JPS60205813A - 垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッドに係り、
さらに詳しくはインダクティブ型のヘッドと、磁気抵抗
効果型ヘッドとを一体化させた垂直磁気記録再生用の薄
膜磁気ヘッドに関するものである。

［従来技術］ 高富度磁気記録を達成する方式として垂直磁気記録方式
が注目されている。

この方式は磁気記録媒体（以下記録媒体と略称する）面
に対して垂直方向に磁化容易軸方向を有する薄膜記録媒
体を用いて、この媒体面に対して垂直に磁化することに
より信号を記録し、その記録信号を再生する方式である
。

現在ではこの薄膜記録媒体に記録する磁気ヘッドとして
薄膜磁気ヘッドが知られている。

この薄膜磁気ヘッドは薄膜技術、フォトリソグラフィー
技術によって形成されるもので次のような特徴がある。

（１）磁気コアの寸法が小さくなるためコアロスが低餓
する。

（２）マルチトラック化が容易である。

（３）大量生産に適し、製造コストを著しく低減できる
。

このような薄膜磁材大別して２種類に分類される。

その１つは記録あるいは再生に用いられるもので、磁性
体で形成された主磁極を電流によって励磁することによ
り磁束を発生させ、媒体に記録を行ない、主磁極を通る
磁束により主磁極に巻かれたコイルに誘起される電流を
検出し、記録信号を再生するものでインダクティブ型の
薄膜磁気ヘッド（インダクティブヘッドと略称する）で
ある。

もう１つは磁界により抵抗が変化する磁気抵抗効果素子
（ＭＲ素子）を用いた再生専用のＭＲ’ヘッドである。

前記インダクティブヘッドの従来構造について第１図（
Ａ）、（Ｂ）を用いて説明する。

図において符号ｌで示すものは軟磁性基板で、記録時に
おける磁気抵抗を減少させる。

この軟磁性基板ｌ上には同じく軟磁性体からなる主磁極
２が形成されている。この主磁極２は書き込み時にのみ
電流により励磁され、記録磁界を発生する。

また、軟磁性基板１上には主磁極２を励磁するための電
流を供給する電流路３が形成されている。

なお、主磁極２．電流路３は軟磁性基板ｌ上に形成され
た絶縁層４を介して形成されている。

符号５で示すものは主磁極２．電流路３を覆って形成さ
れた保護層でその上側には図示していない保護板が接着
されている。

ところで、電流路３は図示の例の場合ｌターンとして示
されているが、このターン数が少ないと記録媒体を磁化
するための電流値を大きくしなければならず、再生の場
合には再生出力が小さくなってしまう。

しかし電流路３のターン数を多くすることは技術的に困
難である。これがインダクティブヘッドが記録専用にな
る理由である。

そこで、再生専用としてはＭＲヘッドが用いられる。

従来のＭＲヘッドを第２図（Ａ）、（Ｂ）に示す。

第２図（Ａ）、（Ｂ）において符号６で示すものは再生
昨における磁気抵抗を小さくするための磁路を形成する
軟磁性基板で、その上には絶縁層７が形成されている。

軟磁性基板６の先端部で、かつ絶縁層７の下側には再生
効率を高めるために非磁性層８が形成されている。

一方、絶縁層７を介して記録媒体摺動面側に臨まされた
一状態で記録媒体から磁束を導くための軟磁性材から磁
束導入部９が形成されている。

この磁束導入部９に連続した状態で絶縁層７上にはＭＲ
素子１０が形成されており、このＭＲ素子１０を挟んで
１かつＭＲ素子１０に連続した状態で磁束導入部９と対
向して絶縁層７上に磁束テール部１１が形成されている
。

この磁束テール部１１はＭＲ素子１０に磁束を誘導する
ためのもので軟磁性体より形成されている。

また、符号１２で示すものはＭＲ素ゴ１０に対し電流を
供給するための電流路、１３は保護層である。

また、第２図（Ｂ　、）において符号１４で示すものは
ＭＲ素子１０にバイアス磁界を印加するだめの電流路で
ある。

このような構造を有するＭＲヘッドは再生専用に用いら
れる。

ところで、インタクチイブヘットとＭＲヘッドとは第３
図に示すように磁気記録媒体１５に接するようにして配
置される。

符号１６で示すものはインタクチイブヘット。

１７で示すものはＭＲヘッドである。

ところで、このように記録専用のインタクチイブヘット
と再生専用のＭＲヘッドを別個に設けると次のような欠
点がある。

（１）トラックの位置合わせが難しく、特にマルチヘッ
ドで狭トラツクの場合には２つのヘッドの取付は精度が
問題となる。

（２）ヘッドと記録媒体との接触状態に問題がある。特
にマルチトラックの場合は多くのトラックを全て同じ当
たりとすることが望ましいが、２つのヘッドの各トラッ
クについて同じ当たりをとり、各トラックの特性をそろ
えることは難しい。

（３）アジマスやスキューが問題となり調整が難しい。

以上説明したように磁気ヘッドを薄膜技術により製作す
るとマルチトラック化が容易となるが、記録用、再生用
の２つのヘッドを精度よく装着しなければならない。

また、インダクティブヘッド、ＭＲヘッドは共に保護層
５，１３の上側にガラス等からなる保護板を接着するが
、ヘッドの摺動面を円筒研削した場合、保護板と接着層
の境界で段差や表面の荒れが生じる場合がある。

［目　的］ 本発明は以上のような従来の欠点を除去するために成さ
れたもので、インタクチイブヘットとＭＲヘッドとを一
体化することにより、ヘッドの取付は精度や記録媒体と
の接触状態を向上させアジマスやスキューの調整を容易
にし、記録媒体摺動面を平滑化できるように構成した薄
膜磁気ヘッドを提供することを目的としている。

［実施例］ 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。

［第１実施例］ 第４図は本発明の一実施例を説明するもので、図中第１
図及び第２図と同一部分には同一符号を付し、その説明
は省略する。

本実施例にあっては、インタクチイブヘット１６とＭＲ
ヘッド１７とを接着層１８を介して保護層５，１３側を
接着した構造を採用している。

接着層１８としてはエポキシ系樹脂、水ガラス等が用い
られる。

このようにインタクチイブヘット１６とＭＲへ・ンド７
を接着固定すると両ヘッドの記録媒体への接触状態を良
くすることが困難となる。

そこで、主磁極２と磁束導入部９との間の距離をできる
だけ小さくすることが記録媒体との接触状態を考えると
再生出方向上のためには好ましい。

また、記録媒体の摺動による接着層１８の摩耗を考える
と接着層１８はできるだけ薄い方が好ましい。

このようにインタクチイブヘットとＭＲヘッドとを接合
して一体化した構造を採用するとトラック位を合わせか
容易となり、記録媒体との接触状態が向上する。

また、ヘッドの取付は時における調整は別々のヘッドの
場合に比較して極めて容易となる。

［第２実施例］ ところで、保護層５，１３の表面が平坦でない場合には
その凹凸面の凸の部分のため記録媒体摺動面付近の接着
層１８の厚さは１０μｍ以下にするのは難しい。

この接着層１８の厚みを薄くするには次のような構造を
採用すればよい。

すなわち、第５図（Ａ）に示すように軟磁性基板１．６
の上に形成された電流路その他を覆う保護層５，１３は
手を加えない場合には凹凸面となっており、このような
凹凸面を介して接着層１８により接着しようとすると、
凹凸面をカバーするために前述したように接着層の厚み
が厚くなってしまう。そして厚い接着層になると気泡が
発生しやすい。

もちろん、このような凹凸面となるのは電流路等のへ、
ト素子部が存在するからである。

そこで、本実施例にあっては保護層５，１３の表面を機
械的、化学的に研摩し、第５図（Ｂ）に示すように平坦
化することにより接着層１８の厚みを３１Ｌｍ以下にし
、接着層の気泡も著しく減少させることもできる。

このような構造を採用イれば接着層は薄くなり、記録媒
体による接着層の摩耗も少なくなる。

［第３実施例］ ところで、接着層１８の材質として低融点ガラスを用い
ると水ガラスに比較して気泡の発生が少なく、接着力が
強く、ヘッドの記録媒体摺動面を円筒研削した場合、接
着層１８と保護層５，１３との間の境界での段差や表面
の荒れが極めて小さくなる。

一方、低融点カラスで接着する場合４００”０程度の温
度を必要とするためＭＲ素子１０の特性が劣化してしま
う。

そこで、ＭＲ素子の材質としてはＧｏ−Ｎｉ合金を用い
る。

一方、接着層１８の材質として低融点カラスを使用して
も、記録媒体摺動面を円筒研削すると第６図に示すよう
に接着層１８の部分に０．２　ｐ−ｍ程度の段差１８ａ
が生じる。

しかし、この段差１８ａの存在によりインタクチイブ、
ＭＲの両ヘッドの記録媒体に対する当たりがよくなる。

［第４実施例］ ところで、保護層５，１３のそれぞれと接着層１８との
間に磁性金属薄膜を形成すればインタクチイブヘッド”
（ＭＲヘッドとが磁気的にシールドされ、インタクチイ
ブヘッドで記録し、同時にＭＲヘッドで再生する場合に
は両ヘッド間に生じる誘導ノイズを軽減できる。

［第５実施例］ 一方、インタクチイブヘッドとＭＲへ・ンドを接着する
時には第７図（Ａ）、（Ｂ）に示すように位置ずれが生
しる場合がある。

従っ又、このような位置ずれの発生を防止する手段を講
じなければならない。

このような手段として本実施例においては２つのヘッド
に位置決めマークを設け、磁性基板の一部を透明体とし
、位置決めマークを見えるようにして位置合わせを行な
えるようにすればよい。

具体的な構造を第８図（Ａ）、（Ｂ）に示す。

例えば、一方のインタクチイブヘッド１６にガラス等の
透明体１８．１９が厚み方向へ貫通して設けられている
。

この透明体１８．１９は円柱状に形成されＭＲヘッドと
接着する側の端部には位置決めマーク２０が形成されて
いる。

この位置決めマーク２ｏはインタクチイブヘッドのパタ
ーン２１を形成する時に同時に薄膜技術により形成すれ
ばよい。

なお、符号２２で示すものは透明体１８．１９を埋め込
んで研玲した磁性基板である。

一方、ＭＲヘッド１７側へも位置決めマーク２３がイン
タクチイブヘッド１６側の位置決めマーク２０と対応す
る位置に設けられている。

このマーク２３もヘッドパターン２４を形成する時に同
時に薄膜技術により形成すればよい。

このような構造を採用すれば第８図（Ｂ）に示すように
接合時においてはインタクチイブヘッド１６の透明体１
８．１９を通して位置決めマーク２０．２３を合わせな
がら位置決めを行ないつつ接着すれば、位置ずれを生じ
ることなく２つのヘッドを接着できる。

なお、上記の実施例にあっては透明体２ｏをインタクチ
イブヘッド側に設けたが逆にＭＲヘッド側に設けてもよ
い拳 また、上述した実施例においては磁性基板を用いた例を
示したが、カラスやＳｔ等の非磁性基板を用いた場合に
も同様に適用することができる。

基板に透明なガラス板を用いた場合には透明体を設ける
必要はなく、位置決めマークだけを設けれはよい。

［効　果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、記録
専用のインタクチイブヘッドと、再生専〜 用のインタクチイブヘッドとを接着して一体化した構造
を採用しているため、次のような効果が得、られる。

（１）２つのヘッドが別個となっていないため２つのヘ
ッドの取イ」け精度が問題とならず、高精度に取付ける
ことができる。

（２）２つのヘッドが一体化しているため、マルチトラ
ックの場合にも記録媒体への接触状態を均一に保つこと
ができる。

（３）アジマスやスキューの調整が極めて容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）、（Ｂ）は従来のインダクティブヘッドの
斜視図及び断面図、第２図（Ａ）。 （Ｂ）は従来のＭＲヘッドの斜視図及び断面図、第３図
は従来のヘッド配置を示す説明図、第４図は本発明の第
１の実施例を示す斜視図、第５図（Ａ）、（Ｂ）は従来
及び本発明の第２の実施例を示す説明図、第６図は本発
明の第３の実施例をの第５の実施例を示す説明図である
。 １．６・・・軟磁性基板　２・・・主磁極３．１２・・
・電流路　４，７・・・絶縁層５．１３・・・保護層　
８・・・非磁性層１４・・・バイアス電流路 １５・・・記録媒体 １６・・・インダクティブヘッド １７・・・ＭＲヘッド　１８．１９・・・透明体２０．
２３・・・位置決めマーク １、・１１”ｉｊ 第１図 （Ａ） （Ｂ） 第２図 （Ａ） 第３図 轄４図 ム １３ 第５図 第６図 第７ｖ！Ｊ （Ａ）　（Ｂ） 第８図 手続補正書（自効 昭和５９年　６月２９日 特許庁長官殿 １、本件の表示 昭和　５９　年　特許願　第　５９３９０　号２、発明
の名称 垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッド ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 名　称　（１００）キャノン株式会社　（他１名）４、
代理人　電話　０３　（２６８）２４８１　（（ａ５、
補正の対象 ｒｌＢ・・・接着層　１９・・・透明体」番と訂正する
。 ５）図中、第８図（Ａ）、（Ｂ）を号ＩＩ紙朱記のよう
に１［正する。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）記録専用の薄膜インダクティブヘッドと、磁気抵
   抗効果型薄膜磁気ヘッドとを接着層を介して一体化した
   ことを特徴とする垂直磁気記録再生用の薄ｌＩＵ磁気ヘ
   ッド。
2. （２）インダクティブヘッド及び磁気抵抗効果型磁気ヘ
   ッドの接合面側に位置する保護層の表面を機械的あるい
   は化学的に研摩して平坦化し、接着剤としてエポキシ系
   樹脂あるいは水ガラスを用い接着層の厚みを薄く形成し
   たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の垂直磁
   気記録再生用の薄膜磁気ヘッド。
3. （３）接着層の材質として低融点ガラスを用いたことを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載の垂直磁気記録再
   生用の薄膜磁気ヘッド。
4. （４）平坦化した保護層の表面に磁性金属薄膜を形成し
   、この磁性金属薄膜を介して接着層により気ヘッド。 に
5. （５）いずれか一方の基板の所定位置勇透明体を埋め込
   み、この透明体寺接合面側の端部と、これと対応する他
   方のヘッドの接合面側にそれぞれ位の垂直磁気記録再生
   用の薄膜磁気ヘッド。