JPH0321841B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

この発明は物体の寸法、変位量等を測定するた
めの光電式測定機器に係り、特に、測定対象物の
映像との相対移動時に生じる受光量変化に基づ
き、位相ずれ信号を発生するように、移動面と略
平行な面内に配設された複数の受光素子と、前記
位相ずれ信号を演算して零レベル基準信号と交差
する傾斜信号を出力する演算器と、この傾斜信号
と基準レベル信号とのクロスポイントをもつてエ
ツジ検出信号を発生するエツジ検出装置と、を含
む光電式測定機器の改良に関する。

【従来の技術】

従来この種光電式測定機器、例えば、拡大投影
機は、載物台上に測定対象物を平行な光線により
照射して、その透過光又は反射光に基づきスクリ
ーン上に該測定対象物の投影像を結像させ、この
結像から測定対象物の寸法形状等を測定するもの
であるが、スクリーンに投影された測定対象物の
像のエツジ（端部）は一般的にいわゆるにじみが
あり、従つて、載物台上の測定対象物を移動さ
せ、そのスクリーン上の結像とヘアラインとの一
致から測定値を正確に読み込むことは困難であ
る。 かかる問題点を解消するために、従来は、結像
のエツジを受光素子と相対移動させることによ
り、受光素子の受光面に投影された像の明部と暗
部との面積の割合の変化から受光素子から出力す
る電気信号の大きさの変化を、参照電圧と比較し
て、投影画像の端部を検出するものがある。 しかしながら、この方法は、外乱光等のノイズ
の影響が大きいとともに、受光素子から得られる
信号又は参照電圧の変動による測定精度の低下が
大きいという問題点がある。 更に、スクリーン上の投影画像の境界（エツ
ジ）に対して受光素子を相対移動させ、その時の
出力信号を２階微分して波形信号を得、これと参
照電圧との比較によつてエツジを検出するものが
あるが、受光素子と投影画像との相対移動速度の
大小によつて、検出されるエツジの位置が異なる
ことがあり、更に、前記と同様に参照電圧の変動
による測定精度の低下が大きいという問題点があ
る。 更に、受光素子を２個配置して、これを投影画
像のエツジに対して相対移動させ、これにより得
られた複数の出力信号から波形の信号を得、これ
と参照電圧との比較によつてエツジを検出するも
のがあるが、前記と同様に受光素子から得られた
出力信号と参照電圧との相対変化、レベル変動等
から測定が非常に不安定となり、更に、照射光線
の照度に対する適用範囲が狭く、又、測定態様が
限定されかつ、センサー部あるいは回路部分が複
雑になるという問題点がある。 特に、投影機においては、照射用の光源ランプ
の疲労、投影系のレンズ特性、外乱光によりスク
リーン上の投影画像の明るさが変化し、又、投影
倍率の切替により投影画像の明るさが変化した
り、更には測定者側の条件として、例えば測定者
の瞳の色（人種により異なる）により作業に好適
な明るさが異なるため、これを適宜に選択しなけ
ればならないが、前記のように照射光線の照度に
対する適用範囲が狭いと、結果として投影機の能
力を低下させてしまうことになる。 又、従来のエツジ検出方法では、投影画像のフ
オーカスがずれていた場合は、受光素子による出
力波形がなだらかになつてしまうので、正確なエ
ツジ検出ができないという問題点があつた。 この問題点は、投影機のみならず、一般的に透
過光又は反射光を検出して、直接的又は間接的に
測定対象物の寸法測定等をするための光電式測定
機器におけるエツジ検出に共通する問題である。 これに対して例えば動開昭58−173408号に開示
されるように、透過光又は反射光を検出して、直
接的又は間接的に測定対象物の寸法測定をするた
めの光学式測定機器におけるエツジ検出装置にお
いて、前記測定対象物との相対移動時に生ずる明
暗に基づき、少なくとも２組の位相ずれ信号を発
生するよう移動面と略平行な面内に配設された４
個の受光素子からなるセンサーと、前記各組の位
相ずれ信号の差を演算する第１及び第２の演算手
段と、これら第１及び第２の演算手段の出力信号
の差を演算する第３の演算手段及び和を演算する
第４の演算手段と、この第４の演算手段の出力信
号が所定レベルにある間に生じる、前記第３の演
算手段の出力信号と基準レベルのクロス信号を出
力する検知手段を設けたものが提案されている。 このエツジ検出装置は、測定対象物を照射する
光強度、測定中の外乱光等のノイズ、受光素子の
出力信号あるいは参照電圧の変動による影響を伴
なうことなく、しかも簡単な構成で、測定対象物
のエツジを検出することができ、又投影機におい
て投影画像の焦点ずれがあつても、正確にエツを
検出することができ、更に、受光素子からのアナ
ログ信号を直接処理することにより、測定対象物
のエツジを検出することができるという利点があ
る。 又、特開昭59−162404号公報に開示されるよう
に、測定対象物の映像の明領域と暗領域とにある
２つの光電素子の出力信号の差信号と、これらの
光電素子の中間位置にある基準光電素子から出力
される基準信号との交点をもつて一致信号を出力
する回路手段を設けたものがある。 上記特開昭58−173408号公報に開示されるエツ
ジ検出装置、及び特開昭59−162404号公報に開示
される装置によつて、実際に測定対象物の映像に
おけるエツジを検出する場合は、機械式アナログ
メータを感度調整用及び手動測定の場合のエツジ
検出モニターとして使用する。 前記光電式測定機器が、例えば、測定対象物の
映像をスクリーン上に拡大投影するようにした拡
大投影機の場合、光源、光学系あるいは測定対象
物の状態、更には作業者の好みによつてスクリー
ン上の影像の輝度が変化する。 一方エツジ検出のための受光素子等も経時的変
化を生じ、従つて、前記スクリーン上の輝度が高
過ぎると受光素子の出力を演算するための演算器
が飽和状態となつて精度を保障し得なくなると共
に、低過ぎる場合は、感度低下となり、エツジ検
出が不能となる。 従つて、エツジ検出系統の感度を適正なレベル
に設定しなければならないことになる。 即ち、受光素子がスクリーン上の映像のエツジ
を通過するときに発生する出力信号を演算した、
Ｓカーブ状の信号波形のプラス側及びマイナス側
のピーク値を、該Ｓカーブ波形の中間の零レベル
信号とクロスする部分の直線性が保障されるべく
適切な範囲に収まるように感度レベルを設定しな
ければならない。 このための方法としては、例えばセンターゼロ
タイプの直流電統計からなる機械式アナログメー
ターを、前記Ｓカーブ状の出力信号のモニターと
して用い、投影画像のエツジが、複数の受光素子
からなるセンサの中心に通過するときに発生する
Ｓカーブ出力に応じて振れる指針の左右、又は上
下の最大振幅がある一定の範囲内に収まるように
装置の感度調整をする。この感度調整は、検出出
力の電圧増幅段の利得調整によつて行う。 又、エツジ検出モニターとして使用する場合、
操作ハンドルによる手動又は自動的に載物台を移
動させて前記映像を受光素子に近づけて、エツジ
検出信号をメーターで確認しながら、エツジ検出
点において変位量を読取ることにより測定するも
のである。 即ち、複数の受光素子の出力信号を演算して、
例えば一対の位相ずれ信号の差信号を出力し、こ
の差信号の値を、エツジ検出信号が出力されてい
るときに、メーターで、その指針が零ポイントを
指すときにこれをエツジ検出点とするものであ
る。 このようなエツジ検出の手順を繰返して得た変
位量（座標）から、必要に応じて自動演算処理し
て、測定対象物の寸法、形状等を計測する。 このように、機械式アナログメーターを、機器
の感度調整のモニター及びエツジ位置検出のモニ
ターとして用いる場合、該アナログメーターの応
答性が悪いことから作業能率が低下し、又、アナ
ログメーターが振動、衝撃に弱いことから、零点
の狂いが生じ易く、零点の調整作業を頻繁に行わ
なければならないという問題点がある。又、アナ
ログメーターの取付け姿勢に制限があるという問
題点もある。 即ち、アナログメーターは一般的に可動コイル
を用いているために、コイルに流れる電流と指針
の動きにタイムラグがあり、又、電流の急速の変
化に指針が追従できないため、投影画像のエツジ
近傍ではセンサと投影画像の相対接近速度を極め
て低下させなければならず、又、タイムラグがあ
ることから、指針が零ポイントにきたところで投
影画像の相対移動を止めても、指針が慣性によつ
てそのまま短時間動いて止まるため、再び投影画
像を逆方向に戻してやらなければならないとい
う、いわゆるハンチング操作が必要となるため
に、測定作業能率が著しく低下するという問題点
がある。 又、メーターの指針を目視することによつてエ
ツジ検出点を確認しているので、作業者による読
取り誤差も生じ易く、作業者の熟練を要するとい
う問題点がある。 更に又、上記のようなエツジ検出作業を自動的
に行う場合、測定対象物の映像に対する受光素子
の相対移動速度によつて、測定精度が変つたり場
合によつては検出不能な事態も生ずることから、
受光素子の相対移動速度を制御するための種々の
装置が必要となり、装置の製造コストが増大して
しまうという問題点もある。

【発明が解決しようとする問題点】

この発明は、上記問題点に鑑みてなされたもの
であつて、ハンチング操作を伴うことなく測定対
象物あるいはその画像のエツジを正確且つ迅速に
モニタリングして検出できるようにした光電式測
定機器を提供することを目的とする。

【問題点を解決するための手段】

この発明は、測定対象物の映像との相対移動時
に生じる受光量変化に寒基づき、位相ずれ信号を
発生するように、移動面と略平行な面内に配設さ
れた複数の受光素子と、前記位相ずれ信号を演算
して零レベル基準信号と交差する傾斜信号を出力
する演算器と、この傾斜信号と基準レベル信号と
のクロスポイントをもつてエツジ検出信号を発生
するエツジ検出装置と、を含む光電式測定機器に
おいて、傾斜信号の、前記クロスポイントを含む
一定領域を時定するための領域信号発生器、この
領域信号発生器から領域信号が出力されている間
の前記傾斜信号の値を複数段階に分割する信号区
分器、この信号区分器により分割された区分に対
応して設けられた該区分と同数の表示手段を含
み、前記傾斜信号の値が属する区分に対応する表
示手段を作動させる接近表示装置、を含んで形成
されたモニター装置を備えることにより上記目的
を達成するものである。 又この発明は、前記信号区分器を分割すべき区
分の幅を変更可能に形成して上記目的を達成する
ものである。 又、この発明は前記信号区分器を、前記傾斜信
号の値が、前記基準レベル信号の値に近い区分程
その幅を小さくするように形成することにより上
記目的を達成するものである。 又、この発明は測定対象物の影像との相対移動
時に生じる受光量変化に基づき、位相ずれ信号を
発生するように、移動面と略平行な面内に配設さ
れた複数の受光素子、前記位相ずれ信号の差を演
算して零レベル基準信号と交差する差動出力信号
を出力する差演算器、この差動出力信号と基準レ
ベル信号とのクロスポイントを検出する検出手
段、この検出手段から出力される複数のクロス信
号の中からエツジ検出信号を特定するための領域
信号を出力する領域信号発生器を含んで形成され
たエツジ検出手段と、該領域信号発生器から領域
信号が出力されている間の前記差動出力信号の値
を前記クロスポイントを中心に複数段階に分割す
る信号区分器、この信号区分器により分割された
区分に対応して設けられた該区分と同数の表示手
段を含み、前記領域信号の値が属する区分に対応
する表示手段を作動させる接近表示装置、を備え
て形成されたモニター装置と、を設け、且つ、前
記信号区分器を、前記差動出力信号の値が、前記
基準レベル信号の値に近い区分程その幅を小さく
するように形成することにより上記目的を達成す
るものである。

【作用】

この発明においては、複数の受光素子から出力
され、且つ演算器によつて演算されて、零レベル
基準信号と交差する傾斜信号が、測定対象物の映
像のエツジに該当する点を中心として複数の区分
に分割され、且つ、各区分に対応して設けられた
表示手段が、傾斜信号の値が属する区分を表示す
ることにより、メーターを用いることなく、エツ
ジ検出点の近傍に傾斜信号があることを確認して
その範囲を定量的に捉えることができるようにし
ている。

【実施例】

以下本発明の実施例を図面に参照して説明す
る。 この実施例は、本発明を、投影機のエツジ検出
装置に適用したものであり、第１図ないし第４図
に示されるように、光源ランプ１０からの光をコ
ンデンサレンズ１２を介して載物台１４の下方か
ら、あるいは他の光路を介して載物台１４の上方
から、該載物台１４上の測定対象物１６を照射し
て、その透過光又は反射光に基づき、投影レンズ
１８を介してスクリーン２１上に、測定対象物１
６の投影画像１６Ａを結像させ、この投影画像１
６Ａにより、間接的に測定対象物１６の寸法測定
等をするための投影機２０であつて、前記投影画
像１６Ａとの相対移動時に生ずる明暗に基づき、
位相ずれ信号を発生するよう移動面と略平行な面
内に同芯状に配設された第１及び第２受光素子２
Ａ，２２Ｂを含み、両受光素子２２Ａ，２２Ｂの
出力に基づくセンサー出力信号のセンサー出力端
子２３Ａ，２３Ｂにおけるレベルが、前記相対移
動時に生ずる明及び暗のそれぞれの時に等値とな
るよう形成された受光センサー２４と、この受光
センサー２４における前記センサー出力端子２３
Ａ，２３Ｂに接続され、ここから出力される位相
ずれ信号ａ，ｂの差を演算し、零レベル基準信号
と交差する傾斜信号（差動出力信号）ｃ＝ａ−ｂ
を出力する差演算器２６と、この傾斜信号ｃと基
準レベル信号とのクロスポイントをもつてエツジ
検出信号ｍを発生するエツジ検出装置２８と、を
含む投影機２０において、前記傾斜信号ｃの、前
記クロスポイントを含む一定領域を特定するため
の領域信号発生器３０と、この領域信号発生器３
０から領域信号ｊが出力されている間の前記傾斜
信号ｃの値を複数段階に分割する信号区分器３２
と、この信号区分器３２により分割された区分に
対応して設けられた該区分と同数の表示手段を含
み前記傾斜信号ｃの値が属する区分に対応する表
示手段を作動させる接近表示装置３４と、から構
成されるモニター装置２９を備えたものである。 前記エツジ検出装置２８は、第３図に示される
ように、第１の比較器３６Ａ、これと並列の第２
の比較器３６Ｂ及びこれら第１及び第２の比較器
３６Ａ，３６Ｂの出力信号ｋ，ｌが入力されるエ
クスクルーシブORゲート３８とから構成されて
いる。 前記第１の比較器３６Ａ及び第２の比較器３６
Ｂのプラス側は、抵抗４０Ａ，４０Ｂを介してグ
ランドアースされている。 又、マイナス側には、前記傾斜信号ｃが入力さ
れるようになつている。 更に、これら第１の比較器３６Ａ及び第２の比
較器３６Ｂのプラス側と出力側とは、それぞれダ
イオード４２Ａ及び抵抗４４Ａ、ダイオード４２
Ｂ及び抵抗４４Ｂを介して接続されている。 前記第１の比較器３６Ａ側のダイオード４２Ａ
は、その出力側の電位がハイレベル「Ｈ」のとき
これを分圧して、プラス側の電位をΔVrefとする
ような特性とされている。 又第２の比較器３６Ｂ側のダイオード４２Ｂ
は、第２の比較器３６Ｂの出力側の電位に対し
て、プラス側の電位をΔVrefだけ低くするように
されている。 ここで、前記第１の比較器３６Ａ及び第２の比
較器３６Ｂは、プラス側の入力がマイナス側の入
力よりも大きいときに、ハイレベルの信号「Ｈ」、
又、両者の差が零以下の場合ローレベルの信号
「Ｌ」を出力するようにされている。 ここで、前記「Ｈ」，「Ｌ」及びΔVrefとの関係
は、次の式に示されるように設定される。 Ｈ−ΔVref＝Ｌ≒０ 前記領域信号発生器３０は、前記差演算器２６
の差動出力信号ｃと高位及び低位レベルの参照信
号とを比較して、該差動出力信号ｃが高位及び低
位レベル間にあるときホールド信号ｄ，ｅを形成
して、前記センサー出力信号ａ，ｂのうち一個の
センサー信号ｂをホールドし、このホールドされ
た高位ホールド信号を低位ホールド信号間に該出
力信号ｂがあることをもつて、前記位相ずれ信号
ｃの基準レベル信号とのクロスポイントを含む一
定領域で信号を出力するようにされている。 即ち、前記領域信号発生器３０は、前記差演算
器２６の差動出力信号ｃと高位レベル参照信号と
を比較し、該差動出力信号が高位レベルより低い
ときホールド信号ｄを出力する第３の比較器４４
Ａと、低位レベルの参照信号と比較し、該差動出
力信号ｃが低位レベルよりも高いときホールド信
号ｅを出力する第４の比較器４４Ｂと、前記第３
の及び第４比較器４４Ａ，４４Ｂから入力される
前記ホールド信号ｄ，ｅに基づき前記センサー２
４の一方のセンサー出力信号ｂをホールドし、且
つ、ホールド信号が入力されないとき該センサー
出力信号ｂをサンプリングする第１及び第２のサ
ンプルホールド回路４６Ａ，４６Ｂと、これら第
１及び第２のサンプルホールド回路４６Ａ，４６
Ｂの出力信号ｆ，ｇと前記センサー出力信号ｂと
を比較し、該出力信号ｆがセンサー出力信号ｂよ
りも小さいとき信号ｈを出力する第５の比較器４
８Ａと、前記出力信号ｇと前記センサー出力信号
ｂとを比較し、該出力信号ｇがセンサー出力信号
ｂよりも大きいとき信号ｉを出力する第６の比較
器４８Ｂと、前記第５及び第６の比較器４８Ａ，
４８Ｂの一方のみが信号を出力するとき領域信号
ｊを発生するエクスクルーシブORゲート５０
と、を備えて形成されている。 このエクスクルーシブORゲート５０の出力側
は、増幅器５２を介して前記接近表示装置３４に
接続されている。 前記信号区分器３２は、プラス側第１乃至第５
比較器５４Ａ乃至５４Ｅからなるプラス側比較器
列５４及びマイナス側第１乃至第５比較器５６Ａ
乃至５６Ｅからなるマイナス側比較器列５６と、
プラスの電圧V⁺が印加されるプラス側抵抗列５
８及びマイナスの電圧V^-が印加されるマイナス
側抵抗列６０とから構成されている。 前記プラス側抵抗列５８は、グランドアース側
のプラス側第１抵抗乃至第５抵抗５８Ａ乃至５８
Ｅ及びプラス側可変抵抗５８Ｆを直列に備えてい
る。 又、同様にマイナス側抵抗列６０もグランドア
ース側から、マイナス側第１乃至第５抵抗６０Ａ
乃至第60E及びマイナス側可変抵抗６０Ｆを直列
に備えている。 ここで、前記プラス側抵抗列５８及びマイナス
側抵抗列６０における各抵抗の抵抗値は、第１側
から第５側に漸次増大するようにされている。 即ち、第４図Ａに示されるように、信号区分器
３２による信号ｃ＝ａ−ｂの分割区分S₅〜S₁，
S₁′〜S₅′の幅が、零レベルの基準信号とのクロス
ポイント（エツジ）に近い程小さくなるようにさ
れている。 前記プラス側第１乃至第５比較器５４Ａ乃至５
４Ｅは、前記プラス側第１抵抗５８Ａ乃至５８Ｅ
に対応して配置され、それぞれの抵抗の高電位側
が、対応する比較器のマイナス入力側に接続され
ている。 又、同様に前記マイナス側第１乃至第５比較器
５６Ａ乃至第５６Ｅは、マイナス側第１乃至第５
抵抗６０Ａ乃至第６０Ｅに対応して配置され、そ
れぞれの抵抗の高電位側が対応する比較器のプラ
ス入力側に接続されている。 従つて、前記プラス側第１比較器５４Ａから第
５比較器５４Ｅまでは、プラス側抵抗列５８に印
加される電圧V⁺の分圧が、プラス側第１比較器
５４Ａから、プラス側第５比較器５４Ｅまで順次
高い電位でそれぞれのマイナス入力側に印加され
ることになる。 同様に、マイナス側第１比較器５６Ａ乃至第５
比較器５６Ｅのプラス入力側には、マイナス側抵
抗列６０に印加される電圧V^-が、電位の低い側
から順次分圧して印加される。 前記プラス側第１乃至第５比較器５４Ａ乃至第
５４Ｅのプラス入力側及び前記マイナス側第１乃
至第５比較器５６Ａ乃至第５６Ｅのマイナス入力
側には、それぞれ、前記差演算器２６の差動出力
信号である傾斜信号（ｃ＝ａ−ｂ）が入力される
ように接続されている。 前記プラス側第１乃至第５比較器５４Ａ乃至５
４Ｅ及びマイナス側第１乃至第第５比較５６Ａ乃
至５６Ｅの出力側には、それぞれ、プラス側第１
乃至第５アナログスイツチ６２Ａ乃至６２Ｅから
なるプラス側スイツチ列６２及びマイナス側第１
乃至第５アナログスイツチ６４Ａ乃至６４Ｅから
なるマイナス側スイツチ列６４が接続されてい
る。 又、これらのアナログスイツチ６２Ａ乃至６２
Ｅ及び６４Ａ乃至６４Ｅに対応して、発光ダイオ
ードからなり、プラス側表示手段列６６を構成す
るプラス側第１乃至第５表示手段６６Ａ乃至６６
Ｅ及びマイナス側表示手段６８を構成するマイナ
ス側第１乃至第５表示手段６８Ａ乃至６８Ｅがそ
れぞれ接続されている。 前記スイツチ列６２，６４及び表示手段列６
６，６８は、前記接近表示装置３４を構成してい
る。 ここで前記プラス及びマイナス側第５表示手段
６６Ｅ，６８Ｅの点灯色はグリーン、第４乃至第
１表示手段６６Ｄ〜６６Ａ及び６８Ｄ〜６８Ａの
点灯色はアンバーとされている。 前記プラス側第２乃至第５アナログスイツチ６
２Ｂ乃第６２Ｅは、プラス側第１乃至第４比較器
５４Ａ乃至第５４Ｄの出力信号が、トリガ信号と
して入力され、該信号がハイレベル「Ｈ」のとき
オンされ、ローレベル「Ｌ」のときオフとなるよ
うにされている。 又、前記マイナス側第２乃至第５アナログスイ
ツチ６４Ｂ乃至６４Ｅは、前記マイナス側第１乃
至第４比較器５６Ａ乃至５６Ｄの出力信号がトリ
ガ信号として入力され、該出力信号がハイレベル
「Ｈ」のときオンされ、ローレベル「Ｌ」のとき
オフとなるようにされている。 又、前記プラス側第１アナログスイツチ６２Ａ
は、NOT回路７０を介して前記第１の比較器３
６Ａの出力側に接続され、該第１の比較器３６Ａ
の出力信号ｋが転換された信号k′をトリガ信号と
して、該信号k′がハイレベル信号のときにオンさ
れるようになつている。 即ち、第１の比較器３６Ａの出力が「Ｌ」のと
き、NOT回路７０により極性転換されたハイレ
ベル信号「Ｈ」が入力されるときにオンされるも
のである。 又、前記マイナス側第１アナログスイツチ６４
Ａは、前記第６の比較器４８Ｂの出力信号ｌをト
リガ信号として、該出力信号ｌがハイレベルのと
きオンされるようになつている。 前記プラス側第１乃至第５表示手段６６Ａ乃至
６６Ｅ及びマイナス側第１乃至第５表示手段６８
Ａ乃至６８Ｅは、抵抗７２を介して前記増幅器５
２の出力側に接続されている。 又、前記増幅器５２の出力側と、前記エツジ検
出装置２８におけるエクスクルーシブORゲート
３８との間には、抵抗７４を介して赤色の発光ダ
イオードからなるエツジ表示手段７６が直列に配
設されている。 ここで前記各表示手段６６Ｅ〜６６Ａ，７６，
６８Ａ〜６８Ｅは、第４図Ｃに示されるようにこ
の順で配列されている。第４図Ｂは、表示手段及
び点灯される範囲を示す。 又、第５図に示されるように、前記センサー２
４における前記第１受光素子２２Ａの、外周に隣
接する一部は第１の不感帯７８Ａとされ、且つ、
前記第２受光素子２２Ｂの、前記第１の不感帯７
８Ａの径方向外側に隣接する一部は、内周から外
周に亘つて第２の不感帯７８Ｂとされると共に、
前記第１受光素子２２Ａの信号引出線８０が、前
記第１の不感帯７８Ａにおいて前記第１受光素子
２２Ａに接続されると共に、前記第２の不感帯７
８Ｂを通つて前記第２受光素子２２Ｂの外側に導
出するように配置されている。 前記第１の不感帯７８Ａ及び第２の不感帯７８
Ｂは、前記第１受光素子２２Ａの中心から一定角
度で放射方向に拡がる同一の扇形領域の一部とし
て、第１受光素子２２Ａ及び第２受光素子２２Ｂ
を切欠いて、その空間部に形成されたものであ
る。 前記信号引出線８０は、第１の不感帯７８Ａ内
において受光素子２２Ａに接続されると共に、凹
部となつた第２の不感帯７８Ｂ内を通り、第２の
受光素子２２Ｂの外側に至るように配線されてい
る。 前記信号引出線８０の第１受光素子２２Ａ側の
接続端部８１は、第６図に示されるように、扇形
の第１の不感帯７８Ａを埋める扇形の接続先端部
８１Ａと、この接続先端部８１Ａの基端側から延
在し、前記第２の不感帯７８Ｂ内を第２受光素子
２２Ｂの端部に接触しないように貫通する細径の
引出部８１Ｂからなり、この引出部８１Ｂの外端
に信号引出線８０の本体が接続されている。 第５図、第６図の符号５８は第１受光素子２２
Ａ及び第２受光素子２２Ｂが取付けられているチ
ツプ、８４は第２受光素子２２Ｂの信号引出線を
それぞれ示す。 前記第１受光素子２２Ａと第２受光素子２２Ｂ
の間の隙間８６は、絶縁材を充填しない状態で、
10μｍ程度あればよい。 又、この実施例において、前記第１受光素子２
２Ａ，２２Ｂの、受光面８８Ａ，８８Ｂは受光セ
ンサー２４の中心軸に対して直交する同一平面上
にあるように面一に形成されている。 更に、これら受光面８８Ａ，８８Ｂは、その有
効受光面積が同一となるようにされている。 前記信号引出線８０の一部である接続端部８１
は、前記第１受光素子２２Ａ及び第２受光素子２
２Ｂの受光面８８Ａ，８８Ｂよりも引込んだ位置
に配置されている。 前記センサーは、第１図に示されるように、投
影機２０のスクリーン２１の上面にこれと平行に
かつ摺動可能に載置された透明板９０と一体的に
設けられ、これにより載物台１４の移動に伴なう
投影画像１６Ａがセンサー２４に対して相対移動
できるようにされている。 ここで、前記センサー２４は、前記第１及び第
２受光素子２２Ａ，２２Ｂの他に、第１受光素子
２２Ａ及び受光素子２２Ｂの出力を変換するため
の電流−電圧変換器９２Ａ，９２Ｂ及びこれらの
出力電圧を増幅するためのアンプ９４Ａ，９４Ｂ
を備えている。 これらのアンプ９４Ａ及び９４Ｂは、全暗で、
前記第１及び第２受光素子２２Ａ，２２Ｂの暗電
圧をキヤンセルするようにオフセツト調整される
とともに、全明で、センサー出力端子２３Ａ，２
３Ｂでの出力が同一レベルとなるようにゲインの
調整がなされている。 検出されたエツジに基づき、自動的に寸法等を
記憶する場合は、前記エクスクルーシブORゲー
ト３８からハイレベル信号が出力されたとき、こ
れに基づいてエツジパルス信号を発生するパルス
信号発生器９６と、このパルス信号発生器９６及
び前記領域信号発生器３０の両者から信号が出力
されているときのみエツジ検出信号を出力する
ANDゲート９８と、を設ける。このANPゲート
９８からの出力信号は、載物台１４に連動する変
位検出装置１００のカウンタ１０２にエツジ検出
信号を出力するようにされている。 この変位検出装置１００は、前記載物台１４に
運動してその移動量に応じてパルス信号を発生す
るエンコーダ１０４と、このエンコーダ１０４か
ら出力されるパルス信号を読取る前記カウンタ１
０２とから構成されている。 このカウンタ１０２は、前記ANPゲート９８
からエツジ検出信号が入力されるときに、その読
取り値を記憶装置１０６に出力するようにされて
いる。 次に上記実施例の作用を説明する。 スクリーン２１上に結像された測定対象物１６
の投影画像１６Ａを、センサー２４に対して一方
向に相対的に移動させ、投影画像１６Ａのエツジ
がセンサー２４を横切るようにする。 投影画像１６Ａが、センサー２４に相対的に接
近しかつこれを通過した場合は、第１及び第２受
光素子２２Ａ及び２２Ｂにより得られ、且つ、電
流−電圧変換器９２Ａ，９２Ｂを経てアンプ９４
Ａ，９４Ｂにより調整されて、センサー出力端子
２３Ａ，２３Ｂから発生する出力信号は、第７図
Ａに符号ａ及びｂによつて示されるように、振幅
の等しい位相ずれ信号となる。これらの出力信号
は、第７図Ｂに示されるように、差演算器２６に
よりｃ＝ａ−ｂに演算され、前記領域信号発生器
３０の第３及び第４の比較器４４Ａ及び４４Ｂに
それぞれ入力される。 一方、前記センサー出力端子２３Ｂからの出力
信号ｂも、前記領域信号発生器３０の第１及び第
２のサンプルホールド回路４６Ａ，４６Ｂにそれ
ぞれ入力される。 第７図Ｃに示されるように、前記第３の比較器
４４Ａは、参照電圧Vref＋と入力信号ｃとを比
較して信号ｃがVref＋よりも小さいときサンプ
リング信号ｂを前記第１のサンプルホールド回路
４６Ａに出力する。又、第７図Ｄに示されるよう
に、前記第４の比較器４４Ｂは、入力された信号
ｃと参照電圧Vref−とを比較して、信号ｃが
Vref−よりも小さい時サンプリング信号ｅを第
２のサンプルホールド回路４６Ｂに出力する。な
お、前記第３及び第４の比較器４４Ａ，４４Ｂ
は、チヤタリング防止のため第７図Ｂに示される
如く、ヒステリシス特性を持たせてある。 前記第１及び第２のサンプルホールド回路４６
Ａ，４６Ｂは、第３の比較器４４Ａからサンプリ
ング信号ｄが出力されているとき及び第４の比較
器４４Ｂからサンプリング信号ｅが出力されると
き、センサー出力信号ｂのサンプリングを行うと
共に、これらサンプリング信号ｄ及びｅが出力さ
れていないときは、各々サンプリングの最終時点
での信号値をホールドするようにされている。 従つて、これらサンプルホールド回路４６Ａ，
４６Ｂは、第７図Ｅにおいて破線及び一点鎖線で
示されるようにハイホールド信号ｆ及びローホー
ルド信号ｇをそれぞれ第５の比較器４８Ａ及び第
６の比較器４８Ｂに出力するようにされている。 これら第５の比較器４８Ａ及び第６の比較器４
８Ｂは、第７図Ｆ，Ｇに示されるように、入力さ
れたハイホールド信号ｆ及びローホールド信号ｇ
を前記センサー出力信号ａと比較して、これらハ
イホールド信号ｆ及びローホールド信号ｇがセン
サー出力信号ｂよりも大きいときにそれぞれ信号
をｈ及びｉをエクスクルシーブORゲート５０に
出力する。 このエクスクルーシブORゲート５０は、第５
の比較器４８Ａ及び第６の比較器４８Ｂの一方の
みから信号が出力されている時に、第７図Ｈに示
されるように「１」のデジタル信号ｊを出力す
る。 一方、前記差演算器２６によつて出力される差
動出力信号ｃは第３図に示されるように、信号区
分器３２に入力される。 この信号区分器３２は、前述の如く、プラス側
抵抗列５８及びマイナス側抵抗列６０を備え、そ
れぞれに印加された電圧V⁺及びV^-を分圧して、
対応するプラス側第１乃至第５比較器５４Ａ乃至
５４Ｅ及びマイナス側第１乃至第５比較器５６Ａ
乃至５６Ｅに印加する。 前記差動出力信号ｃはプラス側第１乃至第５比
較器５４Ａ乃至５４Ｅのプラス入力側に、又、マ
イナス側第１乃至第５比較器５６Ａ乃至５６Ｅの
マイナス入力側にそれぞれ入力される。 差動出力信号ｃの値が、例えばプラス側から零
の基準レベル信号に接近するときについて説明す
る。 まず、差動出力信号ｃの値が第４図Ａにおける
S₅の区分に到達すると、この値が、プラス側第５
比較器５４Ｅのマイナス側に印加された電圧より
も低くなるために、該プラス側第５比較器５４Ｅ
はローレベルの信号「Ｌ」をプラス側第５アナロ
グスイツチ６２Ｅに出力する。 このとき、該差動出力信号ｃの値は、プラス側
第４比較器５４Ｄのマイナス側に印加された電圧
よりも大きいために、該プラス側第４比較器５４
Ｄはハイレベル信号「Ｈ」を出力する。 このプラス側第４比較器５４Ｄの出力信号
「Ｈ」は、プラス側第５アナログスイツチ６２Ｅ
のトリガ信号として作用し、これをオンさせる。 一方、前記プラス側第１乃至第５表示手段６６
Ａ乃至６６Ｅ及びマイナス側第１乃至第５表示手
段６８Ａ乃至６８Ｅにはそれぞれ前記領域信号発
生器３０から出力される領域信号に基づいて増幅
器５２を介して差動信号が出力されている。 従つて、プラス側第５スイツチ６２Ｅのオンに
より、これがオン状態になり、且つ、プラス側第
５比較器５４Ｅの出力が「Ｌ」であるために、プ
ラス側第５表示手段６６Ｅの両端子に電位差が生
じ、これによつて、該プラス側表示手段６６Ｅは
点灯されることになる。 なおこのとき、プラス側第４乃至第１比較器５
４Ｄ乃至第５４Ａの出力がいずれもハイレベル
「Ｈ」であるので、プラス側第４乃至第１アナロ
グスイツチ６２Ｄ乃至６２Ａはいずれもオンとさ
れても、他の表示手段が点灯されることはない。 次に、差動出力信号ｃの値が第４図Ａにおいて
区分S₄に入ると、プラス側第４比較器５４Ｄの出
力が「Ｈ」から「Ｌ」に代わるために、プラス側
第５アナログスイツチ６２Ｅがオフとなり、これ
に対応するプラス側第５表示手段６６Ｅが消灯さ
れる。 又、プラス側第４アナログスイツチ６２Ｄがオ
ンされていて、対応するプラス側第４表示手段６
６Ｄが点灯される。 このようにして、差動出力信号が零の基準レベ
ル信号に近づくに従つて、区分S₅からS₁に対応す
るプラス側第５乃至第１表示手段６６Ｅ乃至６６
Ａが順次点灯、消灯する。 ここで、プラス側第１アナログスイツチ６２Ａ
のトリガ信号としては、前記エツジ検出装置２８
の第１の比較器３６Ａの出力信号ｋがNOT回路
７０を介して信号k′として入力される。 この第１の比較器３６Ａの出力信号ｋは、マイ
ナス側から入力される前記差動出力信号ｃの値が
プラスの間は、ローレベル「Ｌ」であり、これが
NOT回路７０において転換されて、ハイレベル
信号「Ｈ」となつてプラス側第１アナログスイツ
チ６２Ａに入力される。 差動出力信号ｃの値が零の基準レベル信号と一
致するとき、第８図Ｂに、示されるように、第１
の比較器３６Ａの出力信号ｋが「Ｌ」から「Ｈ」
になり、NOT回路７０で変換されて信号k′が
「Ｌ」となり、プラス側第１アナログスイツチ６
２Ａのトリガ信号として入力されることにより、
該プラス側第１アナログスイツチ６２Ａがオフさ
れて、対応するプラス側第１表示手段６６Ａが消
灯される。 又、同時に、前記第１の比較器３６Ａのハイレ
ベル状態の出力信号ｋは、エクスクルーシブOR
ゲート３８に出力される。 一方、第２の比較器３６Ｂは、差動出力信号が
プラスの間は、第８図Ｃに示されるように、その
出力信号は「Ｌ」であり、且つ、ダイオード４２
Ｂ及び抵抗４３Ｂによつて、該第２の比較器３６
Ｂのプラス側に入力される信号値は、−ΔVrefに
下げられているので、差動出力信号Ｃの値が、零
の基準レベル信号とクロスしてから、マイナス
ΔVrefになるまでの間、第２の比較器３６Ｂの出
力信号「Ｌ」に維持され、−ΔVref以下になつて
「Ｈ」となる。 従つて、第８図Ｂに示されるように、第１の比
較器３６Ａの出力信号ｋは、零の基準レベル信号
と交差するまでの間「Ｈ」、交差後は「Ｌ」とな
り又、第２の比較器３６Ｂの出力信号ｌは第８図
Ｃに示されるように、差動出力信号ｃの値が−
ΔVrefに到達するまで「Ｌ」、到達以後は「Ｈ」
となり、前者の立下り及び後者の立上りの間の時
間ｔだけへエクスクルーシブORゲート３８への
入力信号が共に「Ｌ」となる。 従つて、第８図Ｄに示されるように、この時間
ｔの間だけ、エクスクルーシブORゲート３８の
出力ｍは「Ｌ」となり、該時間ｔの間だけ、エツ
ジ表示手段７６の前後に電位差が生じ、この間、
第８図Ｅに示されるように、該エツジ表示手段７
６が点灯されることになる。 又、差動出力信号ｃがマイナス側から零の基準
レベル信号に到達するときは、前記と逆の順に、
マイナス側第５乃至第１表示手段６８Ｅ乃至６８
Ａが順次点灯、消灯し、基準レベル信号と交差す
るときに、エツジ表示手段７６が点灯される。 この場合、第９図Ａ，Ｃに示されるように第２
の比較器３６Ｂの出力信号ｌは、差動出力信号ｃ
の値がマイナスの間、「Ｈ」であり、該第２の比
較器３６Ｄのプラス入力側には、そのレベル
「Ｈ」から、ダイオード４２Ｂ及び抵抗４３Ｂに
よつてΔVrefだけ低下された電位即ち略零に等し
い電位が印加されている。 従つて、差動出力信号ｃの値が零の基準レベル
信号に交差する時点で、第２の比較器３６Ｂの出
力信号ｌが「Ｈ」から「Ｌ」に立下る。 一方、第１の比較器３６Ａ側は、差動出力信号
ｃがマイナスの間、その出力信号ｋは「Ｈ」であ
るが、第９図Ｂに示されるように、該第１の比較
器３６Ａの出力側は、抵抗４３Ａ、ダイオード４
２Ａ及び抵抗４０Ａを介してグランドアースされ
ると共に、ダイオード４２Ａと抵抗４０Ａとの間
で、第２の比較器３６Ａのプラス入力側に接続さ
れているので、該プラス入力側には、「Ｈ」の他
の信号のΔVrefに相当する分圧が印加されてい
る。 従つて、該第１の比較器３６Ａの出力信号ｋ
は、差動出力信号Ｃの値がΔVrefになるまでの間
「Ｈ」に維持され、ΔVrefに到達すると「Ｌ」と
なる。 従つて、第９図Ｂ，Ｃに示されるように、エク
スクルーシブORゲート３８の入力は、差動出力
信号ｃの値が零からΔVrefの間だけ共に「Ｌ」と
なり、その前後は一方が「Ｈ」、他方が「Ｌ」と
なり、該エクスクルーシブORゲート３８の出力
ｍは、第９図Ｄに示されるように、入力信号が共
に「Ｌ」の間（時間ｔ）だけ「Ｌ」、その他の間
は「Ｈ」となる。 このため、該エクスクルーシブORゲート３８
の出力ｍが「Ｌ」の間、即ち時間ｔの間は、エツ
ジ表示手段７６の前後に電位差が生じ、該エツジ
表示手段７６が点灯されることになる。 即ち、前記エツジ検出装置２８は、差動出力信
号ｃの波形の傾き如何に拘わらず、常に、差動出
力信号が零の基準レベル信号と一致するときにエ
ツジ表示手段７６を点灯させ、時間ｔの後に消灯
させるように作動する。 以上は投影画像１６Ａのエツジを検出するまで
の過程を述べたものであるが、このエツジ検出の
際に、自動的に測定値を読取る場合は、次のよう
な順序でこれを行う。 即ち、前記エツジ検出装置２８におけるエクス
クルーシブORゲート３８の出力ｍが「Ｌ」とな
るときに作動されるパルス信号発生器９６からの
パルス信号ｐ及び、領域信号発生器３０のエクス
クルーシブORゲート５０の出力信号が共にAND
ゲート９８に入力されるとき、該ANDゲート９
８の出力に基づいて、変位検出装置１００におけ
るカウンタ１０２を作動させ、該信号が入力され
たときに、該カウンタ１０２における読取り値を
記憶装置１０６に出力して、載物台１４上の測定
対象物１６のエツジの位置を読取る。 なお上記実施例において、信号区分器３２によ
つて分割された区分は、プラス側抵抗列５８及び
マイナス側抵抗列６０に印加される電圧V⁺及び
V^-の値を分圧することによつて形成されるもの
であるが、各区分の幅を増減する場合は、これら
抵抗列におけるプラス側可変抵抗５８Ｆ及びマイ
ナス側可変抵抗６０Ｆを調整することよつて行
う。 この実施例においては、投影画像１６Ａのエツ
ジ検出は、機械式アナログメータを用いることな
く、発光ダイオードからなる表示手段によつてエ
ツジの前後においてその位置を明確にし、測定作
業能率を大幅に向上させることができる。 特に、機械式アナログメータを用いていないの
で、ハンチング操作が不要となり、迅速にエツジ
を検出することができると共に、振動衝撃等によ
る狂いが少なく、又取付け方向にも制限がないと
いう利点がある。 更に、感度調整用のモニターとして前記信号区
分器３２及び接近表示装置３４を用いる場合、信
号区分器３２におけるプラス側可変抵抗５８Ｆ及
びマイナス側可変抵抗６０Ｆを調整することによ
つて、簡単に感度調整作業ができるという利点が
ある。 又、エツジ検出も、エツジ表示手段７６によつ
て、タイムラグなく確実に検出できる。 更に、エツジ検出を自動的に行う場合は、パル
ス信号発生器９６をエクスクルーシブORゲート
３８の出力信号に基づいて作動させ、ANPゲー
ト９８及び変位検出装置１００によつて、容易確
実に検出することができる。 更に、上記実施例において、信号区分器３２に
よる区分は、零レベルの基準信号即ちエツジ位置
に近い程その幅が狭くなるように設定されている
ので、エツジへの接近状態を把握して、オーバー
ラン及びその修正のためのハンチング操作を防止
できると共に、より正確にエツジを検出すること
ができるという利点がある。 上記は、正常に測定ができた場合のものである
が、測定環境によつては、光学的、電気的ノイズ
や載物台１４の振動等を原因として、前記差動出
力信号ｃが一時的に変動を生じることがある。 この場合、従来の検出装置においては、領域信
号発生できなくなつたり、あるいは差動出力信号
と基準信号とのクロスポイント、即ちエツジの位
置でない時点で領域信号が出力されたりするた
め、エツジの検出が不能となることがあつた。 上記実施例においては、例えば第１０図に示さ
れるように載物台１４の振動によつてセンサー出
力信号ａ及びｂが振動中心線１０８を中心として
１回振動した場合、これらセンサー出力信号ａ及
びｂは第１０図Ａに示されるようになる。 従来のエツジ検出装置の場合は、差動出力信号
等検知すべき信号自体の振動、変動で配慮されて
いないから、これらセンサー出力信号ａ及びｂが
振動中心線１０８の位置において落込んだときに
誤つて信号が発生されることが多い。この実施例
の場合、第１０図Ｅに示されるように前記センサ
ー２４の振動によつてハイホールド信号ｆが変動
して、これに応じて、第５の比較器４８Ａの出力
信号ｈが出力され、且つ、エクスクルーシブOR
ゲート５０からデジタル信号ｊも出力されるが、
このエクスクルーシブORゲート５０から出力さ
れる領域信号ｊ自体が前記振動によつてシフトさ
れることはない。即ち、差動出力信号の振動等が
発生したとしても、これに影響されず、クロスポ
イントを含む領域を確実に特定できる。 従つて、エツジ検出装置２８からの出力信号ｍ
と重なり合う時点で領域信号ｊが出力されて、こ
れにより、エツジ表示手段７６が点灯され、且
つ、ANDゲート９８からエツジ信号ｍが出力さ
れることになる。 記憶装置１０６に記憶された信号は、他の演算
装置に出力されたり、プリントアウトされたり、
あるいは、デイスプレイに表示されることにな
る。 又、この実施例において、第１受光素子２２Ａ
の信号引出線８０は、該第１受光素子２２Ａに形
成された第１の不感帯７８Ａにおいて第１受光素
子２２Ａに接続されているので、第１受光素子２
２Ａと第２受光素子２２Ｂとの間に、信号引出線
８０を接続するためのスペースが不要となる。 このため、第２受光素子２２Ｂの外径を、その
受光面積を縮小することなく、小さくすることが
でき、受光センサー２４全体の小型化を図ること
ができる。 従つて、これら第１受光素子２２Ａ及び第２受
光素子２２Ｂが取付けられているチツプ８２の大
きさは、一辺が１mmの正方形とすることができ
る。 又、第１及び第２受光素子２２Ａ，２２Ｂの全
体の外径を小さくすることができるので、測定対
象物の測定可能な最小外形寸法を小さくすること
ができ、測定対象物の曲率が小さい場合において
も、そのエツジ等の検出が可能となる。 又、上記実施例において、第１受光素子２２Ａ
の信号引出線８０は、第２受光素子２２Ｂを切欠
いて形成された第２の不感帯７８Ｂ内を通る引出
部８１Ｂを介して外部に導出されているので、該
信号引出線８０によつて第２受光素子２２Ｂの受
光面８８Ｂに影が生じることがなく、従つて、セ
ンサー出力のＳ／Ｎ比の改善を図ることができ
る。 更には、前記信号引出線８０を、第２受光素子
２２Ｂの受光面８８Ｂから浮かせて配線したり、
且つ、スクリーン２１と信号引出線３０との干渉
を避けるために、第１及び第２受光素子２２Ａ，
２２Ｂの受光面８８Ａ，８８Ｂと、スクリーン２
１との間のクリランスを大きく取つたりする必要
がないために、第１及び第２受光素子２２Ａ，２
２Ｂの受光面８８Ａ，８８Ｂを、スクリーン２１
により接近させて相対移動させることができ、従
つて、受光量を増大させて、Ｓ／Ｎ比の改善を図
ることができる。 ここで、上記実施例において、測定対象物１６
が、例えば半透明硝子製品からなる、光を完全に
遮断できない質の場合、第６図Ａ及び第７図Ａに
それぞれ示されるように、暗部におけるセンサー
出力信号ａ及びｂは該センサー出力信号を明にお
いて「１」、全暗において「０」とした場合に、
０よりも大きく、「１」に接近した値となる。 この場合、これらセンサー出力信号ａ又ｂは自
体を参照電圧Vref−と比較すると該参照信号
Vref−との交点を得ることができず、このため
に、領域信号を得ることができない場合がある。 この実施例においては、領域信号を差演算器２
６の差動出力信号即ちｃ＝ａ−ｂに基づいて形成
するようにしているので、測定対象物１６が半透
明素材の場合であつても、確実に領域信号を得る
ことができる。 又、この実施例においては、センサー２４を構
成する第１及び第２受光素子２２Ａ，２２Ｂが、
同芯円状に形成され、且つこれらによつて発生す
るセンサー出力端子２３Ａ，２３Ｂにおける信号
の出力レベルが等しくされているので、第１及び
第２受光素子２２Ａと２２Ｂの境界線と移動方向
が一致することなく、センサー２４の投影画像１
６Ａに対する相対的移動方向の如何にかかわら
ず、均一の出力の信号を得ることができ、従つて
センサーの、被測定物に対する相対移動方向の制
限がなく、高精度にエツジ検出を行うことができ
る。 ここで、前記第１不感帯７８Ａ及び第２不感帯
７８Ｂの方向と、センサー２４の移動方向とが一
致した場合、センサー出力の低下があるが、これ
ら第１の不感帯７８Ａ及び第２の不感帯７８Ｂ
は、第１受光素子２２Ａの中心から一方にのみ放
射方向に形成されているので、第１及び第２の不
感帯７８Ａ，７８Ｂの反対側部分では受光が可能
であり、従つて、センサー２４の移動方向と第１
及び第２の不感帯７８Ａ，７８Ｂの方向とが一致
しても、エツジの検出を行うことができる。 又、前記実施例において、第１及び第２受光素
子２２Ａ，２２Ｂは、その受光面積が等しくされ
ることによつて、センサー出力端子２３Ａ，２３
Ｂが等しくなるようにされているが、これは、セ
ンサー出力端子２３Ａと２３Ｂにおける出力信号
が同一レベルとなるものであればよく、従つて、
受光素子２２Ａ，２２Ｂとセンサー出力端子２３
Ａ，２３Ｂとの間にアンプを配置したり、又は、
アンプを設けることなく、両センサー出力端子２
３Ａ，２３Ｂの出力レベルを等しくするようにし
てもよい。 なお上記実施例において、信号区分器３２によ
り分割された区分の数はクロスポイントを挟んで
上下各５個とされているが、本発明はこれに限定
されるものではなく、その数及び各区分の幅は限
定されるものではない。 又、この信号区分器３２は、差演算器２６の差
動出力信号Ｃを適宜数に区分できるものであれば
よく、実施例の構成に限定されない。 更に又、差演算器２６は、第１受光素子２２Ａ
及び第２受光素子２２Ｂの出力信号を演算して、
零レベル基準信号と交差する傾斜した波形の信号
を形成できるものであればよく、他の構成であつ
てもよい。従つて例えば前述の特開昭58−173408
号公報、あるいは特開昭59−162404号公報に開示
されるような、３以上の複数の受光素子の出力信
号を演算処理して、零レベルの基準信号と交差す
る傾斜した波形の信号を形成するようにしてもよ
い。 更に又、前記領域信号発生器３０は、傾斜信号
と零レベルの基準信号とのクロスポイントを含む
一定領域で信号を発生することができるものであ
れば、実施例の回路構成に限定されない。 又、接近表示装置３４についても、信号区分器
３２に対応して設けられて、対応する区分に信号
値のあるときにこれを表示するものであれ、実施
例に限定されない。 更に前記実施例は、載物台１４を移動させるこ
とにより投影画像１６Ａをセンサー２４に対して
移動させるものであるが、これは、投影画像１６
Ａに対してセンサー２４を移動させるようにして
もよい。 又、上記実施例は、投影機においてそのスクリ
ーン上の投影画像のエツジを測定する場合のもの
であるが、本発明はこれに限定されるものでな
く、透過光又は反射光を検出して、直接的又は間
接的に測定対象物の寸法測定をするための光電式
測定機器に一般的に適用されるものである。

【発明の効果】

本発明は上記のように構成したので、光学機器
における出力信号の参照信号とのクロスポイント
のハンチング操作を行うことなく、モニタリング
して、能率的に確実に検出することができるとい
う優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る光電式測定機器における
受光センサー構造を投影機に実施した場合の実施
例を示す光学系統図、第２図は同実施例の構成を
示すブロツク図、第３図は同実施例の要部の構成
を示すブロツク図、第４図は同実施例における受
光素子の差動出力信号と分割区分及び表示手段と
の関係を示す線図、第５図は同実施例における第
１及び第２受光素子と信号引出線の関係を示す拡
大平面図、第６図は第５図の−線に沿う断面
図、第７図は同実施例における信号処理の過程を
示す線図、第８図及び第９図は同実施例のエツジ
検出装置における信号処理過程を示す線図、第１
０図は同実施例のセンサーの出力変動時における
信号処理の過程を示す線図である。 １６Ａ……投影画像、２２Ａ……第１受光素
子、２２Ｂ……第２受光素子、２４……受光セン
サー、２６……差演算器、２８……エツジ検出装
置、２９……モニター装置、３０……領域信号発
生器、３２……信号区分器、３４……接近表示装
置、７６……エツジ表示手段、７８Ａ……第１の
不感帯、７８Ｂ……第２の不感帯、８０……信号
引出線。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 測定対象物の映像との相対移動時に生じる受
   光量変化に基づき、位相ずれ信号を発生するよう
   に、移動面と略平行な面内に配設された複数の受
   光素子と、前記位相ずれ信号を演算して零レベル
   基準信号と交差する傾斜信号を出力する演算器
   と、この傾斜信号と基準レベル信号とのクロスポ
   イントをもつてエツジ検出信号を発生するエッジ
   検出装置と、を含む光電式測定機器において、前
   記傾斜信号の、前記クロスポイントを含む一定領
   域を特定するための領域信号発生器と、この領域
   信号発生器から領域信号が出力されている間の前
   記傾斜信号の値を複数段階に分割する信号区分器
   と、この信号区分器により分割された区分に対応
   して設けられた該区分と同数の表示手段を含み、
   前記傾斜信号の値が属する区分に対応する表示手
   段を作動させる接近表示装置と、からなるモニタ
   ー装置を備えたことを特徴とする光電式測定機
   器。 ２ 前記信号区分器は、分割すべき区分の幅を変
   更可能に形成されたことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の光電式測定機器。 ３ 前記信号区分器は、前記傾斜信号の値が、前
   記基準レベル信号の値に近い区分程その幅を小さ
   くするように形成されたことを特徴とする特許請
   求の範囲第１項又は第２項記載の光電式測定機
   器。 ４ 測定対象物の影像との相対移動時に生じる受
   光量変化に基づき、位相ずれ信号を発生するよう
   に、移動面と略平行な面内に配設された複数の受
   光素子、前記位相ずれ信号の差を演算して零レベ
   ル基準信号と交差する差動出力信号を出力する差
   演算器、この差動出力信号と基準レベル信号との
   クロスポイントを検出する検出手段、この検出手
   段から出力される複数のクロス信号の中からエツ
   ジ検出信号を特定するための領域信号を出力する
   領域信号発生器、を含んで形成されたエツジ検出
   手段と、該領域信号発生器から領域信号が出力さ
   れている間の前記差動出力信号の値を前記クロス
   ポイントを中心に複数段階に分割する信号区分
   器、この信号区分器により分割された区分に対応
   して設けられた該区分と同数の表示手段を含み、
   前記傾斜信号の値が属する区分に対応する表示手
   段を作動させる接近表示装置、を備えて形成され
   たモニター装置と、を設け、且つ、前記信号区分
   器を、前記差動出力信号の値が、前記基準レベル
   信号の値に近い区分程その幅を小さくするように
   形成したとを特徴とする光電式測定機器。