JP3358394B2 - ヘリウムリークディテクタ - Google Patents
ヘリウムリークディテクタInfo
- Publication number
- JP3358394B2 JP3358394B2 JP15965995A JP15965995A JP3358394B2 JP 3358394 B2 JP3358394 B2 JP 3358394B2 JP 15965995 A JP15965995 A JP 15965995A JP 15965995 A JP15965995 A JP 15965995A JP 3358394 B2 JP3358394 B2 JP 3358394B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- leak
- mass spectrometer
- pump
- helium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/50—Pumps with means for introducing gas under pressure for ballasting
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、封止検査や密閉検査な
どを行う際に利用されるヘリウムリークディテクタに関
するものである。
どを行う際に利用されるヘリウムリークディテクタに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】配管等の漏れの有無を検査するにあたっ
て、有力な手段となるものの一つにヘリウムリークディ
テクタがある。この装置は、図３に示すように、ヘリウ
ム（Ｈｅ）のみを検出する質量分析部ＡＮＡＬと、この
質量分析部ＡＮＡＬを被試験体ＥＸＰと共に真空排気し
得る位置に配設されるメインポンプたるターボ分子ポン
プ（ＴＭＰ）１と、このＴＭＰ１のバックポンプとして
機能する油回転真空ポンプ（ＲＰ）２とを備えるととも
に、被試験体ＥＸＰとＴＭＰ１の間にテストバルブＴＶ
を配置し、ＴＭＰ１とＲＰ２の間に遮断バルブＦＶを配
置し、さらに被試験体ＥＸＰとＲＰ２とを直接連通する
ラインに中間バルブＢＶを配置して構成される。図にお
いてＴＰは被試験体ＥＸＰを装置に対して着脱するため
のテストポートである。
て、有力な手段となるものの一つにヘリウムリークディ
テクタがある。この装置は、図３に示すように、ヘリウ
ム（Ｈｅ）のみを検出する質量分析部ＡＮＡＬと、この
質量分析部ＡＮＡＬを被試験体ＥＸＰと共に真空排気し
得る位置に配設されるメインポンプたるターボ分子ポン
プ（ＴＭＰ）１と、このＴＭＰ１のバックポンプとして
機能する油回転真空ポンプ（ＲＰ）２とを備えるととも
に、被試験体ＥＸＰとＴＭＰ１の間にテストバルブＴＶ
を配置し、ＴＭＰ１とＲＰ２の間に遮断バルブＦＶを配
置し、さらに被試験体ＥＸＰとＲＰ２とを直接連通する
ラインに中間バルブＢＶを配置して構成される。図にお
いてＴＰは被試験体ＥＸＰを装置に対して着脱するため
のテストポートである。
【０００３】この装置におけるリークテストは、次の手
順に従って行われる。先ず中間バルブＢＶ及びテストバ
ルブＴＶを閉、遮断バルブＦＶを開に保持して、ＴＭＰ
１及びＲＰ２を起動することにより、質量分析部ＡＮＡ
Ｌを所定真空度にまで排気する。図４における太線はこ
のとき排気が進行している箇所を示している。次に、テ
ストポートＴＰに被試験体ＥＸＰを接続して、今度はテ
ストバルブＴＶ及び遮断バルブＦＶを閉、中間バルブＢ
Ｖを開に保持して、図５に太線で示すようにＲＰ２によ
り被試験体ＥＸＰを所定真空度にまで排気する。その
後、中間バルブＢＶを閉、テストバルブＴＶ及び遮断バ
ルブＦＶを開に保持することにより、図６に太線で示す
ような排気ラインを構成して、被試験体ＥＸＰにＨｅを
吹き付ける。このとき、被試験体ＥＸＰに漏れがあれ
ば、質量分析部ＡＮＡＬにＨｅの一部が回り込んで、そ
の漏れに略比例したＨｅが検出され、結果的に被試験体
ＥＸＰの気密度が間接的測定されることになる。
順に従って行われる。先ず中間バルブＢＶ及びテストバ
ルブＴＶを閉、遮断バルブＦＶを開に保持して、ＴＭＰ
１及びＲＰ２を起動することにより、質量分析部ＡＮＡ
Ｌを所定真空度にまで排気する。図４における太線はこ
のとき排気が進行している箇所を示している。次に、テ
ストポートＴＰに被試験体ＥＸＰを接続して、今度はテ
ストバルブＴＶ及び遮断バルブＦＶを閉、中間バルブＢ
Ｖを開に保持して、図５に太線で示すようにＲＰ２によ
り被試験体ＥＸＰを所定真空度にまで排気する。その
後、中間バルブＢＶを閉、テストバルブＴＶ及び遮断バ
ルブＦＶを開に保持することにより、図６に太線で示す
ような排気ラインを構成して、被試験体ＥＸＰにＨｅを
吹き付ける。このとき、被試験体ＥＸＰに漏れがあれ
ば、質量分析部ＡＮＡＬにＨｅの一部が回り込んで、そ
の漏れに略比例したＨｅが検出され、結果的に被試験体
ＥＸＰの気密度が間接的測定されることになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、被試験体Ｅ
ＸＰから大量のＨｅがリーク（グロスリークと称され
る）した場合に、その後のリークテスト時に、質量分析
部ＡＮＡＬ内でのＨｅのバックグラウンド値（ゼロ点）
が十分に低下せず、そのため何ら問題のない良質な被試
験体ＥＸＰをも不良品と判定するなど、有効なテストが
行えない状態に陥ることがある。
ＸＰから大量のＨｅがリーク（グロスリークと称され
る）した場合に、その後のリークテスト時に、質量分析
部ＡＮＡＬ内でのＨｅのバックグラウンド値（ゼロ点）
が十分に低下せず、そのため何ら問題のない良質な被試
験体ＥＸＰをも不良品と判定するなど、有効なテストが
行えない状態に陥ることがある。
【０００５】その原因について究明したところ、グロス
リーク時にはＴＭＰ１のバックポンプとして働いている
ＲＰ２にＨｅ濃度の極端に高い空気が大量に吸込まれ、
このときＲＰ２の油中にＨｅが溶け込むとともに、溶け
込んだＨｅの気泡が時間とともに再び吸気口側から放出
され、これが質量分析部ＡＮＡＬに逆流してバックグラ
ウンド値を上昇させていること事が明らかになった。
リーク時にはＴＭＰ１のバックポンプとして働いている
ＲＰ２にＨｅ濃度の極端に高い空気が大量に吸込まれ、
このときＲＰ２の油中にＨｅが溶け込むとともに、溶け
込んだＨｅの気泡が時間とともに再び吸気口側から放出
され、これが質量分析部ＡＮＡＬに逆流してバックグラ
ウンド値を上昇させていること事が明らかになった。
【０００６】このような不都合を解消するために、装置
全体の稼働を停止してＲＰ２の油を新油と入れ替えるこ
とで対処することも考えられるが、このようにすると装
置全体を再度立ち上げるまでのダウンタイムが長時間に
及び、装置の稼働効率に大きな支障が出るとともに、メ
ンテナンスにも多大なコストと労力が必要となる。
全体の稼働を停止してＲＰ２の油を新油と入れ替えるこ
とで対処することも考えられるが、このようにすると装
置全体を再度立ち上げるまでのダウンタイムが長時間に
及び、装置の稼働効率に大きな支障が出るとともに、メ
ンテナンスにも多大なコストと労力が必要となる。
【０００７】本発明は、このような課題に着目してなさ
れたものであって、油回転真空ポンプの油に大量のＨｅ
が混入した場合にも、その油を速やかに退避させ、これ
により質量分析部のバックグランド値を速やかに低下さ
せて、リークテストを有効に再開できるようにしたヘリ
ウムリークディテクタを提供することを目的としてい
る。
れたものであって、油回転真空ポンプの油に大量のＨｅ
が混入した場合にも、その油を速やかに退避させ、これ
により質量分析部のバックグランド値を速やかに低下さ
せて、リークテストを有効に再開できるようにしたヘリ
ウムリークディテクタを提供することを目的としてい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる目的を
達成するために、次のような構成を採用したものであ
る。
達成するために、次のような構成を採用したものであ
る。
【０００９】すなわち、本発明に係るヘリウムリークデ
ィテクタは、ヘリウムのみを検出する質量分析部と、こ
の質量分析部を被試験体と共に真空排気するメインポン
プと、このメインポンプのバックポンプとして機能する
油回転真空ポンプとを具備してなるものにおいて、前記
油回転真空ポンプに、ガスバラスト口を備えたものを採
用し、そのガスバラスト口に選択的に開閉可能な電磁弁
を設けるとともに、前記質量分析部で測定されるヘリウ
ム測定値が予め定めた敷居値を上回った場合に前記電磁
弁を一定時間開に保持する制御を行う制御手段を設けて
なることを特徴とする。
ィテクタは、ヘリウムのみを検出する質量分析部と、こ
の質量分析部を被試験体と共に真空排気するメインポン
プと、このメインポンプのバックポンプとして機能する
油回転真空ポンプとを具備してなるものにおいて、前記
油回転真空ポンプに、ガスバラスト口を備えたものを採
用し、そのガスバラスト口に選択的に開閉可能な電磁弁
を設けるとともに、前記質量分析部で測定されるヘリウ
ム測定値が予め定めた敷居値を上回った場合に前記電磁
弁を一定時間開に保持する制御を行う制御手段を設けて
なることを特徴とする。
【００１０】
【作用】このような構成において、敷居値にグロスリー
クに対応する値を与えておけば、実際にグロスリークが
発生して油回転真空ポンプ内に大量のＨｅが吸い込ま
れ、それが油中に溶け込んでも、質量分析部のヘリウム
測定値が敷居値を越えたことをもって制御手段が働き、
油回転真空ポンプのガスバラスト口に付帯して設けた電
磁弁を一定時間開に保持する制御を行うので、油回転真
空ポンプ内に大気が導入され、その大気により油回転真
空ポンプ内の油が撹拌されて、油中に気泡状態で溶け込
んでいるＨｅがその大気の撹拌作用によって速やかに排
出される。このため、油中のＨｅ濃度が急速に低下し、
その後にリークテストを再開しても、油回転真空ポンプ
からのＨｅの放出量が著しく低減され、Ｈｅが質量分析
部に回り込んでバックグラウンド値を上昇させる不都合
が飛躍的に改善される。しかも、本発明によると、その
間に油回転真空ポンプは勿論のこと、質量分析部や高真
空ポンプ等の他の装置部分の稼働を停止させる必要がな
いため、システムの連続稼働性に大きな悪影響が及ぶこ
ともなく、グロスリーク後のリークテストを極めて短い
ロスタイムの後に引き続き有効に再開することが可能に
なる。
クに対応する値を与えておけば、実際にグロスリークが
発生して油回転真空ポンプ内に大量のＨｅが吸い込ま
れ、それが油中に溶け込んでも、質量分析部のヘリウム
測定値が敷居値を越えたことをもって制御手段が働き、
油回転真空ポンプのガスバラスト口に付帯して設けた電
磁弁を一定時間開に保持する制御を行うので、油回転真
空ポンプ内に大気が導入され、その大気により油回転真
空ポンプ内の油が撹拌されて、油中に気泡状態で溶け込
んでいるＨｅがその大気の撹拌作用によって速やかに排
出される。このため、油中のＨｅ濃度が急速に低下し、
その後にリークテストを再開しても、油回転真空ポンプ
からのＨｅの放出量が著しく低減され、Ｈｅが質量分析
部に回り込んでバックグラウンド値を上昇させる不都合
が飛躍的に改善される。しかも、本発明によると、その
間に油回転真空ポンプは勿論のこと、質量分析部や高真
空ポンプ等の他の装置部分の稼働を停止させる必要がな
いため、システムの連続稼働性に大きな悪影響が及ぶこ
ともなく、グロスリーク後のリークテストを極めて短い
ロスタイムの後に引き続き有効に再開することが可能に
なる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図面を参照して
説明する。
説明する。
【００１２】図１に示すヘリウムリークディテクタは、
図３に示したものと基本的に同様の構成からなる。つま
り、このものも、ヘリウム（Ｈｅ）のみを検出する質量
分析部ＡＮＡＬと、この質量分析部ＡＮＡＬを被試験体
ＥＸＰと共に真空排気し得る位置に配設されるメインポ
ンプたるターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）１と、このＴＭＰ
１のバックポンプとして機能する油回転真空ポンプ（Ｒ
Ｐ）２とを備えるとともに、被試験体ＥＸＰとＴＭＰ１
の間にテストバルブＴＶを配置し、ＴＭＰ１とＲＰ２の
間に遮断バルブＦＶを配置し、さらに被試験体ＥＸＰと
ＲＰ２とを直接連通するラインに中間バルブＢＶをそれ
ぞれ配置して構成されるものである。
図３に示したものと基本的に同様の構成からなる。つま
り、このものも、ヘリウム（Ｈｅ）のみを検出する質量
分析部ＡＮＡＬと、この質量分析部ＡＮＡＬを被試験体
ＥＸＰと共に真空排気し得る位置に配設されるメインポ
ンプたるターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）１と、このＴＭＰ
１のバックポンプとして機能する油回転真空ポンプ（Ｒ
Ｐ）２とを備えるとともに、被試験体ＥＸＰとＴＭＰ１
の間にテストバルブＴＶを配置し、ＴＭＰ１とＲＰ２の
間に遮断バルブＦＶを配置し、さらに被試験体ＥＸＰと
ＲＰ２とを直接連通するラインに中間バルブＢＶをそれ
ぞれ配置して構成されるものである。
【００１３】また、リークテストに係る手順も図４〜図
６に沿って説明した従来のものと同様であって、先ず中
間バルブＢＶ及びテストバルブＴＶを閉、遮断バルブＦ
Ｖを開に保持して、ＴＭＰ１及びＲＰ２を起動すること
により、質量分析部ＡＮＡＬを所定真空度にまで排気す
る（図４参照）。次に、テストポートＴＰに被試験体Ｅ
ＸＰを接続して、今度はテストバルブＴＶ及び遮断バル
ブＦＶを閉、中間バルブＢＶを開に保持して、ＲＰ２に
より被試験体ＥＸＰを所定真空度にまで排気する（図５
参照）。その後、中間バルブＢＶを閉、テストバルブＴ
Ｖ及び遮断バルブＦＶを開に保持し、被試験体ＥＸＰに
Ｈｅを吹き付ける（図６参照）。このとき、被試験体Ｅ
ＸＰに漏れがあれば、質量分析部ＡＮＡＬにＨｅの一部
が回り込んで、その漏れに略比例したＨｅが検出され、
結果的に被試験体ＥＸＰの気密度が間接的測定されるこ
とになる。
６に沿って説明した従来のものと同様であって、先ず中
間バルブＢＶ及びテストバルブＴＶを閉、遮断バルブＦ
Ｖを開に保持して、ＴＭＰ１及びＲＰ２を起動すること
により、質量分析部ＡＮＡＬを所定真空度にまで排気す
る（図４参照）。次に、テストポートＴＰに被試験体Ｅ
ＸＰを接続して、今度はテストバルブＴＶ及び遮断バル
ブＦＶを閉、中間バルブＢＶを開に保持して、ＲＰ２に
より被試験体ＥＸＰを所定真空度にまで排気する（図５
参照）。その後、中間バルブＢＶを閉、テストバルブＴ
Ｖ及び遮断バルブＦＶを開に保持し、被試験体ＥＸＰに
Ｈｅを吹き付ける（図６参照）。このとき、被試験体Ｅ
ＸＰに漏れがあれば、質量分析部ＡＮＡＬにＨｅの一部
が回り込んで、その漏れに略比例したＨｅが検出され、
結果的に被試験体ＥＸＰの気密度が間接的測定されるこ
とになる。
【００１４】以上において、被試験体ＥＸＰの密閉性や
封止状態が極めて劣悪であったり、被試験体ＥＸＰと粗
引きラインとの接続箇所（テストポートＴＰ部分）の真
空シールが不十分ないしは破損したりしていて、大量の
Ｈｅの漏洩（グロスリーク）が発生した場合には、別異
のシーケンス制御によって速やかにテストを終了する措
置等が講じられるのであるが、このときＴＭＰ１のバッ
クポンプとして働いているＲＰ２にＨｅ濃度の極端に高
い空気が大量に吸込まれるため、ＲＰ２の油中にＨｅが
溶け込む。このため、グロスリーク後にリークテストを
再開した場合に、溶け込んだＨｅの気泡が時間とともに
再び吸気口側から放出され、これが質量分析部ＡＮＡＬ
に逆流してバックグラウンド値を上昇させ、リークテス
トを事実上、続行不能な状態におとしめる。
封止状態が極めて劣悪であったり、被試験体ＥＸＰと粗
引きラインとの接続箇所（テストポートＴＰ部分）の真
空シールが不十分ないしは破損したりしていて、大量の
Ｈｅの漏洩（グロスリーク）が発生した場合には、別異
のシーケンス制御によって速やかにテストを終了する措
置等が講じられるのであるが、このときＴＭＰ１のバッ
クポンプとして働いているＲＰ２にＨｅ濃度の極端に高
い空気が大量に吸込まれるため、ＲＰ２の油中にＨｅが
溶け込む。このため、グロスリーク後にリークテストを
再開した場合に、溶け込んだＨｅの気泡が時間とともに
再び吸気口側から放出され、これが質量分析部ＡＮＡＬ
に逆流してバックグラウンド値を上昇させ、リークテス
トを事実上、続行不能な状態におとしめる。
【００１５】そこで、本実施例は、ＲＰ２に、ガスバラ
スト口２１を備えたものを採用し、そのガスバラスト口
２１に選択的に大気を導入して、上記の不具合を解消す
るようにしている。
スト口２１を備えたものを採用し、そのガスバラスト口
２１に選択的に大気を導入して、上記の不具合を解消す
るようにしている。
【００１６】詳述すると、このＲＰ２は、図２に示すよ
うに、シリンダ２２内の偏心位置に内接状態でロータ２
３を配置し、このロータ２３に半径方向に突没可能に収
容したベーン２４の先端をシリンダ２２の内周に摺接さ
せ、シリンダ２２、ロータ２３、ベーン２４によって仕
切られるポンプ室Ｐにポンプ油を充填してロータ２３を
回転駆動することにより、吸気口２５から吸入したガス
を圧縮しながら排気口２６へ送り出すという周知のポン
プ作用を営むものである。また、排気しようとするガス
が水蒸気等のような凝縮性を有したガスである場合に、
圧縮によるガスの液化、それに起因したポンプ全体の性
能劣化を防止するために、図示ＲＰ２は、排気口２６の
近傍にガスバラスト口２１を開口させており、ガスが圧
縮される前にこのガスバラスト口２１より大気を導入し
て、ガスを分圧を高めずに排気する機能を備え併せてい
る。
うに、シリンダ２２内の偏心位置に内接状態でロータ２
３を配置し、このロータ２３に半径方向に突没可能に収
容したベーン２４の先端をシリンダ２２の内周に摺接さ
せ、シリンダ２２、ロータ２３、ベーン２４によって仕
切られるポンプ室Ｐにポンプ油を充填してロータ２３を
回転駆動することにより、吸気口２５から吸入したガス
を圧縮しながら排気口２６へ送り出すという周知のポン
プ作用を営むものである。また、排気しようとするガス
が水蒸気等のような凝縮性を有したガスである場合に、
圧縮によるガスの液化、それに起因したポンプ全体の性
能劣化を防止するために、図示ＲＰ２は、排気口２６の
近傍にガスバラスト口２１を開口させており、ガスが圧
縮される前にこのガスバラスト口２１より大気を導入し
て、ガスを分圧を高めずに排気する機能を備え併せてい
る。
【００１７】そして、本実施例では、そのガスバラスト
口２１に開閉可能に電磁弁ＧＢＶを付帯して設けるとと
もに、この電磁弁ＧＢＶを、本発明の制御手段としての
役割を担うマイクロコンピュータユニット４によって開
閉制御するようにしている。
口２１に開閉可能に電磁弁ＧＢＶを付帯して設けるとと
もに、この電磁弁ＧＢＶを、本発明の制御手段としての
役割を担うマイクロコンピュータユニット４によって開
閉制御するようにしている。
【００１８】電磁弁ＧＢＶは、入力される電気信号によ
ってガスバラスト口２１を少なくとも開状態と閉状態と
に選択的に切り換えて保持し得る通常のものである。
ってガスバラスト口２１を少なくとも開状態と閉状態と
に選択的に切り換えて保持し得る通常のものである。
【００１９】マイクロコンピュータユニット４は、ＣＰ
Ｕ、メモリ及びインターフェース等を具備してなる既知
のもので、そのメモリ内には所定のプログラムが格納さ
れ、ＣＰＵはそのプログラムに沿って質量分析部ＡＮＡ
Ｌから測定値Ｓを入力して所定の比較、演算を行い、前
記電磁弁ＧＢＶに開閉信号ａを出力するようになってい
る。
Ｕ、メモリ及びインターフェース等を具備してなる既知
のもので、そのメモリ内には所定のプログラムが格納さ
れ、ＣＰＵはそのプログラムに沿って質量分析部ＡＮＡ
Ｌから測定値Ｓを入力して所定の比較、演算を行い、前
記電磁弁ＧＢＶに開閉信号ａを出力するようになってい
る。
【００２０】以下、そのプログラムに沿って制御の手順
を説明する。通常は電磁弁ＧＢＶは閉状態に保持されて
いる。ＣＰＵは質量分析部ＡＮＡＬから入力される測定
値Ｓを予め定めた敷居値Ｓ0 と定期的に比較する。この
敷居値Ｓ0 は、ＲＰ２内に許容量を越えるＨｅが導入さ
れる可能性のあるレベル、つまりグロスリークレベルに
対応する測定値に設定される。そして、入力される測定
値Ｓがその敷居値Ｓ0を上回っていると判断した場合に
は、グロスリークと判定して、前記電磁弁ＧＢＶを一定
時間開状態に保持する。これにより、ガスバラスト口２
１を介して外部から大量の大気がＲＰ２のポンプ室Ｐ内
に導入される。グロスリークの際には、ＲＰ２のポンプ
室Ｐ内に大量のＨｅが吸い込まれ、それが油中に気泡の
形で溶け込んだ状態になっているが、そのＨｅはガスバ
ラスト口２１を介して導入される大気により内部で撹拌
されるので、Ｈｅはその大気の撹拌作用によって速やか
に排気口２６から排出される。このため、油中のＨｅ濃
度が急速に低下し、その後にリークテストを再開して
も、ＲＰ２からのＨｅ放出量が著しく低減され、Ｈｅが
質量分析部ＡＮＡＬに回り込んでバックグラウンド値を
上昇させる不都合が飛躍的に改善される。しかも、本実
施例によると、その間にＲＰ２は勿論のこと、質量分析
部ＡＮＡＬやＴＭＰ１等の他の装置部分の稼働を停止さ
せる必要がないため、装置の連続稼働性に大きな悪影響
を及ぼすこともなく、グロスリーク後のリークテストを
極めて短いロスタイムの後に引き続き有効に再開するこ
とが可能になる。その上、以上の制御は全て自動的に行
われるため、知識の乏しい者でも装置を適正に取り扱う
ことができ、装置の利用率と使い勝手を有効に向上させ
ることが可能になる。
を説明する。通常は電磁弁ＧＢＶは閉状態に保持されて
いる。ＣＰＵは質量分析部ＡＮＡＬから入力される測定
値Ｓを予め定めた敷居値Ｓ0 と定期的に比較する。この
敷居値Ｓ0 は、ＲＰ２内に許容量を越えるＨｅが導入さ
れる可能性のあるレベル、つまりグロスリークレベルに
対応する測定値に設定される。そして、入力される測定
値Ｓがその敷居値Ｓ0を上回っていると判断した場合に
は、グロスリークと判定して、前記電磁弁ＧＢＶを一定
時間開状態に保持する。これにより、ガスバラスト口２
１を介して外部から大量の大気がＲＰ２のポンプ室Ｐ内
に導入される。グロスリークの際には、ＲＰ２のポンプ
室Ｐ内に大量のＨｅが吸い込まれ、それが油中に気泡の
形で溶け込んだ状態になっているが、そのＨｅはガスバ
ラスト口２１を介して導入される大気により内部で撹拌
されるので、Ｈｅはその大気の撹拌作用によって速やか
に排気口２６から排出される。このため、油中のＨｅ濃
度が急速に低下し、その後にリークテストを再開して
も、ＲＰ２からのＨｅ放出量が著しく低減され、Ｈｅが
質量分析部ＡＮＡＬに回り込んでバックグラウンド値を
上昇させる不都合が飛躍的に改善される。しかも、本実
施例によると、その間にＲＰ２は勿論のこと、質量分析
部ＡＮＡＬやＴＭＰ１等の他の装置部分の稼働を停止さ
せる必要がないため、装置の連続稼働性に大きな悪影響
を及ぼすこともなく、グロスリーク後のリークテストを
極めて短いロスタイムの後に引き続き有効に再開するこ
とが可能になる。その上、以上の制御は全て自動的に行
われるため、知識の乏しい者でも装置を適正に取り扱う
ことができ、装置の利用率と使い勝手を有効に向上させ
ることが可能になる。
【００２１】なお、各部の具体的な構成は、上述した実
施例のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸
脱しない範囲で種々変形が可能である。
施例のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸
脱しない範囲で種々変形が可能である。
【００２２】
【発明の効果】本発明に係るヘリウムリークディテクタ
は、以上説明した構成であるから、グロスリークが発生
した場合に、それを検知し、油回転真空ポンプ内に一時
的に大気を導入して、油中に溶け込んだＨｅを撹拌して
速やかに排出することができる。このため、グロスリー
ク後にリークテストを再開しても、質量分析部のバック
グラウンド値を低い値に保持して、有効なリークテスト
を行うことが可能になる。しかも、その間に連続稼働性
を損なうことがなく、操作に不慣れな者が取り扱っても
自動的にグロスリークから立ち直れるため、装置の稼働
効率や使い勝手を有効に向上させることができるという
優れた効果が奏される。
は、以上説明した構成であるから、グロスリークが発生
した場合に、それを検知し、油回転真空ポンプ内に一時
的に大気を導入して、油中に溶け込んだＨｅを撹拌して
速やかに排出することができる。このため、グロスリー
ク後にリークテストを再開しても、質量分析部のバック
グラウンド値を低い値に保持して、有効なリークテスト
を行うことが可能になる。しかも、その間に連続稼働性
を損なうことがなく、操作に不慣れな者が取り扱っても
自動的にグロスリークから立ち直れるため、装置の稼働
効率や使い勝手を有効に向上させることができるという
優れた効果が奏される。
【図１】本発明の一実施例を示す回路図。
【図２】同実施例で用いられる油回転真空ポンプの概略
的な断面図。
的な断面図。
【図３】従来例を示す図１に対応した回路図。
【図４】リークテストの一般的な手順を説明する図３に
対応した図。
対応した図。
【図５】リークテストの一般的な手順を説明する図３に
対応した図。
対応した図。
【図６】リークテストの一般的な手順を説明する図３に
対応した図。
対応した図。
ＡＮＡＬ…質量分析部 ＥＸＰ…被試験体 ＧＢＶ…電磁弁 １…メインポンプ（ターボ分子ポンプ；ＴＭＰ） ２…油回転真空ポンプ；ＲＰ ４…制御手段（マイクロコンピュータユニット） ２１…ガスバラスト口
Claims (1)
- 【請求項１】ヘリウムのみを検出する質量分析部と、こ
の質量分析部を被試験体と共に真空排気するメインポン
プと、このメインポンプのバックポンプとして機能する
油回転真空ポンプとを具備してなるものにおいて、 前記油回転真空ポンプに、ガスバラスト口を備えたもの
を採用し、そのガスバラスト口に選択的に開閉可能な電
磁弁を設けるとともに、前記質量分析部で測定されるヘ
リウム測定値が予め定めた敷居値を上回った場合に前記
電磁弁を一定時間開に保持する制御を行う制御手段を設
けてなることを特徴とするヘリウムリークディテクタ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15965995A JP3358394B2 (ja) | 1995-06-26 | 1995-06-26 | ヘリウムリークディテクタ |
| TW085100332A TW293086B (ja) | 1995-06-26 | 1996-01-12 | |
| CN96106153A CN1083575C (zh) | 1995-06-26 | 1996-04-26 | 氦检漏器 |
| KR1019960018916A KR100217434B1 (ko) | 1995-06-26 | 1996-05-31 | 헬륨누설검출기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15965995A JP3358394B2 (ja) | 1995-06-26 | 1995-06-26 | ヘリウムリークディテクタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0915082A JPH0915082A (ja) | 1997-01-17 |
| JP3358394B2 true JP3358394B2 (ja) | 2002-12-16 |
Family
ID=15698544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15965995A Expired - Fee Related JP3358394B2 (ja) | 1995-06-26 | 1995-06-26 | ヘリウムリークディテクタ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3358394B2 (ja) |
| KR (1) | KR100217434B1 (ja) |
| CN (1) | CN1083575C (ja) |
| TW (1) | TW293086B (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8555704B2 (en) * | 2008-10-20 | 2013-10-15 | Agilent Technologies, Inc. | Calibration systems and methods for tracer gas leak detection |
| EP2517001A4 (en) * | 2009-12-22 | 2014-08-20 | Ima Life North America Inc | MONITORING OF FREEZE DRYING WITH GAS MEASUREMENT AT VACUUM PUMP OUTLET |
| DE102013213257A1 (de) * | 2013-07-05 | 2015-01-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Membranvakuumpumpe |
| US10094381B2 (en) | 2015-06-05 | 2018-10-09 | Agilent Technologies, Inc. | Vacuum pump system with light gas pumping and leak detection apparatus comprising the same |
| KR102272114B1 (ko) | 2019-11-13 | 2021-07-02 | 서울대학교산학협력단 | 가스 송출 배관에 응축된 수분을 제거하기 위해 하이드로젤 입자를 이용하는 방법 |
| CN110823468A (zh) * | 2019-12-16 | 2020-02-21 | 中国商用飞机有限责任公司 | 单向阀失效检测装置及用于检测单向阀失效的方法 |
-
1995
- 1995-06-26 JP JP15965995A patent/JP3358394B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-01-12 TW TW085100332A patent/TW293086B/zh not_active IP Right Cessation
- 1996-04-26 CN CN96106153A patent/CN1083575C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1996-05-31 KR KR1019960018916A patent/KR100217434B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1083575C (zh) | 2002-04-24 |
| JPH0915082A (ja) | 1997-01-17 |
| KR970002277A (ko) | 1997-01-24 |
| CN1142605A (zh) | 1997-02-12 |
| TW293086B (ja) | 1996-12-11 |
| KR100217434B1 (ko) | 1999-09-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5398543A (en) | Method and apparatus for detection of vacuum leak | |
| JP2655315B2 (ja) | 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置 | |
| JP4037954B2 (ja) | トレーサガス式漏れ検出器 | |
| JP2635587B2 (ja) | リーク検査装置のディテクタを較正する装置 | |
| JP2013532833A (ja) | 漏れ検出装置 | |
| JPH11303694A (ja) | 蒸発燃料処理装置の診断装置 | |
| JP3358394B2 (ja) | ヘリウムリークディテクタ | |
| JP2006525498A (ja) | リークディテクタ | |
| JP3348147B2 (ja) | 温度式膨張弁の感温制御部の気密検査機 | |
| JPH03154837A (ja) | トレーサガス式漏洩検出システム | |
| JP4277351B2 (ja) | 漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法 | |
| JP3116830B2 (ja) | ヘリウムリークディテクタ | |
| JP3568667B2 (ja) | 漏洩検査装置 | |
| JP4562303B2 (ja) | 漏洩試験装置及び漏洩試験方法 | |
| JP2726646B2 (ja) | 漏れ検出器 | |
| JPH04268430A (ja) | 漏れ検出装置 | |
| JP3238242B2 (ja) | 気密検査方法及びその装置 | |
| JPH10213516A (ja) | ヘリウムリークデテクタ | |
| JPH1090104A (ja) | ヘリウムリークディテクター | |
| JPH11241971A (ja) | リークテスト装置 | |
| JP2001235391A (ja) | リーク検査装置 | |
| JPH0915083A (ja) | ヘリウムリークディテクタ | |
| JP3493874B2 (ja) | ヘリウムリークテスト装置 | |
| JP2001235387A (ja) | リーク検査装置 | |
| JPS60214298A (ja) | ヘリウム漏洩検出器の汚染除去方法及び該方法実施装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081011 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081011 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091011 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091011 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101011 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111011 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111011 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121011 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121011 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131011 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |