KR940022123A - 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치 - Google Patents

므와레 간섭무늬의 위상 이동장치 Download PDF

Info

Publication number
KR940022123A
KR940022123A KR1019930003139A KR930003139A KR940022123A KR 940022123 A KR940022123 A KR 940022123A KR 1019930003139 A KR1019930003139 A KR 1019930003139A KR 930003139 A KR930003139 A KR 930003139A KR 940022123 A KR940022123 A KR 940022123A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
phase
light source
lattice
interference pattern
moire interference
Prior art date
Application number
KR1019930003139A
Other languages
English (en)
Other versions
KR970001846B1 (ko
Inventor
양근영
Original Assignee
이헌조
주식회사 금성사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이헌조, 주식회사 금성사 filed Critical 이헌조
Priority to KR1019930003139A priority Critical patent/KR970001846B1/ko
Publication of KR940022123A publication Critical patent/KR940022123A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR970001846B1 publication Critical patent/KR970001846B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/60—Systems using moiré fringes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치에 관한 것으로서, 두 격자무늬의 간섭에 의해 생성되는 므와레 간섭무늬만을 이동시켜 노이즈 없는 정확한 물체정보로써,측정물 분석의 정확도를 향상시키도록 한 것이다.
이와같은 본 발명은 설정된 각도내를 설정거리 만큼씩 회전 이동하면서 광원을 투영하는 광원이동 변화수단과, 상기 광원이동 변화수단과 일정거리를 유지하고 그 광원이동 변화수단으로부터 이동되는 광원에 따라 일정주기를 갖는 격자 무늬를 일정량으로 위상 변화시켜 대상 매개체에 결상함과 아울러 그 결상되어 반사된 대상 매개체의 격자무늬와 간섭을 일으켜 위상 변화된 므와레 간섭무늬를 생성하는 위상 변환격자체와, 상기 위상 변환격자체로부터 각각 위상 변환된 소정갯수의 므와레 간섭무늬를 입사받아 위상차를 구하고 그 구해진 위상차에 따라 대상매개체의 형상 및 변형등을 분석함과 아울러 광원이동 변화수단의 회전 이동거리량을 제어하는 마이크로컴퓨터로 이루어짐으로써, 달성되는 것이다.

Description

므와레 간섭무늬의 위상 이동장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 3 도는 본 발명 므와레 간섭무늬 발생장치의 구성도,
제 4 또는 제3 도 위상변환격자체의 A 부위 확대 단면도.
제 5 도는 제 3 도에 따른 간섭무늬의 위상 이동상태를 보인 일예도,
제 6 도는 제 3 도의 촬상카메라에 입사된 간섭무늬의 일예도.

Claims (6)

  1. 설정각내를 일정량 만큼씩 회전 이동하면서 광원을 투영하는 광원이동 변환수단과, 상기 광원이동 변환수단과 일정거리를 유지하고 그 광원이동 변화수단으로부터 이동되는 광원에 따라 일정주기를 갖는 격자무늬를 일정량식 위상변화시켜 대상매개체에 결상하고 그 반사된 대상 매개체의 격자 무늬와 간섭을 일으켜서 위상 변화된 므와레 간섭 무늬를 생성하는 우상변환격자체와, 상기 위상 변환격자체로 부터 일정량 만큼씩 위상변환된 므와레 간섭무늬를 입사받아 촬상영상신호로 변환하는 촬상관카메라와, 상기 촬상관카메라에서 얻어진 각각의 므와레 간섭무늬 영상신호에 대한 위상차를 구하고 그 구해진 위상차에 따라 대상매개체의 형상 및 변형등을 분석함과 아울러 대상매개체의 크기에 따라 광원이동 변화수단의 회전 이동거리량을 일정량씩 제어하는 마이크로 컴퓨터를 포함하여 된 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 광원이동 변호수단은 상기 마이크로컴퓨터에서 출력되는 이동제어신호에 따라 이동하여 광원을 주사하는 광 주사수단과, 상기 마이크로컴퓨터의 이동제어신호에 따라 이동하여 광주사수단으로부터 주사된 광신호를 투영하는 투영렌즈수단으로 이루어짐을 특징으로 한 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2항에 있어서, 일정량의 간섭무늬 위상변화는 광주사수단과 투영렌즈수단을 동시에 회전 이동시켜 위상변환 격자체수단으로 부터의 한주기의 1/4만큼씩 위상을 변화시킴을 특징으로 한 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 므와레 간섭무늬의 위상을 1/4만큼식 변화시킬시에 광원 이동거리(d)의 양은
    임을 특징으로 한 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치.여기서 P:위상변환격자체수단의 격자주기, D:위상 변환격자체수단과 광원이동 변환수단과의 거리, Z:대상매개체와 위상 변환격자체수단간의 거리.
  5. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 위상이 1/4만큼씩 변화된 4개의 므와레 간섭무늬를 가지고 위상차를 구하여 대상매개체를 분석하는 것을 특징으로 한 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 위상차를 구하는 식은
    로 함을 특징으로 하는 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치. 여기서 x,y:간섭무늬의 위상이 변하기전의 X,Y 좌표의 임의점 Ⅰ1(x,y):간섭무늬의 위상이 변하기전에 임의의 점에서의 광세기, Ⅰ2(x,y):간섭무늬가 1/4만큼 이동했을때의 같은 점에서의 광세기.Ⅰ3(x,y):간섭무늬가 2/4만큼 이동했을때의 광세기. Ⅰ4(x,y): 간섭무늬가 3/4만큼 이동했을때의 광세기이다.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930003139A 1993-03-03 1993-03-03 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치 KR970001846B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019930003139A KR970001846B1 (ko) 1993-03-03 1993-03-03 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019930003139A KR970001846B1 (ko) 1993-03-03 1993-03-03 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR940022123A true KR940022123A (ko) 1994-10-20
KR970001846B1 KR970001846B1 (ko) 1997-02-17

Family

ID=19351570

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019930003139A KR970001846B1 (ko) 1993-03-03 1993-03-03 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR970001846B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010100723A (ko) * 2000-05-06 2001-11-14 임쌍근 모아레무늬에서 기준격자를 제거하는 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010100723A (ko) * 2000-05-06 2001-11-14 임쌍근 모아레무늬에서 기준격자를 제거하는 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR970001846B1 (ko) 1997-02-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4176276A (en) Photoelectric incident light distance measuring device
Butters et al. A double exposure technique for speckle pattern interferometry
Köpf Application of speckling for measuring the deflection of laser light by phase objects
US10706570B2 (en) System and method to acquire the three-dimensional shape of an object using a moving patterned substrate
US3856401A (en) A paratus for no-contact measurement using an oscillating grating
KR970022217A (ko) 변위정보검출장치
JP5592763B2 (ja) 物体表面の高さマップを求める方法及びその装置
JP2000009444A (ja) 表面形状計測装置
CA2397095A1 (en) Apparatus and methods for surface contour measurement
RU2004127590A (ru) Оптический измерительный преобразователь смещения
CN110441992A (zh) 投影物镜波像差检测装置及检测方法
KR940022123A (ko) 므와레 간섭무늬의 위상 이동장치
JP4357002B2 (ja) 物体の方向を測定する方法および装置
US3989378A (en) Method for no-contact measurement
US7936512B2 (en) Optical gating system using moiré effect
GB2027882A (en) Measurement of distance or movement
CN112747686A (zh) 三维形貌测量装置
Harding Phase-grating use for slope discrimination in moire contouring
Narayanamurthy et al. Speckle pattern fringes produced by longitudinal motion of the diffuse object—sensitivity dependence and multiple exposures
WO2003014665A1 (en) Device and method for 3d imaging
Harding et al. Small angle moire contouring
SU615356A1 (ru) Оптическое устройство дл разметки поверхностей изделий
RU2264595C2 (ru) Сканирующий интерферометр для измерения отклонения формы оптических поверхностей
SU432331A1 (ru) Способ оптической пространственно- временной развертки
SU1049768A1 (ru) Устройство дл измерени рабочего отрезка объективов

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
J2X1 Appeal (before the patent court)

Free format text: APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL

G160 Decision to publish patent application
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee