
エツジ検出装置にも適用されるものである。

【発明の効果】 本発明は上記のように構成したので、受光素子を利用し
た光学式測定機器におけるエツジ検出装置において、測
定対象物が半透明ガラス製品等の、光を完全に遮断する
ことができない物質の場合で　　−あっても、確実に、
且つ精度高（エツジを検出することができるという優れ
た効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る光学式測定機器におけるエツジ検
出装置を投影機に実施した場合の実施例を示す光学系統
図、第２図は同実施例の構成を示すブロック図、第３図
は同実施例における信号処理の過程を示す線図である。 ４・・・測定対象物、　　　４Ａ・・・投影画像、１２
・・・センサー、 １２Ａ１１２Ｂ・・・受光素子、 １６・・・差演算器、　　　１８・・・領域信号発生器
、２ｏ・・・検知手段、　　　２６Ａ・・・第１の比較
器、２６Ｂ・・・第２の比較器、 ２８Ａ・・・第１の双安定マルチバイブレータ、２８Ｂ
・・・第１の双安定マルチバイブレータ、３ｏ・・・エ
クスクル−シブＯＲゲート、３２・・・比較器、　　　
　３４・・・パルス信号発生器、３６・・・ＡＮＤゲー
ト。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）透過光又は反射光を検出して、直接的又は間接的
   に測定対象物の寸法測定をするための光学式測定機器に
   おけるエッジ検出装置において、前記測定対象物との相
   対移動時に生ずる明暗に基づき、位相ずれ信号を発生す
   るよう移動面と略平行な面内に配設された複数の受光素
   子を含み、前記受光素子の出力に基づくセンサ出力信号
   のセンサ出力端子におけるレベルが、前記相対移動時に
   生ずる明及び暗のそれぞれの時に等値となるよう形成さ
   れたセンサーと、このセンサーにおける前記センサ出力
   端子に接続され、前記位相ずれ信号の差を演算する差演
   算器と、この差演算器の出力信号を入力信号とし、前記
   位相ずれ信号の基準レベル信号とのクロスポイントを含
   む特定領域で信号を出力する領域信号発生器と、この領
   域信号発生器から信号が出力されている間に、前記差演
   算器の出力信号と予め設定された基準レベル信号とのク
   ロス信号を出力する検知手段と、を設けたことを特徴と
   する光学式測定機器におけるエッジ検出装置。
2. （２）前記センサーは、同心円状に配置され、外周が円
   形とされると共に、その受光面積が等しくされた２個の
   受光素子からなることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の光学式測定機器におけるエッジ検出装置。
3. （３）前記領域信号発生器は、前記差演算器の出力信号
   を、前記基準レベル信号を間とする高位レベル及び低位
   レベルの参照信号と比較し、前記差演算器の出力信号の
   レベルがこれら高位レベルと低位レベルの間の範囲にあ
   る時領域信号を発生するウインドコンパレータを含むこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載の
   光学式測定機器におけるエッジ検出装置。
4. （４）前記領域信号発生器は、前記差演算器の出力信号
   と高位レベルの参照信号とを比較し、該出力信号が高位
   レベルの参照信号よりも大きい時信号を出力する第１の
   比較器と、前記差演算器の出力信号と低位レベルの参照
   信号とを比較し、該出力信号が低位レベルの参照信号よ
   りも小さい時信号を出力する第２の比較器と、前記第１
   の比較器の出力信号をトリガ信号とする第１の双安定マ
   ルチバイブレータと、前記第２の比較器の出力信号をト
   リガ信号とする第２の双安定マルチバイブレータと、前
   記第１及び第２の双安定マルチバイブレータにおける出
   力信号を入力信号とし、その一方のみが入力される時領
   域信号を発生するエクスクルーシブＯＲゲートと、を有
   してなる特許請求の範囲第１項、第２項又は第３項記載
   の光学式測定機器におけるエッジ検出装置。