JPS60235006A - パタ−ン検出装置 - Google Patents
パタ−ン検出装置Info
- Publication number
- JPS60235006A JPS60235006A JP9150684A JP9150684A JPS60235006A JP S60235006 A JPS60235006 A JP S60235006A JP 9150684 A JP9150684 A JP 9150684A JP 9150684 A JP9150684 A JP 9150684A JP S60235006 A JPS60235006 A JP S60235006A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- photoelectric sensor
- light source
- specimen
- detected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2408—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures for measuring roundness
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、円形、角形、楕円形等、任意の形状を有する
線状パターンを高速で検出するためのパターン検出装置
に関するもので、例えば量産工程中のモールドやプレス
−等による成型品や材料等の特異点などを検出する場合
等に利用して好適なものである。
線状パターンを高速で検出するためのパターン検出装置
に関するもので、例えば量産工程中のモールドやプレス
−等による成型品や材料等の特異点などを検出する場合
等に利用して好適なものである。
従来、この種の検出装置としては、２次元センサー等を
使用し、画像処理によって必要な輪郭のみを抽出する方
式や、多数のフォトトランジスタを円形に配列し、その
走査回路を含めてＩＣ化した所謂サーキーラセンサーを
用いたもの等が広く使用されている。
使用し、画像処理によって必要な輪郭のみを抽出する方
式や、多数のフォトトランジスタを円形に配列し、その
走査回路を含めてＩＣ化した所謂サーキーラセンサーを
用いたもの等が広く使用されている。
しかし前者の方式は、このような目的に対しては無効部
分が多く、処理速度が遅く、しかも信号処理系が複線化
し価格も高価である等の欠点がある。また後者はサーキ
ーラセンサー自体が高価であり、しかも被検出パターン
の形状が円形のものに限定されるという大きな欠点をも
っている。
分が多く、処理速度が遅く、しかも信号処理系が複線化
し価格も高価である等の欠点がある。また後者はサーキ
ーラセンサー自体が高価であり、しかも被検出パターン
の形状が円形のものに限定されるという大きな欠点をも
っている。
本発明の目的は、このような従来の問題点を改善し、比
較的簡易な手段によって任意形状の線状パターンを正確
に検出できるようにすることにある。
較的簡易な手段によって任意形状の線状パターンを正確
に検出できるようにすることにある。
第１図は本発明の一実施例を示すもので、図中Ａが検出
対象である被検体を表わしている。
対象である被検体を表わしている。
この被検住人は発光ダイオードの如き多数の発光素子Ｌ
１．Ｌ２．Ｌｓ・・・・・を並べて構成された走査光源
りによって照射され、その反射光はレンズ１によってフ
ォトトランジスタ、フォトダイオードの如き光電センサ
ー２の受光面に結像されるようになっている。
１．Ｌ２．Ｌｓ・・・・・を並べて構成された走査光源
りによって照射され、その反射光はレンズ１によってフ
ォトトランジスタ、フォトダイオードの如き光電センサ
ー２の受光面に結像されるようになっている。
走査光源りの発光素子群は第２図に示すように、検出対
象の輪郭又は任意の検出形状（図示の例では円形）に対
応した形に並べられ、順次点灯回路６によって第３図に
示すようなタイミングで点灯される。従って光電センサ
ー２の出力信号は、走査光源中のその時点で点灯してい
る発光素子からの光によるものが得られることになる。
象の輪郭又は任意の検出形状（図示の例では円形）に対
応した形に並べられ、順次点灯回路６によって第３図に
示すようなタイミングで点灯される。従って光電センサ
ー２の出力信号は、走査光源中のその時点で点灯してい
る発光素子からの光によるものが得られることになる。
従って、走査光源の駆動タイミングと光電センサー２の
出力信号の同期をとれば検出対象の特異点の有無とその
位置等を検出することができる。
出力信号の同期をとれば検出対象の特異点の有無とその
位置等を検出することができる。
また、光電センサー２の受光面又はその近くには、第４
図に示すように、被検出パターンの形状に対応した形の
スリット４を有するマスク５が設けられている。
図に示すように、被検出パターンの形状に対応した形の
スリット４を有するマスク５が設けられている。
更に受光系には不必要な反射光な除くため、遮光用フー
ド６を配置し、その位置を光軸方向に動かすことによっ
て照明の幅を調整し、不要な反射を無くするようにする
のが望ましい。
ド６を配置し、その位置を光軸方向に動かすことによっ
て照明の幅を調整し、不要な反射を無くするようにする
のが望ましい。
第１図は受光系に対して投光系を外側に配置した場合を
示したが、逆に第５図に示すように受光系を外側に設置
してもよく、この場合は不必要女反射光を遮蔽するため
に図示の如く遮光板７を走査光源りの背後に設けること
が望ましい。第６図は第４図の場合の走査光源と遮光板
７と受光用レンズ１との関係を示すものである。
示したが、逆に第５図に示すように受光系を外側に設置
してもよく、この場合は不必要女反射光を遮蔽するため
に図示の如く遮光板７を走査光源りの背後に設けること
が望ましい。第６図は第４図の場合の走査光源と遮光板
７と受光用レンズ１との関係を示すものである。
また以上の実施例は反射光を利用した場合を示したが、
第７図に示すように透過光を利用することも可能である
。
第７図に示すように透過光を利用することも可能である
。
第７図においては、被検住人を透明基板８に載置又は取
付け、透明基板８の背後に被検体Ａの輪郭に対応して配
列された走査光源りを配置し、透明基板８を透過した光
を受光系で受光して被検体の輪郭パターンを検出するよ
うにしている。
付け、透明基板８の背後に被検体Ａの輪郭に対応して配
列された走査光源りを配置し、透明基板８を透過した光
を受光系で受光して被検体の輪郭パターンを検出するよ
うにしている。
以上の各実施例では検出対象が円形である場合を示した
が、走査光源りの配列の形状及び光電センサーの受光面
のマスク５のスリット形状を被検出パターンに対応した
形にすれば、どのような形状のパターンでも検出するこ
とが可能である。
が、走査光源りの配列の形状及び光電センサーの受光面
のマスク５のスリット形状を被検出パターンに対応した
形にすれば、どのような形状のパターンでも検出するこ
とが可能である。
また走査光源の発光素子の個数を増減することによって
検出分解能を調節することもできる。さらに光電センサ
ー２は単体の光電変換素子でよいから感度や分光感度特
性がよく、応答速度の早いものを用いることができ、そ
れでも単体だけであるからコストは安くできる。
検出分解能を調節することもできる。さらに光電センサ
ー２は単体の光電変換素子でよいから感度や分光感度特
性がよく、応答速度の早いものを用いることができ、そ
れでも単体だけであるからコストは安くできる。
しかも走査光源りの駆動パルスと光電センサーの出力信
号との同期をとることによって、前述のように被検体の
特異点のある位置も検知することができ、量産製品や材
料等の高速検査に効果的である。
号との同期をとることによって、前述のように被検体の
特異点のある位置も検知することができ、量産製品や材
料等の高速検査に効果的である。
第１図と第５図及び第７図は本発明の実施例を示す配置
図、第２図と第６図は走査光源の配置例を示す図、第６
図は走査光源のタイミングを示すグラフ、第４図はマス
クの一例を示す図である。 Ｌは走査光源、ＬＩ ＋ ”２ ＋ ＬＳ・・・・・・
は発光素子、１はレンズ、２は光電センサー、
図、第２図と第６図は走査光源の配置例を示す図、第６
図は走査光源のタイミングを示すグラフ、第４図はマス
クの一例を示す図である。 Ｌは走査光源、ＬＩ ＋ ”２ ＋ ＬＳ・・・・・・
は発光素子、１はレンズ、２は光電センサー、
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 被検出パターンに対応した形状に多数の発光素子
を配列した走査光源と、それらの発光素子を順次に点灯
して走査を行わせる順次点灯回路と、それらの発光素子
から検出対象に対して発せられた光の反射光又は透過光
を受ける光電センサーと、被検出パターンの形状に対、
応する形状のスリットを有し、前記光電センサーの受光
面近くに配置されたマスクとを有することを特徴とする
パターン検出装置。 ２、前記走査光源の駆動タイミングと前記光電センサー
の出力信号との同期をとることにより、検出対象の特異
点の有無とその位置等を検出することを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のパターン検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9150684A JPS60235006A (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | パタ−ン検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9150684A JPS60235006A (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | パタ−ン検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60235006A true JPS60235006A (ja) | 1985-11-21 |
Family
ID=14028292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9150684A Pending JPS60235006A (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | パタ−ン検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60235006A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS614041A (ja) * | 1984-06-06 | 1986-01-09 | イーストマン コダツク カンパニー | 写真要素 |
-
1984
- 1984-05-08 JP JP9150684A patent/JPS60235006A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS614041A (ja) * | 1984-06-06 | 1986-01-09 | イーストマン コダツク カンパニー | 写真要素 |
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