JPS60209128A - 感圧センサ - Google Patents
感圧センサInfo
- Publication number
- JPS60209128A JPS60209128A JP6315884A JP6315884A JPS60209128A JP S60209128 A JPS60209128 A JP S60209128A JP 6315884 A JP6315884 A JP 6315884A JP 6315884 A JP6315884 A JP 6315884A JP S60209128 A JPS60209128 A JP S60209128A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- layer
- pressure
- fiber bundle
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L11/00—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
- G01L11/02—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by optical means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は小型にして検出精度の高い感圧センサに関する
ものである。
ものである。
（背景技術）
従来の感圧センサの構成の断面図を第１図に示す。１０
はポリエステル・フィルム等の薄膜の片面（外部圧力Ｆ
と直接接触しない面）にアルミニウム等の蒸着を施して
反射面としだ受圧部、加は光透過性の良いシリコーン・
ゴム等で構成された柔軟部である。３０ａ 、 ３０ｂ
、 ３０ｃは受光素子、４０は透明ガラス基板、５０
はガラス基板４００片面に光非透過性の金属を蒸着した
もの（以下遮光層と称す）で、−郎党を透過させるため
の非蒸着部（以下光透過窓と称す） ６０ａ 、 ６０
ｂ 、 ６０ｃを有する。７０は空気層、８０ ａ ＋
８０ ｂ ＋ ８０ ｃは発光素子、９０は発光素子
８０ ａ 、８Ｑｂ 、 ８０ｃを塔載するセラミック
等の基板である。
はポリエステル・フィルム等の薄膜の片面（外部圧力Ｆ
と直接接触しない面）にアルミニウム等の蒸着を施して
反射面としだ受圧部、加は光透過性の良いシリコーン・
ゴム等で構成された柔軟部である。３０ａ 、 ３０ｂ
、 ３０ｃは受光素子、４０は透明ガラス基板、５０
はガラス基板４００片面に光非透過性の金属を蒸着した
もの（以下遮光層と称す）で、−郎党を透過させるため
の非蒸着部（以下光透過窓と称す） ６０ａ 、 ６０
ｂ 、 ６０ｃを有する。７０は空気層、８０ ａ ＋
８０ ｂ ＋ ８０ ｃは発光素子、９０は発光素子
８０ ａ 、８Ｑｂ 、 ８０ｃを塔載するセラミック
等の基板である。
第２図に受光素子３０ａ 、 ３０ｂ 、 ３０ｃを上
面（外部圧力Ｆ側）より見た形状を示す。また光透過窓
６０ａ。
面（外部圧力Ｆ側）より見た形状を示す。また光透過窓
６０ａ。
６０ｂ、６０ｃ および発光素子８０ ａ ｒ ｓｏｂ
、 ８０ ｃは略円形である。なお、第１図において
受光素子３０ａ。
、 ８０ ｃは略円形である。なお、第１図において
受光素子３０ａ。
３０ ｂ 、 ３０ｃ および発光素子８０ａ Ｉ ８
０ｂ 、 ８０Ｃの電極部、各部の支持部は図示せず、
受発光素子は本来各々マトリクス状に多素子配列してい
るが、各３素子に省略して示しており、受発光素子の駆
動部および制御部等の電気回路系も図示しない。
０ｂ 、 ８０Ｃの電極部、各部の支持部は図示せず、
受発光素子は本来各々マトリクス状に多素子配列してい
るが、各３素子に省略して示しており、受発光素子の駆
動部および制御部等の電気回路系も図示しない。
この動作としては、発光素子８０ａを電気的に駆動して
点灯させると、発光素子８０ａから出た光は光透過窓６
０ａを透過し、ガラス基板４０、柔軟部加を経て受圧部
（反射面）１０にて反射され、再び柔軟部２０を経て受
光素子３０ａに照射される。ここで受光素子３０ａに照
射される光量は、受光素子３０ａと受圧部１０との距離
により変化し、受光素子３０ａの出力は、前記距離に応
じて第３図に示すような変化となる。この距離は加えら
れた外力Ｆによる受圧部１０の歪み量（圧縮量）に対応
しているので、してその出力を圧力値い換算することに
より、複数点の圧力が検出可能となる。
点灯させると、発光素子８０ａから出た光は光透過窓６
０ａを透過し、ガラス基板４０、柔軟部加を経て受圧部
（反射面）１０にて反射され、再び柔軟部２０を経て受
光素子３０ａに照射される。ここで受光素子３０ａに照
射される光量は、受光素子３０ａと受圧部１０との距離
により変化し、受光素子３０ａの出力は、前記距離に応
じて第３図に示すような変化となる。この距離は加えら
れた外力Ｆによる受圧部１０の歪み量（圧縮量）に対応
しているので、してその出力を圧力値い換算することに
より、複数点の圧力が検出可能となる。
以上が感圧センサの原理であるが、上記構成における問
題点を次に示す。
題点を次に示す。
（１）一般に発光素子として発光ダイオード等が用いら
れるが、指向性があまりないので光透過窓６０、ａを通
過する光量が少なく’Ｓ／Ｎが悪くなる。
れるが、指向性があまりないので光透過窓６０、ａを通
過する光量が少なく’Ｓ／Ｎが悪くなる。
また通過光量を多くするには、光透過窓６０ａの径を大
きくすればよいが、大きくすると第４図（ａ）に示すよ
うに受光素子３０ａの裏面から光が直接入射する。
きくすればよいが、大きくすると第４図（ａ）に示すよ
うに受光素子３０ａの裏面から光が直接入射する。
（２）受圧部（反射面）１０で反射した光が受光素子３
０ａの表面に入射する以外に、第４図（ｂ）に示すよう
に、ガラス基板４０の中に再び入射し、遮光層５０で反
射して受光素子３０ａの裏面から入射する。
０ａの表面に入射する以外に、第４図（ｂ）に示すよう
に、ガラス基板４０の中に再び入射し、遮光層５０で反
射して受光素子３０ａの裏面から入射する。
上記（１）項は、構成上の制約を生じ、光透過窓径を大
きくするためには受光素子の内径および外径も大きくす
る必要があり、したがって多素子を高密度に配置するこ
とが難しくなり、また第４図（ａ）中破線で示すように
、受光素子と発光素子との相対位置がずれた場合にも、
受光素子の裏面から光が直接入射するため、受発光素子
の相対位置に高い精度が要求され製造上問題があった。
きくするためには受光素子の内径および外径も大きくす
る必要があり、したがって多素子を高密度に配置するこ
とが難しくなり、また第４図（ａ）中破線で示すように
、受光素子と発光素子との相対位置がずれた場合にも、
受光素子の裏面から光が直接入射するため、受発光素子
の相対位置に高い精度が要求され製造上問題があった。
また、上記（２）項は第３図に示したセンサ特性を劣化
させる大きな原因となり、受光素子と・受圧部（−反射
面）との距離変化に対して受光素子の出力変化があまり
大きく取れない等の悪影響を及ぼしていた。
させる大きな原因となり、受光素子と・受圧部（−反射
面）との距離変化に対して受光素子の出力変化があまり
大きく取れない等の悪影響を及ぼしていた。
その他、ガラス基板の一面に受光素子を形成し他面に遮
光層を形成する。ので、製造工程が増すとともにそれら
の位置合わせ（受光素子と光透過窓の中心位置を合わせ
る）が必要であった。
光層を形成する。ので、製造工程が増すとともにそれら
の位置合わせ（受光素子と光透過窓の中心位置を合わせ
る）が必要であった。
（発明の課題）
本発明の目的は、上述した欠点を除去し、構成が容易で
かつ検出精度の高い感圧センサを提供することにあり、
その特徴は、外部圧力により変形可能で一方の表面に光
反射面を有する柔軟部材層と、該層の他方の表面に接し
てもうけられる基板層と、基板層の柔軟部材層に接する
面に塔載される受光素子と、基板の他方の面に塔載され
る発光素子とを有し、該素子の発光を柔軟部材層の変形
に従って光反射面で反射し前記受光素子で受光すること
により外部圧力に対応する受光出力を提供する感圧セン
サにおいて、前記基板層が厚さ方向に繊維の長手方向を
有する光フアイバープレートにより構成される感圧セン
サにある。
かつ検出精度の高い感圧センサを提供することにあり、
その特徴は、外部圧力により変形可能で一方の表面に光
反射面を有する柔軟部材層と、該層の他方の表面に接し
てもうけられる基板層と、基板層の柔軟部材層に接する
面に塔載される受光素子と、基板の他方の面に塔載され
る発光素子とを有し、該素子の発光を柔軟部材層の変形
に従って光反射面で反射し前記受光素子で受光すること
により外部圧力に対応する受光出力を提供する感圧セン
サにおいて、前記基板層が厚さ方向に繊維の長手方向を
有する光フアイバープレートにより構成される感圧セン
サにある。
（発明の構成および作用）
第５図は、本発明の実施例の構成を示す断面図であり、
受発光素子１組の周辺についてのみ示しである。本発明
において従来例と異なる点は、受光素子３０ａを形成す
る基板にファイバープレートを用いたことである。１０
０は繊維束の方向を厚さ方向としたファイバープレート
であり、ファイバープレート１００の上面（受圧部１０
側）にスパッタ法等により受光素子３０ａを形成しであ
る。発光素子８０ａから出た光はファイバープレート１
００に入射し、各ファイバー繊維内を伝播して他端から
広がった光となり、柔軟部加を経て受圧部（反射面）で
反射され受光素子３Ｑ ａに照射される。
受発光素子１組の周辺についてのみ示しである。本発明
において従来例と異なる点は、受光素子３０ａを形成す
る基板にファイバープレートを用いたことである。１０
０は繊維束の方向を厚さ方向としたファイバープレート
であり、ファイバープレート１００の上面（受圧部１０
側）にスパッタ法等により受光素子３０ａを形成しであ
る。発光素子８０ａから出た光はファイバープレート１
００に入射し、各ファイバー繊維内を伝播して他端から
広がった光となり、柔軟部加を経て受圧部（反射面）で
反射され受光素子３Ｑ ａに照射される。
ファイバーから上面（受圧部１０側）に出る光の広がり
角はファイバーの開口数によって決まり、この開口数を
選ぶことにより広がり角を種々設定できる。
角はファイバーの開口数によって決まり、この開口数を
選ぶことにより広がり角を種々設定できる。
ここで、ファイバープレート１００における、受光素子
３０ａの位置に対応したファイバー繊維に対して、発光
素子８０ ａから出た光の入射角は大きく・なり、ファ
イバー繊維内を伝播されず、したがつて受光素子３０
ａへの下面からの光の入射はほとんどなくなる。
３０ａの位置に対応したファイバー繊維に対して、発光
素子８０ ａから出た光の入射角は大きく・なり、ファ
イバー繊維内を伝播されず、したがつて受光素子３０
ａへの下面からの光の入射はほとんどなくなる。
また、第５図内に破線で示したように受光素子３０ａと
発光素子８０ａとの相対位置がずれても下面からの光入
射はほとんどない。
発光素子８０ａとの相対位置がずれても下面からの光入
射はほとんどない。
下面からの光入射をなくすための設定要素としては、フ
ァイバープレート１００と発光素子８０ａとの距離、受
光素子３０ ａの内径および発光素子８０ａの寸法等が
あるが、従来例に比してその設定の自由度は大きくなる
。
ァイバープレート１００と発光素子８０ａとの距離、受
光素子３０ ａの内径および発光素子８０ａの寸法等が
あるが、従来例に比してその設定の自由度は大きくなる
。
一方、従来例における第４図（ｂ）に示したような、受
圧部（反射面）からの反射光が再びガラス基板内を通っ
て遮光層にて反射されて受光素子の下面から入射するよ
うな問題が解決できる宅のはいうまでもない。
圧部（反射面）からの反射光が再びガラス基板内を通っ
て遮光層にて反射されて受光素子の下面から入射するよ
うな問題が解決できる宅のはいうまでもない。
第６図は本実施例の概略構成を示す斜視図であり、各々
４×４個の受発光素子を２ ｍｍ間隔に配列した例であ
る。実施例では、受圧部１０は厚さ数１０μｍの薄膜フ
ィルム、柔軟部２０は厚さ２ｍＮの透明シリコーン・ゴ
ム、受光素子３０はアモルファス・・シリコン、発光素
子８０はＬＥＤで構成されている。また受光素子３０お
よび発光素子８０ば、図示しない電気回路部により各々
マトリクス駆動を行なっている。
４×４個の受発光素子を２ ｍｍ間隔に配列した例であ
る。実施例では、受圧部１０は厚さ数１０μｍの薄膜フ
ィルム、柔軟部２０は厚さ２ｍＮの透明シリコーン・ゴ
ム、受光素子３０はアモルファス・・シリコン、発光素
子８０はＬＥＤで構成されている。また受光素子３０お
よび発光素子８０ば、図示しない電気回路部により各々
マトリクス駆動を行なっている。
第７図は電気回路系を示すブロック図である。
２００ 、２１０は各々マトリクス配列された発光素子
群および受光素子群、２２０ 、２３０はアナログ・マ
ルチプレクサ、２４０は制御回路、２５０は増幅器、２
６０はサンプル・ホールド回路、２７０はＡ／Ｄ変換器
、２８０は信号処理回路であり、発光素子群２００およ
び受光素子群２１０は各々アナログ・マルチプレクサ２
２０ 、２３０によりマトリクス駆動される。
群および受光素子群、２２０ 、２３０はアナログ・マ
ルチプレクサ、２４０は制御回路、２５０は増幅器、２
６０はサンプル・ホールド回路、２７０はＡ／Ｄ変換器
、２８０は信号処理回路であり、発光素子群２００およ
び受光素子群２１０は各々アナログ・マルチプレクサ２
２０ 、２３０によりマトリクス駆動される。
動作は、先ず発光素子群２００における一つの発光素子
と、受光素子群２１０における前記発光素子に対応した
受光素子とを、各々アナログ・マルチプレクサ２２０お
よび２３０を制御回路２４０からの信号によって切り換
えることにより選択駆動する。
と、受光素子群２１０における前記発光素子に対応した
受光素子とを、各々アナログ・マルチプレクサ２２０お
よび２３０を制御回路２４０からの信号によって切り換
えることにより選択駆動する。
発光素子群２００における選択された発光素子には、ア
ナログ・マルチプレクサ２２０を介して、電圧■が印加
され、前記素子が発光すると、受光素子群２１０におけ
る発光素子に対応した受光素子の出力がアナログ・マル
チプレクサ２３０を介して増幅器２５０にて増幅されて
サンプル・ホールド回路２６０に入力される。サンプル
・ホールド回路２６０には制御装置２４０より、駆動に
同期したホールド信号が入力され、増幅器２５０からの
信号がホールドされてＡ／Ｄ変換器２７０に送出される
。Ａ／Ｄ変換器２７０では、前記ホールド信号がディジ
タル信号に変換される（変換のタイミングは制御回路２
４０にて設定される）。このディジタル信号は受光素子
と反射面との距離に応じた信号であるので信号処理回路
２８０により圧力値に変換され、圧力信号として出力さ
れる。
ナログ・マルチプレクサ２２０を介して、電圧■が印加
され、前記素子が発光すると、受光素子群２１０におけ
る発光素子に対応した受光素子の出力がアナログ・マル
チプレクサ２３０を介して増幅器２５０にて増幅されて
サンプル・ホールド回路２６０に入力される。サンプル
・ホールド回路２６０には制御装置２４０より、駆動に
同期したホールド信号が入力され、増幅器２５０からの
信号がホールドされてＡ／Ｄ変換器２７０に送出される
。Ａ／Ｄ変換器２７０では、前記ホールド信号がディジ
タル信号に変換される（変換のタイミングは制御回路２
４０にて設定される）。このディジタル信号は受光素子
と反射面との距離に応じた信号であるので信号処理回路
２８０により圧力値に変換され、圧力信号として出力さ
れる。
ここで圧力値への変換は、例えば（加圧力→柔われる。
以上が１組の受発光素子に対する動作であり、全素子に
対しては、同様にして制御回路２４０により各受発光素
子を順次駆動され、したがって受圧面全面に対して走査
が行なわれる。
対しては、同様にして制御回路２４０により各受発光素
子を順次駆動され、したがって受圧面全面に対して走査
が行なわれる。
（発明の効果）
本発明は、以上説明したように、厚さ方向に繊維束の方
向を有するファイバープレートの片面に受光素子を形成
することにより、遮光層を形成せずに受光素子裏面から
の光入射を除去でき感圧センサの検出精度を向上できる
とともに、構成上の位置精度に対する許容量を大きくす
ることができ、−したがって製造時間を短縮でき、かつ
高密度に配列することが可能になるという利点があり、
例えばロボット用ハンド等に実装し触覚センサとして用
いることができる。
向を有するファイバープレートの片面に受光素子を形成
することにより、遮光層を形成せずに受光素子裏面から
の光入射を除去でき感圧センサの検出精度を向上できる
とともに、構成上の位置精度に対する許容量を大きくす
ることができ、−したがって製造時間を短縮でき、かつ
高密度に配列することが可能になるという利点があり、
例えばロボット用ハンド等に実装し触覚センサとして用
いることができる。
第１図は従来の感圧センサの構成を示す断面図、第２図
は受光素子の形状を示す平面図、第３図は受光素子と反
射面との距離変化に対する受光素子の出力特性を示す図
、第４図（ａ）及び（ｂ）は従来例の受光素子裏面への
光照射径路を示す図、第５図は本発明の実施例の構成を
示す断面図、第６図は本発明の実施例の構成を示す斜視
図、第７図は本発明の実施例における電気回路系を示す
ブロック図である。 １０・・・受圧部（反射面）、加・・・柔軟部、３０．
３０ａ、３０ｂ、３０Ｃ・・・受光素子、４０・・・ガ
ラス基板、 ５０・・・遮光層、６０ａ 、 ６０ｂ
、 ６０ｃｍ−−光透過窓、７０・・・空気層、８０．
８０ａ 、８０ｂ 、ｓｏＣ”・発光素子、９０・・・
発光素子搭載用基板、 １００・・・ファイバープレート、２００・・・発光素
子群、２１０・・・受光素子群、 ２２０．２３０・・・アナログ・マルチプレクサ、２４
０・・・制御装置、 ２５０・・・増幅器、２６０・・
・サンプル・ホールド回路、２７０・・・Ａ／Ｄ変換器
、 ２８０・・・信号処理回路。 特許出願人 沖電気工業株式会社 ｉｔ団ＡＡ、 日本電子工業振興協会 特許出願代理人 弁理士 山 本 恵 − 第１図 第２図 第３図 ダ光承）Ｙ斥、削′勿とのＩＥＥ唯 第４図 第５図 第６図 ｎ
は受光素子の形状を示す平面図、第３図は受光素子と反
射面との距離変化に対する受光素子の出力特性を示す図
、第４図（ａ）及び（ｂ）は従来例の受光素子裏面への
光照射径路を示す図、第５図は本発明の実施例の構成を
示す断面図、第６図は本発明の実施例の構成を示す斜視
図、第７図は本発明の実施例における電気回路系を示す
ブロック図である。 １０・・・受圧部（反射面）、加・・・柔軟部、３０．
３０ａ、３０ｂ、３０Ｃ・・・受光素子、４０・・・ガ
ラス基板、 ５０・・・遮光層、６０ａ 、 ６０ｂ
、 ６０ｃｍ−−光透過窓、７０・・・空気層、８０．
８０ａ 、８０ｂ 、ｓｏＣ”・発光素子、９０・・・
発光素子搭載用基板、 １００・・・ファイバープレート、２００・・・発光素
子群、２１０・・・受光素子群、 ２２０．２３０・・・アナログ・マルチプレクサ、２４
０・・・制御装置、 ２５０・・・増幅器、２６０・・
・サンプル・ホールド回路、２７０・・・Ａ／Ｄ変換器
、 ２８０・・・信号処理回路。 特許出願人 沖電気工業株式会社 ｉｔ団ＡＡ、 日本電子工業振興協会 特許出願代理人 弁理士 山 本 恵 − 第１図 第２図 第３図 ダ光承）Ｙ斥、削′勿とのＩＥＥ唯 第４図 第５図 第６図 ｎ
Claims (1)
- 外部圧力により変形可能で一方の表面に光反射面を有す
る柔軟部材層と、該層の他方の表面に接してもうけられ
る基板層と、基板層の柔軟部材層に接する面に塔載され
る受光素子と、基板の他方の面に塔載される発光素子と
を有し、該素子の発光を柔軟部材層の変形に従って光反
射面で反射し前記受光素子で受光することにより外部圧
力に対応する受光出力を提供する感圧センサにおいて、
前記基板層が厚さ方向に繊維の長手方向を有する光フア
イバープレートにより構成されることを特徴とする感圧
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6315884A JPS60209128A (ja) | 1984-04-02 | 1984-04-02 | 感圧センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6315884A JPS60209128A (ja) | 1984-04-02 | 1984-04-02 | 感圧センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60209128A true JPS60209128A (ja) | 1985-10-21 |
| JPH0426413B2 JPH0426413B2 (ja) | 1992-05-07 |
Family
ID=13221144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6315884A Granted JPS60209128A (ja) | 1984-04-02 | 1984-04-02 | 感圧センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60209128A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011007557A (ja) * | 2009-06-24 | 2011-01-13 | Univ Of Tokyo | 柔軟触覚センサ |
| CN104374515A (zh) * | 2014-11-21 | 2015-02-25 | 贵州大学 | 一种反射型光纤压力传感器探头中光纤束的布置结构 |
| JP2019184315A (ja) * | 2018-04-04 | 2019-10-24 | キヤノン株式会社 | 光学式センサ、およびその光学式センサを備えた装置 |
| WO2021085098A1 (ja) * | 2019-10-30 | 2021-05-06 | ソニー株式会社 | 光学式センサおよび光学式センサモジュール |
| WO2022038863A1 (ja) * | 2020-08-17 | 2022-02-24 | グディックス テクノロジー（エイチケー）カンパニーリミテッド | 触覚センサ |
| WO2023100483A1 (ja) * | 2021-11-30 | 2023-06-08 | ソニーグループ株式会社 | 触覚センサ装置およびロボットアーム装置 |
-
1984
- 1984-04-02 JP JP6315884A patent/JPS60209128A/ja active Granted
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011007557A (ja) * | 2009-06-24 | 2011-01-13 | Univ Of Tokyo | 柔軟触覚センサ |
| CN104374515A (zh) * | 2014-11-21 | 2015-02-25 | 贵州大学 | 一种反射型光纤压力传感器探头中光纤束的布置结构 |
| CN104374515B (zh) * | 2014-11-21 | 2016-05-25 | 贵州大学 | 一种反射型光纤压力传感器探头中光纤束的布置结构 |
| JP2019184315A (ja) * | 2018-04-04 | 2019-10-24 | キヤノン株式会社 | 光学式センサ、およびその光学式センサを備えた装置 |
| WO2021085098A1 (ja) * | 2019-10-30 | 2021-05-06 | ソニー株式会社 | 光学式センサおよび光学式センサモジュール |
| US20220397469A1 (en) * | 2019-10-30 | 2022-12-15 | Sony Group Corporation | Optical sensor and optical sensor module |
| WO2022038863A1 (ja) * | 2020-08-17 | 2022-02-24 | グディックス テクノロジー（エイチケー）カンパニーリミテッド | 触覚センサ |
| JP2022033634A (ja) * | 2020-08-17 | 2022-03-02 | 株式会社SensAI | 触覚センサ |
| CN114402183A (zh) * | 2020-08-17 | 2022-04-26 | 汇顶科技(香港)有限公司 | 触觉传感器 |
| CN114402183B (zh) * | 2020-08-17 | 2024-03-08 | 汇顶科技(香港)有限公司 | 触觉传感器 |
| WO2023100483A1 (ja) * | 2021-11-30 | 2023-06-08 | ソニーグループ株式会社 | 触覚センサ装置およびロボットアーム装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0426413B2 (ja) | 1992-05-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0965098B1 (en) | User input device for a computer system | |
| JPH11506381A (ja) | 指紋センサ装置 | |
| JPS60209128A (ja) | 感圧センサ | |
| JPH0650743A (ja) | 直線値測定用電子光学センサー | |
| JP4377072B2 (ja) | ３次元測定モジュール | |
| US5126859A (en) | Contact type image sensor | |
| JPH0418612B2 (ja) | ||
| JPS6141938A (ja) | 二次元感圧センサ | |
| JPH0475452B2 (ja) | ||
| JPS60149937A (ja) | 圧力測定装置 | |
| JP2003106871A (ja) | 発光ユニット、発光受光ユニットおよび光学式変位検出装置 | |
| EP1821095A3 (en) | Sensor utilizing attenuated total reflection | |
| JPS60195431A (ja) | 複合触覚センサ | |
| JP2769812B2 (ja) | 原稿読み取り装置 | |
| JPH0627675B2 (ja) | 二次元感圧センサ | |
| JP3551173B2 (ja) | イメージセンサユニット | |
| JPH0586105B2 (ja) | ||
| JPS6076634A (ja) | 二次元感圧センサ | |
| JPH05303058A (ja) | 光ファイバアレイ基板および光ファイバアレイ基板を用いた完全密着型イメージセンサ | |
| JPH02268562A (ja) | イメージセンサー | |
| JPH0740455B2 (ja) | 光学装置 | |
| JPH03201488A (ja) | 光学素子 | |
| JPH03161969A (ja) | イメージセンサおよびその製造方法 | |
| JPH0530284A (ja) | 裏面照射型密着センサー | |
| JPS63299269A (ja) | 固体撮像装置 |