TW293086B - - Google Patents

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經濟.部中央標準局員工消費合作社印裝 A 7 B7五、發明説明（'） 【産業上之利用領域】 本發明傜有關於一種進行密閉檢査或封閉檢査之際所 運用之氮拽漏偵測器。 【習知技術】 要檢査配管等有無洩漏，氮偵測器是有利的手段之一 ，該裝置如圖3所示，具只能檢測氪（He)之質躉分析部 ANAL ;配置在可將該質量分析部ANAL與被試醱EXP—起 真空排氣的位置。而作為主泵之渦輪分子泵（TMP)l;以 及作為該TMP1的後援泵功能之油旋轉真空泵（RP)2;復 分別在被試醴EXP與TMP1之間配置試驗閥TV; TMP1與RP2 之間配置斷路閥FV;以及在直接連通被試體EXP與RP2的 管路中，配置中間閥BV而構成者。圈TP為半裝置可對被 試醴EXP裝卸自如之試驗端口。 、 本裝置的洩漏試驗以如下程序進行。首先將中間MBV 及試驗閥TV關閉，斷路閥FV保持啓開，開動TMP1及 RP2 ，將質*分析部ANAL排氣到所定真空度。圖4粗線為此 時排氣進行中之部分。其次，將被試體EXP連接於試驗 端口 TP,這回是將試驗閥TV及斷路閥FV關閉，中間閥BV 保持啓開，如圖5粗線所示，由RP2將被試體EXP排氣到 所定真空度。然後，颶閉中間閥BV，打開試驗閥TV及斷 路閥FV,構成如圖6粗線所示之排氣管路，將氮吹向被 試體EXP。此時，被試醱EXP如有洩漏，氮的一部分即會湧 入質量分析部ANAL,而測出洩漏的大致比例，結果，可 間接測出被試賭E X P之密封度。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 -β

A 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7_ 五、發明説明（2 ) 【發明欲解決之問題】 然而，值此被試體EXP有大Μ的氣漏洩（稱為總洩漏） ，於其後鑲之洩漏試驗時，質量分析部AHAL内氪的基底 值（零點）不會充分地降低，因而毫無問題的，良好被 試體ΕΧΡ也會被判定為不良品，如此則無法有效地試驗。 經査明其真相得知，此乃由於總洩漏時，作為ΤΜΡ1的 後援泵2作之RP2中，吸入大量気濃度極高之空氣，此時 氪溶解於RP2油中，同時，所溶解氬之氣泡·随著時間再 度從吸氣口端放出。這些氩倒流到霣Μ分析部AHAL導致 基底值上升。 為解決造種不妥現象，可以考廉整體裝置的蓮轉，将 RP2的油換上新油之方法來應付，但這樣的話等到整體 裝置再運轉，要花很長的停機時間，對裝置的運轉效率 有很大的障礙，而且在雒修上也會花很大的賨用與人工 〇 本發明箸眼於瑄種間題，目的在於提供一種氣洩漏偵 潮器，傜於油旋轉真空泵的油中混入大Λ的気時，可使 其迅速地疏散，由此，使霣量分析部的基底值很快地下 降，有效地恢復洩漏試驗者。 【發明之解決手段】 本發明為造成上述目的，採用下述構成。 即，本發明之氩洩漏偵測器像具：只能檢測氬之質董 分析部；可將該質量分析部與被試體一起真空排氣之主 泵；以及作為該主泵的後援泵功能之油旋轉真空泵， -4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^^1' ί In I I -. I ml I— .......I— 、一·eJl·-— I n^i ml n yl (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明説明（3 ) 其特擻為：上述油旋轉真空泵傜揉用具備銕氣口者，並 在該銕氣口設可s擇性的開閉之霣磁同時設有當在 上述質量分析部被測定的氩之測定值超過預定臨界值時 ，可控制上述霣磁閥，使其保持一定時間開啓之控制手 段者。 【作用】 在如上述構成中，將臨界值定在對應於緦拽漏之值， 當實際上産生總洩漏，而大董的氪被吸進油旋轉真空栗 内溶解於油中時，控制手段依據質董分析部的氣測定值 之超過睡界值而動作，控制附設在油旋轉真空泵的鎮氣 口之電磁閥，使其保持一定時間之開啓，由此，大氣被 引進油旋轉真空泵内，油旋轉真空泵内的油受該大氣之 攪拌，溶解在油中成氣泡狀態的氟受到該大氣的*拌作 用迅速地排出。因此，油中的氩濃度急速下降，随後再 做洩漏試驗時，油旋轉真空泵的氩放出量已顯著減低， 可大大改善氩湧入霣董分析部使基底值上升之不妥現象 。且依據本發明時，於其間，油旋轉真空泵以及包括質 量分析部與髙真空泵等在内的其他裝置部分都不必停機 I.-------{ I 裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂- 經濟部中央標準局負工消費合作杜印製 總洩 ，復 .下恢 镳地 影效 良有 不著 的接 大緊 太可 有就 會 ， 不間 性時 轉失 蓮損 鏞的 連短 的極 統花 条只 對後 在漏試 ，洩漏 作 Η 驗 I 二 5^ 0 - B 漏 ^ 例 施下£ 實以圖 例 施 實 樣 同 為 者 示 所 3 _ 與 上 本 基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2ΙΟΧ297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（4 ) 之檐成。即亦具有：只能檢澜氮（He)之質量分析部ANAL ;配置在可將該質量分析部ANAL與被試《ΕΧΡ —起真空 排氣的位置，而作為主泵之皤輪分子泵（TMP)l:以及作 為該TMP1的後援泵功能之油旋轉真空泵UP)2,復分別 在被試體EXP與TMP1之間配置試驗閥TV”； TMP1與 RP2之 間配置斷路MFV;以及在直接連通被試鼸EXP與RP2的管 路中，配置中間閥BV而構成者。 又，洩漏試驗的程序也與上述依圖4〜III· 6順序所説明 的以往裝置相同，即首先將中間M BV及試驗W TV關閉， 斷路閥FV保持啓開，開動TMP1及RP2, 將質麗分析 部ANAL排氣到所定真空度（參照画4)。其次，將被 試《ΕΧΡ遽接於試驗端口 TP,這回是将試驗WTV及斷路 閥FV開閉，中間閥BV保持啓開，由RP2將被試驩EXP排氣 到所定真空度（參照圈5)。然後，鼷閉中間閥BV,打 開試8ITV及斷路閥FV，將氦吹向被試儺EXP (參照圏6) ，此時，被試體EXP如有洩漏，鳋的一部分會薄入質曇 分析部ANAL,而拥出氣漏洩的大致比例，结果可間接澍 出被試體EXP之密封度β 在上述過程中，被試體EXP的密閉性或封閉狀態極為 惡劣，被試體EXP與粗加工管線的連接處所（試驗端口 TP部分）的真空密封不完菩，或者破損以致於産生大量 的氮漏拽（總洩漏）時，採取以另外的程序控制，迅速 地終止試驗等之措施，惟此時，TMP1的後捶泵RP2内會 吸入大董的、氟猥度棰高之空氣，而溶解於RP2的油中。 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I.：--------- (锖先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（5 ) 因此總洩漏後，恢復洩漏試驗時，所溶解的氩之氣泡随 著時間再度從吸氣口端放出，而倒流到質量分析部ANAL ，使其基底值上昇，事實上，洩漏試驗已處於不能再曲 鑲進行之狀態。 因此，本實施例中，上述RP2偽採用具縝氣口 21者， 由該鏔氣口 21選擇性地引進大氣，以解決上述之不妥問 題。 詳而言之，上述之RP2如圖2所示，在汽缸22内的偏心 位置配置内接狀態的轉子23,並將收容在該轉子23而可 在其半徑方向伸縮的菜Η 24末端滑接於汽缸22内周，而 於汽缸22、轉子23、葉Κ24所隔的泵室Ρ中充缜泵油，驅 動轉子23使其轉動時，可将從吸氣口吸入的瓦斯一面壓 缩，一面將其送出排氣口 26,形成眾所周知之泵作用。 又所要排氣的瓦斯中如有如水蒸氣等具冷凝性之瓦斯時 ，為防止起因於壓縮使瓦斯液化。所導致之泵整醱功能 劣化，在圖示之RP2上的排氣口 2 6'近，，設鎮氣口 2 1之 開口，在瓦斯未被®縮前，從該鎮氣口 21引進大氣，使 其併具不增加瓦斯分壓而排氣之功能。 而本實施例中，在該鎮氣口 21上加設可開閉的霣磁閬 GBV,並使該電磁閥GBV由本發明中擔任控制手段的微霣 腦組件4控制其開閉。 電磁閥GBV依照輸入之電氣信號，至少可使鎮氣口 21 選擇性地轉換保持於開狀態與閉狀態之通常型式。 微電腦組件4為習知之具中央處理機、記億醱及介面 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） I 1- I - - I - In - - I -^ i - —I— 1..... 1 - II ---、訂 r - i I I In ——-^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貞工消费合作社印策 A7 B7 五、發明説明（6 ) 等者，其記憶體内儲存所定之程序，中央處理機按其程 序，從質量分析部ANAL输入測定值S做所定的比較、蓮 算，對上述電磁閥GBV輸出開閉信號a。 以下按其程序，説明控制順序。通常，霣磁閥GBV保 持在鼷閉狀態，中央處理機將從質量分析部纟>1纟1^输入的 测定值S與預先設定的臨界值SO定期地作比較。該臨界 值SO傷設定在RP2内有可能引進超過容許置的氪之水平， 亦即對應於總洩漏水平之測定值。而所輸入的測定值 S 經判斷超過該臨界值時，判定為總洩漏，使上述霣磁閥 GBV在一定時間内保持啓開狀態。由此使得大量大氣從 外部經由鎮氣口 21進入RP2的泵室P内。總洩漏時會有大 悬的氤被吸進RP2泵室P内，溶解在油中或氣泡形，而該 氩被經由鏔氣口 21進入的大氣在内部被攪拌，氣由於該 大氣的攪拌作用、迅速地從排氣口 26排出。因此，油中 的氩濃度急速下降，於其後恢後洩漏試驗時，從RP2所 放出的氦量顯著減低，氩湧入於質量分析部ANAL使基 底值上升之不妥情形。遂有長足的改巷。而且，侬本實 施例，於其間，包括RP2的質量分析部ANAL及TMP1等其 他裝置部分都不必停機，對裝置的連鑛運轉不會有太大 的不良影響，總洩漏後，只花極短的時間，就可緊接著 有效恢復試驗工作。並且，以上控制全部自動控制，生 手也可順手操作該裝置，有效提离裝置的利用率與使用 上之方便。 又，各部分的具體構成，實不只限定於上述實施例， -8 - 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7 五、發明説明（7) 於不違本發明宗旨下，燼可作各式各搛的變化。 【發明之效果】 本發明之氫洩漏偵測器，傜如上述構成，因而産生總 洩漏時，可檢测之，並暫時將大氣引入油旋轉真空泵内 ,攪拌溶解在油中的氪，迅速将其排出，因此，结洩漏 後，恢復洩漏試驗，也可使質量分析部的基底值保持在 低值位，有效進行洩漏試驗，而且，於其間並不損及連 纓蓮轉性，對操作不熟練的人，也由於會自動從總洩漏 復原，而棄得有效提高裝置的蓮轉效率及使用上的方便 之優異效果。 【圖面簡單説明】 圖1係本發明一簧施例之管路圖。 圖2俱同實施例所使用油旋轉真空泵之概略斷面圖。 園3傺習知例之對應於圈1之管路圖。 圈4偽與圈3對應以説明洩漏試驗之一般程序讕。 圖5偽與圖3對應以說明洩漏試'齡Γ之一般程序圖。 圖6係與圖3對應以説明洩漏試驗之一般程序圖。 【符號説明】 ANAL :質量分析部 EXP :被試體 GBV :電磁閥 1 :主泵（渦輪分子泵；TMP) 2 :油旋轉真空泵R P 4 :控制手段（撤電腦組件） 21 :ϊ鏔氣口 -9 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝·

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Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1. 一種氣洩漏偵測器，傜由：只能檢測氬之質*分析部 ;可將該霣量分析部與被試體一起真空排氣之主泵； 以及當作該主泵的後播泵功能之油旋轉真空泵而構成 其特擻為； 上述油旋轉真空泵僳採用具備鎮氣口者，並在該鎮 氣口設可灌擇性的開閉之霣磁閥，同時設有當上述質 量分析部所測定的氩之测定值超過預先設定的睡界值 時，可控制上述霣磁閥，使其保持一定睁間開啓之控 制手段者。 ---------C -裝------^訂-------^ ^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐）