JPS60225008A - 円筒面を光学的に試験する方法および装置 - Google Patents
円筒面を光学的に試験する方法および装置Info
- Publication number
- JPS60225008A JPS60225008A JP60068628A JP6862885A JPS60225008A JP S60225008 A JPS60225008 A JP S60225008A JP 60068628 A JP60068628 A JP 60068628A JP 6862885 A JP6862885 A JP 6862885A JP S60225008 A JPS60225008 A JP S60225008A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wavefront
- cylindrical
- grating
- cylindrical surface
- test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02034—Interferometers characterised by particularly shaped beams or wavefronts
- G01B9/02038—Shaping the wavefront, e.g. generating a spherical wavefront
- G01B9/02039—Shaping the wavefront, e.g. generating a spherical wavefront by matching the wavefront with a particular object surface shape
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/30—Grating as beam-splitter
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野：
本発明は円筒面の品質の光学的試験に関し、詳細には試
験すべき物体の全円筒面を解析しうる方法および装置に
関する。
験すべき物体の全円筒面を解析しうる方法および装置に
関する。
従来の技術：
円筒面を試験する従゛来の方法および装置は円筒面の１
つの軸または他の軸の品質を試験するためにつくられた
試験板を使用する。たとえば試験する円筒面を評価する
標準またはゲージである比較的狭い球面試験板をつくる
ことができる。この板を次に円筒面と接触するようにそ
の主軸を横切って配置し、円筒の主軸に沿って種々の点
へ動かし、縞・ξターンを形成することによって光学的
に誤差を検出する。もう１つの試験法によれば円筒試験
板の全面を試験すべき円筒の全面と接触させる。試験表
面の誤差は光学的に縞・ξターンとして示される。
つの軸または他の軸の品質を試験するためにつくられた
試験板を使用する。たとえば試験する円筒面を評価する
標準またはゲージである比較的狭い球面試験板をつくる
ことができる。この板を次に円筒面と接触するようにそ
の主軸を横切って配置し、円筒の主軸に沿って種々の点
へ動かし、縞・ξターンを形成することによって光学的
に誤差を検出する。もう１つの試験法によれば円筒試験
板の全面を試験すべき円筒の全面と接触させる。試験表
面の誤差は光学的に縞・ξターンとして示される。
円筒面を試験するもう１つの可能性はレーザ光線のよう
な平行にした光線の試験円筒へ向う光路に参照射出円筒
を使用することである。この系は非常に高価であり、波
面品質が制限され。
な平行にした光線の試験円筒へ向う光路に参照射出円筒
を使用することである。この系は非常に高価であり、波
面品質が制限され。
工業的に使用されなかった。
発明が解決しようとする問題点：
本発明の目的は外部的干渉計を使用せずに優れたコント
ラストの縞・ξターンが得られるきわめて有効な、コン
・ξクトな、比較的強固で安価な、円筒面を試験する改
善された方法および装置を得ることである。
ラストの縞・ξターンが得られるきわめて有効な、コン
・ξクトな、比較的強固で安価な、円筒面を試験する改
善された方法および装置を得ることである。
問題点を解決するための手段：
この目的を達成する方法および装置はレーザおよびビー
ムエクス・ぞンダ／コリメータによって得られるような
単色光の平行光束を異なる間隔の線形格子へ向け、この
格子により２つの１次回折円筒波面すなわち１つはブレ
ーズ方向に収れんする光束、他はアンチブレーズ方向に
発散する光束が発生する。ブレーズ方向の光束は１つの
焦線に収れんし、それを超えて発散する。
ムエクス・ぞンダ／コリメータによって得られるような
単色光の平行光束を異なる間隔の線形格子へ向け、この
格子により２つの１次回折円筒波面すなわち１つはブレ
ーズ方向に収れんする光束、他はアンチブレーズ方向に
発散する光束が発生する。ブレーズ方向の光束は１つの
焦線に収れんし、それを超えて発散する。
円筒表面の試験物体の軸を焦線と一致するように配置す
ることによって試験物体は波面を格子へ戻し、そこでこ
の波面はアンチブレーズ波面と干渉する。アンチブレー
ズ光束および戻り波面の鏡面反射光線が当るように適当
な形式のスクリンを配置することによって試験すべき円
筒面の像品質を表わす縞・ξターンがスクリン上に形成
される。
ることによって試験物体は波面を格子へ戻し、そこでこ
の波面はアンチブレーズ波面と干渉する。アンチブレー
ズ光束および戻り波面の鏡面反射光線が当るように適当
な形式のスクリンを配置することによって試験すべき円
筒面の像品質を表わす縞・ξターンがスクリン上に形成
される。
凹面および凸面のコーチングしたまたはしない円筒面を
この方法および装置によって試験することができる。
この方法および装置によって試験することができる。
実施例：
次に本発明の実施例を図面により説明する。
たとえばブレーズ光束の焦線と試験物体の距離を測定す
ることによって円筒の曲率半径を決定することができる
。
ることによって円筒の曲率半径を決定することができる
。
第１図には入射光束九対し垂直に配置した回折格子１６
に向う平行単色レーザ光束１６の光源１２を有する試験
円筒面３０のための試験装置１０が示される。光学的に
平面の参照射出要素たとえば１８を使用する場合、回折
格子からのゼロ次戻り光束を、回折格子１６を入射光束
１４に対し垂直に配置するため使用することができる。
に向う平行単色レーザ光束１６の光源１２を有する試験
円筒面３０のための試験装置１０が示される。光学的に
平面の参照射出要素たとえば１８を使用する場合、回折
格子からのゼロ次戻り光束を、回折格子１６を入射光束
１４に対し垂直に配置するため使用することができる。
回折格子１６はブレーズ方向（＋１次回折）に高率の１
次円筒収れん波面２０および反ブレーズ方向（−１次回
折）に１次円筒発散波面２２を発生するようにブレーズ
した異なる間隔の溝を平面・＼刻線した線形格子である
。波面２０は焦線２４へ収れんし、次に円筒波面２６と
して発散し、凹の円筒面３０のような試験物体へ当る。
次円筒収れん波面２０および反ブレーズ方向（−１次回
折）に１次円筒発散波面２２を発生するようにブレーズ
した異なる間隔の溝を平面・＼刻線した線形格子である
。波面２０は焦線２４へ収れんし、次に円筒波面２６と
して発散し、凹の円筒面３０のような試験物体へ当る。
軸が焦線２４と一致する円筒面３０は波面を格子１６へ
戻し、そこでもう１つの１次回折が発生する。
戻し、そこでもう１つの１次回折が発生する。
この１次回折光は平らな波面として解析のだめ干渉計の
光学的に平面の参照要素１８へ戻るけれど、第２回折で
は多くのエネルギーが失われ、ゼロ次エネルギーの高い
ノコツクグラウンドがあるので、縞のコントラストが低
下する。
光学的に平面の参照要素１８へ戻るけれど、第２回折で
は多くのエネルギーが失われ、ゼロ次エネルギーの高い
ノコツクグラウンドがあるので、縞のコントラストが低
下する。
スクリン３２を配置することＫよって得られる。 １こ
の光束は虚像３４から発散し、焦線から格子面による鏡
面（ゼロ次）反射を介して戻る波面と干渉し、凹の円筒
面３０の像品質を表わす縞パターンをスクリン３２に発
生する。スクリンはスクリンの前面または背面の℃・ず
れかの方向から観測し、インターフエロダラム写真をと
るために使用しうる任意の平らな表面である。
の光束は虚像３４から発散し、焦線から格子面による鏡
面（ゼロ次）反射を介して戻る波面と干渉し、凹の円筒
面３０の像品質を表わす縞パターンをスクリン３２に発
生する。スクリンはスクリンの前面または背面の℃・ず
れかの方向から観測し、インターフエロダラム写真をと
るために使用しうる任意の平らな表面である。
本発明のもう１つの態様によれば円筒試験物体の主軸は
焦線２４と一致しなければならず、焦線と円筒の距離は
試験表面の曲率に依存する。
焦線２４と一致しなければならず、焦線と円筒の距離は
試験表面の曲率に依存する。
焦線と円筒面の距離を知ることにより試験表面の曲率半
径を決定することができる。これは円筒をその表面が焦
線と一致するまで動かし、移動距離を測定することによ
って達成することができる。第２縞・ξターンの検知は
光学要素が正確に焦線に配置されたことを表わす。
径を決定することができる。これは円筒をその表面が焦
線と一致するまで動かし、移動距離を測定することによ
って達成することができる。第２縞・ξターンの検知は
光学要素が正確に焦線に配置されたことを表わす。
第２図は凸の円筒面３０ａを試験する同様の試験装置を
示す。しかしこの場合臼の円筒面３Ｑａは焦線２４（図
示せず）の前方に配置され、１次回折波而は回折格子へ
戻される。しかし３０ａで示す試験物体により平行入射
光束が少し妨害される。この図のすべての要素は凸の円
筒３０ａを除き第１図の同じ番号の要素と同じ機能を有
するので、この図の要素の説明は不用である。
示す。しかしこの場合臼の円筒面３Ｑａは焦線２４（図
示せず）の前方に配置され、１次回折波而は回折格子へ
戻される。しかし３０ａで示す試験物体により平行入射
光束が少し妨害される。この図のすべての要素は凸の円
筒３０ａを除き第１図の同じ番号の要素と同じ機能を有
するので、この図の要素の説明は不用である。
本発明を実施するため必要な要素はレーザのような単色
光源、市場で容易に入手しうるビームエクス・ξンダ／
コリメータおよび回折格子がすべてであることは明らか
である。図示の回折格子の１つのタイプは光学的に反射
性の平面格子であり、刻線１６ｂの間のギヤノブ１６＆
の幅は平行光束を円筒波面へ回折するため１つの側１６
ｃから他の側１６ｄへ減少する。代表的にはギヤツブは
１６Ｃに始まる１５０線／埴から反対側１６ｄの９５０
線／■へ変化する。格子は隣接する溝から回折した光線
の光路がつねに１波長変化するような溝の配置で設計さ
れる。
光源、市場で容易に入手しうるビームエクス・ξンダ／
コリメータおよび回折格子がすべてであることは明らか
である。図示の回折格子の１つのタイプは光学的に反射
性の平面格子であり、刻線１６ｂの間のギヤノブ１６＆
の幅は平行光束を円筒波面へ回折するため１つの側１６
ｃから他の側１６ｄへ減少する。代表的にはギヤツブは
１６Ｃに始まる１５０線／埴から反対側１６ｄの９５０
線／■へ変化する。格子は隣接する溝から回折した光線
の光路がつねに１波長変化するような溝の配置で設計さ
れる。
格子を横切るギャップはすべての光線を共通の線へ向け
るように変化し、それによって真円円筒面を試験するた
めの円筒波面が得られる。しかし真円円筒試験光学要素
を試験するための格子は一般的であることは明らかであ
る。と℃・うのは所要のすべては焦線を形成し、試験光
学系の主軸をそれと一致させ、それによって光束を試験
光学系の表面に垂直に当てることであるからである。非
真円円筒試験表面の場合、格子は試験光学要素からの戻
り光線を、焦線が１次光線を試験光学要素表面に対し垂
直に向け、この表面で１次光線が同じ光路に沿って反射
されて戻るように、適合させるために独特に刻線しなけ
ればならない。
るように変化し、それによって真円円筒面を試験するた
めの円筒波面が得られる。しかし真円円筒試験光学要素
を試験するための格子は一般的であることは明らかであ
る。と℃・うのは所要のすべては焦線を形成し、試験光
学系の主軸をそれと一致させ、それによって光束を試験
光学系の表面に垂直に当てることであるからである。非
真円円筒試験表面の場合、格子は試験光学要素からの戻
り光線を、焦線が１次光線を試験光学要素表面に対し垂
直に向け、この表面で１次光線が同じ光路に沿って反射
されて戻るように、適合させるために独特に刻線しなけ
ればならない。
格子刻線に使用するコンピユータ化した光線追跡法はマ
グロ−ヒルインク（Ｍｅ Ｇｒｏｗ ＨｉｌｌＩｎｃ、
）１９６６年のウォレン Ｊ、スミス（Ｗａｒ−「ＨＪ
、 Ｓｍ１ｔｈ ）によるモダンオプティヵルエンノニ
ャリング（Ｍｏｄｅａｎ ０ｐｔｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎ
ｅｅｒｉｎｇ ）と題する論文〔ライブラリオブコング
レス（Ｌ−ｉｂｒａｒｙ ｏｆ Ｃｏｎｇｒｅｓｓ ）
カードｍ６６−１８２１４１に記載される。コンピユー
タ化した光線追跡を論するオプティカルコンビュテーシ
ョン（Ｏｐｔｉ−ｃａｌ Ｃｏｍｐｕｔａｔｉｏｎ ）
および格子を論する１４１ページのストップスアンドア
パーチアズ（５ｔ−ｏｐｓ ａｎｄ Ａｐｅｒｔｕｒｅ
ｓ ）と題する章を参照。
グロ−ヒルインク（Ｍｅ Ｇｒｏｗ ＨｉｌｌＩｎｃ、
）１９６６年のウォレン Ｊ、スミス（Ｗａｒ−「ＨＪ
、 Ｓｍ１ｔｈ ）によるモダンオプティヵルエンノニ
ャリング（Ｍｏｄｅａｎ ０ｐｔｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎ
ｅｅｒｉｎｇ ）と題する論文〔ライブラリオブコング
レス（Ｌ−ｉｂｒａｒｙ ｏｆ Ｃｏｎｇｒｅｓｓ ）
カードｍ６６−１８２１４１に記載される。コンピユー
タ化した光線追跡を論するオプティカルコンビュテーシ
ョン（Ｏｐｔｉ−ｃａｌ Ｃｏｍｐｕｔａｔｉｏｎ ）
および格子を論する１４１ページのストップスアンドア
パーチアズ（５ｔ−ｏｐｓ ａｎｄ Ａｐｅｒｔｕｒｅ
ｓ ）と題する章を参照。
開示された方法および装置によれば１回の回折しか含ま
れないので、装置の効率が高く、ゼロ次エネルギーは・
々ツクグラウンドから除去され、縞のコントラストが大
きく改善される。前記要素に対し付加的に必要な装置は
光学系の調節可能の支持装置であり、それによって非常
にコン・ξクトな、比較的強固で安価な系が得られる。
れないので、装置の効率が高く、ゼロ次エネルギーは・
々ツクグラウンドから除去され、縞のコントラストが大
きく改善される。前記要素に対し付加的に必要な装置は
光学系の調節可能の支持装置であり、それによって非常
にコン・ξクトな、比較的強固で安価な系が得られる。
第１図は凹の円筒面を試験する本発明の装置、第２図は
凸の円筒面を試験する装置のそれぞれ光路図、第３図は
本発明を実施する回折格子の横断面図である。
凸の円筒面を試験する装置のそれぞれ光路図、第３図は
本発明を実施する回折格子の横断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 円筒面の像品質を光学的に評価する装置において
、 平らな単色光波面、 １次円筒波面をブレーズ方向に回折させる形および間隔
の溝を有する平面回折格子を有し、 前記波面を格子へ戻すように評価すべき円筒面を配置し
、 格子からアンチブレーズ方向へ発散する１次回折円筒波
面を遮断するように配置した装置を有し、 この発散する円筒波面が円筒面から戻った波面の鏡面反
射波面と干渉し、この装置上に円筒面の像品質を表わす
縞・にターンを形成する ことを特徴とする円筒面を光学的に試 験する装置。 ２、 円筒面が凹面である特許請求の範囲第１項記載の
装置。 ３、 円筒面がコーチングされている特許請求の範囲第
２項記載の装置。 仝、 円筒面がコーチングされていない特許請求の範囲
第１項記載の装置。 ５ 溝の間隔が真円波面をブレーズ方向およびアンチブ
レーズ方向に回折するように変化して（・る特許請求の
範囲第１項記載の装置。 ６、溝の間隔が非真円波面をブレーズ方向およびアンチ
ブレーズ方向に回折するように変化している特許請求の
範囲第１項記載の装置。 ７、 円筒面を試験する方法において。 選択した波長の平行単色光束を形成し、この光束の光路
に回折格子を備え、 この格子が高率の１次円筒波面を発生ずるように間隔の
変化する直線的溝を有し、この波面が焦線へ収れんし、
かつ円筒波面として発散し、 試験すべき円筒面をその軸が焦線と一致し、円筒波面を
同じ光路に沿って格子へ反射するように配置し、 格子からの１次アンチブレーズ回折光および円筒面から
戻った波面の鏡面反射光の両方を遮断するように、格子
に対してスクリンを配置する ことを特徴とする円筒面を試験する方法。 ８、 選択した波長の平行単色光の光源を備え、この光
源から平面波面が発し、 この平行光線の光路に変化する間隔の線形格子を備え、
この格子が円筒波面の試験光束を発生し、 試験すべき円筒をこの試験光束の光路に配置し、試験光
束を格子へ戻し、 スクリンを平行光束の試験円筒面と反対側に配置し、格
子によつ℃回折した光束および試験光束の鏡面反射光を
受光し、このスクリン上に試験円筒面の形を表わす縞を
発生させる 特許請求の範囲第７項記載の方法。 ９ 円筒表面の像品質を光学的に評価する装置において
、 平面的単色光波面、 １次円筒波面をブレーズ方向に回折するような形状およ
び間隔の平面回折格子を有し、この波面が焦線に収れん
し、かつ円筒波面に発散し、その光線が円筒面に垂直に
当り、同じ光路に沿って戻り、 格子からアンチブレーズ方向へ発散する１次回折円筒、
波面を遮断するように配置した装置を有し、この波面が
試験円筒面から戻った波面の鏡面反射波面と干渉し、こ
のスクリン上に円筒面の像品質を表わす縞・ξターンを
形成する ことを特徴とする円筒面を試験する装置。 １０ 試験円筒面を焦点へ動かし、移動距離を測定して
試験表面の曲率半径を決定する特許請求の範囲第７項記
載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/595,782 US4606640A (en) | 1984-04-02 | 1984-04-02 | Method and apparatus for optically testing cylindrical surfaces |
| US595782 | 1984-04-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60225008A true JPS60225008A (ja) | 1985-11-09 |
Family
ID=24384657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60068628A Pending JPS60225008A (ja) | 1984-04-02 | 1985-04-02 | 円筒面を光学的に試験する方法および装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4606640A (ja) |
| EP (1) | EP0157230A3 (ja) |
| JP (1) | JPS60225008A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4898470A (en) * | 1988-07-12 | 1990-02-06 | Eastman Kodak Company | Apparatus and method for testing circular cylindrical or conical surfaces |
| US5283690A (en) * | 1989-04-04 | 1994-02-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical diffraction grating element |
| US5546186A (en) * | 1991-06-08 | 1996-08-13 | Fuji Photo Optical Co., Ltd. | Apparatus for holographic interferometry suitable for inspection of cylindrical optical surfaces |
| US5379106A (en) * | 1992-04-24 | 1995-01-03 | Forensic Technology Wai, Inc. | Method and apparatus for monitoring and adjusting the position of an article under optical observation |
| US5654798A (en) * | 1995-01-19 | 1997-08-05 | Tropel Corporation | Interferometric measurement of surfaces with diffractive optics at grazing incidence |
| US5793488A (en) * | 1995-07-31 | 1998-08-11 | Tropel Corporation | Interferometer with compound optics for measuring cylindrical objects at oblique incidence |
| US5719676A (en) * | 1996-04-12 | 1998-02-17 | Tropel Corporation | Diffraction management for grazing incidence interferometer |
| US5777738A (en) * | 1997-03-17 | 1998-07-07 | Tropel Corporation | Interferometric measurement of absolute dimensions of cylindrical surfaces at grazing incidence |
| EP3502674A1 (en) | 2017-12-19 | 2019-06-26 | Koninklijke Philips N.V. | Testing of curved x-ray gratings |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3614235A (en) * | 1969-07-28 | 1971-10-19 | Charles R Munnerlyn | Diffraction grating interferometer |
| US3907438A (en) * | 1973-06-22 | 1975-09-23 | Gen Electric | Contour measuring system for cylinders |
-
1984
- 1984-04-02 US US06/595,782 patent/US4606640A/en not_active Expired - Fee Related
-
1985
- 1985-03-11 EP EP85102746A patent/EP0157230A3/en not_active Withdrawn
- 1985-04-02 JP JP60068628A patent/JPS60225008A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0157230A2 (en) | 1985-10-09 |
| US4606640A (en) | 1986-08-19 |
| EP0157230A3 (en) | 1987-05-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3829219A (en) | Shearing interferometer | |
| EP2901101B1 (en) | Measuring method | |
| US7072042B2 (en) | Apparatus for and method of measurement of aspheric surfaces using hologram and concave surface | |
| CN1060267C (zh) | 利用衍射光学显现表面轮廓的方法和装置 | |
| US5737079A (en) | System and method for interferometric measurement of aspheric surfaces utilizing test plate provided with computer-generated hologram | |
| JP3784415B2 (ja) | 複合体光学素子を有する干渉計 | |
| US5410397A (en) | Method and apparatus for holographic wavefront diagnostics | |
| US5424828A (en) | Method for measuring and analyzing interference fringes using a halographic optical element having two patterns for diffracting a laser beam | |
| JPS60225008A (ja) | 円筒面を光学的に試験する方法および装置 | |
| JPH10512955A (ja) | 光学装置、及び該装置を物体の光学的検査に用いる方法 | |
| JP3902796B2 (ja) | 回折測距システム用可変ピッチ格子 | |
| JPH0153408B2 (ja) | ||
| KR100457656B1 (ko) | 위상천이 회절격자 간섭계와 그 측정방법 | |
| US5719676A (en) | Diffraction management for grazing incidence interferometer | |
| Middleton | A reflection technique for the survey of the deflection of flat plates: Paper describes a technique by which it is possible to attain required sensitivity between specified values of deflection | |
| US20100110445A1 (en) | Slit aperture for diffraction range finding system and method for using the slit aperture to form a focused image | |
| JP3164127B2 (ja) | ホログラム干渉計 | |
| JPH051970A (ja) | 面形状測定装置 | |
| JP2000097657A (ja) | 干渉計 | |
| JP3067041B2 (ja) | ホログラム干渉計 | |
| US6532074B1 (en) | Free-space diffraction measurement of a phase mask for fabrication of a waveguide Bragg grating | |
| JP2500348B2 (ja) | ヤング縞回折格子を用いた回折格子の製作方法 | |
| JPH08320205A (ja) | 干渉縞の評価装置及びそれを用いた回折干渉光学系の検査方法 | |
| SU875209A1 (ru) | Интерферометр дл измерени неплоскостности и непр молинейности поверхностей | |
| Fouéré | Holographic interferometers for optical testing |