JPS60227112A - 光変位計 - Google Patents
光変位計Info
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- JPS60227112A JPS60227112A JP8191584A JP8191584A JPS60227112A JP S60227112 A JPS60227112 A JP S60227112A JP 8191584 A JP8191584 A JP 8191584A JP 8191584 A JP8191584 A JP 8191584A JP S60227112 A JPS60227112 A JP S60227112A
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- Japan
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- circuit
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- light
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C3/00—Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
- G01C3/02—Details
- G01C3/06—Use of electric means to obtain final indication
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、被測定物の形状を非接触で測定する光変位
計に関するものである。
計に関するものである。
従来この種の装置として第１図に示すものがあった。第
１図において、１は光源駆動回路、２は光源としての半
導体レーザー、３は前記半導体レーザー２の光を集光し
て照射する投光レンズ、４は前記投光レンズ３の投光光
軸、５は被測定物、６は前記被測定物５に投射された光
スポット、７は前記光スポット６からの散乱光を受光素
子上に結像させる一受光レンズ、８は受光素子としての
半導体位置検出素子（以下ＰＳＤと略す） ９ ａ、９
ｂは前置増幅器、ｌＱａ 、 １０ｂは後置増幅器、１
１ａ 。
１図において、１は光源駆動回路、２は光源としての半
導体レーザー、３は前記半導体レーザー２の光を集光し
て照射する投光レンズ、４は前記投光レンズ３の投光光
軸、５は被測定物、６は前記被測定物５に投射された光
スポット、７は前記光スポット６からの散乱光を受光素
子上に結像させる一受光レンズ、８は受光素子としての
半導体位置検出素子（以下ＰＳＤと略す） ９ ａ、９
ｂは前置増幅器、ｌＱａ 、 １０ｂは後置増幅器、１
１ａ 。
１１ｂは整流回路、１２ａは出力信号Ｖ３．１２ｂは出
力信号ｖｂ、１３は減算回路、１４は加算回路、１５は
減算出力信号ｖａ−ｖｂ、１６は加算出力信号ｖ；ｌ＋
ｖｂ、１７は除算回路、１８は除算出力信号（Ｖ８−
Ｖｂ）／（Ｖａ＋ ｖｂ）、１９はＡ／Ｄ変換器、２０
はデジタル化された変位測定結果の測定結果信号、２１
は光源の出力制御回路である。
力信号ｖｂ、１３は減算回路、１４は加算回路、１５は
減算出力信号ｖａ−ｖｂ、１６は加算出力信号ｖ；ｌ＋
ｖｂ、１７は除算回路、１８は除算出力信号（Ｖ８−
Ｖｂ）／（Ｖａ＋ ｖｂ）、１９はＡ／Ｄ変換器、２０
はデジタル化された変位測定結果の測定結果信号、２１
は光源の出力制御回路である。
次に動作について説明する。第１図において、光源駆動
回路１で駆動された半導体レーザー２から出力された光
は、投光レンズ３により集光され、被測定物５上に光ス
ポット６を投射する。半導体レーザー２．投光レンズ３
．受光レンズ１及びＰＳＤ８から構成される光学系は、
投光レンズ３から光スポット６までの距離を、三角測量
の原理を利用して、ＰＳＤＢ上に結像される元スポット
６の受光像の位置を検出することにより測定できるよう
に配置されている。このと＠ＰＳＤＢ上での光スポット
６の受光像の位置Ｘは、ＰＳＤ８より出力される１対の
出力電流信号を各々増幅回路９ａ＋９ｂ、ＩＱａ及び１
０ｂで電圧に変換・増幅し、整流回路１１ａ 、 １１
ｂにより整流して、１対の電圧信号ｖａ（１２ａ’）及
びＷｂ（１２ｂ）としたどき、次式で与えられる。
回路１で駆動された半導体レーザー２から出力された光
は、投光レンズ３により集光され、被測定物５上に光ス
ポット６を投射する。半導体レーザー２．投光レンズ３
．受光レンズ１及びＰＳＤ８から構成される光学系は、
投光レンズ３から光スポット６までの距離を、三角測量
の原理を利用して、ＰＳＤＢ上に結像される元スポット
６の受光像の位置を検出することにより測定できるよう
に配置されている。このと＠ＰＳＤＢ上での光スポット
６の受光像の位置Ｘは、ＰＳＤ８より出力される１対の
出力電流信号を各々増幅回路９ａ＋９ｂ、ＩＱａ及び１
０ｂで電圧に変換・増幅し、整流回路１１ａ 、 １１
ｂにより整流して、１対の電圧信号ｖａ（１２ａ’）及
びＷｂ（１２ｂ）としたどき、次式で与えられる。
但し、ｎ ： ＰＳＤ８の中心から端までの距離で、既
知の値 Ｘ：ＰＳＤ８上での受光像の位置 被測定物５の変位、即ち投光レンズ３から光スポット６
までの距離は、あらかじめ定められた光学系の配置に基
づき、２信号ｖａ（１２ａ） 、 Ｖｂ（１２ｂ）から
、減算回路１３及び加算回路１４によりそれぞれ減算信
号（ｖａ−ｖｂ）１５ 及び加算信号（ｖａ＋Ｖｂ）１
６をめ、除算回路１７が（ｖａ−ｖｂ）ＡＶａ十ｖｂ）
の除算を行うことにより、除算回路１７の出力である除
算出力信号１８としてめられる。最後にこの除算出力信
号１８をＡ／Ｄ変換器１９によりデジタル化して、変位
の測定結果である変位出力信号２０を得る。なお、被測
定物５の種類−表面状態・色及び光学系と被測定物５と
の距離の変化などＫより生じる受光素子であるＰＳＤ８
への入射光量の変化が変位の演算精度に影響を与えない
ように、光源の出力制御回路２１によって半導体レーサ
ー２の出力を制御し、おおむね、そのＰｓＤ８への受光
量を一定に保つように構成されている。
知の値 Ｘ：ＰＳＤ８上での受光像の位置 被測定物５の変位、即ち投光レンズ３から光スポット６
までの距離は、あらかじめ定められた光学系の配置に基
づき、２信号ｖａ（１２ａ） 、 Ｖｂ（１２ｂ）から
、減算回路１３及び加算回路１４によりそれぞれ減算信
号（ｖａ−ｖｂ）１５ 及び加算信号（ｖａ＋Ｖｂ）１
６をめ、除算回路１７が（ｖａ−ｖｂ）ＡＶａ十ｖｂ）
の除算を行うことにより、除算回路１７の出力である除
算出力信号１８としてめられる。最後にこの除算出力信
号１８をＡ／Ｄ変換器１９によりデジタル化して、変位
の測定結果である変位出力信号２０を得る。なお、被測
定物５の種類−表面状態・色及び光学系と被測定物５と
の距離の変化などＫより生じる受光素子であるＰＳＤ８
への入射光量の変化が変位の演算精度に影響を与えない
ように、光源の出力制御回路２１によって半導体レーサ
ー２の出力を制御し、おおむね、そのＰｓＤ８への受光
量を一定に保つように構成されている。
従来の光変位計は以上のように構成されているので、変
位量以外に、被測定面と光変位計の投光軸とが成す立体
角の変化や、被測定物の表面状態・材質・色の変化など
を検出することができないという欠点があった。
位量以外に、被測定面と光変位計の投光軸とが成す立体
角の変化や、被測定物の表面状態・材質・色の変化など
を検出することができないという欠点があった。
この発明は、上記のような従来のものの欠点を、５除去
するためＫなされたもので、変位の測定値の他Ｋ、受光
素子への受光量を一定に制御するためのフィードバック
回路の出力量を制御することにより、被測定面と光変位
計の投光軸とが成す立体角の変化あるいは被測定物の表
面状態・材質・色の変化などを、変位測定精度を一定に
保ちつつ検知でき、また、変位測定精度が保たれな（な
ったり、変位の測定が不能になったりする以前に、変位
の測定状態の変化を知ることのできる光変位計を提供す
ることを目的としている。
するためＫなされたもので、変位の測定値の他Ｋ、受光
素子への受光量を一定に制御するためのフィードバック
回路の出力量を制御することにより、被測定面と光変位
計の投光軸とが成す立体角の変化あるいは被測定物の表
面状態・材質・色の変化などを、変位測定精度を一定に
保ちつつ検知でき、また、変位測定精度が保たれな（な
ったり、変位の測定が不能になったりする以前に、変位
の測定状態の変化を知ることのできる光変位計を提供す
ることを目的としている。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図と同一または相当部分には同一符号を付した第２図に
おいて、２２ａ 、 ２２ｂは交流増幅回路、２３は信
号切換器、２４はサンプルホールド回路、２５はＡ ／
Ｄ変換器、２６は演算プロセッサー、２γは前記演算
プロセッサー２６の出力である演算値信号、２８はタイ
ミングパルス発生回路、２９は受光量検出回路、３ｏは
光源出方制御回路、３１は出力回路、３２は受光量レベ
ル信号、３３は光源駆動レベル信号、３４は光源として
の半導体レーザー２０点灯タイミングパルス信号、３５
は信号切換器２３の信号切換器制御パルス信号、３６は
サンプルホールド回路２４のサンプルホールド制御パル
ス信号、３ＴはＡ ／ Ｄ変換器２５のＡ／Ｄ変換器制
御パルス信号、３８は演算プロセッサー２６の演算プロ
セッサー制御パルス信号、３９は出力回路３１の出力回
路制御パルス信号、４０は受光量判別回路、４１は判別
データ信号、４２は出力タイミングパルス信号、４３は
測定結果を示す測定結果信号である。
図と同一または相当部分には同一符号を付した第２図に
おいて、２２ａ 、 ２２ｂは交流増幅回路、２３は信
号切換器、２４はサンプルホールド回路、２５はＡ ／
Ｄ変換器、２６は演算プロセッサー、２γは前記演算
プロセッサー２６の出力である演算値信号、２８はタイ
ミングパルス発生回路、２９は受光量検出回路、３ｏは
光源出方制御回路、３１は出力回路、３２は受光量レベ
ル信号、３３は光源駆動レベル信号、３４は光源として
の半導体レーザー２０点灯タイミングパルス信号、３５
は信号切換器２３の信号切換器制御パルス信号、３６は
サンプルホールド回路２４のサンプルホールド制御パル
ス信号、３ＴはＡ ／ Ｄ変換器２５のＡ／Ｄ変換器制
御パルス信号、３８は演算プロセッサー２６の演算プロ
セッサー制御パルス信号、３９は出力回路３１の出力回
路制御パルス信号、４０は受光量判別回路、４１は判別
データ信号、４２は出力タイミングパルス信号、４３は
測定結果を示す測定結果信号である。
第３図はそれぞれ出力タイミングパルス信号４２及び測
定結果信号４３の信号波形図及び信号模式図の一例であ
る。第４図において、４４は光変位計、４５は被測定物
５０表面のうち、光の散乱特性が他と異なり、光変位計
のＰＳＤ８への散乱光入射量が低下するもので、例えば
黒っぽい色の部分である。第５図において、４４は光変
位計、４８は光変位計４４と被測定物５との距離！であ
る。
定結果信号４３の信号波形図及び信号模式図の一例であ
る。第４図において、４４は光変位計、４５は被測定物
５０表面のうち、光の散乱特性が他と異なり、光変位計
のＰＳＤ８への散乱光入射量が低下するもので、例えば
黒っぽい色の部分である。第５図において、４４は光変
位計、４８は光変位計４４と被測定物５との距離！であ
る。
なお、４６及び４７はそれぞれ測定結果信号を構成する
光変位計の計測データを示す計測データ信号及び変位デ
ータを示す変位データ信号の信号波形図である。
光変位計の計測データを示す計測データ信号及び変位デ
ータを示す変位データ信号の信号波形図である。
次に動作について説明する。第２図忙おいて、まず、変
位の測定方法を述べると、点灯タイミングパルス信号３
４に同期して点灯された半導体レーザー２から出た光は
、投光レンズ３を経て、被測定物５上に光スポット６と
して投射され、その散乱光の一部は受光レンズ７により
ｐｓｏ８上に結像し、ＰＳＤ８から出力される１対の電
流信号は、前置増幅器９ａ、９ｂＫより電圧変換・増幅
され、さらに交流増幅器２２ａ 、 ２２ｂにより交流
増幅された１対の信号Ｖ。、ｖｄとなる。これらの２信
号ＶＣ、Ｖｄは、信号切換器２３．サンプルホールド２
４．Ａ／Ｄ変換器２５及び演算プロセッサー２６によっ
て、それぞれのピークツーピーク値Ｖｅ、 Ｖ４がめら
れ、（ｖｅ ｖｒ）／（ｖｅ ＋ ｖｆ）の演。
位の測定方法を述べると、点灯タイミングパルス信号３
４に同期して点灯された半導体レーザー２から出た光は
、投光レンズ３を経て、被測定物５上に光スポット６と
して投射され、その散乱光の一部は受光レンズ７により
ｐｓｏ８上に結像し、ＰＳＤ８から出力される１対の電
流信号は、前置増幅器９ａ、９ｂＫより電圧変換・増幅
され、さらに交流増幅器２２ａ 、 ２２ｂにより交流
増幅された１対の信号Ｖ。、ｖｄとなる。これらの２信
号ＶＣ、Ｖｄは、信号切換器２３．サンプルホールド２
４．Ａ／Ｄ変換器２５及び演算プロセッサー２６によっ
て、それぞれのピークツーピーク値Ｖｅ、 Ｖ４がめら
れ、（ｖｅ ｖｒ）／（ｖｅ ＋ ｖｆ）の演。
算を演算プロセッサー２６が行うことにより、被測定物
５上の光スポット６までの距離が測定される。次に、受
光量検出回路２９は、２信号Ｖ。、Ｖｄの和がＰＳＤ８
の受光量に比例することから、ｖｏ＋ｖｄの演算により
、ＰＳＤ８の受光量検出を行ない、受光量レベル信号３
２を、光源出力制御回路３０及び出力回路３１に出力す
る。光源出力制御回路３０は、ＰＳＤ８の受光量レベル
信号３２が一定になるように、光源量カ妬フィードバッ
ク制御をかける光源駆動レベル信号３３を光源駆動回路
１及び出力回路３１に出力する。このフィードバック制
御により、ｐｓｌ）Ｈの受光量を一定に保ち、演算精度
が被測定物５の種類・表面状態・色または光学系と被測
定物５との距離及び投光軸４と被測定物５が成す立体角
の変化などで変動しないよ５に制御する。一方、光源駆
動レベル信号３３は、上述した各状態変化にょるＰＳＤ
８の受光量変動を打ち消すように出力される制御量であ
るから、この光源駆動レベル信号３３を出力することに
より、上述した各状態変化を知ることができる。出力回
路３１により、変位の演算値信号２７゜判別データ信号
４１．受光量レベル信号３２及び光源駆動レベル信号３
３を、出方タイミングパルス信号４２に同期させて測定
結果信号４３を出方することにより、１つの変位の測定
結果に対し、従来得られなかった計測情報を得ることが
でき、計測状態が分かる。例えば、第４図に示すようＫ
、被測定物５の形状を測定する場合、変位データ信号４
７に何ら変化を生じないような部分でも、被測定面上の
散乱光特性に変化があれば、計測データ信号４６により
、その度合を測定できる。また、第５図に示すように、
斜面を測定するような場合でも、被測定物５の傾きの変
化を計算データ信号４６により、検出できる。
５上の光スポット６までの距離が測定される。次に、受
光量検出回路２９は、２信号Ｖ。、Ｖｄの和がＰＳＤ８
の受光量に比例することから、ｖｏ＋ｖｄの演算により
、ＰＳＤ８の受光量検出を行ない、受光量レベル信号３
２を、光源出力制御回路３０及び出力回路３１に出力す
る。光源出力制御回路３０は、ＰＳＤ８の受光量レベル
信号３２が一定になるように、光源量カ妬フィードバッ
ク制御をかける光源駆動レベル信号３３を光源駆動回路
１及び出力回路３１に出力する。このフィードバック制
御により、ｐｓｌ）Ｈの受光量を一定に保ち、演算精度
が被測定物５の種類・表面状態・色または光学系と被測
定物５との距離及び投光軸４と被測定物５が成す立体角
の変化などで変動しないよ５に制御する。一方、光源駆
動レベル信号３３は、上述した各状態変化にょるＰＳＤ
８の受光量変動を打ち消すように出力される制御量であ
るから、この光源駆動レベル信号３３を出力することに
より、上述した各状態変化を知ることができる。出力回
路３１により、変位の演算値信号２７゜判別データ信号
４１．受光量レベル信号３２及び光源駆動レベル信号３
３を、出方タイミングパルス信号４２に同期させて測定
結果信号４３を出方することにより、１つの変位の測定
結果に対し、従来得られなかった計測情報を得ることが
でき、計測状態が分かる。例えば、第４図に示すようＫ
、被測定物５の形状を測定する場合、変位データ信号４
７に何ら変化を生じないような部分でも、被測定面上の
散乱光特性に変化があれば、計測データ信号４６により
、その度合を測定できる。また、第５図に示すように、
斜面を測定するような場合でも、被測定物５の傾きの変
化を計算データ信号４６により、検出できる。
なお、上記実施例では光源出力制御回路３０がその出力
である光源駆動レベル信号３３を出力回路３１、Ｋ出力
するものを示したが、光源駆動レベル信号３３そのもの
を直接出力せずに、半導体レーザー２に通ずる電流を検
知して出力回路３１１Ｃ出力しても上記実施例と同様の
効果を奏する。また、上記実施例では出力回路３１を用
いたが、出力回路制御パルス信号３９に同期して、演算
値信号２７．受光量レベル信号３２．光源駆動レベル信
号３３及び判別データ信号４１を直接出力しても良い。
である光源駆動レベル信号３３を出力回路３１、Ｋ出力
するものを示したが、光源駆動レベル信号３３そのもの
を直接出力せずに、半導体レーザー２に通ずる電流を検
知して出力回路３１１Ｃ出力しても上記実施例と同様の
効果を奏する。また、上記実施例では出力回路３１を用
いたが、出力回路制御パルス信号３９に同期して、演算
値信号２７．受光量レベル信号３２．光源駆動レベル信
号３３及び判別データ信号４１を直接出力しても良い。
以上のように、この発明によれば、変位の測定結果の他
に光源駆動Ｌノベル信号３３を出力することにより、被
測定物５と投光軸−４とが成す立体角の変化や被測定物
５０表面状態・材質・色の変化を、ｐｓｎｓへの受光量
を一定に制御しつつ検出でき、また受光量レベル信号３
２を合わせて出力するので、必要に応じ、ＰＳＤ８への
入射受光量が一定に保てなくなった場合にも、任意の測
定限界判断で測定できる光変位計が得られる効果がある
。
に光源駆動Ｌノベル信号３３を出力することにより、被
測定物５と投光軸−４とが成す立体角の変化や被測定物
５０表面状態・材質・色の変化を、ｐｓｎｓへの受光量
を一定に制御しつつ検出でき、また受光量レベル信号３
２を合わせて出力するので、必要に応じ、ＰＳＤ８への
入射受光量が一定に保てなくなった場合にも、任意の測
定限界判断で測定できる光変位計が得られる効果がある
。
第１図は従来の光変位計を示すブロック図、第２図はこ
の発明の一実施例による光変位計を示すブロック図、第
３図はこの発明の一実施例による出力データの説明図、
第４図、第５図は測定例の説明図である。 １・・・光源駆動回路、２・・・半導体レーザー、３・
・・投光レンズ、４・・・投光光軸、５・・・被測定物
、６・・・元スポット、７・・・受光レンズ、８・・・
半導体装置検出素子（ＰＳＤ）、９ａ 、９ｂ−前置増
幅器、２２ａ 、 ２２ｂ・・・交流増幅器、２３・・
・信号切換器、２４・・・サンプルホールド回路、２５
・・・Ａ／Ｄ変換器、２６パ・演算プロセッサー、２７
・・・演算値信号、２８・・・タイミングパルス発生回
路、２９・・・受光量検出回路、３０・・・光源出力制
御回路、３１・・・出力回路、３２・・・受光量レベル
信号、３３・・・光源駆動レヘル信号、３４・・・点灯
タイミングパルス信号、３５・・・信号切換器制御パル
ス信号、３６・・・サンプルホールド制御パルス信号、
３７・・・Ａ／Ｄ変換器制御パルス信号、３８・・・演
算プロセッサー制御パルス信号、３９・・・出力回路制
御パルス信号、４０・・・受光量判別回路、４１・・・
判別データ信号、４２・・・出力タイミングパルス信号
、４３・・・測定結果信号。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 特許出願人 三菱電機株式会社
の発明の一実施例による光変位計を示すブロック図、第
３図はこの発明の一実施例による出力データの説明図、
第４図、第５図は測定例の説明図である。 １・・・光源駆動回路、２・・・半導体レーザー、３・
・・投光レンズ、４・・・投光光軸、５・・・被測定物
、６・・・元スポット、７・・・受光レンズ、８・・・
半導体装置検出素子（ＰＳＤ）、９ａ 、９ｂ−前置増
幅器、２２ａ 、 ２２ｂ・・・交流増幅器、２３・・
・信号切換器、２４・・・サンプルホールド回路、２５
・・・Ａ／Ｄ変換器、２６パ・演算プロセッサー、２７
・・・演算値信号、２８・・・タイミングパルス発生回
路、２９・・・受光量検出回路、３０・・・光源出力制
御回路、３１・・・出力回路、３２・・・受光量レベル
信号、３３・・・光源駆動レヘル信号、３４・・・点灯
タイミングパルス信号、３５・・・信号切換器制御パル
ス信号、３６・・・サンプルホールド制御パルス信号、
３７・・・Ａ／Ｄ変換器制御パルス信号、３８・・・演
算プロセッサー制御パルス信号、３９・・・出力回路制
御パルス信号、４０・・・受光量判別回路、４１・・・
判別データ信号、４２・・・出力タイミングパルス信号
、４３・・・測定結果信号。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 特許出願人 三菱電機株式会社
Claims (1)
- 三角測量の原理を利用し、被測定物までの距離を測定す
るように配置された光学系と、前記光学系の光源として
の半導体レーザーを駆動する光源の駆動回路と、前記被
測定物の位置を検出する半導体装置検出素子を設け、該
半導体装置検出素子の位置検出信号を増幅する交流増幅
器と、前記交流増幅器の出力信号を切換えてサンプルホ
ールド回路に入力する信号切換器と、前記サンプルホー
ルド回路の出力をＡ／Ｄ変換器でＡ／Ｄ変換して、デジ
タル化された信号を演算処理する演算プロセッサと、前
記演算プロセッサ、光源の駆動回路、信号切換器、サン
プルホールド回路及びＡ ／ Ｄ変換器圧制御パルスを
供給するタイミングパルス発′ 主回路と、前記交流増
巾器の出力信号を受け、−前記光源の駆動回路に光源の
駆動レベル信号を送出する光源出力制御回路に受光レベ
ル信号を送出する受光量検出回路と、前記受光レベル信
号を入力し判別データ信号を送出する受光量判別回路と
、前記演算プロセッサの演算値信号、前記制御ノくルス
、前記受光量レベル信号、前記判別データ信号及び前記
駆動レベル信号を入力し、出力タイミングパルス信号及
び測定結果出力を送出する出力回路とを備えた光変位計
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59081915A JPH0746052B2 (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 光変位計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59081915A JPH0746052B2 (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 光変位計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60227112A true JPS60227112A (ja) | 1985-11-12 |
| JPH0746052B2 JPH0746052B2 (ja) | 1995-05-17 |
Family
ID=13759743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59081915A Expired - Lifetime JPH0746052B2 (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 光変位計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0746052B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62184320A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-12 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | プレスマ−ク検出装置 |
| JPS6315103A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | N T T Gijutsu Iten Kk | 計測装置におけるレ−ザ発光制御方法 |
| JPS6397810U (ja) * | 1986-12-15 | 1988-06-24 | ||
| JPS63174014U (ja) * | 1986-12-15 | 1988-11-11 | ||
| JPS63292016A (ja) * | 1987-05-26 | 1988-11-29 | Matsushita Electric Works Ltd | 測距型光電スイッチ |
| JPH01146114U (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-09 | ||
| JPH01274010A (ja) * | 1988-04-26 | 1989-11-01 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式変位測定装置 |
| JPH0227214A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 光電スイッチ |
| JPH05118826A (ja) * | 1991-10-28 | 1993-05-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 形状検出装置 |
| EP0637758A1 (en) * | 1993-08-03 | 1995-02-08 | Yamatake-Honeywell Co. Ltd. | Photoelectric distance sensor |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5744809A (en) * | 1980-08-28 | 1982-03-13 | Sankusu:Kk | Distance measuring apparatus |
| JPS5827005A (ja) * | 1981-08-11 | 1983-02-17 | Kyocera Corp | 距離検出装置 |
| JPS5887486A (ja) * | 1981-11-20 | 1983-05-25 | Meisei Electric Co Ltd | 積雪計測装置 |
-
1984
- 1984-04-25 JP JP59081915A patent/JPH0746052B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5744809A (en) * | 1980-08-28 | 1982-03-13 | Sankusu:Kk | Distance measuring apparatus |
| JPS5827005A (ja) * | 1981-08-11 | 1983-02-17 | Kyocera Corp | 距離検出装置 |
| JPS5887486A (ja) * | 1981-11-20 | 1983-05-25 | Meisei Electric Co Ltd | 積雪計測装置 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62184320A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-12 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | プレスマ−ク検出装置 |
| JPS6315103A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | N T T Gijutsu Iten Kk | 計測装置におけるレ−ザ発光制御方法 |
| JPS6397810U (ja) * | 1986-12-15 | 1988-06-24 | ||
| JPS63174014U (ja) * | 1986-12-15 | 1988-11-11 | ||
| JPS63292016A (ja) * | 1987-05-26 | 1988-11-29 | Matsushita Electric Works Ltd | 測距型光電スイッチ |
| JPH01146114U (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-09 | ||
| JPH01274010A (ja) * | 1988-04-26 | 1989-11-01 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式変位測定装置 |
| JPH0227214A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 光電スイッチ |
| JPH05118826A (ja) * | 1991-10-28 | 1993-05-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 形状検出装置 |
| EP0637758A1 (en) * | 1993-08-03 | 1995-02-08 | Yamatake-Honeywell Co. Ltd. | Photoelectric distance sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0746052B2 (ja) | 1995-05-17 |
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