JPS60214298A - ヘリウム漏洩検出器の汚染除去方法及び該方法実施装置 - Google Patents
ヘリウム漏洩検出器の汚染除去方法及び該方法実施装置Info
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- JPS60214298A JPS60214298A JP60057634A JP5763485A JPS60214298A JP S60214298 A JPS60214298 A JP S60214298A JP 60057634 A JP60057634 A JP 60057634A JP 5763485 A JP5763485 A JP 5763485A JP S60214298 A JPS60214298 A JP S60214298A
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- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はヘリウム漏洩検出器の汚染除去方法及び該方法
の実施装置に係る。
の実施装置に係る。
従来の技術
ヘリウム漏洩検出器は主として添付の第１図に示す２つ
の部分、即ち、 （１）すベシ翼形回転真空ポンプ１とポンプ遮断弁２と
吸気弁３と被試験チャンバへの接続用人口４とを有する
吸排ステーションと、 （２）大口弁６を有しておシ吸排ステーションに接続さ
れたガス分析装置５とを含む。
の部分、即ち、 （１）すベシ翼形回転真空ポンプ１とポンプ遮断弁２と
吸気弁３と被試験チャンバへの接続用人口４とを有する
吸排ステーションと、 （２）大口弁６を有しておシ吸排ステーションに接続さ
れたガス分析装置５とを含む。
前記入口４も閉鎖自在である。
分析装置５は、入口４から装置に入るヘリウムの量を検
出及び測定する。
出及び測定する。
以下の手順で漏洩試験を実施する。
弁３と６とを閉鎖し、弁２を、開き、入口４を被試験チ
ャンバに接続する。チャンバが排気されるようにポンプ
１のスイッチを入れる。次に弁２を閉じる。次に大口弁
６を開き、被試験チャンバの壁にヘリウムジェットを送
って測定を実施する。
ャンバに接続する。チャンバが排気されるようにポンプ
１のスイッチを入れる。次に弁２を閉じる。次に大口弁
６を開き、被試験チャンバの壁にヘリウムジェットを送
って測定を実施する。
チャンバに漏洩が生じていると、ヘリウムがチャンバに
入り入口４から分析装置５に入る。分析装置ｉｉ５はヘ
リウムの存在、従って被試験チャンバ内の漏洩を検出測
定する。
入り入口４から分析装置５に入る。分析装置ｉｉ５はヘ
リウムの存在、従って被試験チャンバ内の漏洩を検出測
定する。
しかし乍ら、被試験チャンバ９にヘリウムを供する前に
分析装置５が「漏洩」信号を検出することが時々生じる
。これは、例えばその前のテストでヘリウムを回路に導
入したため装置がこのヘリウムで汚染されており従って
次のテスト中に装置と種々の構成部品との気体放出（ｄ
ｅｇａｓｉｎｇ）によって漏洩と似たパックグラウンド
ノイズが発生することに起因する。これを解決するため
に現行の方法では、弁３を閉位置及び弁２を開位置に維
持してベーンポンプ１の運転を所定時間続ける。成る場
合には、バックグラウンドノイズのレベルが極めて高く
なシ従って前記運転時間も極めて長くなるであろう。例
えば、吸排作用が２時間も継続される。従来は、この汚
染の主因は、壁とベーンポンプの油溜めの油とによって
気体放出が生じしかもこの気体放出が極めて緩徐に現れ
るためであると考えられていた。
分析装置５が「漏洩」信号を検出することが時々生じる
。これは、例えばその前のテストでヘリウムを回路に導
入したため装置がこのヘリウムで汚染されており従って
次のテスト中に装置と種々の構成部品との気体放出（ｄ
ｅｇａｓｉｎｇ）によって漏洩と似たパックグラウンド
ノイズが発生することに起因する。これを解決するため
に現行の方法では、弁３を閉位置及び弁２を開位置に維
持してベーンポンプ１の運転を所定時間続ける。成る場
合には、バックグラウンドノイズのレベルが極めて高く
なシ従って前記運転時間も極めて長くなるであろう。例
えば、吸排作用が２時間も継続される。従来は、この汚
染の主因は、壁とベーンポンプの油溜めの油とによって
気体放出が生じしかもこの気体放出が極めて緩徐に現れ
るためであると考えられていた。
しかし乍ら出願人は、この汚染の原因を長い間 。
究明し、遂に、汚染の主因がベーンポンプの油溜めの油
面上方のフリースペースにヘリウムが濃縮されるためで
あることを知った。
面上方のフリースペースにヘリウムが濃縮されるためで
あることを知った。
即ち、ベーンポンプの入口圧力をＰｅとし油溜め内の油
上力のスペースＳの圧力をＰｓとすると、該スペースは
実質的に大気圧であるから、この種のポンプのヘリウム
に対する圧縮率は １０７のオーダである。即ちヘリウ
ム分圧比Ｐｓ ／ Ｐｅ”：： １０７である。
上力のスペースＳの圧力をＰｓとすると、該スペースは
実質的に大気圧であるから、この種のポンプのヘリウム
に対する圧縮率は １０７のオーダである。即ちヘリウ
ム分圧比Ｐｓ ／ Ｐｅ”：： １０７である。
スペースＳに含まれたヘリウムが一般に大気中に含まれ
るヘリウムと同じ濃度のとき、即ち、分圧Ｐａ ＝ ５
．１０−’気圧のとき、でらυ、分析装置の入ロダク）
Ｋ於けるこのヘリウム分圧の値は、妨害パックグラウン
ドノイズの発生を阻止し得る十分に小さい値である。し
かし乍ら装置内に多量のヘリウムが導入されると、スペ
ースＳ内のヘリウムの割合が増加し、例えばヘリウム分
圧が １０−１気圧に達する。このため、入口での分圧
Ｐｅ 、従って分析装置の入口ダクト内での分圧は になる。
るヘリウムと同じ濃度のとき、即ち、分圧Ｐａ ＝ ５
．１０−’気圧のとき、でらυ、分析装置の入ロダク）
Ｋ於けるこのヘリウム分圧の値は、妨害パックグラウン
ドノイズの発生を阻止し得る十分に小さい値である。し
かし乍ら装置内に多量のヘリウムが導入されると、スペ
ースＳ内のヘリウムの割合が増加し、例えばヘリウム分
圧が １０−１気圧に達する。このため、入口での分圧
Ｐｅ 、従って分析装置の入口ダクト内での分圧は になる。
入口でのヘリウム分圧がこのようなレベルになると、漏
洩が存在しないときにも分析装置５によって容易に検出
できるバックグラウンＦノイズが発生するので分析装置
の性能低下を招く。
洩が存在しないときにも分析装置５によって容易に検出
できるバックグラウンＦノイズが発生するので分析装置
の性能低下を招く。
従って、問題を解決するためには、ベーンポンプの油溜
めのヘリウム分圧Ｐｓを低下させることが必要である。
めのヘリウム分圧Ｐｓを低下させることが必要である。
問題点を解決するだめの手段
本発明の目的は、吸排ステーショ／と導入弁を備えた吸
気ダクトを介して吸排ステーションに接続されたガス分
析装置とを含むヘリウム漏洩検出器の汚染除去方法を提
供することである。吸排ステーションは、回転子と固定
子とを含んでおシこれら双方が成る程度まで充填した油
溜めに内蔵されている回転翼形油回転（真空）ポンプと
、固定子の内部を油溜めの外部に接続する吸引ダクトと
、油面よシ上方の一点で外部と連通している油溜めの内
部に固定子の内部を接続する排気チャネルとを備える。
気ダクトを介して吸排ステーションに接続されたガス分
析装置とを含むヘリウム漏洩検出器の汚染除去方法を提
供することである。吸排ステーションは、回転子と固定
子とを含んでおシこれら双方が成る程度まで充填した油
溜めに内蔵されている回転翼形油回転（真空）ポンプと
、固定子の内部を油溜めの外部に接続する吸引ダクトと
、油面よシ上方の一点で外部と連通している油溜めの内
部に固定子の内部を接続する排気チャネルとを備える。
吸排ステーションは更に、１端に被試験装置接続用締結
手段を備え他端でポンプ遮断弁を介して前記吸引ダクト
に接続された連結ダクトを含んでおシ、更に、１端が外
部に開口し他端が締結手段と遮断弁との間で前記連結ダ
クトに接続されているダクトに吸気弁が配置されている
。本発明方法の特徴は、漏洩試験を実行する前に導入弁
を閉鎖状態に維持して油溜め内部の油面上方のフリース
ペースに収容された空気を完全に掃去することである。
手段を備え他端でポンプ遮断弁を介して前記吸引ダクト
に接続された連結ダクトを含んでおシ、更に、１端が外
部に開口し他端が締結手段と遮断弁との間で前記連結ダ
クトに接続されているダクトに吸気弁が配置されている
。本発明方法の特徴は、漏洩試験を実行する前に導入弁
を閉鎖状態に維持して油溜め内部の油面上方のフリース
ペースに収容された空気を完全に掃去することである。
本発明方法の１つの実施態様によれば、吸込口を大気圧
に接続させた状態でポンプを作動させて空気を掃去する
。
に接続させた状態でポンプを作動させて空気を掃去する
。
このために、ポンプ遮断弁と吸気弁とを同時に開くこと
が可能な電気制御素子を吸排ステーションに配設する。
が可能な電気制御素子を吸排ステーションに配設する。
本発明方法の第２の実施態様によれば、ポンプ遮断弁と
ポンプ自体との間で連結ダクトに補助弁を装着する。該
弁は開位置で大気と前記連結ダクトとを直通させる。こ
の場合の方法を以下の手順で実行する。
ポンプ自体との間で連結ダクトに補助弁を装着する。該
弁は開位置で大気と前記連結ダクトとを直通させる。こ
の場合の方法を以下の手順で実行する。
ポンプのスイッチを入れる前にポンプ遮断弁を閉じ補助
弁を開く。
弁を開く。
本発明方法の更に別の実施態様によれば、圧縮空気をポ
ンプの油溜め内の油面上方に直接噴射する。このために
は油面上方で油溜めに付加弁を設け、油溜めを外部と連
通させ同時に圧縮空気噴射手段と接続せしめる。
ンプの油溜め内の油面上方に直接噴射する。このために
は油面上方で油溜めに付加弁を設け、油溜めを外部と連
通させ同時に圧縮空気噴射手段と接続せしめる。
添付図面と関連的に本発明のいくつかの具体例を以下に
説明する。
説明する。
第１図は、従来技術によるすベシ翼形回転真空ポンプ１
とポンプ遮断弁２と吸気弁３と被試験チャンバへの接続
用コネクタ４とを含む吸排ステーションが点線矩形Ａで
示されている。ガス分析装置５は導入弁６を備えた入口
ダクトを介して吸排ステーションに接続されている。
とポンプ遮断弁２と吸気弁３と被試験チャンバへの接続
用コネクタ４とを含む吸排ステーションが点線矩形Ａで
示されている。ガス分析装置５は導入弁６を備えた入口
ダクトを介して吸排ステーションに接続されている。
上記の翼形すなわちベーン式のポンプ１は回転子７と固
定子８とを含む。固定子８は、成る程度まで油１０が充
填された油溜め９に内蔵されている。
定子８とを含む。固定子８は、成る程度まで油１０が充
填された油溜め９に内蔵されている。
吸引ダクト１１は固定子の内部を油溜めの外部に接続し
ておｐ１排気チャネルには弁１３を介して固定子の内部
を油溜めの内部に接続している。
ておｐ１排気チャネルには弁１３を介して固定子の内部
を油溜めの内部に接続している。
連結ダクト１５はコネクタ４を吸引ダクト１１に接続し
ている。該ダクトは遮断弁２を備える。コネクタ４と遮
断弁３との間に吸気弁３が設けられておシ、この弁が連
結ダクト１５を外部と連通させ得る。
ている。該ダクトは遮断弁２を備える。コネクタ４と遮
断弁３との間に吸気弁３が設けられておシ、この弁が連
結ダクト１５を外部と連通させ得る。
実施例
第２図は、本発明方法を実施し得る装置の第１具体例を
示す。電気制御素子１６が弁２と３とを同時に開かせる
。導入弁６を閉鎖状態に維持して弁２と３とを開くよう
に命令を与え且つポンプ１をターンオンするとポンプは
大気を吸引しつつ作動する。１分乃至２分後に作動を停
止させ試験を通常通シに実施する。
示す。電気制御素子１６が弁２と３とを同時に開かせる
。導入弁６を閉鎖状態に維持して弁２と３とを開くよう
に命令を与え且つポンプ１をターンオンするとポンプは
大気を吸引しつつ作動する。１分乃至２分後に作動を停
止させ試験を通常通シに実施する。
第３図は、ポンプ遮断弁２の下流で連結ダクト１５を大
気と連通させるために補助弁１７を付加した変形例を示
す。この変形例では、油溜め９０油面１０上方の空間部
分の汚染除去は、補助弁１７を開き遮断弁２を閉じるこ
とによシ大気を吸引しつつポンプを作動させて行なわれ
る。
気と連通させるために補助弁１７を付加した変形例を示
す。この変形例では、油溜め９０油面１０上方の空間部
分の汚染除去は、補助弁１７を開き遮断弁２を閉じるこ
とによシ大気を吸引しつつポンプを作動させて行なわれ
る。
最後に、第４図は圧縮空気が油溜め内の油面上方に直接
噴射される別の変形例を示す。このために油溜め９は、
油溜めのフリースペース１９と大気との間を連通せしめ
る付加弁１８を備える。
噴射される別の変形例を示す。このために油溜め９は、
油溜めのフリースペース１９と大気との間を連通せしめ
る付加弁１８を備える。
この場合、弁１８を開いておき任意の適当な手段によっ
て圧縮空気ジェットを油溜めに送り込むだけでよい。こ
のとき、ポンプは作動していてもよく、作動していなく
てもよい。第３図の補助弁１７と同じく付加弁１８は簡
単な電気押しボタンで制御され得る。
て圧縮空気ジェットを油溜めに送り込むだけでよい。こ
のとき、ポンプは作動していてもよく、作動していなく
てもよい。第３図の補助弁１７と同じく付加弁１８は簡
単な電気押しボタンで制御され得る。
第１図は従来技術の漏洩検出装置の概略説明図、第２図
、第３図及び第４図は本発明方法の使用に適した本発明
の漏洩検出装置の３つの具体例の概略説明図である。 １・・・すベシ翼形回転真空ポンプ、２・・・遮断弁、
３・・・吸気弁、４・・・コネクタ、 ５・・・ガス分
析装置、 ６・・・導入弁％ ７・・・回転子、８・・
・固定子、 ９・・・油溜め、 １１・・・吸引ダクト
、１２・・・排気チャネル、ｊ５・・・連結ダクト％
１６・・・電気制御素子、１７・・・補助弁、１８・・
・付加弁。 ＦＩＧ、’１ ＦＩＧ、２ Ｌ−一−−−−−−−−−−−−−−」ＦＩＧ、３ Ｌ −＝Ｊ
、第３図及び第４図は本発明方法の使用に適した本発明
の漏洩検出装置の３つの具体例の概略説明図である。 １・・・すベシ翼形回転真空ポンプ、２・・・遮断弁、
３・・・吸気弁、４・・・コネクタ、 ５・・・ガス分
析装置、 ６・・・導入弁％ ７・・・回転子、８・・
・固定子、 ９・・・油溜め、 １１・・・吸引ダクト
、１２・・・排気チャネル、ｊ５・・・連結ダクト％
１６・・・電気制御素子、１７・・・補助弁、１８・・
・付加弁。 ＦＩＧ、’１ ＦＩＧ、２ Ｌ−一−−−−−−−−−−−−−−」ＦＩＧ、３ Ｌ −＝Ｊ
Claims (6)
- （１）吸排ステーションと、導入弁を備えた吸気ダクト
を介して吸排ステーションに接続されたガス分析装置と
を含んでおシ、吸排ステーションが、回転子と固定子と
をもつすベシ翼形回転真空ポンプを含んでおり、回転子
と固定子との双方が、ある程度まで油を充填した油溜め
内に位置しており、吸引ダクトが、固定子の内部を油溜
めの外部に接続しておシ、排気チャネルが、油溜めの油
面上方の１点を介して外部と連通している油溜めの内部
と固定子の内部とを接続しており、吸排ステーションが
更に、被試験装置に接続するための締結手段を１端に備
え且つ他端がポンプ遮断弁を介して前記吸引ダクトに接
続されている連結ダクトを含んでおシ、吸気弁が更に、
１端が該外部に開口し他端が接続用締結手段と遮断弁と
の間で前記連結ダクトに接続されているダクトに配置さ
れて成るヘリウム漏洩検出器の汚染を除去するために、
漏洩試験を実行する前に、導入弁を閉鎖した状態で油溜
めの油面上方のフリースペース内の空気を完全に掃去す
ることを特徴とするヘリウム漏洩検出器の汚染除去方法
。 - （２）ポンプの吸込口を大気圧に接続した状態でポンプ
を作動させて空気を掃去することを特徴とする特許請求
の範囲第１項に記載の方法。 - （３）吸排ステーションが、ポンプ遮断弁と吸気弁とを
同時に開き得る電気制御部材を備えることを特徴とする
特許請求の範囲第２項に記載の方法の実施装置０ - （４）ポンプ遮断弁とポンプ自体との間で前記連結ダク
トに補助弁が装着されており、前記弁は、大気と前記連
結ダクトとを直通させる開状態になし得ることを特徴と
する特許請求の範囲第２項に記載の方法の実施装置。 - （５） ポンプのスイッチを入れる前にポンプ遮断弁を
閉じ補助弁を開くことを特徴とする特許請求の範囲第４
項に記載の装置を使用した特許請求の範囲第２項に記載
の方法。 - （６）圧縮空気がポンプの油溜めの油面上方に直接噴射
されることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
方法。 （力 油溜めを外部に連通させ且つ圧縮空気噴射手段に
接続させ得るように油溜めの油面上方に付加弁が備えら
れていることを特徴とする特許請求の範囲第６項に記載
の方法の実施装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8404565A FR2561771B1 (fr) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | Procede pour depolluer un detecteur de fuite a helium et dispositif pour la mise en oeuvre du procede |
| FR8404565 | 1984-03-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60214298A true JPS60214298A (ja) | 1985-10-26 |
Family
ID=9302407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60057634A Pending JPS60214298A (ja) | 1984-03-23 | 1985-03-22 | ヘリウム漏洩検出器の汚染除去方法及び該方法実施装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4606221A (ja) |
| EP (1) | EP0158168B1 (ja) |
| JP (1) | JPS60214298A (ja) |
| AU (1) | AU565785B2 (ja) |
| DE (1) | DE3563120D1 (ja) |
| FR (1) | FR2561771B1 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| FR2604522B1 (fr) * | 1986-09-26 | 1989-06-16 | Cit Alcatel | Installation de detection de fuite a gaz traceur et procede d'utilisation |
| US5049168A (en) * | 1988-09-12 | 1991-09-17 | Philip Danielson | Helium leak detection method and system |
| FR2666382B1 (fr) * | 1990-08-28 | 1992-10-16 | Cit Alcatel | Dispositif de pompage d'un gaz par une pompe a palettes et a joint d'huile et application aux detecteurs de fuites a helium. |
| CN114572669B (zh) * | 2022-05-05 | 2022-09-02 | 江苏环亚医用科技集团股份有限公司 | 一种用于监测核磁液氦泄露监测报警模块的输送装置 |
Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPS4842788A (ja) * | 1971-09-24 | 1973-06-21 | ||
| JPS5236084A (en) * | 1975-09-16 | 1977-03-19 | Shimadzu Corp | Leakage testing device |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1474137A (fr) * | 1966-02-08 | 1967-03-24 | Alcatel Sa | Détecteur de fuites à l'hélium aisément transportable |
| US3416359A (en) * | 1966-07-01 | 1968-12-17 | Texas Instruments Inc | Method and apparatus for testing hermetically sealed transistor devices |
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| US3939695A (en) * | 1974-02-26 | 1976-02-24 | The United States Of America As Represented By The United States Energy Research And Development Administration | Apparatus for detecting leaks |
| DE2713580A1 (de) * | 1977-03-28 | 1978-10-05 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Verfahren zum betrieb einer lecksucheinrichtung sowie dazu geeignete lecksucheinrichtung |
| FR2475728A1 (fr) * | 1980-02-11 | 1981-08-14 | Cit Alcatel | Detecteur de fuites a helium |
| DE3172712D1 (en) * | 1981-07-22 | 1985-11-28 | Cit Alcatel | Helium leak detector |
| FR2532424A1 (fr) * | 1982-08-27 | 1984-03-02 | Cit Alcatel | Dispositif de mesure et d'affichage du taux q de fuite pour un detecteur de fuites a gaz traceur |
-
1984
- 1984-03-23 FR FR8404565A patent/FR2561771B1/fr not_active Expired
-
1985
- 1985-03-19 DE DE8585103142T patent/DE3563120D1/de not_active Expired
- 1985-03-19 EP EP85103142A patent/EP0158168B1/fr not_active Expired
- 1985-03-20 US US06/713,734 patent/US4606221A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-03-21 AU AU40200/85A patent/AU565785B2/en not_active Ceased
- 1985-03-22 JP JP60057634A patent/JPS60214298A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4842788A (ja) * | 1971-09-24 | 1973-06-21 | ||
| JPS5236084A (en) * | 1975-09-16 | 1977-03-19 | Shimadzu Corp | Leakage testing device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU565785B2 (en) | 1987-09-24 |
| DE3563120D1 (en) | 1988-07-07 |
| FR2561771B1 (fr) | 1986-06-27 |
| FR2561771A1 (fr) | 1985-09-27 |
| US4606221A (en) | 1986-08-19 |
| AU4020085A (en) | 1985-09-26 |
| EP0158168B1 (fr) | 1988-06-01 |
| EP0158168A1 (fr) | 1985-10-16 |
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