JPS60212231A - クロルシラン不均化触媒及び不均化方法 - Google Patents
クロルシラン不均化触媒及び不均化方法Info
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- JPS60212231A JPS60212231A JP6748884A JP6748884A JPS60212231A JP S60212231 A JPS60212231 A JP S60212231A JP 6748884 A JP6748884 A JP 6748884A JP 6748884 A JP6748884 A JP 6748884A JP S60212231 A JPS60212231 A JP S60212231A
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- Japan
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- chlorosilane
- disproportionation
- hydrochloride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、クロルシラン不拘ｆヒ触媒及びその不均化方
法、さらに詳しくは特定の第３級アミンを主成分とする
クロルシラン不均化触媒及びトリクロルシラン（５ｉＨ
Ｃ２５）、ジクロルシラン（５ｉＨ２（Ｊ２）、及びモ
ノクロルシラン（５ｉＨ３Ｃ１）から選ばハだ少くとも
１種のクロルシランを不均化及び／又は再分配する触媒
セして特定の第３級アミンを用いることにより８１Ｈ２
（Ｊ、又はモノシラン（８１）１４）を取得するクロル
シランの不均化法に関する。
法、さらに詳しくは特定の第３級アミンを主成分とする
クロルシラン不均化触媒及びトリクロルシラン（５ｉＨ
Ｃ２５）、ジクロルシラン（５ｉＨ２（Ｊ２）、及びモ
ノクロルシラン（５ｉＨ３Ｃ１）から選ばハだ少くとも
１種のクロルシランを不均化及び／又は再分配する触媒
セして特定の第３級アミンを用いることにより８１Ｈ２
（Ｊ、又はモノシラン（８１）１４）を取得するクロル
シランの不均化法に関する。
（従来技術と問題点）
近年半導体工業において、５ｉＨ２Ｃ１２や５ｉ）Ｉ、
等のシラン（水素化珪素化合物）は、高軸度のシリコン
エピタキシー、また太陽を池のアモルファスシリコンの
原料等に用いられ重要な物質である。
等のシラン（水素化珪素化合物）は、高軸度のシリコン
エピタキシー、また太陽を池のアモルファスシリコンの
原料等に用いられ重要な物質である。
シランは、下記平衡反応に従って触媒の存在下に８１Ｈ
Ｃへの不均化反応により得られることは公知である。
Ｃへの不均化反応により得られることは公知である。
＋１１ −２５ＩＨＣＪ、３．； ５ｉＨ２（Ｊ２ ＋
５１ｃｘ４ｆ２１ ’２ ８１Ｈ２ＣＪ、２ｏ ５ｉ
ＨＣｆ３ ＋ ８１Ｈ３ＣＪ＋３１ ２８１Ｈ，（Ｊ
ｏＳｉＨ４＋ ８１Ｈ，、Ｃｊ！２全体で（４） ’４
５ｉＨ（Ｊ、 、： ８１Ｈ，＋−３１：１ｉ（Ｊ。
５１ｃｘ４ｆ２１ ’２ ８１Ｈ２ＣＪ、２ｏ ５ｉ
ＨＣｆ３ ＋ ８１Ｈ３ＣＪ＋３１ ２８１Ｈ，（Ｊ
ｏＳｉＨ４＋ ８１Ｈ，、Ｃｊ！２全体で（４） ’４
５ｉＨ（Ｊ、 、： ８１Ｈ，＋−３１：１ｉ（Ｊ。
また、クロルシランの不均化触媒に・ついては、いろい
ろ提案さハている。例晃ば１１）二）ジル類を用いる方
法（米国特許第２．７３２．２８２号）は反応基・度を
１５０℃以上で操作しなければならず、（２）脂肪族シ
アナミｖを用いる方法（米国特許第２．７３２．．２８
０号）はルイ′ス酸による前処理が必要であり、（３）
ジメチルフォルムアミＰやジメチルブチルアミげを用い
方法（米国特許 第３．２２２．５１１号）は触媒が劣化しやすく、（４
）炭素原子数１〜２のアルキル基からなる炭化水素を含
む第６級アミンなどを用いる方法（米国特許第２．′８
３４．６４８号）は（１）の触媒と同様に温度が１５０
℃以上で操んする必要”がある他、その装置を耐圧容器
を用いなければならず、しかもその平衡転換率（計算値
）は温度１５０℃の場合は１８チであるにも拘らず実際
には１０％穆度と低く、所望の生産量を得るには大型の
装置を用いなければならないなどの欠点があ・つた。こ
のような欠点を解決するため本発明者は前記（４）の触
媒である第３級アミンについているいろ研究を行った。
ろ提案さハている。例晃ば１１）二）ジル類を用いる方
法（米国特許第２．７３２．２８２号）は反応基・度を
１５０℃以上で操作しなければならず、（２）脂肪族シ
アナミｖを用いる方法（米国特許第２．７３２．．２８
０号）はルイ′ス酸による前処理が必要であり、（３）
ジメチルフォルムアミＰやジメチルブチルアミげを用い
方法（米国特許 第３．２２２．５１１号）は触媒が劣化しやすく、（４
）炭素原子数１〜２のアルキル基からなる炭化水素を含
む第６級アミンなどを用いる方法（米国特許第２．′８
３４．６４８号）は（１）の触媒と同様に温度が１５０
℃以上で操んする必要”がある他、その装置を耐圧容器
を用いなければならず、しかもその平衡転換率（計算値
）は温度１５０℃の場合は１８チであるにも拘らず実際
には１０％穆度と低く、所望の生産量を得るには大型の
装置を用いなければならないなどの欠点があ・つた。こ
のような欠点を解決するため本発明者は前記（４）の触
媒である第３級アミンについているいろ研究を行った。
例えばトリメチルアミンはＳ ｉ ＨＣＪ 、、と１：
１の付加化合物をつくることが知られて喘・ソ、 その
付加化合物（ｕａ３ｕ＋５１ｃ４．−）は白色の固形物
であるが、これはＥｌｉＨＣＪ、、、には溶解せず白麹
してしまうので、これを触媒とする場合、攪拌など十分
行って均一に分散させても装置内の各部で凝集を起し運
転操作上いろいろトラブルを引き起すなどの欠点がある
ことが分った。
１の付加化合物をつくることが知られて喘・ソ、 その
付加化合物（ｕａ３ｕ＋５１ｃ４．−）は白色の固形物
であるが、これはＥｌｉＨＣＪ、、、には溶解せず白麹
してしまうので、これを触媒とする場合、攪拌など十分
行って均一に分散させても装置内の各部で凝集を起し運
転操作上いろいろトラブルを引き起すなどの欠点がある
ことが分った。
マタ従来からクロルシランの不均化触媒として知ら）１
ていない対称第６級アミンをクロルシランの不均化触媒
として用いたところ、低温でしかも短時間で転換率の高
いすぐれた触媒であるという知見を得、さきに特願昭５
Ｂ−１４９９９６号として提案したがさらに対称第３級
アミンとその塩酸塩とを触媒とすることにより格段転換
速度が向上することを見出、し本発明に到達したもので
ある。
ていない対称第６級アミンをクロルシランの不均化触媒
として用いたところ、低温でしかも短時間で転換率の高
いすぐれた触媒であるという知見を得、さきに特願昭５
Ｂ−１４９９９６号として提案したがさらに対称第３級
アミンとその塩酸塩とを触媒とすることにより格段転換
速度が向上することを見出、し本発明に到達したもので
ある。
（発明の目的）
本発明は特定の対称第６級アミンとその塩酸塩ヒの混合
物をクロルシランの不均化触媒とすることにより、温度
１５０°Ｃ未満の低温において短時間で不均化反応させ
ることができ、しかもその転換率の高いクロルシラン不
均化触媒およびその不均化方法を提供することを目的と
するものである。
物をクロルシランの不均化触媒とすることにより、温度
１５０°Ｃ未満の低温において短時間で不均化反応させ
ることができ、しかもその転換率の高いクロルシラン不
均化触媒およびその不均化方法を提供することを目的と
するものである。
（発明の構成）
本発明の第１発明は下記一般式で表わされる対称第６級
アミンとその塩酸塩とを主成分とするクロルシラン不均
化触媒である。
アミンとその塩酸塩とを主成分とするクロルシラン不均
化触媒である。
一般式
（１）式 （２１式
（但し、式中のＲは炭素原子数が４〜１２のアルキル基
である。） また第２発明は、ｓ１恥ム、ＳｉＨ，、Ｃｊ’、、、、
８ ｉ Ｈｒ＜ＣＪから選ばハた少くとも１種のクロル
シランヲ不均化及びン又は再分配を行う際、に、下記一
般式で表わされる対称第、６級アミンとその塩酸塩を主
成分とする混合物を触媒とすることを特徴とするクロル
シランの不均化方法である。
である。） また第２発明は、ｓ１恥ム、ＳｉＨ，、Ｃｊ’、、、、
８ ｉ Ｈｒ＜ＣＪから選ばハた少くとも１種のクロル
シランヲ不均化及びン又は再分配を行う際、に、下記一
般式で表わされる対称第、６級アミンとその塩酸塩を主
成分とする混合物を触媒とすることを特徴とするクロル
シランの不均化方法である。
一般式
（１）式 （２）式
（但し、式中のμは炭素原子数が４〜１２のアルキル基
である。） 、 以下さらに本発明の詳細な説明する。
である。） 、 以下さらに本発明の詳細な説明する。
本発明は特定の対称第３級アミンとその塩酸塩とを主成
分とするクロルシラン不均化触媒およびその不拘「上置
法である。
分とするクロルシラン不均化触媒およびその不拘「上置
法である。
本発明においてクロルシラン）−ハ５ｉａｃＪｊ３．５
ｉＨ２Ｃｆ２ 、および５ｉＨｒ３ＣＪから選ばれた１
種以上のものをいう。
ｉＨ２Ｃｆ２ 、および５ｉＨｒ３ＣＪから選ばれた１
種以上のものをいう。
本発明のクロルシラン不均化触媒は、下記一般式で表わ
さりするものである。
さりするものである。
一般式
（１）式 （２）式
（但し、式中のＲは炭素原子数４〜１２のアルキル基で
ある。） このような構造の第３級アミンの具体例としてはトリー
ｎ−ブチルアミン、ト１７− ｆｉ ７ペンチルアミン
、トリーｎ−ヘキシルアミン、トリーｎ −ペプチルア
ミン、トリーｎ−オクチルアミン、トリーｎ−デシルア
ミン、およびトリーｎ−オクチルアミン等があげられる
が、こハらの中ト１７− ｆｉ−ブチルアミン及びトリ
ーｎ−オクチルアミンは入手が容易でしかも効果がすぐ
れているので好ましい触媒である。
ある。） このような構造の第３級アミンの具体例としてはトリー
ｎ−ブチルアミン、ト１７− ｆｉ ７ペンチルアミン
、トリーｎ−ヘキシルアミン、トリーｎ −ペプチルア
ミン、トリーｎ−オクチルアミン、トリーｎ−デシルア
ミン、およびトリーｎ−オクチルアミン等があげられる
が、こハらの中ト１７− ｆｉ−ブチルアミン及びトリ
ーｎ−オクチルアミンは入手が容易でしかも効果がすぐ
れているので好ましい触媒である。
本発明において第６級アミンのアルキル基の炭素原子数
を４〜１２と限定した理由は炭素原子数が４未満のもの
はクロルシランに添加すると白色の固体が生成し、均−
液相系での反応を行うことが不可能であり、また稜記す
る実施例に示すように、炭素原子数が４以上のものに比
べ不均化反応速度が劣るからである。また第６級アミン
のアルキル基の炭素原子数が１３以上のものでは触媒単
価が高くなるので好ましくない。
を４〜１２と限定した理由は炭素原子数が４未満のもの
はクロルシランに添加すると白色の固体が生成し、均−
液相系での反応を行うことが不可能であり、また稜記す
る実施例に示すように、炭素原子数が４以上のものに比
べ不均化反応速度が劣るからである。また第６級アミン
のアルキル基の炭素原子数が１３以上のものでは触媒単
価が高くなるので好ましくない。
このような対称第３級アミンとその塩酸塩はクロルシラ
ンに比べ沸点の高い物質であり、又常温でクロルシラン
に完全に溶解し、反応液の蒸気圧を低下させるので、不
均化反応圧力を低くすることができ安全上の間断が少な
いとい゛う利点がある。
ンに比べ沸点の高い物質であり、又常温でクロルシラン
に完全に溶解し、反応液の蒸気圧を低下させるので、不
均化反応圧力を低くすることができ安全上の間断が少な
いとい゛う利点がある。
またクロルシランから本発明の触媒を用いて８１Ｈ，を
生成させる場合、その分離が容易であり、また本発明の
触媒はクロルシランから８１Ｈ２ＣＪ２や８１Ｈ４を生
成させる転換率が高く、さらに反応速度が高いという効
果がある。これは対称第６級アミンとその塩酸塩とを併
用すると著しくクロルシラン不均化速度を向上させるか
らである。
生成させる場合、その分離が容易であり、また本発明の
触媒はクロルシランから８１Ｈ２ＣＪ２や８１Ｈ４を生
成させる転換率が高く、さらに反応速度が高いという効
果がある。これは対称第６級アミンとその塩酸塩とを併
用すると著しくクロルシラン不均化速度を向上させるか
らである。
次に本発明の第２発明のクロルシランの不均化方法に・
ついて説明する。本発明の触媒を用いて不均化反応させ
５ｉＨ２Ｃｊ！２、ＳｉＨ４を製造するには公知の方法
が用いることができる。例えばクロルシランと触媒とを
混合し、不均化反応を行い生成する８ｉＨ２（Ｊ２．、
［３ｉＨ４を凝縮分離及び蒸留分離する一連の操作をす
るか、またはこハらの操作を同時に行ｈｔ１’５ように
すればよい。さらに説明すると本発明の不均化及び／又
は杓分配はクロルシランを対称第３級アミンとその塩酸
塩とを主成分とする触媒と接触させることによって行わ
れる。七の反応温度は常温から１５０’Ｃ，好ましくは
５０〜１００°Ｇである。
ついて説明する。本発明の触媒を用いて不均化反応させ
５ｉＨ２Ｃｊ！２、ＳｉＨ４を製造するには公知の方法
が用いることができる。例えばクロルシランと触媒とを
混合し、不均化反応を行い生成する８ｉＨ２（Ｊ２．、
［３ｉＨ４を凝縮分離及び蒸留分離する一連の操作をす
るか、またはこハらの操作を同時に行ｈｔ１’５ように
すればよい。さらに説明すると本発明の不均化及び／又
は杓分配はクロルシランを対称第３級アミンとその塩酸
塩とを主成分とする触媒と接触させることによって行わ
れる。七の反応温度は常温から１５０’Ｃ，好ましくは
５０〜１００°Ｇである。
本発明に用いる触媒は前記した対称第３級アミンとその
塩酸塩との七４ぞ４１種以上のものであるが、これらの
中、特にトリーｎ−ブチルアミンまたはトリーｎ−オク
チルアミンとこれらの塩酸塩とを用いるのが好ましい。
塩酸塩との七４ぞ４１種以上のものであるが、これらの
中、特にトリーｎ−ブチルアミンまたはトリーｎ−オク
チルアミンとこれらの塩酸塩とを用いるのが好ましい。
その添加量は特に制限はないが、クロルシランに対シて
２〜５Ｑｍｏｌチ、好ましくは５〜ｄ Ｑ ｍｏｂチで
ある。塩酸塩の対称第３級アミンに対する割合は２〜８
０ｍ０１％好ましく１０〜３０ ｍ０１％である。８０
ｍ０１％をこえると触媒がゼリー状となり操作が悪く
なると同時に、ＨＣＩが離脱しやすくなり、５ｉＨＣＪ
！３ ＋Ｈ（Ｊ→５ｉＣｆ、 ＋ Ｈ２のような不均化
の逆反応のようなことが起り好ましくない。
２〜５Ｑｍｏｌチ、好ましくは５〜ｄ Ｑ ｍｏｂチで
ある。塩酸塩の対称第３級アミンに対する割合は２〜８
０ｍ０１％好ましく１０〜３０ ｍ０１％である。８０
ｍ０１％をこえると触媒がゼリー状となり操作が悪く
なると同時に、ＨＣＩが離脱しやすくなり、５ｉＨＣＪ
！３ ＋Ｈ（Ｊ→５ｉＣｆ、 ＋ Ｈ２のような不均化
の逆反応のようなことが起り好ましくない。
またｉ ｍｏ１％以下では塩酸塩の効果が認められない
。
。
本発明法はパッチ式又は連続式であ・つても何ら差支え
はなく、いずれも本発明の目的を達成することができる
。
はなく、いずれも本発明の目的を達成することができる
。
なお）禰光第３級アミンは温度１００°Ｃを越える高温
下でＨ（Ｊの離脱を起こすことがあるが、その場合には
一連の操作の中にＨＣＩの供給部を設けて塩酸塩の再合
成を行なえるようにすればよい。
下でＨ（Ｊの離脱を起こすことがあるが、その場合には
一連の操作の中にＨＣＩの供給部を設けて塩酸塩の再合
成を行なえるようにすればよい。
（発明の実施例）
実施例１
内容量５１］ ０ 、ｃｃのＳＯ２３Ｑ ４製オートク
レーブ（ジャケット及び攪拌機付）にトリクロルシラン
（５ｉＨ（Ｊ３）を用いて反応温度、触媒の種類、及び
添加量を第１表に示すように変えて密閉状態で不均化反
応を行ってガス相のクロルシラン量を経時的にガスクロ
マトグラフィーにて定量した。なおこの場合の塩酸塩の
量は第６級アミンの２０ｍｏ１とし塩酸塩はオートク１
ノープ内に第３級アミンを入第１た後、ＨＣＪ、ガスを
吹ぎこむことにより作成した。なおガス相の８１Ｈ（Ｊ
、量の変化は転換率に相当するが、ここでは５ｉＨＣＪ
、、濃度が一定値になる迄の時間とその時の５ｉＨＣＪ
！３及び５ｉＣＪ！、の濃度に・ついて第１表に示した
。第１表によれば時間が短い程転換速度（不均化速度）
が速く、８１Ｈ（Ｊ３の濃度値が低いもの程転換率が良
いことが分る。なお第１表には計算によりめた平衡ｓ１
ａｃｚ３ｍ度を参考に示した。
レーブ（ジャケット及び攪拌機付）にトリクロルシラン
（５ｉＨ（Ｊ３）を用いて反応温度、触媒の種類、及び
添加量を第１表に示すように変えて密閉状態で不均化反
応を行ってガス相のクロルシラン量を経時的にガスクロ
マトグラフィーにて定量した。なおこの場合の塩酸塩の
量は第６級アミンの２０ｍｏ１とし塩酸塩はオートク１
ノープ内に第３級アミンを入第１た後、ＨＣＪ、ガスを
吹ぎこむことにより作成した。なおガス相の８１Ｈ（Ｊ
、量の変化は転換率に相当するが、ここでは５ｉＨＣＪ
、、濃度が一定値になる迄の時間とその時の５ｉＨＣＪ
！３及び５ｉＣＪ！、の濃度に・ついて第１表に示した
。第１表によれば時間が短い程転換速度（不均化速度）
が速く、８１Ｈ（Ｊ３の濃度値が低いもの程転換率が良
いことが分る。なお第１表には計算によりめた平衡ｓ１
ａｃｚ３ｍ度を参考に示した。
なお比較のために実施例１と同じ条件で触媒として、ト
リメチルアミン、トリエチルアミン、トリーｎ−プロピ
ルアミン、トリメチルアミン塩酸塩及びトリメチルアミ
ン塩酸塩を用い、反応温度を２５８Ｃ１５０°Ｃ，１０
０℃とした場合の結果を第１表に示した。（実験７１６
２０〜３０）なお、触媒が反応液中で固形物として存在
するので分散を良くするため猜拌機を作動させて行った
。
リメチルアミン、トリエチルアミン、トリーｎ−プロピ
ルアミン、トリメチルアミン塩酸塩及びトリメチルアミ
ン塩酸塩を用い、反応温度を２５８Ｃ１５０°Ｃ，１０
０℃とした場合の結果を第１表に示した。（実験７１６
２０〜３０）なお、触媒が反応液中で固形物として存在
するので分散を良くするため猜拌機を作動させて行った
。
第１表に示した様に本発明によハば実ＭＡ６８父は９の
反応温度２５℃及び１００℃では３８分及び５分で平衡
転換率が得らハものに対し、比較例の実験７に２０．２
２では２４０分、１０分でも平衡転換率に達していない
。この差はたとえば同容積の反応器でＥｌｉＨＣ１３か
ら１３１Ｈ，、（Ｊ２を製造するとすると、ＥＩｉＨ２
ＣＪ−２，０生成量がそれぞれ７倍、２倍となるので本
発明の効果がすぐ力でいることが明らかである。
反応温度２５℃及び１００℃では３８分及び５分で平衡
転換率が得らハものに対し、比較例の実験７に２０．２
２では２４０分、１０分でも平衡転換率に達していない
。この差はたとえば同容積の反応器でＥｌｉＨＣ１３か
ら１３１Ｈ，、（Ｊ２を製造するとすると、ＥＩｉＨ２
ＣＪ−２，０生成量がそれぞれ７倍、２倍となるので本
発明の効果がすぐ力でいることが明らかである。
実施例２
実施例Ｉにおいて原料ｓ ＩＨＣＪ、１をＢＩＨ２Ｃ１
，２Ｋ変更し、第２表に示す条件で不均化反応させその
ガス相のＳｉＨ，濃度をガスクロマトグラフィーで定量
し濃度が一定となる時間とその時の濃度を第２表に示し
た。
，２Ｋ変更し、第２表に示す条件で不均化反応させその
ガス相のＳｉＨ，濃度をガスクロマトグラフィーで定量
し濃度が一定となる時間とその時の濃度を第２表に示し
た。
参考として計算によりめられた平衡５ｉ）Ｉ、ｒｒ）ガ
ス相濃度を第２表に示した。
ス相濃度を第２表に示した。
比較のために実施例２において触媒をトリエチルアミン
、トリーｎ−プロピルアミン及びトリメチルアミン塩酸
塩とし反応湯度を２５℃、５０°１１００℃とした場合
の結果を第２表に示した。
、トリーｎ−プロピルアミン及びトリメチルアミン塩酸
塩とし反応湯度を２５℃、５０°１１００℃とした場合
の結果を第２表に示した。
実施例６
実施例１の実験７ｇ６１及び実験／１６５において、塩
酸塩の濃度を１（（Ｊの吹き込み量により変化させ７こ
以外は同様に行な・つた。その条件及び結果を第３表に
示す。なお第６表の実験Ａ４９、／１６５０、腐５９１
．ａ６０及び席６７は比較例である。
酸塩の濃度を１（（Ｊの吹き込み量により変化させ７こ
以外は同様に行な・つた。その条件及び結果を第３表に
示す。なお第６表の実験Ａ４９、／１６５０、腐５９１
．ａ６０及び席６７は比較例である。
（発明の効果）
以上説明したように本発明は特定の構造からなる第６級
アミンとその塩酸塩を主成分とするクロルシラン不均化
触媒およびこれを用いたクロルシランの不均化法であり
、本発明によれば次のような効果がある。
アミンとその塩酸塩を主成分とするクロルシラン不均化
触媒およびこれを用いたクロルシランの不均化法であり
、本発明によれば次のような効果がある。
（１）本発明の触媒は従来の触媒（較べ１５０℃未満の
低温で平衡転換率に近い転換率が得られる。
低温で平衡転換率に近い転換率が得られる。
（２）本発明の触媒を用いると平衡転換率に達する時間
が短く、不拘ｆヒ速度が大きいことから装置を小型化で
きる。（３）本発明の触媒は原料であるクロルシランに
完全に溶解し、触媒の沸点が２００℃以上であることか
ら、反応液の蒸気圧を下げるため安全上有利である。（
４） ５ｉＨＱＣｆ２’５ｉｔ（４などの生成物の分離
が容易となる。（５）均一液相系である為攪拌等の操作
が不要で触媒の輸送等の取扱いが簡単になり有利である
。
が短く、不拘ｆヒ速度が大きいことから装置を小型化で
きる。（３）本発明の触媒は原料であるクロルシランに
完全に溶解し、触媒の沸点が２００℃以上であることか
ら、反応液の蒸気圧を下げるため安全上有利である。（
４） ５ｉＨＱＣｆ２’５ｉｔ（４などの生成物の分離
が容易となる。（５）均一液相系である為攪拌等の操作
が不要で触媒の輸送等の取扱いが簡単になり有利である
。
特許出願人 電気化学工業株式会社
Claims (1)
- （１）下記一般式で表わされる対称第３級アミンとその
塩酸塩とを主成分とするクロルシラン不均化触媒。 一般式 （１）式 （２）１式 （但し、式中のＲは炭素原子数が４〜１２のアルキル基
である。） ｆ２１ １−ジクロルシラン、ジクロルシラン、及びモ
ノクロルシランから選ばハだ少なくとも１種のクロルシ
ランを不均化および／または再分配する際に、下記一般
式で表わされる対称第３級アミンとぞの塩酸塩とを主級
分とする混合物を触媒として用いることを特徴とするク
ロルシランの不均化方法。 一般式 （１）式 （２）式 （但し、式中のＲは炭素原子数が４〜１２のアルキル基
である。）
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6748884A JPS60212231A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | クロルシラン不均化触媒及び不均化方法 |
| US06/713,901 US4610858A (en) | 1984-04-06 | 1985-03-20 | Chlorosilane disproportionation catalyst and method for producing a silane compound by means of the catalyst |
| DE19853512402 DE3512402A1 (de) | 1984-04-06 | 1985-04-04 | Chlorsilan-disproportionierungskatalysator und verfahren zur herstellung einer silanverbindung mittels des katalysators |
| FR8505120A FR2563749B1 (fr) | 1984-04-06 | 1985-04-04 | Catalyseur de dismutation de chlorosilane et procede de production d'un compose de silane a l'aide d'un tel catalyseur |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6748884A JPS60212231A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | クロルシラン不均化触媒及び不均化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60212231A true JPS60212231A (ja) | 1985-10-24 |
| JPS6333422B2 JPS6333422B2 (ja) | 1988-07-05 |
Family
ID=13346412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6748884A Granted JPS60212231A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | クロルシラン不均化触媒及び不均化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60212231A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101511732B (zh) | 2006-09-27 | 2011-12-07 | 电气化学工业株式会社 | 甲硅烷的连续式制造方法 |
| EP2426088A1 (en) | 2010-09-03 | 2012-03-07 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Process for producing monosilane from dichlorosilane |
| EP2426089A1 (en) | 2010-09-03 | 2012-03-07 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Process for separating monosilane from chlorosilanes-rich mixture |
-
1984
- 1984-04-06 JP JP6748884A patent/JPS60212231A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6333422B2 (ja) | 1988-07-05 |
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