JPS60217621A - セラミツクグリ−ンシ−トの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は電子部品として用いられる積層セラミックコン
デンサ、多層基板等に使用するガイドホールか右ナスゲ
リーンシートめ開塾す炊ｆ閂十ス。

〔従来技術〕

従来、積層セラミックコンデンサの製造に於ては、誘電
体材料を含むセラミックグリーンシート上に導電材料を
含む内部電極波−ストを有効内部電極が交互に平面方向
に引き出せる様に印刷し。

所定の形状に目合せ、打抜き、積層して熱圧着している
。そして、この積層体を所定の形状に切断後、焼成し、
有効内部電極と垂直な面である。外部電極取出し面に外
部電極波−ストを塗布し、焼付けるという方法が用いら
れている。

ところで、この有効内部電極を平行に取出す方法は、有
効電極と平行な同一面のみに電極を引き出すことが出来
ない。

〔発明の目的〕

本発明は、上記の如き欠点を解消するために。

高精度のガイドホールを有するグリーンシートを容易に
得ることのできる製造方法を提供することを目的とする
。

〔発明の構成〕

本発明は、あらかじめ誘電体材料を含むスラリ−と、内
部電極材料を含むスラリーを作成しておき、ドクタープ
レイド法によシキャリアフイルム上に前者のグリーンシ
ートを形成する。そして。

このグリーンシートが未乾燥のうち、後者のスラリーを
精密分割吐出装置を用いて定位置に定量吐出させ、乾燥
する。こうして得られたグリーンシートは、グリーンシ
ートを貫通するガイドホールを有することになる。　一 本発−明の方法は、具体的には無機絶縁性粉末。

導伝性粉末にそれぞれ有機成分である結合剤、可塑剤お
よび溶媒を所定量加え、ホモジナイザ、ボールミル等の
既知の混合方法でよく混合して２種類のスラリーを作る
。無機絶縁性粉末を含むスラリーをキャリアフィルム上
にドクタープレイド法によシ一定厚みのシート状に抽出
する。そして。

未乾燥中に導電性粉末を含むスラリーを精密吐出装置に
よシ装置先端（スラリーとのぬれ性が悪いノズル）がキ
ャリアフィルム面に接触するように−して定量分吐出、
注入した後、乾燥して用途に応じ０．０１〜０．２μｍ
の一定厚みのセラミック生シートを作成する。このよ゛
うにして外径が０．０５〜０、４　ａｍの導電性ガイド
ホールを有するセラミックシートを得ることができる。

このグリーンシートを用いて２例えば積層コンデンサを
つくる場合、このグリーンシート上に対向電極を各々導
通する様に印刷する。印刷後、キャリアフィルムよジグ
リーンシートを剥離し２位置決めを行って打抜き、積層
、圧着する。更に。

所定位置よ多切断し、焼成する。更に、同一面内に形成
されている対向電極が各々取り出せる様に。

外部電極を形成する。こうして得られるコンデンサは、
有効電極と平行な同一面に対向電極を有するコンデンサ
になシ、従来のチップ端面を利用したコンデンサよシ、
リード付け、実装の際の耐熱性の優れた。つまシクラッ
条の入シにくい高信頼性のコンデンサを製造することが
できる。

本発明の方法に用いる。無機絶縁性素材は、セラミック
基板の場合は、アルミナ、マグネシア。

ステアタイトなど、圧電体、誘電体素材としては。

チタパリ、　ＰＺＴなど、更に、磁性材料の場合は各種
フェライト材料等いずれでもよい。導電性材料としては
、銀、金、白金、パラジウム等がｓｂいずれでもよい。

また、有機結合剤としては、ポリビニルアルコール、ｆ
！り酢酸ビニル、ポリビーニルブチラール、エチルセル
ロース等があるが、接着性の観点から、ポリビニルブチ
ラール、エチルセルロース等が好ましい。その他、可塑
剤としては。

結合剤に応じて選択されるが、フタル酸エステル系、グ
リコール系等が用いられる。結合剤、可塑剤の量は、材
料の収縮率によって異るが、成形性。

加工性及び高密度化焼成を考慮して１〜ｌＱｗｔ％が好
ましい。溶媒は結合剤に応じて選択する。導電性素材の
スラリー吐出にはステンレス又はテフロンノズルの精密
分割吐出装置が好ましい。

本発明によシ得られたガイドホールを有するセラミック
グリーンシートはガイドホール周辺部で多少平滑さに欠
けるが、導電材料で完全に充填された高信頼度なものに
なる。なお、グリーンシート作成中にガイドホールを作
成するのは、グリーンシート作成後にスルーホール作成
する場合のように、抜きくず、パリ等の為に貫通孔が得
難く。

信頼性を欠くのを防ぐ為でアシ、スルーホール作成後の
導電材料の塗布の際に再度問題になる上記−の欠陥を生
じさせない方法として有効である〇〔実施例〕 セラミック素材として。

ｐｂ（（Ｎｂ、　、　Ｆｅｄ　）ｏ、６；＋（ＷｌＦｅ
ｙ）Ｑ、３３〕Ｏｓ　ノ”成ヲ有する複合ペロブスカイ
ト系誘電材料で７５０℃予焼後、ゾールミル粉砕したも
のを使用した。導電性素材としては、（銀／パラジウム
）＝（ＳＯ％７２０％）比のものを使用した。この素材
を各々高速回転する攪拌羽根を有するホモジナイザで、
前者は３５　ｗｔ％のエチルセロソルブ中に分散させ。

その後４ｗｔ％のポリビニルブチラール、１ｗｔ％のブ
チルフタリルブチルグリコレートを加え、よく混合して
スラリーを作成する。同じく後者は。

３　Ｑ　ｗｔ％のエテルセロソルブ、６ｗｔ％のポリビ
ニルブチラール１ｗｔ％のブチルフタリルブチルグリコ
レートでスラリーを作成した。前者のスラリーをポリエ
ステルフィルム上にドクタープレイド法によシ４０μｍ
厚のグリーンシートを形成する。そのドクタープレイド
流出直後、後者のスラリーを分割定量吐出装置にてグリ
ーンシートに０．００２ｃｃ注入する。その後、１００
℃乾燥を行う。このグリーンシートにキャリアフィルム
付着のままスクリーンでの電極、目合せ位置の印刷を行
う。（印刷は有効電極部、保護膜部の２ケ所分）印刷後
。

グリーンシートからキャリアフィルムを剥離し。

所定の大きさく　１００ｍｍ×１２０ｍｍ）に打抜き。

金ど内に積層し、　２５０　ｋｇ／ｃＩＩＬ２．１１０
℃で熱プレスした。

これを切断し１個別の積層セラミックコンデンサの生チ
ップを得た。これを所定の条件で脱バインダー後、焼成
した。その積層セラミックコンデンサの外部電極取出し
部に外部電極塗布、焼付けして得られたコンデンサにリ
ード付けを行い、クラック状態の観察、寿命試験によシ
、従来方法との比較評価を行った。その結果を第１表に
示す。

以下余日 第１表 第１図は上記製造方法で得られた積層セラミックコンデ
ンサを断面図で示す。１はグリーンシート、２は有効電
極膜、３は外部電極、４はガイドホールである。

以上は積層セラミックコンデンサはついての説明である
が積層チップインダクタの場合、第２図のようにフェラ
イト磁性粉末のスラリーよジグリーンシート１を作成し
、前記同様に未乾燥状態で導電性のガイドホール４を形
成させ、その後乾燥後、内部電極パターン２を印刷塗布
等によシ設けて、全体を積層して熱圧着させる。

〔発明の効果〕

本発明では１以上説明してきたようにガイドホールを良
好に形成することができるために、従来の方法では生産
性が低く、信頼性に問題があったところを大幅に改善で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によシ得られた積層セラミックコンデン
サの断面図、第２図は本発明によシ得られた積層チップ
インダクタの分解図。 図中、１はグリーンシート、２は有効電極膜。 ３は外部電極、４はガイドホール。 児２図 ／＝＝７

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、無機絶縁性粉末と有機結合剤及び可塑剤等を含むス
   ラリーをドクタープレイド法によシキャリアシート上に
   成膜、乾燥して１０〜２００μｍ厚のグリーンシートを
   得、該シートが未乾燥のうちに導電性無機材料を含むペ
   ーストを該グリーンシート中に注入し、所定の乾燥を行
   なうことによシ。