JP5592763B2 - 物体表面の高さマップを求める方法及びその装置 - Google Patents
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Description
前記光の強度信号をフーリエ変換するステップと、
前記フーリエ変換された信号の、前記周期的パターンの変調に関係しない信号成分を除去するステップと、
前記フーリエ変換された信号の位相共役周波数成分を除去するステップと、
前記除去して得られた信号を逆フーリエ変換するステップと、
前記逆フーリエ変換された信号の絶対値をとるステップと、
前記絶対値が最大に達する走査位置を特定するステップと、を有する。完全な高さマップを得るために、これらのステップの計算が、例えば各カメラピクセル配列からの信号に対して行われる。異なる走査位置で検出された光情報間の関係が、強度信号内に新しい周波数成分をもたらす。これらは、フィルタリングを使用することにより除去することができる。
前記光の強度信号をフーリエ変換するステップと、
前記フーリエ変換された信号の、前記周期的パターンの変調に関係しない信号成分を除去するステップと、
前記フーリエ変換された信号の位相共役周波数成分を除去するステップと、
前記除去して得られた信号を逆フーリエ変換するステップと、
前記逆フーリエ変換された信号の絶対値をとるステップと、
前記絶対値が最大に達する走査位置を特定するステップと、を実行する装置を提供する。
2 光源
3 光線
4 空間パターンフィルタ
5 レンズ
6 ビームスプリッタ
7 対物レンズ
8 物体
9 表面
10 第2のレンズ
11 光検出器
12 デジタルコンピュータ
13 走査手段
Claims (15)
- 物体表面の高さマップを求める方法であって、
光源の光軸方向に沿って、物体表面に対し対物レンズを相対移動させその焦点面を走査するステップと、
前記走査中に、前記光軸に垂直な方向に周期性を有する周期的パターンを当該光軸の垂直方向に移動させながら、当該周期的パターンが付与された光を前記対物レンズを通じて前記物体表面に照射するステップと、
前記物体表面で反射し前記対物レンズを通過して前記物体表面に照射した光と部分的に同じ光路となる光を光検出器により検出するステップと、
前記光検出器で検出した光の強度の振幅が最大となる走査位置を特定するステップと、
前記光の強度の振幅が最大となる走査位置から前記物体表面の高さを求めるステップと、を有し、
前記光を検出するステップでは、複数の走査位置で当該各走査位置毎に一回ずつ光が検出され、
前記対物レンズの走査の速度と前記周期的パターンの位相変化との間に固定された一定の関係がある、方法。 - 前記走査と前記周期的パターンの位相の移動は、それぞれ等速で行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記周期的パターンは、正弦波周期パターンまたは2値周期ストライプパターンである、請求項1または2に記載の方法。
- 前記周期的パターンの位相が1周期移動する間に2回以上の光が検出される、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 前記光源は、光パルスが前記周期的パターンの位相の移動速度に同期されたストロボ光を生成する、請求項1〜4のいずれかに記載の方法。
- 前記光の強度の振幅が最大となる走査位置を特定する計算が、コヒーレンスピーク検出方法を実施することにより行われる、請求項1〜5のいずれかに記載の方法。
- 前記走査位置を特定する計算は、
前記光の強度信号をフーリエ変換するステップと、
前記フーリエ変換された信号の、前記周期的パターンの位相の移動に関係しない信号成分を除去するステップと、
前記フーリエ変換された信号の位相共役周波数成分を除去するステップと、
前記除去して得られた信号を逆フーリエ変換するステップと、
前記逆フーリエ変換された信号の絶対値をとるステップと、
前記絶対値が最大に達する走査位置を特定するステップと、を有する、請求項6に記載の方法。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法を実行するデジタル命令を含むデータ記憶媒体。
- 物体表面の高さマップを求める装置であって、
光源と、
光検出器と、
前記光源の光軸に垂直な方向において周期性を有し当該光軸の垂直方向に移動可能な周期的パターンを光に付与するパターン付与手段と、
前記周期的パターンが付与された光を、対物レンズを通じて前記物体表面に向け、前記物体表面で反射した光を前記光検出器に向ける光学手段と、
光軸方向に沿って、前記物体表面に対し前記対物レンズの焦点面を走査する走査手段と、
前記走査手段による走査動作と前記パターン付与手段による周期的パターンの移動を制御し、前記光検出器で検出した光の情報を物体表面の高さマップに変換する処理装置と、を有し、
前記処理装置は、
前記走査手段により光源の光軸方向に沿って物体表面に対し対物レンズを相対移動させその焦点面を走査させるステップと、
その走査中に、前記光軸の垂直方向に周期的パターンを移動させながら、当該周期的パターンが付与された光を前記対物レンズを通じて前記物体表面に照射するステップと、
前記物体表面で反射し前記対物レンズを通過して前記物体表面に照射した光と部分的に同じ光路となる光を前記光検出器により検出するステップと、
前記光検出器で検出した光の強度の振幅が最大となる走査位置を特定するステップと、
前記光の強度の振幅が最大となる走査位置から前記物体表面の高さを求めるステップと、を実行し、
前記光を検出するステップでは、複数の走査位置で当該各走査位置毎に一回ずつ光が検出され、
前記対物レンズの走査の速度と前記周期的パターンの位相変化との間に固定された一定の関係がある、装置。 - 前記処理装置は、前記走査と前記周期的パターンの位相の移動がそれぞれ等速で行われるように前記走査手段と前記パターン付与手段を制御する、請求項9に記載の装置。
- 前記周期的パターンは、正弦波周期パターンまたは2値周期ストライプパターンである、請求項9または10に記載の装置。
- 前記処理装置は、前記周期的パターンの位相が1サイクル移動する間に2回以上の光を検出するように前記光検出器を制御する、請求項9〜11のいずれかに記載の装置。
- 前記光源は、光パルスが前記周期的パターンの位相の移動速度に同期されたストロボ光を生成する、請求項9〜12のいずれかに記載の装置。
- 前記処理装置は、前記光の強度の振幅が最大となる走査位置を特定する計算を、コヒーレンスピーク検出方法を実施することにより行う、請求項9〜13のいずれかに記載の装置。
- 前記処理装置は、前記走査位置を特定する計算を、
前記光の強度信号をフーリエ変換するステップと、
前記フーリエ変換された信号の、前記周期的パターンの位相の移動に関係しない信号成分を除去するステップと、
前記フーリエ変換された信号の位相共役周波数成分を除去するステップと、
前記除去して得られた信号を逆フーリエ変換するステップと、
前記逆フーリエ変換された信号の絶対値をとるステップと、
前記絶対値が最大に達する走査位置を特定するステップと、を実行することにより行う、請求項14に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP09176628.7A EP2327956B1 (en) | 2009-11-20 | 2009-11-20 | Method and apparatus for determining the height of a number of spatial positions on a sample |
EP09176628.7 | 2009-11-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011107140A JP2011107140A (ja) | 2011-06-02 |
JP5592763B2 true JP5592763B2 (ja) | 2014-09-17 |
Family
ID=42232690
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010255198A Active JP5592763B2 (ja) | 2009-11-20 | 2010-11-15 | 物体表面の高さマップを求める方法及びその装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8576410B2 (ja) |
EP (1) | EP2327956B1 (ja) |
JP (1) | JP5592763B2 (ja) |
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- 2010-11-15 JP JP2010255198A patent/JP5592763B2/ja active Active
- 2010-11-18 US US12/949,138 patent/US8576410B2/en active Active
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JP2011107140A (ja) | 2011-06-02 |
US20110122420A1 (en) | 2011-05-26 |
EP2327956B1 (en) | 2014-01-22 |
US8576410B2 (en) | 2013-11-05 |
EP2327956A1 (en) | 2011-06-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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