JPS597237A - リ−ク検査装置 - Google Patents
リ−ク検査装置Info
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- JPS597237A JPS597237A JP11546282A JP11546282A JPS597237A JP S597237 A JPS597237 A JP S597237A JP 11546282 A JP11546282 A JP 11546282A JP 11546282 A JP11546282 A JP 11546282A JP S597237 A JPS597237 A JP S597237A
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- JP
- Japan
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- leak
- test
- valve
- workpiece
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、被試験体のリークの有無および程度を検査す
るリーク検査装置に関する。
るリーク検査装置に関する。
被試験体（以下ワークという）のリークの有無およびリ
ーク量をオンラインで検査する装置においては検出精度
の高さを求められる。一方、ラインから供給されるワー
クのリーク程度は大きなリーク（蓋の締め忘れ）から微
小リークまで範囲が広いため従来のハロゲンリークデテ
クタを用いた積分法等のリーク検査装置においては、長
時間安定な検査は装置内のプローブガスの残留、漏れ出
たプローブガスによる装置周囲の環境の汚染等によシネ
可能であった。したがって、検査を一時やめて空運転、
エアプロー等によシ残留グローブガスの除去を行なわな
ければならず、検査稼動率が低下する欠点がある。
ーク量をオンラインで検査する装置においては検出精度
の高さを求められる。一方、ラインから供給されるワー
クのリーク程度は大きなリーク（蓋の締め忘れ）から微
小リークまで範囲が広いため従来のハロゲンリークデテ
クタを用いた積分法等のリーク検査装置においては、長
時間安定な検査は装置内のプローブガスの残留、漏れ出
たプローブガスによる装置周囲の環境の汚染等によシネ
可能であった。したがって、検査を一時やめて空運転、
エアプロー等によシ残留グローブガスの除去を行なわな
ければならず、検査稼動率が低下する欠点がある。
従来のリーク検査装置を第１図に示す。試験容器（１）
内にワーク（２）を装着すると圧力調整弁（ＰＲＩ）に
より調圧された例えばハロゲンガスなどのグローブガス
が供給弁（■３）開によりプローブガスボンへ（５）か
ら配管（６）を介してワーク（２）内に充填される。
内にワーク（２）を装着すると圧力調整弁（ＰＲＩ）に
より調圧された例えばハロゲンガスなどのグローブガス
が供給弁（■３）開によりプローブガスボンへ（５）か
ら配管（６）を介してワーク（２）内に充填される。
充填されたグローブガスはワーク（２）にリークがある
と試験容器（１）内へ放出され蓄積される。所定時間後
試験容器（１）内の気体をグロステスト用リークデテク
タ（３）マたは本テスト用リークデテクタ（４）が吸引
１〜、その気体中のプローブガス濃度を測定してリーク
程度を判定する。プローブガス充填後供給弁（ＶＳ）は
閉となるが、ワーク（２）内部は試験容器（１）内よシ
圧力が高いだめグローブガスはテスト終了後もワーク搬
出までリークし続け、装置環境を汚染し続けるだめ以後
の正常なリーク検査ができなくなる。
と試験容器（１）内へ放出され蓄積される。所定時間後
試験容器（１）内の気体をグロステスト用リークデテク
タ（３）マたは本テスト用リークデテクタ（４）が吸引
１〜、その気体中のプローブガス濃度を測定してリーク
程度を判定する。プローブガス充填後供給弁（ＶＳ）は
閉となるが、ワーク（２）内部は試験容器（１）内よシ
圧力が高いだめグローブガスはテスト終了後もワーク搬
出までリークし続け、装置環境を汚染し続けるだめ以後
の正常なリーク検査ができなくなる。
本発明は、リーク程度に応じた段階的な検査を行ないグ
ローブガスの外部漏出を防止して周囲環境汚染を解消す
ることによシ、検査精度を長時間維持できるリーク検査
装置を提供することを目的とする。
ローブガスの外部漏出を防止して周囲環境汚染を解消す
ることによシ、検査精度を長時間維持できるリーク検査
装置を提供することを目的とする。
本発明は、被試験体が装着される気密構造の試験容器と
、この試験容器内に装着された被試験体内に所定圧力の
グローブガスを充填する手段と、この手段による被試験
体へのプローブガス充填から所定時間後前記試験容器内
の気体を吸引しプローブガス濃度を測定するリークデテ
クタとを具え被試験体のリークの有無および程度を判別
するリーク検査装置において、前記プローブガス充填手
段の配管から分岐された配管に真空度測定手段を介して
接続された真空ポンプを具え、前記被試験体内へのプロ
ーブガス充填前に被試験体内を真空引きし真空度による
漏洩検査を実施することを特徴とするリーク検査装置を
実現して所期の目的を達成した。
、この試験容器内に装着された被試験体内に所定圧力の
グローブガスを充填する手段と、この手段による被試験
体へのプローブガス充填から所定時間後前記試験容器内
の気体を吸引しプローブガス濃度を測定するリークデテ
クタとを具え被試験体のリークの有無および程度を判別
するリーク検査装置において、前記プローブガス充填手
段の配管から分岐された配管に真空度測定手段を介して
接続された真空ポンプを具え、前記被試験体内へのプロ
ーブガス充填前に被試験体内を真空引きし真空度による
漏洩検査を実施することを特徴とするリーク検査装置を
実現して所期の目的を達成した。
本発明によるリーク検査装置の一実施例を第２図を参照
して説明する。第１図と同等部分には同一符号を付しそ
の説明を省略する。グローブガス充填用の配管（６）の
供給弁（ｖ３）よりワーク（２）に寄った位置で分岐し
た配管（力を設け、配管（力の分岐点近傍に弁（ＶＳ）
を設けるとともに配管（力の他端に弁（Ｖ７）を介して
真空ポンプ（ＶＰＩ）を接続する。この配管（７）の途
中に真空スイッチ（ＶＳｌ）を設ける。さらに、真空ポ
ンプの吸込側に設けられた弁（Ｖ７）と配管（６）から
の分岐点との間に位置させて弁（Ｖ６）を設け、この弁
（Ｖ６）の一方何および他方側でそれぞれ配管（力から
分岐した配管（８Ｌ （９１に二つの圧力導入口をそれ
ぞれ接続させて差圧検出器＋０Ｓ１）を設ける。
して説明する。第１図と同等部分には同一符号を付しそ
の説明を省略する。グローブガス充填用の配管（６）の
供給弁（ｖ３）よりワーク（２）に寄った位置で分岐し
た配管（力を設け、配管（力の分岐点近傍に弁（ＶＳ）
を設けるとともに配管（力の他端に弁（Ｖ７）を介して
真空ポンプ（ＶＰＩ）を接続する。この配管（７）の途
中に真空スイッチ（ＶＳｌ）を設ける。さらに、真空ポ
ンプの吸込側に設けられた弁（Ｖ７）と配管（６）から
の分岐点との間に位置させて弁（Ｖ６）を設け、この弁
（Ｖ６）の一方何および他方側でそれぞれ配管（力から
分岐した配管（８Ｌ （９１に二つの圧力導入口をそれ
ぞれ接続させて差圧検出器＋０Ｓ１）を設ける。
上記のように構成された本発明一実施例のリーク検査装
置においては、供給弁（ｖ３）閉の状態で試験容器（１
）内にワーク（２）を装着し、配管（６）が接続さレル
ト、弁（ＶＳ） 、（Ｖ６） 、（Ｖ７） カ開き真空
ポンプ（ＶＰＩ）が始動してワーク（２）内を真空引き
する。所定の時間後真空スイッチ（ＶＳ １ ）で真空
度をチェックする。
置においては、供給弁（ｖ３）閉の状態で試験容器（１
）内にワーク（２）を装着し、配管（６）が接続さレル
ト、弁（ＶＳ） 、（Ｖ６） 、（Ｖ７） カ開き真空
ポンプ（ＶＰＩ）が始動してワーク（２）内を真空引き
する。所定の時間後真空スイッチ（ＶＳ １ ）で真空
度をチェックする。
そして所定の真空度に到達していなければワーク（２）
のリークが大と判定しその旨が表示されて検査を終了す
る。このワーク（２）は試験容器（１）から外されリー
ク大として仕分けされる。次のワークの場合に所定の真
空度に到達したら弁（ｖｌ）および弁（ｖ６）を閉じ真
空ポンプ（ＶＰ １ ）を止め、弁（Ｖ７）からワーク
（２）Ｋ至る配管内を均一の真空度にした後、所定の時
間後差圧検出器（ＤＳ １ ）の差圧出力値が所定値以
上になったらワーク（２）のリーク程度が中程度と判定
しその旨が表示されて検査を終了する。このワーク（２
）は試験容器（１）から外されリーク中程度として仕分
けされる。
のリークが大と判定しその旨が表示されて検査を終了す
る。このワーク（２）は試験容器（１）から外されリー
ク大として仕分けされる。次のワークの場合に所定の真
空度に到達したら弁（ｖｌ）および弁（ｖ６）を閉じ真
空ポンプ（ＶＰ １ ）を止め、弁（Ｖ７）からワーク
（２）Ｋ至る配管内を均一の真空度にした後、所定の時
間後差圧検出器（ＤＳ １ ）の差圧出力値が所定値以
上になったらワーク（２）のリーク程度が中程度と判定
しその旨が表示されて検査を終了する。このワーク（２
）は試験容器（１）から外されリーク中程度として仕分
けされる。
次のワークの場合に差圧出力値が所定値に到達しなかっ
たら、弁（ｖ８）を閉じ、供給弁（ＶＳ）を開いてワー
ク（２）内にグローブガスを充填し供給弁（ｖ３）を閉
じる。所定時間抜弁（ｖｌ）を開いて試験容器（１）内
の気体をグロステスト用リークデテクタ（３）Ｋより吸
引しグローブガスの濃度を測定する。このとき所定濃度
以上の濃度が測定されるとワーク（２）は「リーク有」
の不良表示が行なわれ、弁（ＶＳ） 、（Ｖ６）、（Ｖ
７）が開かれ真空ポンプ（ｖｐｉ）によりワーク（２）
内が真空引きされ、グローブガスが真空ポンプ（ｖｐｉ
）を介してガス回収装置に送られる。ワーク（２）内の
プローブガスが強制的に排気された時点で真空ポンプ（
ｖｐ ｉ ）は停止し、ワーク（２）が試験容器（１）
から外され「リーク有」として仕分けされる。
たら、弁（ｖ８）を閉じ、供給弁（ＶＳ）を開いてワー
ク（２）内にグローブガスを充填し供給弁（ｖ３）を閉
じる。所定時間抜弁（ｖｌ）を開いて試験容器（１）内
の気体をグロステスト用リークデテクタ（３）Ｋより吸
引しグローブガスの濃度を測定する。このとき所定濃度
以上の濃度が測定されるとワーク（２）は「リーク有」
の不良表示が行なわれ、弁（ＶＳ） 、（Ｖ６）、（Ｖ
７）が開かれ真空ポンプ（ｖｐｉ）によりワーク（２）
内が真空引きされ、グローブガスが真空ポンプ（ｖｐｉ
）を介してガス回収装置に送られる。ワーク（２）内の
プローブガスが強制的に排気された時点で真空ポンプ（
ｖｐ ｉ ）は停止し、ワーク（２）が試験容器（１）
から外され「リーク有」として仕分けされる。
上記の６７１測定結果が所定濃度に到達しなかったとき
にケよ、所定の積分時間抜弁（ｖ２）を開いて試験容ｉ
（１）内の気体を本テスト用リークデテクタ（４）に
よシ吸引しグローブガスの濃度を測定する。この段階ま
で来だワーク（２）は「リーク微少」のランクに入り、
測定された濃度をＡとすれば、そのワークのリーク量Ｑ
は なる（１１式から求められ、このリークｆｆ１Ｑが記録
されて仕分けされる。
にケよ、所定の積分時間抜弁（ｖ２）を開いて試験容ｉ
（１）内の気体を本テスト用リークデテクタ（４）に
よシ吸引しグローブガスの濃度を測定する。この段階ま
で来だワーク（２）は「リーク微少」のランクに入り、
測定された濃度をＡとすれば、そのワークのリーク量Ｑ
は なる（１１式から求められ、このリークｆｆ１Ｑが記録
されて仕分けされる。
上記の本テスト終了後弁（ｖｓ） 、（Ｖ６） 、（Ｖ
７）が開かれ真空ポンプ（ＶＰ １）によプローブ（２
）内のグローブガスを強制的に排気してガス回収装置に
送る。この排気工程終了後ワーク（２）が試験容器（１
）から外され、「リーク微少」として仕分けされる０も
し、本リークテストの結果グローブガス濃度がゼロであ
る場合、その旨が記録されるが、前記と同様にワーク（
２）内のプローブガスを強制排気した後試験容器（１）
からワークが取り出される。
７）が開かれ真空ポンプ（ＶＰ １）によプローブ（２
）内のグローブガスを強制的に排気してガス回収装置に
送る。この排気工程終了後ワーク（２）が試験容器（１
）から外され、「リーク微少」として仕分けされる０も
し、本リークテストの結果グローブガス濃度がゼロであ
る場合、その旨が記録されるが、前記と同様にワーク（
２）内のプローブガスを強制排気した後試験容器（１）
からワークが取り出される。
上記のように、グローブガス充填によるリークテストを
行なった場合に、テスト終了後ワーク内のプローブガス
を強制排気しガス回収装置に送り込んだ後にワークを試
験容器から取出すようＫしたので、プローブガスが装置
内各部および装置周囲の環境に漏出することが防止され
、その結果長時間にわたって精度高いリーク検査を行な
うことが可能となる。
行なった場合に、テスト終了後ワーク内のプローブガス
を強制排気しガス回収装置に送り込んだ後にワークを試
験容器から取出すようＫしたので、プローブガスが装置
内各部および装置周囲の環境に漏出することが防止され
、その結果長時間にわたって精度高いリーク検査を行な
うことが可能となる。
なお、上述の実施例は試験容器（１）が１個の場合を例
にして説明したが、試験容器が複数、例えば３基ある場
合を第３図に示す。この場合の相異点は、第１段階の検
査の際にワーク（２）を真空引きする真空ポンプ（ＶＰ
Ｉ）の他に、プローブガス充填によるリークテスト後に
ワーク内のグローブガスを強制排出する専用の真空ポン
プ（ＶＰ２）を設け、それぞれの系統を構成するように
弁および配管を具えたことで、リーク程度に応じた段階
的検査およびリークテスト後のプローブガス強制排出の
手順は第２図の実施例の場合と同様にして行なわれる。
にして説明したが、試験容器が複数、例えば３基ある場
合を第３図に示す。この場合の相異点は、第１段階の検
査の際にワーク（２）を真空引きする真空ポンプ（ＶＰ
Ｉ）の他に、プローブガス充填によるリークテスト後に
ワーク内のグローブガスを強制排出する専用の真空ポン
プ（ＶＰ２）を設け、それぞれの系統を構成するように
弁および配管を具えたことで、リーク程度に応じた段階
的検査およびリークテスト後のプローブガス強制排出の
手順は第２図の実施例の場合と同様にして行なわれる。
いま、検査工程の１例の状況を説明すれば次のようにな
る。第３図において、試験容器０１）、（１２、ＯＪに
はそれぞれワーク（２１）、（イ）、い）が装着されて
いて、すべての弁が閉じられているとする。先ず、弁（
Ｖ３１） 、（Ｖ４１） Ｎ（Ｖ６） 、（Ｖ７）を開
き真空ポンプ（ＶＰＩ）によプローブθυの真空引きを
行なう。真空スイッチ（ＶＳ １ ）及び差圧検出器（
ＤＳＬ）による真空テストの結果、適正な真空度であっ
た場合には、そのワークＱ◇はプローブガス充填による
リークテストに移行する。この時点で弁（ｖ３１） 、
（Ｖ４１）を閉じ、弁（ｖｓ２）、（Ｖ４２）、（Ｖ６
）、（■７）を開き真空ポンプ（ＶＰＩ）によりワーク
（イ）の真空引きを開始する。同時に弁（Ｖ２１ ）
、（ｖｓ）を開いてワーク（財）にプローブガスを充填
する。充填完了後弁（Ｖ２１ ） 、（Ｖ３）を閉じる
１、充填完了後所定時間をおいて弁（Ｖｌ １ ） 、
（Ｖｉ ）を開き、試験容器αυ内の気体をグロステス
ト用リークデテクタ（３）により吸引しプローブガス濃
度を測定する。
る。第３図において、試験容器０１）、（１２、ＯＪに
はそれぞれワーク（２１）、（イ）、い）が装着されて
いて、すべての弁が閉じられているとする。先ず、弁（
Ｖ３１） 、（Ｖ４１） Ｎ（Ｖ６） 、（Ｖ７）を開
き真空ポンプ（ＶＰＩ）によプローブθυの真空引きを
行なう。真空スイッチ（ＶＳ １ ）及び差圧検出器（
ＤＳＬ）による真空テストの結果、適正な真空度であっ
た場合には、そのワークＱ◇はプローブガス充填による
リークテストに移行する。この時点で弁（ｖ３１） 、
（Ｖ４１）を閉じ、弁（ｖｓ２）、（Ｖ４２）、（Ｖ６
）、（■７）を開き真空ポンプ（ＶＰＩ）によりワーク
（イ）の真空引きを開始する。同時に弁（Ｖ２１ ）
、（ｖｓ）を開いてワーク（財）にプローブガスを充填
する。充填完了後弁（Ｖ２１ ） 、（Ｖ３）を閉じる
１、充填完了後所定時間をおいて弁（Ｖｌ １ ） 、
（Ｖｉ ）を開き、試験容器αυ内の気体をグロステス
ト用リークデテクタ（３）により吸引しプローブガス濃
度を測定する。
その結果濃度値が所定値以上であっただめ「リーク有」
の不良と判定され、弁（Ｖ３１） 、（ＶＳ１）が開か
れ、ワークＱＩ）内のプローブガスが真空ポンプ（Ｖｌ
）２）により強制排気されガス回収装置に送り込まれる
。
の不良と判定され、弁（Ｖ３１） 、（ＶＳ１）が開か
れ、ワークＱＩ）内のプローブガスが真空ポンプ（Ｖｌ
）２）により強制排気されガス回収装置に送り込まれる
。
この際真空スイッチ（ＶＳ ２ ）によシ真空度が所定
値に達したらワークＱυの強制排気が完了したと判断し
排気工程を軒らせる。一方ワーク（ロ）については真空
ポンプ（ＶＰＩ）を使用した差圧検出器（ＤＳ １ ）
によるリーク程度判定が同時平行的に行なわｈる。
値に達したらワークＱυの強制排気が完了したと判断し
排気工程を軒らせる。一方ワーク（ロ）については真空
ポンプ（ＶＰＩ）を使用した差圧検出器（ＤＳ １ ）
によるリーク程度判定が同時平行的に行なわｈる。
その結果に基きワーク（財）については検査終了か次段
階の検査に進む。ワークＱＯは取り外され、新しいワー
クが試験容器ａυに装着される。ワーク（イ）の真空引
きによる検査が終り次第、関係する弁の開閉が行なわれ
てワーク（ホ）の真空引き工程が真空ポンプ（ＶＰＩ）
を使用して開始される。
階の検査に進む。ワークＱＯは取り外され、新しいワー
クが試験容器ａυに装着される。ワーク（イ）の真空引
きによる検査が終り次第、関係する弁の開閉が行なわれ
てワーク（ホ）の真空引き工程が真空ポンプ（ＶＰＩ）
を使用して開始される。
し発明の効果〕
本発明によるリーク検査装置においては、試験容器内に
装着されたワークにプローブガスを充填するだめの配管
から分岐した配管に弁を介して真空ポンプを接続し、こ
の真空ポンプの吸込口への配管途中に真空スイッチを設
けるとともに、真空ボンダの吸込側に設けられた弁とプ
ローブガス充填配管からの分岐点との間に設けられた弁
の一方側および他方側でそれぞれ配管から分岐した配管
に差圧検出器の二つの圧力導入口をそれぞれ接続して設
けたことによシ、ラインから供給されるリーク程度の広
範にばらついているワークに対し、グローブガスを充填
する前に真空ボンダによシワーク内を真空引きし、前記
真空スイッチが所定の真空度に到達しないことによりリ
ーク程度の大なるワークを判別し、所定の真空度に到達
したときには差圧検出器の差圧出力値が所定値以上にな
ったワークを中程度のリーク程度として判別し、差圧値
が所定値に到達しない、つまｌ−り程度の低いワークに
対してのみプローブガス充填によるリーク検査を行ない
、グロステストによる判別、さらにリーク程度の低いワ
ークに対しては本テストを行なうというリーク程度に応
じた段階的検査を行なって、リーク程度の大なるワーク
から順次判別されて行くので、リークデテクタに幅広い
測定レンジを持たせる必要がなくなる７、また、グロー
ブガス充填によるリーク検査を行なう回数が減少するこ
とおよびプローブガス充填による検査の判定終了後ただ
ちにワーク内を真空引きしてグローブガスを強制排出し
ガス回収装置に送シ込むようにしたことにより、装置内
および周囲環境のグローブガスによる汚染が防止され、
長時間にわたって精度高いリーク検査を行なうことが可
能となる。また、リーク程度の低いワークに対しては真
空引き後グローブガス充填を行なうので、グローブガス
が空気によシ希釈されることがなく、微少なリークに対
しても充填後ただちにもしくけ短時間で検出することが
できる。さらに、グローブガスを回収、再使用する際に
もワーク内のプローブガスが空気により希釈されていな
いので高濃度のプローブガスの回収が可能となり、回収
装置の精製機構も簡単なものでよく回収装置を安価にす
ることができる。
装着されたワークにプローブガスを充填するだめの配管
から分岐した配管に弁を介して真空ポンプを接続し、こ
の真空ポンプの吸込口への配管途中に真空スイッチを設
けるとともに、真空ボンダの吸込側に設けられた弁とプ
ローブガス充填配管からの分岐点との間に設けられた弁
の一方側および他方側でそれぞれ配管から分岐した配管
に差圧検出器の二つの圧力導入口をそれぞれ接続して設
けたことによシ、ラインから供給されるリーク程度の広
範にばらついているワークに対し、グローブガスを充填
する前に真空ボンダによシワーク内を真空引きし、前記
真空スイッチが所定の真空度に到達しないことによりリ
ーク程度の大なるワークを判別し、所定の真空度に到達
したときには差圧検出器の差圧出力値が所定値以上にな
ったワークを中程度のリーク程度として判別し、差圧値
が所定値に到達しない、つまｌ−り程度の低いワークに
対してのみプローブガス充填によるリーク検査を行ない
、グロステストによる判別、さらにリーク程度の低いワ
ークに対しては本テストを行なうというリーク程度に応
じた段階的検査を行なって、リーク程度の大なるワーク
から順次判別されて行くので、リークデテクタに幅広い
測定レンジを持たせる必要がなくなる７、また、グロー
ブガス充填によるリーク検査を行なう回数が減少するこ
とおよびプローブガス充填による検査の判定終了後ただ
ちにワーク内を真空引きしてグローブガスを強制排出し
ガス回収装置に送シ込むようにしたことにより、装置内
および周囲環境のグローブガスによる汚染が防止され、
長時間にわたって精度高いリーク検査を行なうことが可
能となる。また、リーク程度の低いワークに対しては真
空引き後グローブガス充填を行なうので、グローブガス
が空気によシ希釈されることがなく、微少なリークに対
しても充填後ただちにもしくけ短時間で検出することが
できる。さらに、グローブガスを回収、再使用する際に
もワーク内のプローブガスが空気により希釈されていな
いので高濃度のプローブガスの回収が可能となり、回収
装置の精製機構も簡単なものでよく回収装置を安価にす
ることができる。
第１図はリーク検査装置の従来例を示す系統図、第２図
は本発明一実施例のリーク検査装置を示す係統図、第３
図は本発明によるリーク検査装置の他の実施例を示す系
統図である。 １・・・試験容器 ２・・・ワーク（被試験
体）３・・・グロステスト用リークデテクタ４・・・本
テスト用リークデテクタｖ１・・グロステスト用カス導
入弁 Ｖ２・・・本テスト用ガス導入弁Ｖ３・ガス供給
弁 ＰＲＩ・・・圧力調整弁５・・・グローブガ
スボンベ ６．７・・・配管Ｖ６ 、Ｖ７、■８・
・・弁 ８．９・・・分岐配管ＶＳＩ・・・真
空スイッチ ＤＳＬ・・差圧検出器ＶＰＩ・・・真
空ポンプ １１、１２．１３・・・試験容器 ２１．２２．２３
・・・ワークＶＳ２・・真空スイッチ ＶＦ６・・
・真空ポンプ代理人 弁理士 弁上−男 第 ３ 図 第 １ 図 第 ２ 図
は本発明一実施例のリーク検査装置を示す係統図、第３
図は本発明によるリーク検査装置の他の実施例を示す系
統図である。 １・・・試験容器 ２・・・ワーク（被試験
体）３・・・グロステスト用リークデテクタ４・・・本
テスト用リークデテクタｖ１・・グロステスト用カス導
入弁 Ｖ２・・・本テスト用ガス導入弁Ｖ３・ガス供給
弁 ＰＲＩ・・・圧力調整弁５・・・グローブガ
スボンベ ６．７・・・配管Ｖ６ 、Ｖ７、■８・
・・弁 ８．９・・・分岐配管ＶＳＩ・・・真
空スイッチ ＤＳＬ・・差圧検出器ＶＰＩ・・・真
空ポンプ １１、１２．１３・・・試験容器 ２１．２２．２３
・・・ワークＶＳ２・・真空スイッチ ＶＦ６・・
・真空ポンプ代理人 弁理士 弁上−男 第 ３ 図 第 １ 図 第 ２ 図
Claims (2)
- （１）被試験体が装着される気密構造の試験容器と、こ
の試験容器内圧装着された被試験体内に所定圧力のグロ
ーブガスを充填する手段と、この手段による被試験体へ
のプローブガス充填から所定時間後前記試験容器内の気
体を吸引しグローブガス濃度を測定するリークデテクタ
とを具え被試験体のリークの有無および程度を判別する
リーク検査装置において、前記プローブガス充填手段の
配管から分岐された配管に真空度測定手段を介して接続
された真空ポンプを具え、前記被試験体内へのプローブ
ガス充填前に被試験体内を真空引きし真空度による漏洩
検査を実施する仁とを特徴とするリーク検査装置。 - （２） プローブガス充填による検査後被試験体内を
真空引きしプローブガスを強制排出することを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のリーク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11546282A JPS597237A (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | リ−ク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11546282A JPS597237A (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | リ−ク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS597237A true JPS597237A (ja) | 1984-01-14 |
Family
ID=14663135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11546282A Pending JPS597237A (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | リ−ク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS597237A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01214188A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-28 | Sony Corp | 半導体レーザー |
| EP3932675A1 (en) | 2020-07-01 | 2022-01-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink tank and leakage inspection method for ink tank |
-
1982
- 1982-07-05 JP JP11546282A patent/JPS597237A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01214188A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-28 | Sony Corp | 半導体レーザー |
| EP3932675A1 (en) | 2020-07-01 | 2022-01-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink tank and leakage inspection method for ink tank |
| US11498338B2 (en) | 2020-07-01 | 2022-11-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink tank and leakage inspection method for ink tank |
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