JPS63128204A - 光学式エツジ検出装置 - Google Patents

光学式エツジ検出装置

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JPS63128204A
JPS63128204A JP27501886A JP27501886A JPS63128204A JP S63128204 A JPS63128204 A JP S63128204A JP 27501886 A JP27501886 A JP 27501886A JP 27501886 A JP27501886 A JP 27501886A JP S63128204 A JPS63128204 A JP S63128204A
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Sadamitsu Nishihara
西原 貞光
Hiromasa Doi
土井 博雅
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Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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Mitutoyo Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】
本発明は、光学式エツジ検出装置に係り、特に、投影機
等の、物体の寸法、変位短等を測定するなめの光学式測
定機器に用いるのに好適な、測定対象物自体又はその像
と相対移動可能且つ該移動の面と略平行な面内に配設さ
れた2群の受光素子を含み、該受光素子の出力から前記
相対移動時に生ずる明及び暗の間で値の合致する2つの
原信号を生成するセンサと、該原信号の差信号が高位及
び低位レベルにあるときに形成される第1ホールド信号
及び第2ホールド信号を用いて、前記原信号から選択さ
れた信号を保持することにより領域信号を生成する領域
信号発生器と、該領域信号が励起されている間の前記差
信号と基準レベルとのクロス信号を抽出する検知手段と
を備え、明暗のエツジが受光素子の前面を横切る時にエ
ツジ信号を生成する光学式エツジ検出装置の改良に関す
る。
【従来の技術】
透明でない測定対象物に、直接走査光啄を照射し、これ
により生じる透過光又は反射光、あるいはこれら透過光
又は反射光による測定対象物の投影画像を、光電索子に
受光させて電気信号を取出し、この信号に基づいて測定
対象物の寸法測定、位置判別、形状判断等を行うための
光学式測定機器が知られている。 従来この種光学式測定機器、例えば、投影機は、載物台
上の測定対象物を平行な光線により照射して、その透過
光又は反射光に基づきスクリーン上に該測定対象物の投
影画像を結像させ、この投影画像から測定対象物の寸法
形状等を測定するものであるが、スクリーンに投影され
た測定対象物の画像のエツジ(端部)は一般的にいわゆ
るにじみがあり、従って、載物台上の測定対象物を移動
させ、そのスクリーン上のii!iimとヘアラインと
の一致から測定値を正確に読み込むことは困難である。 かかる問題点を解消するために、従来は、画像のエツジ
と光電索子を相対移動させ、光電索子の受光面に投影さ
れた画像の明部と暗部との面積の割合の変化によって生
ずる光電素子の出力の変化を、参照電圧と比較して、投
影画像の端部を検出するものがある。 しかしながら、この方法は、外乱光等のノイズの影響が
大きいとともに、光電素子から得られる信号又は参照電
圧の変動による測定精度の低下が大きいという問題点が
ある。 更に、スクリーン上の投影画像の境界(エツジ)に対し
て光電素子を相対移動させ、その時の出力信号を2階微
分して波形信号を得、これと参照電圧との比較によって
エツジを検出するものがあるが、光電素子と投影画像と
の相対移動速度の大小によって、検出されるエツジの位
置が異なることがあり、更に、前記と同様に参照電圧の
変動による測定精度の低下が大きいという問題点がある
。 又、光電索子を2個配置して、これを投影画像のエツジ
に対して相対移動させ、これにより得られた複数の出力
信号から波形の信号を得、これと参照電圧との比較によ
ってエツジを検出するものがあるが、前記と同様に光電
素子から得られた出力信号と参照電圧との相対変化、レ
ベル変動等から測定が非常に不安定となり、更に、照射
光線の照度に対する適用範囲が狭く、ス、測定態様が限
定されかつ、センサあるいは回路が複雑になるという問
題点がある。 特に、投影機においては、照射用の光源ランプの疲労、
投影系のレンズ特性、外乱光によりスクリーン上の投影
画像の明るさが変化し、又、投影倍率の切替により投影
画像の明るさが変化したり、更には測定者側の条件とし
て、例えば測定者の瞳の色(人種により異なる)により
作業に好適な明るさが異なるため、これを適宜に選択し
なければならないが、前記のように照射光線の照度に対
する適用範囲が狭いと、結果として投影機の能力を低下
させてしまうことになる。 又、従来のエツジ検出方法では、投影画像の焦点がずれ
ていた場合は、光電素子による出力波形がなだらかにな
ってしまうので、正確なエツジ検出ができないという問
題点があった。 この問題点は、投影機のみならず、一般的に透過光又は
反射光を検出して、直接的又は間接的に測定対象物の寸
法測定等をするための光学式測定機器におけるエツジ検
出に共通の問題である。 これに対して例えば特開昭58−173408に開示さ
れるように、透過光又は反射光を検出して、直接的又は
間接的に測定対象物の寸法測定をするための光学式測定
機器におけるエツジ検出装置において、前記測定対象物
との相対移動時に生ずる明暗に基づき、少なくとも2 
fillの位相ずれ信号を発生するよう移動面と略平行
な面内に配設された4個の受光素子からなるセンサと、
前記各組の位相ずれ信号の差を演算する第1及び第2の
演算手段と、これら第1及び第2の演算手段の出力信号
の差を演算する第3の演算手段及び和を演算する第4の
演算手段と、この第4の演算手段の出力信号が所定レベ
ルにある間に生じる、前記第3の演算手段の出力信号と
基準レベルのクロス信号を出力する検知手段を設けたも
のが提案されている。 このエツジ検出装置は、測定対象物を照射する光強度、
測定中の外乱光等のノイズ、光電素子の出力信号あるい
は参照電圧の変動による影響を伴なうことなく、しかも
簡単な構成で、測定対象物のエツジを検出することがで
き、又投影機において、投影画像の焦点ずれがあっても
、正確にエツジを検出することができ、更に、光電素子
からのアナログ信号を直接処理することにより、測定対
象物のエツジを検出することができるという利点がある
。 しかしながら、上記特開昭58−173408に開示さ
れるエツジ検出装置は、センサからの出力信号が基準信
号とクロスする点、即ち、測定対象物のエツジ位置を含
む特定領域を判別するための手段として、第4の演算手
段の出力信号が所定レベルにある間に領域信号を出力す
るようにされているが、前記第4の演算手段の出力信号
のレベルが低い場合は、実際のエツジ位置で領域信号を
発生することができない場合があるという問題点を有す
る。 即ち、測定対象物が、例えば半透明硝子製品等の、光を
完全に遮断することができない材料で形成されている場
合は、測定対象物を照明することによって得られた投影
画像の明部と暗部の比が小さくなり、明部を「1」、完
全暗部を「0」とした場合、半透明硝子製品の投影画像
における暗部は1よりも小さく、且つ「0」よりも大き
い範囲となり、明部と暗部の差が小さいなめに、所定レ
ベル以上の信号を得ることができず、従って、領域信号
を発生することができないことがある。 更に、前記エツジ検出装置は、そのセンサが田型に配置
された4個の受光素子から形成されているために、例え
ば投影機におけるスクリーン上の投影画像に対する相対
移動時に、受光素子の境界線と移動方向が一致したとき
、投影画像のエツジを検出できない場合があり、従って
、投影画像に対するセンサの移動方向の制限が生じると
いう問題点がある。 前記のような問題点を解決するものとして、出願人は既
に特開昭61−128105で、第5図に示す如く、測
定対象物4の像4Aと相対移動可能且つ該移動の面と略
平行な面内に同心円状に配設された2個の受光素子12
A、12Bを含み、プリアンプ12C112Dで増幅さ
れた該受光素子12A、12Bの出力から、エツジ部と
受光素子との相対移動時に生ずる明と暗の間で少なくと
も−変位の合致する2つの原信号a、bを生成するセン
サ12と、該原信号a、bの差信号C(=b−a)を出
力する差演算器16と、該差信号Cが高位レベルVre
f”及び低位レベルVref−にあるときに形成される
第1ボールド信号d及び第2ホールド信号eを用いて、
前記原信号から選択された1つの信号a (又はb)を
保持することにより領域信号pを生成する領域信号発生
器18と、該領域信号pが励起されている間の前記差信
号Cと基準レベル(零レベル)とのクロス信号nを抽出
する検知回路20とを備え、明暗のエツジが受光素子の
前面を横切るときにエツジ信号qを生成するエツジ検出
装置を提案している。 ここで、前記領域信号発生器18は、前記差演算器16
出力の差信号Cと高位レベル参照信号■ref ”とを
比較し、該差信号Cが高位レベルVre(中より高いと
き第1ホールド信号dを出力する第1の比較器24Aと
、前記差信号Cと低位レベル参照信号Vre(−とを比
較し、該差信号Cが低位レベルV ref−よりも低い
とき第2ホールド信号eを出力する第2の比較器24B
と、前記第1及び第2の比較器24A、24Bから入力
される前記ホールド信号d、eにもとづき前記センサ1
2の一方の原信号(例えばa)をホールドし、且つ、ホ
ールド信号が入力されないとき該原信号aをサンプリン
グする第1及び第2のサンプルホールド回路26A、2
6Bと、該第1のサンプルボールド回路26A出力の高
位ホールドレベルhと前記原信号aとを比較し、該原信
号aが高位ホールドレベルhよりも小さいときホールド
比較信号jを出力する第3の比較器28Aと、前記第2
のサンプルホールド回路26B出力の低位ホールドレベ
ルjと前記原信号aとを比較し、該原信号aが低位ホー
ルドレベルjよりも小さいときボールド比較信号kを出
力する第4の比較器28Bと、前記第3及び第4の比較
器28A、28Bの一方のみが信号を出力するとき領域
信号pを発生するエクスクル−シブORゲート30と、
を備えて形成されている。 又、前記検知回路20は、前記差演算器16出力の差信
号Cと基準レベル(零レベル)の信号とを比較して、両
者が一致するとき、即ちクロスポイントにおいて信号を
出力する比較器32と、この比較器32から信号が出力
されたとき、これに基づいてクロス信号nを発生するパ
ルス発生器34と、このパルス発生器34及び前記領域
信号発生器18の両者から信号が出力されているときの
みエツジ信号qを出力するANDゲート36と、を備え
て形成されている。 このANDゲート36からの出力信号は、載物台3に連
動する変位検出装置38のカウンタ40にエツジ信号を
与えるようにされている。 この変位検出装置38は、前記載物台3に連動してその
移動量に応じてパルス信号を発生するエンコーダ42と
、このエンコーダ42から出力されるパルス信号を読取
る前記カウンタ40とから構成されている。 このカウンタ40は、前記ANDゲート36からエツジ
検出信号が入力されるときに、その読取り値を記憶装置
44に出力するようにされている。 前記のエツジ検出装置においては、原信号の1つ(a 
)を保持するために、領域信号発生回路18でサンプル
ホールド回路26A、26Bが使用されている。 このサンプルホールド回路、例えば26Aは、例えば第
6図に示す如く、原信号aが入力されるバッファアンプ
26Cと、第1のボールド信号dを反転する反転器26
Dと、該反転器26Dの出力によってオンオフされるア
ナログスイッチ26Eと、保持コンデンサ26Fと、該
保持コンデンサ26Fに保持されている電位を高位ホー
ルドレベルhとして出力する高入力抵抗アンプ26Gと
から構成することができる。従って、ホールド信号dが
励起されているサンプル状態では、アナログスイッチ2
6Eが導通して保持コンデンサ26Fに原信号aのレベ
ルが充電される。逆にホールド信号dが励起されていな
いホールド状態では、アナログスイッチ26Eが非導通
となり、高入力抵抗アンプ26Gからは、保持された高
位ホールドレベルhが出力されたままとなる。 前記サンプルホールド回路26Bも同様な構成とするこ
とができ、該サンプルホールド回路26Bからは低位ホ
ールドレベルiが同様に出力される。 そして、原信号aが高位ホールドレベルhと低位ホール
ドレベルiの間にあるときに領域信号pが励起される構
成となっている。
【発明が解決しようとする問題点】
しかしながら、上記のような従来のエツジ検出装置では
、電源投入直後と作業休止時等の長時間放置後に次のよ
うな問題点があった。 即ち、電源を投入した直後から載物台などを高速で動か
して受光素子前面でエツジ部を高速に通過させた場合に
、エツジ信号が出力されない恐れがある。 第7図は、電源を投入した直後に最初のエツジを通過し
て明から暗に高速に変化する場合の各部信号波形を示し
たものである。即ち、従来のエツジ検出装置では、第7
図(E)から明らかなように、充電時間が短いため、高
位ホールドレベルhが本来あるべきレベルh’(破線)
に上がりきれず低いレベル(実線)となってしまう。こ
の充電時間は、第6図に示したサンプルホールド回路2
6Aの保持コンデンサ26Fの容量Cとアナログスイッ
チ26Bの導通抵抗Rとの積である時定数CRによって
決定される。そのため、実線で示した如く、領域信号p
の立上がりがクロス信号nの発生よりも後となり、その
結果、本来出力されるべき最初のエツジ信号q′が出力
されなくなってしまう。 この問題となっている充電時間を短縮するには、保持コ
ンデンサ26Fの容量Cを小さくすればよいが、単に小
さくしただけでは保持時間が短縮されてしまい、別の問
題点が生じる可能性がある。 又、測定の途中において、特に暗部で作業を休止したよ
うな場合に、不要なエツジ信号が出力される恐れがある
。即ち、第8図に示した如く、明から暗のエツジを通り
すぎて相対移動を休止した場合には、低位ボールドレベ
ルiが、保持コンデンサ26Fのリーク電流や高入力抵
抗アンプ26Gのバイアス入力電流等によって減衰し、
第8図(E)に一点鎖線で示す如く、原信号a (実線
)よりも小さくなる恐れがある。これは、暗部でも多少
受光素子に光が入射し、原信号aがある程度のレベルを
有している場合に、特に蓋然性が高い。 この結果、第8図(G)に示す如くホールド比較信号k
が低レベルとなり、領域信号pが励起されるため、クロ
ス信号nに含まれるノイズパルスがエツジ信号qIIと
して出力されてしまう。 ここでボールドレベルh、iの保持時間を長くするため
には、保持コンデンサ26Fの容量Cを大きくすること
が考えられるが、この場合は、前記の課題である充電時
間の短縮には逆行することになり、エツジ検出速度が遅
くなってしまう。
【発明の目的】
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたも
ので、原信号を保持することによって領域信号を生成し
てエツジ検出を行う場合に、原信号の保持をする際の充
電時間を短縮し、且つ、測定休止時等におけるホールド
レベルの減衰の影響を受けない光学式エツジ検出装置を
提供することを目的とする。
【問題点を解決するための手段】
本発明は、測定対象物自体又はその像と相対移動可能且
つ該移動の面と略平行な面内に配設された2群の受光素
子を含み、該受光素子の出力から前記相対移動時に生ず
る明及び暗の間で値の合致する2つの原信号を生成する
センサと、該原信号の差信号が高位及び低位レベルにあ
るときに形成される第1ホールド信号及び第2ホールド
信号を用いて、前記原信号から選択された信号を保持す
ることにより領域信号を生成する領域信号発生器と、該
領域信号が励起されている間の前記差信号と基準レベル
とのクロス信号を抽出する検知手段とを備え、明暗のエ
ツジが受光素子の前面を横切るときにエツジ信号を生成
する光学式エツジ検出装置において、前記領域信号発生
器が、前記第1又は第2ホールド信号の励起時にサンプ
リングパルスを生成するパルス発生器と、該サンプリン
グパルスで原信号から選択された信号を高位ホールドレ
ベル又は低位ホールドレベルとして保持する、小容量保
持コンデンサを含むサンプルホールド回路と、前記第1
又は第2ホールド信号の消弧時に、原信号から選択され
た信号が高位ホールドレベルよりも小さい場合又は低位
ホールドレベルよりも大きい場合に、前記領域信号を励
起する信号を保持すると共に、前記クロス信号の消弧時
のタイミングで該信号をリセットする状態保持回路とを
含むことにより、前記目的を達成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記2群の受光素子を同心円
状の2個の受光素子より構成し、該2個の受光素子の出
力を前置増幅して前記原信号が生成されるようにしたも
のである。
【作用】
本発明は、前記のような光学式エツジ検出装置において
、領域信号発生器が、前記第1又は第2ホールド信号の
励起時に生成するサンプリングパルスで原信号から選択
された信号を高位ホールドレベル又は低位ホールドレベ
ルとして、小容量保持コンデンサを含むサンプルホール
ド回路に保持し、前記第1又は第2ホールド信号の消弧
時において、前記原信号から選択された信号が高位ホー
ルドレベルよりも小さい場合又は低位ホールドレベルよ
りも大きい場合に、前記領域信号を励起する信号を状態
保持回路に保持すると共に、前記クロス信号の消弧時の
タイミングで該状態保持回路をリセットするようにして
いる。従って、原信号を保持する際の充電時間が短縮さ
れ、電源投入後の初期のエツジ信号も確実に出力するこ
とができる。又、測定休止時等におけるホールドレベル
の減衰の影響を受けることがなく、長時間放置後にも不
要なエツジ信号が出力されることがない。 又、前記2群の受光素子を同心円状の2個の受光素子に
より幇成し、該2個の受光素子の出力を前置増幅して前
記原信号を生成した場合には、センサの測定対象物に対
する相対移動方向の如何に拘らず、確実にエツジを検出
することができる。
【実施例】
以下、図面を多照して、本発明の実施例を詳細に説明す
る。 この実施例は、本発明を第2図に示すような光学系を有
する投影機に適用したものであり、光源ランプ1からの
光をコンデンサレンズ2を介してtl載物台の下方から
、あるいは他の光路を介して載物台3の上方から、該載
物台3上の測定対象物4に照射して、その透過光又は反
射光に基づき、投影レンズ5を介してスクリーン6上に
測定対象物4の投影画像4Aを結像させ、この投影画像
4Aにより、間接的に測定対象物4の寸法測定等をする
ようにされている。 本発明に係るエツジ検出装置は、第1図に詳細に示す如
く、従来例と同様に、センサ12と、差演算器16と、
領域信号発生器18と、検知回路20とを含んで構成さ
れており、領域信号発生器18を除いては、従来と同じ
構成であるので詳細な説明は省略する。 前記領域信号発生器18は、従来例と同様の第1及び第
2の比較器24A、24Bと、該第1及び第2の比較器
24A、24Bから出力される第1又は第2ホールド信
号d、eの励起時にサンプリングパルスf、Uをそれぞ
れ生成するパルス発生器25A、25Bと、該パルス発
生器25A、25B出力のサンプリングパルスf、0で
原信号から選択された信号(実施例ではa)を高位ホー
ルドレベルh又は低位ホールドレベルiとして保持する
、小容量の保持コンデンサを含むサンプルホールド回路
26A、26Bと、該サンプルホールド回路26A、2
6B出力と原信号aを比較してホールド比較信号j、k
を発生する第3及び第4の比較器28A、28Bと、前
記第1の比較器24A出力の第1ホールド信号dの立ち
下がりで前記第3の比較器28A出力のホールド比較信
号jのレベルを保持して原領域信号1として出力する第
1のD型フリップフロップ29Aと、同様に第2ボール
ド信号eの立ち下がりでホールド比較信号にのレベルを
保持して原領域信号tとして出力する第2のD型フリッ
プフロップ29Bと、該り型フリップフロップ29A、
29B出力の原領域信号J、nのいずれか一方が励起さ
れて高レベルであるときに領域信号pを出力するORゲ
ート30Aと、前記検知回路20のパルス発生器34か
ら入力されるクロス信号nの立ち下がりで、前記り型ブ
リップフロップ29A、29Bの出力を消弧して低レベ
ルとするリセツ1−パルス0を生成するパルス発生器3
1を含んで構成されている。 この領域信号発生器18では、原信号から選択された信
号として、aを用いているが、原信号すを選択すること
も可能である。 前記サンプルホールド回路26A、26Bは、保持コン
デンサの容量が小さい点を除き、第6図と同じ構成であ
る。 前記り型フリップフロップ29A、29Bは、状態保持
回路として用いられている。従って、例えばD型フリッ
プフロップ29Aは、第1ホールド信号dの立ち下がり
でホールド比較信号jのレベルを保持して原領域信号(
とした後にホールド比較信号jが変化しても、出力(原
領域信号ぶ)は、保持されたままで変化しない。D型フ
リップフロップ29Bについても同様である。このD型
フリップフロップ29A、29Bの出力が低レベルにな
ると、領域信号pも低いレベルになる。 前記センサ12は、第2図に示したように、投影機10
のスクリーン6の上面にこれと平行に且つ摺動可能に1
lil’RZされた透明板22と一体的に設けられ、該
透明板22と共に移動できるようにされている。 前記センサ12を構成する受光索子12Aは、断面円形
状に形成され、又、受光素子12Bは、受光索子12A
の周囲に、半径方向の間隔をおいて受光索子12Aと同
心円上に形成されている。 以下、実施例の作用を説明する。 第3図は、電源を投入した直後に、受光素子の前面を明
から暗のエツジが高速で横切る場合を示したものであり
、原信号a、bは中間で一度交差する。 本発明では、サンプルホールド回路26A、26Bの保
持コンデンサの容量Cが小さく、充電時間が短くてもよ
いため、ボールドレベルh、iは、第3図(E)から明
らかなように、サンプリングパルスf、gが励起されて
いる短い期間で、直ちに正規のレベルまで立ち上がって
いる。又、第1ホールド信号dの立ち下がりで、曲線S
に示す如く、ホールド比較信号jのレベルが保持されて
、原領域信号ぶが立ち上がっている。従って、領域信号
pも励起されて、クロス信号nが的確に抽出され、エツ
ジ信号qが出力される。 次いで、クロス信号nの立ち下がりで、リセットパルス
0が出力されるなめ、曲線tに示す如く、原領域信号(
が立ち下がる。 この後、第2ホールド信号eの立ち下がりでは、曲線U
で示すように、ホールド比較信号にのレベルが保持され
るが、低レベルであり、原領域信号lは低レベルのまま
である。 従って、電源が投入された直後で高速に変化する場合で
も、エツジ信号qは正確に出力され、ノイズパルスも排
除されている。 次に、この後測定を休止した場合を考える。今、第3図
(E)の低位ホールドレベルiが、仮想減衰曲線Vの如
く減衰したとする。それにも拘らず、D型フリップフロ
ップ29Bの作用によって、原領域信号tはWの如く変
化しないため、領域信号pが無用に励起されることがな
く、エツジ信号qにノイズ信号が出力されることがない
。 又、外乱光の影響や載物台の機械的振動等によって原信
号a、bが乱れる場合、即ち光学的ノイズの彩りによっ
てS字状の差信号Cが部分的に変動した場合の各部信号
波形の例を第4図に示す。 詳細な説明は省略するが、この場合でも、エツジ信号q
が安定して生成されていることがわかる。 本実施例においては、センサ12が、間隔をおいて同心
円上に配置された2つの受光素子12A、12Bで構成
されていたので、受光素子12A、12Bの境界線と移
動方向が一致することがなく、センサ12の測定対象物
に対する相対移動方向の如何に拘らず、均一の出力信号
を得ることができ、確実にエツジを検出することができ
る。又、受光素子12A、12Bの受光面の、測定対象
物に対する対面面積を小さくすることができる。なお、
センサの構成はこれに限定されず、例えば半径方向の間
隔を省略したもの、内側の受光素子もリング状としたも
の、4分割受光素子を2個ずつ2群に分けたもの笠、2
群に分けてそれぞれ原信号を出力できるものであれば、
他の構成のものを用いることができる。 又、本実施例においては、サンプルボールド回路として
、第6図に示ず構成のものを用いているので、構成が簡
略である。なお、サンプルホールド回路の構成はこれに
限定されず、保持用コンデンサに相当する電荷苔積手段
を有するものであれば、他の構成であってもよい。 なお、前記実施例においては、測定対象物の画像のエツ
ジを検出する構成とされていたが、本発明の適用範囲は
これに限定されず、測定対象物のエツジを直接検出する
場合にも同様に適用できることは明らかである。
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明によれば、原信号の保持を行
う際の充電時間を短縮することができ、電源投入直後の
最初のエツジ信号も確実に発生することができる。又、
測定休止時等におけるホールドレベルの減衰の影響を受
けることがなく、不要なエツジ信号が出力されることが
ない等の優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明が採用された投影機のエツジ検出装置
の実施例の構成を示すブロック線図、第2図は、前記実
施例が適用される投影機の光学系を示す光学系統図、第
3図は、前記実施例の電源投入直後における各部信号波
形の例を示す線図、第4図は、同じく光学的ノイズの影
響によって差信号が部分的に変動した場合の各部信号波
形の例を示す線図、第5図は、特開昭61−12810
5に開示された従来のエツジ検出装置の一例の構成を示
すブロック線図、第6図は、領域信号発生器のサンプル
ホールド回路の構成の例を示す回路図、第7図は、従来
技術の問題点を説明するための、電源投入直後の最初の
エツジを通過する際の各部信号波形の例ご示す線図、第
8図は、同じく暗部で休止する場合の各部信号波形の例
を示す線図である。 4・・・測定対象物、 4A・・・投影画像、 12・・・センサ、 12A、12B・・・受光素子、 a、b・・・原信号、 16・・・差演算器、 C・・・差信号、 18・・・領域信号発生器、 d、e・・・ホールド信号、 20・・・検知回路、 n・・・クロス信号、 q・・・エツジ信号、 25A、25B・・・パルス発生器、 「、q・・・サンプリングパルス、 26A、26B・・・サンプルホールド回路、h・・・
高位ホールドレベル、 i・・・低位ボールドレベル、 29A、29B・・・D型フリップフロップ、(、I・
・・原領域信号、 31・・・パルス発生器、 O・・・リセットパルス。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)測定対象物自体又はその像と相対移動可能且つ該
    移動の面と略平行な面内に配設された2群の受光素子を
    含み、該受光素子の出力から前記相対移動時に生ずる明
    及び暗の間で値の合致する2つの原信号を生成するセン
    サと、該原信号の差信号が高位及び低位レベルにあると
    きに形成される第1ホールド信号及び第2ホールド信号
    を用いて、前記原信号から選択された信号を保持するこ
    とにより領域信号を生成する領域信号発生器と、該領域
    信号が励起されている間の前記差信号と基準レベルとの
    クロス信号を抽出する検知手段とを備え、明暗のエッジ
    が受光素子の前面を横切るときにエッジ信号を生成する
    光学式エッジ検出装置において、 前記領域信号発生器が、前記第1又は第2ホールド信号
    の励起時にサンプリングパルスを生成するパルス発生器
    と、 該サンプリングパルスで原信号から選択された信号を高
    位ホールドレベル又は低位ホールドレベルとして保持す
    る、小容量保持コンデンサを含むサンプルホールド回路
    と、 前記第1又は第2ホールド信号の消弧時に、原信号から
    選択された信号が高位ホールドレベルよりも小さい場合
    又は低位ホールドレベルよりも大きい場合に、前記領域
    信号を励起する信号を保持すると共に、前記クロス信号
    の消弧時のタイミングで該信号をリセットする状態保持
    回路とを含むことを特徴とする光学式エッジ検出装置。
  2. (2)前記2群の受光素子が同心円状の2個の受光素子
    よりなり、該2個の受光素子の出力を前置増幅して前記
    原信号が生成されている特許請求の範囲第1項記載の光
    学式エッジ検出装置。
JP27501886A 1986-11-18 1986-11-18 光学式エツジ検出装置 Granted JPS63128204A (ja)

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