SU875209A1 - Интерферометр дл измерени неплоскостности и непр молинейности поверхностей - Google Patents

Интерферометр дл измерени неплоскостности и непр молинейности поверхностей Download PDF

Info

Publication number
SU875209A1
SU875209A1 SU792724311A SU2724311A SU875209A1 SU 875209 A1 SU875209 A1 SU 875209A1 SU 792724311 A SU792724311 A SU 792724311A SU 2724311 A SU2724311 A SU 2724311A SU 875209 A1 SU875209 A1 SU 875209A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
information
light beam
light
reflector
branches
Prior art date
Application number
SU792724311A
Other languages
English (en)
Inventor
Вячеслав Андреевич Сойту
Семен Давидович Голод
Николай Никитич Варнавский
Олег Викторович Любомудров
Марк Давидович Модель
Юрий Сергеевич Скворцов
Владимир Петрович Трегуб
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1705
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1705 filed Critical Предприятие П/Я А-1705
Priority to SU792724311A priority Critical patent/SU875209A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU875209A1 publication Critical patent/SU875209A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Description

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике, а именно к приборам дл  измерени  «еплрскостности и непр молинейности доведенных шлифованных и шаброванных поверхностей как малой, так и большой прот женности , и может быть использовано, например, дл  измерени  неплоскрстности и непр молинейности поверочных плит и линеек, направл ющих станков и т.д. Известен интерферометр дл  измере ни  неплоскостности и непр молинейнести поверхностей, содержащий источник света и расположенные по ходу светового луча расширитель светового луча, формирователь йнформационногсэ и референтного световых лучей, расположённый перед контролируемой поверхностью и выполненный в виде проз рачноЯ дифракционной решетки, смеситель информационного и референтного световых лучей, расположенный за контролируемой поверхностью и выполненный в виде прозрачной дифракционной решетки, и наблюдательную систему с отсчетйым устройством ClJ. . .-Недостатками этрго интерферометра  вл ютс  низка  разрешающа  способность и точность измерени  и мала  длина контролируемых поверхностей. Наиболее близким устройством по своей технической сущности к изобретению  вл етс  интерферометр дл  измерени  неплоскостности и непр молинейности поверхностей, содержащий источник света и расположенные по ходу светового луча светоделительную пластину, дел щую световой луч на две ветки, расположенные в одной из ветвей формирователь информационного и референтного световых лучей и отражатель информационного и референтного световых лучей, и расположенную в другой из ветвей наблюдательную систему 2 . формирователь информационного и референтного световых лучей расположен перёд контролируемой поверхностью и выполнен в виде двух зеркгш. Отражатель информационного и референтного световых лучей расположен за контролируемой поверхностью и вьтолнен в виде двух зеркал. Недостаткс1ми известного устройства  вл етс  недостаточно высока  точность измерени , вследствие прохождени  информационного и референтного световых лучей на некотором удалении друг от друга, сложна  оптическа  сх ма совмещени  информационного и рефе рентного световых лучей и мала  шири на контролируемой поверхности из-за делени  в формирователе сечени  светового луча, вышедшего из расширител щополам. Цель изобретени  - повышение точности измерений. Поставленна  цель достигаетс  тем что и формирователь и отражатель информационного и референтного световых лучей выполнены в виде оптического клина, у которого на переднюю п ходу светового луча поверхность нанесено светоделительное покрытие, а на заднюю поверхность - отражающее покрытие.. На чертеже изображена принципиаль на  схема интерферометра дл  измерени  неплоскостности и непр молинейности поверхностей. Интерферометр содержит источник 1 света, диафрагму 2 и расположенные по ходу светового луча светоделитель ную пластину 3, дел щую световой луч на две ветви, расположенные в одной из ветвей расширитель 4 светового лу ча, выполненный в виде объектива, формирователь 5 информационного и ре ферентного световых лучей и отражатель 6 информационного и референтного световых .лучей и расположенную в другой из ветвей дис1фрагму 7 и наблюдательную систему 8. И формирователь и отражатель информационного и референтного световых лучей выполнены в виде оптического клина, у которого на переднюю по ходу светового луча поверхность нанесено светоделительное покрытие, а на заднюю поверхность - отражающее покрытие. Интерферометр работает следуиадим образом. Источник 1 света направл ет свето вой ,луч на диафрагму 2. Вышедший из диафрагмы 2 световой луч отклон етс  светоделительной пластиной 3 и направл етс  в расширитель 4 светового луча. Расширенный и ллимированный световой луч направл етс  далее на формирователь 5 информационного и референтного световых лучей, выполненного в виде оптического клина. Часть светового луча отражаетс  от передней поверхности оптического кли на и образу  информационный светово луч,направл етс  под углом oi- на контролируемую поверхность 9. Друга  часть светового луча проходит в оптический клин, отражаетс  от его згщней поверхности, выходит из оптическогО клина и, образу  референтный световой луч, направл етс  парал лельно контролируемой поверхности на отражатель б информационного и референтного световых лучей, выполненного в виде оптического клина. Отразившись от передней поверхности этого оптического клина референтный световой луч направл етс  в строго обратном направлении в формирователь 5 информационного и референтного световых лучей, выполненных в виде оптического клина, проходит в него, отражаетс  от его задней поверхности и выходит из клина через его переднюю поверхность. Информационный световой луч,отразившись от контролируемой по-веркности 9, направл етс  в отражатель б информационного и референтного световых лучей, выполненных в виде оптического клина, входит в него, отражаетс  от его задней поверхности и направл етс  в строго обратном направлении снова на контролируемую поверхность 9, а затем на формирователь 5 информационного и референтного световых лучейi возвратившийс  информационный световой луч отражаетс  от передней поверхности этого формировател  5,интерферирует с возвратившимс  референтным световым лучом и направл етс  совместно с ним в расширитель 4 светового луча, пройд  который интерферирующие световые лучи (информационный и референтный) направл ютс  на диафрагму 7, а затем в наблюдательную систему 8. При измерении неплоскостности или непр молинейности поверхностей происходит следующее. Из расширител  4 светового луча выходит расширенный и коллимиро.ванный световой луч, имеющий плоский волновой фронт. После делени  этого светового луча формирователем 5 на референтный и информационный световые лучи плоский волновой фронт в референтном луче сохран етс , а в информационном световом луче, вследствие его взаимодействи  с контролируемой поверхностью 9, волновой фронт претерпевает дважды искажени , пропорциональные макрои микронеровност м контролируемой поверхности 9. Искажение волнового фронта информационного светового луча визуализируетс  в наблюдательной системе 8 в виде искривлени  полос интерференционной картины, при этом искривление полос интерференционной картины на ширину одной интерференционной полосы соответствует непр молинейности или неплоскостности контролируемой поверхности i,j . , л где Л--длина волны источника 1 света , а об- угол между информационным световым лучом и контролируемой поверхностью 9. Использование в качестве формировател  5 и отражател  б информацион .ного и референтного световых лучей оптических клиньев позвол ет получить цену делени  одной интерференционной полосы, кратную целому числу микрометров; уравн ть длину референтного

Claims (1)

  1. Формула изобретения
    Интерферометр для измерения неплоскостности и непрямолинейности поверхностей, содержащий источник света и расположенную по ходу светового луча светоделительную пластину, делящую световой луч на две ветви, расположенные в одной из ветвей форми-<· рователь информационного и референтного световых лучей и отражатель информационного и референтного световых лучей,и расположенную в другой из ветвей наблюдательную систему, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, и формирователь и отражатель информа.ционного и референтного световых лучей выполнены в виде 'оптического кли·на, у которого на переднюю по ходу .·. светового луча поверхность нанесено светоделительное покрытие, а на заднюю поверхность - отражающее покрытие.
SU792724311A 1979-02-15 1979-02-15 Интерферометр дл измерени неплоскостности и непр молинейности поверхностей SU875209A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792724311A SU875209A1 (ru) 1979-02-15 1979-02-15 Интерферометр дл измерени неплоскостности и непр молинейности поверхностей

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792724311A SU875209A1 (ru) 1979-02-15 1979-02-15 Интерферометр дл измерени неплоскостности и непр молинейности поверхностей

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU875209A1 true SU875209A1 (ru) 1981-10-23

Family

ID=20810067

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792724311A SU875209A1 (ru) 1979-02-15 1979-02-15 Интерферометр дл измерени неплоскостности и непр молинейности поверхностей

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU875209A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3829219A (en) Shearing interferometer
US4470696A (en) Laser doppler velocimeter
AU2014202103B2 (en) Apparatus For Detecting A 3D Structure Of An Object
Kimbrough et al. Low-coherence vibration insensitive Fizeau interferometer
US3090279A (en) Interferometer using a diffraction grating
JPS6036003B2 (ja) 被検査表面の検査方法
TW316289B (en) Method and interferometric apparatus for measuring changes in displacement of an object in a rotating reference frame
CN203848938U (zh) 一种真空紫外激光线宽的测量装置
SU875209A1 (ru) Интерферометр дл измерени неплоскостности и непр молинейности поверхностей
US4606640A (en) Method and apparatus for optically testing cylindrical surfaces
JP2001241914A (ja) 斜入射干渉計用光学系およびこれを用いた装置
JPH046884B2 (ru)
CN1039745C (zh) 实时一步双波长全息干涉检测装置
CN103868603A (zh) 一种真空紫外激光线宽的测量装置和方法
EP1687588A2 (en) Process and apparatus for measuring the three-dimensional shape of an object
SU1364866A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений
JPS63218827A (ja) 光スペクトル検出装置
SU1073570A1 (ru) Устройство дл измерени деформаций объекта
SU803640A1 (ru) Устройство дл измерени показател преломлени прозрачных сред
RU2152588C1 (ru) Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов
RU2209389C1 (ru) Двухлучевой интерферометр
Erskine et al. Imaging white-light VISAR
SU1046606A1 (ru) Интерферометр дл измерени неплоскостности и непр молинейности поверхностей
SU1518666A1 (ru) Способ измерени перемещени объекта и устройство дл его осуществлени
SU136932A1 (ru) Интерферометр