JPS60234863A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
- Publication number
- JPS60234863A JPS60234863A JP9212684A JP9212684A JPS60234863A JP S60234863 A JPS60234863 A JP S60234863A JP 9212684 A JP9212684 A JP 9212684A JP 9212684 A JP9212684 A JP 9212684A JP S60234863 A JPS60234863 A JP S60234863A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thickness
- glaze layer
- groove
- heat generating
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、絶縁基板上に部分グレーズ層が形成されてな
るサーマルヘッドの改良に関する。
るサーマルヘッドの改良に関する。
（従来技術）
ファクシミリ等に用いられる感熱記録方式は、無臭無騒
音、メンテナンスフリー、装置構成が簡単等の特長をも
つことから、数多く用いられている。
音、メンテナンスフリー、装置構成が簡単等の特長をも
つことから、数多く用いられている。
この感熱記録方式に用いられるサーマルヘッドの発熱体
部は、第１図に示す構造となっている。
部は、第１図に示す構造となっている。
すなわち、平面状のアルミナ基板１とこの上に設けられ
た部分グレーズ層２の上に、複数個の薄膜抵抗体３が設
けられておシ、この薄膜抵抗体３の上には両端に接続し
電力を供給する電極体４が設けられている。さらに、薄
膜抵抗体３及び電極体４の上には、保護層５が設けられ
ている。感熱記録方式は、このように構成された発熱体
部を設けたサーマルヘッドに、画像信号に対応したパル
ス電力を供給し発熱させて、１２テンローラーの抑圧で
接触している発熱紙に記録するものである。
た部分グレーズ層２の上に、複数個の薄膜抵抗体３が設
けられておシ、この薄膜抵抗体３の上には両端に接続し
電力を供給する電極体４が設けられている。さらに、薄
膜抵抗体３及び電極体４の上には、保護層５が設けられ
ている。感熱記録方式は、このように構成された発熱体
部を設けたサーマルヘッドに、画像信号に対応したパル
ス電力を供給し発熱させて、１２テンローラーの抑圧で
接触している発熱紙に記録するものである。
アルミナ基板上のグレーズ層は、発熱抵抗体から基板へ
の熱伝導のバリアの作用をもつものであシ、加えられる
電力パルスに対応して発熱抵抗体のピーク温度と冷却速
度を決定する重要な役割を果している。
の熱伝導のバリアの作用をもつものであシ、加えられる
電力パルスに対応して発熱抵抗体のピーク温度と冷却速
度を決定する重要な役割を果している。
従って、このグレーズ層は、１０〜１００μｍの範囲内
で厚さが選択され、また均質で滑らかな表面であること
も必要である。
で厚さが選択され、また均質で滑らかな表面であること
も必要である。
また、グレーズ層を絶縁基板の発熱体部分だけに部分的
に設ける目的は、発熱部の断面形状を凸状にして、プラ
テン・ローラーを介しての感熱紙との接触を良くするこ
と、および、発熱抵抗体〜電極体〜絶縁基板アングレー
ズ部を経由する熱伝導を用い、冷却速度の制御を容易に
することにある。ところで、一般に用いられるアルミナ
基板の表面は、結晶粒による凹凸があるため、その上に
グレーズを形成した場合は、５０μｍ以上の厚さが々い
と十分に滑らかな表面にはならない。
に設ける目的は、発熱部の断面形状を凸状にして、プラ
テン・ローラーを介しての感熱紙との接触を良くするこ
と、および、発熱抵抗体〜電極体〜絶縁基板アングレー
ズ部を経由する熱伝導を用い、冷却速度の制御を容易に
することにある。ところで、一般に用いられるアルミナ
基板の表面は、結晶粒による凹凸があるため、その上に
グレーズを形成した場合は、５０μｍ以上の厚さが々い
と十分に滑らかな表面にはならない。
厚さ５０μｍ以上の部分グレーズ層を形成した場合の問
題点として、発熱部の凸形状の段差が大きいため、写真
食刻法を用いて薄膜抵抗体と電極体を形成するときに、
精細なパターン形状を得るのが困難になる欠点がある。
題点として、発熱部の凸形状の段差が大きいため、写真
食刻法を用いて薄膜抵抗体と電極体を形成するときに、
精細なパターン形状を得るのが困難になる欠点がある。
また、発熱部の凸状部・分は曲率半径も小さくなるため
、抵抗体と１２テン・ローラーの接点の面積が小さくな
り、それぞれの中心線のわずかなズレによシ、印字記録
特性が劣イビするため、印字面の位置合せ調整がむずか
しい欠点もある。
、抵抗体と１２テン・ローラーの接点の面積が小さくな
り、それぞれの中心線のわずかなズレによシ、印字記録
特性が劣イビするため、印字面の位置合せ調整がむずか
しい欠点もある。
（発明の目的）
本発明の目的は、上記欠点を除去し、絶縁基板に溝を設
け、その溝に十分な厚さのグレーズ層を形成することに
よシ発熱体部の凸形状の段差を小さくして、写真食刻法
におけるパターン化精度を改善し、また凸形状の曲率半
径を大きくして印字位置合せ調整の余裕度も改善したサ
ーマルヘッドを提供することにある。
け、その溝に十分な厚さのグレーズ層を形成することに
よシ発熱体部の凸形状の段差を小さくして、写真食刻法
におけるパターン化精度を改善し、また凸形状の曲率半
径を大きくして印字位置合せ調整の余裕度も改善したサ
ーマルヘッドを提供することにある。
（発明の構成）
本発明のサーマルヘッドは、溝のある絶縁基板と、その
溝に設けられた部分グレーズ層と、その部分グレーズ層
上に設けられた発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の両端に
接続し給電する電極体と、それらの上に保護層を形成し
たことからなる発熱体部を備えたサーマルヘッドであっ
て、前記発熱体部のグレーズ層は、少なくとも絶縁基板
の溝の深さ寸法の厚さで形成されている。
溝に設けられた部分グレーズ層と、その部分グレーズ層
上に設けられた発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の両端に
接続し給電する電極体と、それらの上に保護層を形成し
たことからなる発熱体部を備えたサーマルヘッドであっ
て、前記発熱体部のグレーズ層は、少なくとも絶縁基板
の溝の深さ寸法の厚さで形成されている。
（実施例の説明）
次に本発明を実施例を用い図面を参照して説明する。第
２図は、本発明の一実施例の断面図であり、絶縁基板に
溝が設けられている他は、第１図とはは同一である。
２図は、本発明の一実施例の断面図であり、絶縁基板に
溝が設けられている他は、第１図とはは同一である。
第２図において、幅０．６￥；１、深さ５０μｍの溝を
設けた厚さ１．５Ｘのアルミナ基板１を用いて、前記溝
に高融点ガラスからなる部分グレーズ層２を形成した。
設けた厚さ１．５Ｘのアルミナ基板１を用いて、前記溝
に高融点ガラスからなる部分グレーズ層２を形成した。
グレーズ層の周囲アルミナ基板からの段差は１０±５μ
ｍであシ、実効的なグレーズ層の厚さの平均値は６０μ
ｍであった。
ｍであシ、実効的なグレーズ層の厚さの平均値は６０μ
ｍであった。
次に、抵抗体３は、Ｔａ−８ｉをスパッタ法によシ、０
．３μｍ厚に成膜し、電極体４は、ＡＩ！を真空蒸着法
によ９２μｍ厚に成膜し、それぞれ写真食刻法によシ、
パターン形成をした。
．３μｍ厚に成膜し、電極体４は、ＡＩ！を真空蒸着法
によ９２μｍ厚に成膜し、それぞれ写真食刻法によシ、
パターン形成をした。
続いて、保護層５は、Ｔ ａ １０ｓをスパッタ法によ
シフμｍ厚に成膜し、発熱体部を形成した。
シフμｍ厚に成膜し、発熱体部を形成した。
この様に構成されたサーマルヘッドは、部分グレーズ部
分の凸形状の段差は１０±５μｍで従来技術に比較する
と であシ、写真食刻法に際して、プレーナ構造に近い
ためにパターン形成精度の向上が認められた。本実施例
においては抵抗体ピッチ１２５μｍパターン幅ギャップ
幅は、２０μｍを採用したが、従来技術では認められた
パターン形状の不完全なものは皆無であった。
分の凸形状の段差は１０±５μｍで従来技術に比較する
と であシ、写真食刻法に際して、プレーナ構造に近い
ためにパターン形成精度の向上が認められた。本実施例
においては抵抗体ピッチ１２５μｍパターン幅ギャップ
幅は、２０μｍを採用したが、従来技術では認められた
パターン形状の不完全なものは皆無であった。
さらにグレーズ層の実効厚さは６０μｍであるため、表
面の平滑性は良好であシ、サーマルヘッドを印字装置に
組み込んで印字特性を確認したが、印字品質及び熱応答
特性などで従来技術のサーマルヘッドとの差はなく、性
能及び品質の問題はない。
面の平滑性は良好であシ、サーマルヘッドを印字装置に
組み込んで印字特性を確認したが、印字品質及び熱応答
特性などで従来技術のサーマルヘッドとの差はなく、性
能及び品質の問題はない。
本発明によれば発熱体部の凸形状の段差は、５μｍ以上
あれば、１２テンロー２−との接触性は十分に確保され
ることも確認された。
あれば、１２テンロー２−との接触性は十分に確保され
ることも確認された。
また、発熱体部の凸形状の曲率半径も大きくなったため
、従来に較べ、印字位置合せ調整の余裕度が約２倍向上
したことが確認された。
、従来に較べ、印字位置合せ調整の余裕度が約２倍向上
したことが確認された。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば溝を設けた絶縁基
板に部分グレーズ層を形成した構成にすることによシ、
発熱体部の抵抗体と電極体のパターン精度を落すことな
く写真食刻法を適用できることが確聞された。また、部
分グレーズサーマルヘッドで問題となる位置合せ調整の
余裕度も改善され、高精密で高品質のサーマルヘッドを
提供でき、その効果は大きい。
板に部分グレーズ層を形成した構成にすることによシ、
発熱体部の抵抗体と電極体のパターン精度を落すことな
く写真食刻法を適用できることが確聞された。また、部
分グレーズサーマルヘッドで問題となる位置合せ調整の
余裕度も改善され、高精密で高品質のサーマルヘッドを
提供でき、その効果は大きい。
ところで、本発明は、第２図に示すような形状の溝を設
けた絶縁基板で説明してきたが、第３図（ａ）、第３図
（ｂ）のような形状でもよく、特にその形状はこだわら
ない。
けた絶縁基板で説明してきたが、第３図（ａ）、第３図
（ｂ）のような形状でもよく、特にその形状はこだわら
ない。
第１図は、従来のサーマルヘッドの発熱部の断面図、第
２図は本発明の一実施例の断面図、第３図（ａ）、第３
図（ｂ）は本発明の他の部分グレーズ例の断面図である
。 １・・・アルミナ基板、２・・・部分グレーズ層、３・
・・第１の ２ 第２図 ？ ・
２図は本発明の一実施例の断面図、第３図（ａ）、第３
図（ｂ）は本発明の他の部分グレーズ例の断面図である
。 １・・・アルミナ基板、２・・・部分グレーズ層、３・
・・第１の ２ 第２図 ？ ・
Claims (1)
- 絶縁基板上に部分グレーズ層を設け、該部分グレーズ層
上に設けられた薄膜抵抗体と、該薄膜抵抗体の両端に接
続して設けられた電極体と、前記薄膜抵抗体及び電極体
の上に設けられた保護層とからなる発熱体部を備えたサ
ーマルヘッドにおいて、前記絶縁基板に溝を設け、該溝
に前記部分グレーズ層を少なくとも該溝の深さ寸法の厚
さで形成したことを特徴とするサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9212684A JPS60234863A (ja) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9212684A JPS60234863A (ja) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60234863A true JPS60234863A (ja) | 1985-11-21 |
Family
ID=14045735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9212684A Pending JPS60234863A (ja) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60234863A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04250073A (ja) * | 1991-01-18 | 1992-09-04 | Rohm Co Ltd | サーマルヘッド |
-
1984
- 1984-05-09 JP JP9212684A patent/JPS60234863A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04250073A (ja) * | 1991-01-18 | 1992-09-04 | Rohm Co Ltd | サーマルヘッド |
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