CN1142605A - 氦检漏器 - Google Patents

氦检漏器 Download PDF

Info

Publication number
CN1142605A
CN1142605A CN96106153A CN96106153A CN1142605A CN 1142605 A CN1142605 A CN 1142605A CN 96106153 A CN96106153 A CN 96106153A CN 96106153 A CN96106153 A CN 96106153A CN 1142605 A CN1142605 A CN 1142605A
Authority
CN
China
Prior art keywords
quality analysis
analysis portion
oil
pump
anal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN96106153A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1083575C (zh
Inventor
冈本英树
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Publication of CN1142605A publication Critical patent/CN1142605A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1083575C publication Critical patent/CN1083575C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/50—Pumps with means for introducing gas under pressure for ballasting

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

本发明提供一种氦检漏器，它在因严重泄漏而在油旋转真空泵(RP2)的油中混入大量He时，能快速降低质量分析部的本底值，有效地再启动检漏。在质量分析部(ANAL)检出超过门限值的测定值时，微机单元(14)判定为严重泄漏并控制使RP2所设镇气口(21)上的电磁阀(GBV)开启一定时间，导入大气，搅拌油中所溶氦气泡，使之加速排出RP2，从而无He倒流ANAL，达到上述效果。

Description

氦检漏器
本发明涉及进行密封检查或密闭检查时所用的氦检漏器。
检查管道有无泄漏时，氦检漏器是一种有效的手段。
如图3所示，该装置备有仅检测氦(He)的质量分析部ANAL、配设在对该质量分析部ANAL与被检测体EXP均能抽真空的位置上作为主泵的涡轮分子泵(TMP)1、起该TMP1的初级抽气泵作用的油旋转真空泵(RP)2，同时，在被检测体EXP与TMP1间配置检测阀TV，在TMP1与RP2之间配置阻断阀FV，进而，在被检测体EXP与RP2的直通管道上配置中间阀BV。图中，TP是用于相对装置装卸被检测体EXP的检测口。
该装置的检漏试验按下述顺序进行。首先保持中间阀BV及检测阀TV关闭，阻断阀FV开启，而启动TMP1及RP2，由此把质量分析部ANAL抽气至预定的真空度。图4中的粗线表示进行抽气的部位。其次，把被检测体连接至检测口TP，改为保持检测阀TV及阻断阀FV关闭，中间阀BV开启，如图5中粗线所示，被检测体EXP由RP2抽气至预定的真空度。然后，通过保持中间阀BV关闭，检测阀TV及阻断阀开启，构成如图6粗线所示的抽气线路，把He气喷至被检测体EXP。这时，若被检测体EXP有泄漏，He的一部分溢入质量分析部ANAL，检测与该泄漏大致成比例的He，其结果是间接测定被测验体EXP的气密度。
可是，当被检测体EXP有大量He泄漏(称为严重泄漏)的情况下，其后检漏时，不能使质量分析部ANAL内的He的本底值(零点)足够低，由此往往导致没有任何问题的良好的被检测体EXP也被判为不良产品之类的不能进行有效试验的状态。
究其原因，已探明是由于严重泄漏时，He浓度极高的空气大量吸入至作为TMP1的初级抽气泵运转的RP2中，此时He溶入RP2的油中，而且已溶入He的气泡随时自吸气口逸出，并倒流至质量分析部ANAL，使本底值上升。
为了消除这种缺陷，可以考虑用停止整个装置的运转，把RP2的油更换为新的油这种办法处理。但这样做，整个装置再次起动前的停机时间拉长，对装置的工作效率影响大，维护方面也必须化费很大费用和劳力。
本发明是着眼于上述课题而构成的，其目的在于提供一种氦检漏器，该检漏器在油旋转真空泵的油中混入大量He时，也能迅速疏散该油，由此使质量分析部的本底值迅速降低，能有效地再启动泄漏检测。
为了达到上述目的，本发明采用如下构成。
即，本发明的氦检漏器包括：只检测氦的质量分析部、对该质量分析部与被检测体均能抽真空的主泵、作为该主泵的初级抽气泵起作用的油旋转真空泵；其特征在于，在所述油旋转真空泵上备有镇气口，在所述镇气口上设置可有选择地开关的电磁阀，同时，设置当用质量分析部测定的氦测定值超过预定的门限值时，控制所述电磁阀保持一定时间开启的控制手段。
在上述构成中，若把相应于严重泄漏的值设定为门限值，则实际产生严重泄漏而油旋转真空泵内吸入大量He后，即使He溶入油中，因为质量分析部的氦测定值超过门限值，控制手段动作，控制油旋转真空泵镇气口上附带设置的电磁阀保持一定时间开启，在油旋转真空泵内导入大气，通过大气搅拌油旋转真空泵内的油，所以油中以气泡状态溶入的He通过大气的搅拌作用也会加速排出。由此，油中的He浓度急速下降，其后即使再启动泄漏检测，也因来自油旋转真空泵的He释放量显著降低，He溢入质量分析部而使本底值上升的缺陷能得到极大改善。且，根据本发明，其间，油旋转真空泵自不言而喻，就连质量分析部和高真空泵等其它装置部分的运转也不必停止，因而不会对系统的连续运转性能有大的不良影响，在严重泄漏后经短时间即可继续有效地再启动泄漏检测。
图1是本发明一实施例的回路图。
图2是上述实施例中采用的油旋转真空泵的概略剖面图。
图3是与所示图1对应的以往例子的回路图。
图4是说明图3中泄漏检测一般顺序的图。
图5是图3中泄漏检测一般顺序的图。
图6是图3中泄漏检测一般顺序的图。
图中，ANAL为质量分析部，EXP为被检测体，GBV为电磁阀，1为主泵(涡轮分子泵；TMP)，2为油旋转真空泵(RP)，4为控制手段(微机单元)，21为镇气口。
下面，参照附图说明本发明一个实施例。
示于图1的氦检漏器与示于图3的构成基本相同。即，它也备有：只检测氦(He)的质量分析部ANAL，配设在对该质量分析部ANAL与被检测体EXP均能抽真空的位置上作为主泵的涡轮分子泵(TMP)1，作为该TMP1的初级抽气泵起作用的油旋转真空泵(RP)2，同时，在被检测体EXP与TMP1之间配置检测阀TV，在TMP1与RP2之间配置阻断阀FV，进而，在被检测体EXP与RP2直通的管道中间配置中间阀BV。
又，泄漏检测的顺序也与图4至图6说明的已有技术的顺序相同。首先，保持中间阀BV及检测阀TV关闭，阻断阀FV开启，通过启动TMP1及RP2把质量分析部ANAL抽至预定真空度(参见图4)。其次，把被检测体EXP连接至检测口TP，改为保持检测阀TV及阻断阀FV关闭，中间阀BV开启，通过RP2把被检测体EXP抽至预定真空度(参见图5)。然后，保持中间阀BV关闭，检测阀TV及阻断阀FV开启，把He气喷至被检测体EXP(参照图6)。这时，若被检测体中有泄漏，He的一部分溢入至质量分析部ANAL中，检测与泄漏大致成比例的He，即可间接测定被检测体EXP的气密程度。
在上文中，当被检测体EXP的密封性和封密状态极差、被检测体EXP和粗车削管道的连接处(检测口TP部分)的真空密封不严密乃至损坏，而发生大量He泄漏(严重泄漏)时，采取通过另外顺序控制而快速终止检测的措施，这时作为TMP1的初级抽气泵运转的RP2中吸入大量He浓度极高的空气，因而RP2的油中溶入He。由此，严重泄漏后再启动泄漏检测时，已溶入的He气泡同时再次自吸气口释放，并倒流入质量分析部ANAL，使本底值上升，而成为泄漏检测实际上不能继续进行的状态。
因此，本实施例在RP2上备有镇气口21，有选择地把大气导入该镇气口21，以解决上述缺陷。
详述如下，该RP2起熟知的抽气泵的作用，即：如图2所示，在气缸22内的偏心位置以内接状态配置转子23，在半径方向可伸出缩进地收容于转子23的叶片24的顶端与气缸22内周滑动接触，由气缸22、转子23、叶片24隔开的泵室P中充填泵油，通过旋转驱动转子23，一边压缩自吸气口25吸入的气体，一边送往排气口26。又，假设要抽出的是水蒸汽之类具有冷凝性的气体时，由于压缩气体液化，为了防止由此引起的泵的整体性能恶化，图示的RP2，在排气口26附近开有镇气口21，在气体压缩前，由该镇气口21导入大气，具备不提高分压而抽气的功能。
在本实施例中，在该镇气口21上可开关地附带设置电磁阀GBV，同时，由作为本发明控制手段的微机单元4控制开关该电磁阀GBV。
电磁阀GBV是常规的阀，通过输入的电信号可把镇气口21至少有选择地切换并保持在开状态或关状态。
微机单元14是具备CPU、存贮器及接口等的公知计算机，在存贮器内贮存预定的程序，CPU按照该程序自质量分析部ANAL输入测定值S、进行规定的比较、运算后，输出开关信号a至上述电磁阀GBV。
下面，按照该程序说明控制的顺序。平时，电磁阀GBV保持关闭状态。CPU定时地把自质量分析部ANAL输入的测定值S与预定的门限值S0比较。该门限值S0设定为超过RP2内允许量的He可能导入的某个值，即设定为与严重泄漏程度相应的测定值。又，当判断为输入的测定值S超过该门限值S0时，则判定为严重泄漏，使上述电磁阀GBV保持一定时间开启状态。由此，经镇气口21，自外部把大量大气导入RP2的泵室P内。严重泄漏时，大量He吸入至RP2的泵室P，它以气泡形式溶入油中。该He由经镇气口21导入的大气在内部搅拌，因而He通过该大气的搅拌作用而加速由排气口26排出。由此，油中的He浓度急速降低，此后即使再启动泄漏检测，也因来自RP2的He释放量显著降低，He溢入质量分析部ANAL而使本底值上升的缺陷能极大改善。且，根据本实施例，在该期间，RP2自不言而喻的，就连质量分析部ANAL和TMP1等其它装置部分也不必停止运转，因而装置的连续运转性不会受到大的不良影响，可在严重泄漏后经极短时间，就继续有效地再启动泄漏检测。此外，上述控制全部自动进行，因而，即使知识缺乏的使用者，也能适当地操纵装置，能有效地提高装置的利用率和使用方便程度。
又，各部分的具体构成，不限于上述实施例，不脱离本发明的实质范围，可作出种种变换形式。
本发明的氦检漏器，由于有上述构成，在发生严重泄漏时，检测该情况，在一定时间内把大气导入油旋转真空泵内，通过搅拌，从而能快速排出溶入油中的He。由此，即使在严重泄漏后再启动泄漏检测，也能把质量分析部的本底值保持在低值，可有效地进行检漏。且，其间不损害连续操作性，即使不习惯操作者操作该装置，也能从严重泄漏自动恢复，因而具有能有效地提高装置的工作效率及使用方便性能的优良效果。

Claims (1)

1.一种氦检漏器，包括：只检测氦的质量分析部、对质量分析部与被试验体均能进行真空抽气的主泵、起该主泵的初级抽气泵作用的油旋转真空泵；其特征在于，在所述油旋转真空泵上备有镇气口，在该镇气口上设置可有选择地开关的电磁阀，同时，设置当用所述质量分析部测定的氦测定值超过预定的门限值时，使所述电磁阀保持一定时间开启的控制手段。
CN96106153A 1995-06-26 1996-04-26 氦检漏器 Expired - Fee Related CN1083575C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15965995A JP3358394B2 (ja) 1995-06-26 1995-06-26 ヘリウムリークディテクタ
JP159659/95 1995-06-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1142605A true CN1142605A (zh) 1997-02-12
CN1083575C CN1083575C (zh) 2002-04-24

Family

ID=15698544

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN96106153A Expired - Fee Related CN1083575C (zh) 1995-06-26 1996-04-26 氦检漏器

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP3358394B2 (zh)
KR (1) KR100217434B1 (zh)
CN (1) CN1083575C (zh)
TW (1) TW293086B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102187193A (zh) * 2008-10-20 2011-09-14 瓦里安有限公司 用于示踪气体泄漏检测的校准系统和方法
CN102667467B (zh) * 2009-12-22 2016-01-20 Ima生命北美股份有限公司 使用对真空泵排气的气体测量来监控冷冻干燥

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013213257B4 (de) * 2013-07-05 2024-09-19 Pfeiffer Vacuum Gmbh Membranvakuumpumpe mit Gasballastventil und Pumpenanordnung
US10094381B2 (en) 2015-06-05 2018-10-09 Agilent Technologies, Inc. Vacuum pump system with light gas pumping and leak detection apparatus comprising the same
KR102272114B1 (ko) 2019-11-13 2021-07-02 서울대학교산학협력단 가스 송출 배관에 응축된 수분을 제거하기 위해 하이드로젤 입자를 이용하는 방법
CN110823468A (zh) * 2019-12-16 2020-02-21 中国商用飞机有限责任公司 单向阀失效检测装置及用于检测单向阀失效的方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102187193A (zh) * 2008-10-20 2011-09-14 瓦里安有限公司 用于示踪气体泄漏检测的校准系统和方法
CN102187193B (zh) * 2008-10-20 2014-01-08 安捷伦科技有限公司 用于示踪气体泄漏检测的校准系统和方法
CN102667467B (zh) * 2009-12-22 2016-01-20 Ima生命北美股份有限公司 使用对真空泵排气的气体测量来监控冷冻干燥

Also Published As

Publication number Publication date
KR970002277A (ko) 1997-01-24
JP3358394B2 (ja) 2002-12-16
JPH0915082A (ja) 1997-01-17
TW293086B (zh) 1996-12-11
KR100217434B1 (ko) 1999-09-01
CN1083575C (zh) 2002-04-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5561240A (en) Leak detecting apparatus using compound turbo-molecular pump
US7448256B2 (en) System and method for determining the leakproofness of an object
US5341671A (en) Helium leak detector
CN1083575C (zh) 氦检漏器
US9316559B2 (en) Leak detection appliance
US20050147508A1 (en) Methods and apparatus for determining the presence or absence of a fluid leak
JP4037954B2 (ja) トレーサガス式漏れ検出器
US7082813B2 (en) Test gas leakage detector
US7500381B2 (en) Systems and methods for trace gas leak detection of large leaks at relatively high test pressures
JPH051687A (ja) 回転翼形油回転真空ポンプによる気体の吸排装置及び該装置を用いたヘリウム漏れ検出器
US6354141B1 (en) Variable speed primary pumping in a tracer gas leak detector
CN208607521U (zh) 一种氦气检漏充注回收装置的plc控制系统
JP2019044746A (ja) 真空ポンプ起動制御装置
CN109500025B (zh) 一种自动清罐仪及采样罐清洗方法
CN109085793A (zh) 一种氦气检漏充注回收装置的plc控制系统
CN111855106A (zh) 一种座便器密封性检测设备
JP3493874B2 (ja) ヘリウムリークテスト装置
JPS6315133A (ja) 真空リ−クチエツク方法
JP2003254855A (ja) 漏洩検出装置
JPS61175285A (ja) 真空ポンプの監視装置
JP2002025918A (ja) 半導体製造装置
JPH0544643A (ja) 真空排気装置及びその起動方法
JP2007198865A (ja) ヘリウムリークデテクタ
JP2001235391A (ja) リーク検査装置
JP2001235387A (ja) リーク検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C06 Publication
PB01 Publication
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20020424

Termination date: 20100426