KR940022123A - 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치 - Google Patents

므와레 간섭무늬의 위상 이동장치 Download PDF

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KR940022123A
KR940022123A KR1019930003139A KR930003139A KR940022123A KR 940022123 A KR940022123 A KR 940022123A KR 1019930003139 A KR1019930003139 A KR 1019930003139A KR 930003139 A KR930003139 A KR 930003139A KR 940022123 A KR940022123 A KR 940022123A
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Abstract

본 발명은 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치에 관한 것으로서, 두 격자무늬의 간섭에 의해 생성되는 므와레 간섭무늬만을 이동시켜 노이즈 없는 정확한 물체정보로써,측정물 분석의 정확도를 향상시키도록 한 것이다.
이와같은 본 발명은 설정된 각도내를 설정거리 만큼씩 회전 이동하면서 광원을 투영하는 광원이동 변화수단과, 상기 광원이동 변화수단과 일정거리를 유지하고 그 광원이동 변화수단으로부터 이동되는 광원에 따라 일정주기를 갖는 격자 무늬를 일정량으로 위상 변화시켜 대상 매개체에 결상함과 아울러 그 결상되어 반사된 대상 매개체의 격자무늬와 간섭을 일으켜 위상 변화된 므와레 간섭무늬를 생성하는 위상 변환격자체와, 상기 위상 변환격자체로부터 각각 위상 변환된 소정갯수의 므와레 간섭무늬를 입사받아 위상차를 구하고 그 구해진 위상차에 따라 대상매개체의 형상 및 변형등을 분석함과 아울러 광원이동 변화수단의 회전 이동거리량을 제어하는 마이크로컴퓨터로 이루어짐으로써, 달성되는 것이다.

Description

므와레 간섭무늬의 위상 이동장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 3 도는 본 발명 므와레 간섭무늬 발생장치의 구성도,
제 4 또는 제3 도 위상변환격자체의 A 부위 확대 단면도.
제 5 도는 제 3 도에 따른 간섭무늬의 위상 이동상태를 보인 일예도,
제 6 도는 제 3 도의 촬상카메라에 입사된 간섭무늬의 일예도.

Claims (6)

  1. 설정각내를 일정량 만큼씩 회전 이동하면서 광원을 투영하는 광원이동 변환수단과, 상기 광원이동 변환수단과 일정거리를 유지하고 그 광원이동 변화수단으로부터 이동되는 광원에 따라 일정주기를 갖는 격자무늬를 일정량식 위상변화시켜 대상매개체에 결상하고 그 반사된 대상 매개체의 격자 무늬와 간섭을 일으켜서 위상 변화된 므와레 간섭 무늬를 생성하는 우상변환격자체와, 상기 위상 변환격자체로 부터 일정량 만큼씩 위상변환된 므와레 간섭무늬를 입사받아 촬상영상신호로 변환하는 촬상관카메라와, 상기 촬상관카메라에서 얻어진 각각의 므와레 간섭무늬 영상신호에 대한 위상차를 구하고 그 구해진 위상차에 따라 대상매개체의 형상 및 변형등을 분석함과 아울러 대상매개체의 크기에 따라 광원이동 변화수단의 회전 이동거리량을 일정량씩 제어하는 마이크로 컴퓨터를 포함하여 된 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 광원이동 변호수단은 상기 마이크로컴퓨터에서 출력되는 이동제어신호에 따라 이동하여 광원을 주사하는 광 주사수단과, 상기 마이크로컴퓨터의 이동제어신호에 따라 이동하여 광주사수단으로부터 주사된 광신호를 투영하는 투영렌즈수단으로 이루어짐을 특징으로 한 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2항에 있어서, 일정량의 간섭무늬 위상변화는 광주사수단과 투영렌즈수단을 동시에 회전 이동시켜 위상변환 격자체수단으로 부터의 한주기의 1/4만큼씩 위상을 변화시킴을 특징으로 한 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 므와레 간섭무늬의 위상을 1/4만큼식 변화시킬시에 광원 이동거리(d)의 양은
    임을 특징으로 한 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치.여기서 P:위상변환격자체수단의 격자주기, D:위상 변환격자체수단과 광원이동 변환수단과의 거리, Z:대상매개체와 위상 변환격자체수단간의 거리.
  5. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 위상이 1/4만큼씩 변화된 4개의 므와레 간섭무늬를 가지고 위상차를 구하여 대상매개체를 분석하는 것을 특징으로 한 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 위상차를 구하는 식은
    로 함을 특징으로 하는 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치. 여기서 x,y:간섭무늬의 위상이 변하기전의 X,Y 좌표의 임의점 Ⅰ1(x,y):간섭무늬의 위상이 변하기전에 임의의 점에서의 광세기, Ⅰ2(x,y):간섭무늬가 1/4만큼 이동했을때의 같은 점에서의 광세기.Ⅰ3(x,y):간섭무늬가 2/4만큼 이동했을때의 광세기. Ⅰ4(x,y): 간섭무늬가 3/4만큼 이동했을때의 광세기이다.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930003139A 1993-03-03 1993-03-03 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치 KR970001846B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010100723A (ko) * 2000-05-06 2001-11-14 임쌍근 모아레무늬에서 기준격자를 제거하는 방법

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