JPS60200600A

JPS60200600A - ハンドラ

Info

Publication number: JPS60200600A
Application number: JP59056022A
Authority: JP
Inventors: 金谷　睦世
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1984-03-26
Filing date: 1984-03-26
Publication date: 1985-10-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔技術分野〕本発明はハンドラに関し、さらに詳しくは、半導体装置
などの微小部品の電気試験用ハンドラに適用して特に有
効な技術に関するものである。

〔背景技術〕

半導体装置用のＩＣハンドラは公知である（工業調査会
発行電子材料別冊、発行日昭和５６年１１月１０日、２
２６頁〜２３０頁）。しかしながら、この種のＩＣハン
ドラにおける試料搬送用ゾーートは、試料の自重落下方
式かあるいは空気移送方式を用いたものである。たとえ
ば自重落下方式のものにおいては、第１図に示すように
、試料３を搬送する搬送シュート２を加熱部（プレヒー
ト部）１内に数本傾斜して並設しておき、図中矢印への
方向から各シュート２上に試料であるＩＣ３を供給し、
供給されたＩＣ３が設定温度に達したところから順次Ｉ
Ｃ３を取り出し測定部に搬送するというものである。

第２図に示すものは、ＩＣを直接加熱するもので、図中
矢印Ｂの方向から傾斜した搬送シー−上２上に供給し、
加熱ヒータを埋めたヒートブロック４と搬送シュート２
により、ＩＣ３を挟んで加熱する方式である。

しかしながら、かかる搬送シュートは、搬送する試料の
形状に対応した形状のものが用いられていることから、
同一品種すなわち同じ形状の試料Ｖこ対してだけ使用す
ることができ、外形の異なった試料に対しては使用でき
なくなり、別の搬送シーートを用いなければならないと
いう問題点が本発明者によって明らかにされた。

また、前述した従来のハンドラは、その搬送シー−１・
が平面的に複数個の７−−トが並設され、しかも自Ｎ落
下方式のシーートにおいては７−−トを傾斜させて配置
する必要があるために、ががる搬送シーートを備えた試
料搬送部は大きな占有面積をとり、コンパクトなハンド
ラを得ることができないという欠点があることが本発明
者によってあきらかとされた。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、種々異なる試料を取り扱（・得るハン
ドラを提供することにある。

本発明の他の目的は、コンパクトなハンドラを提供する
ことにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、回転可能なドラムの円周面に多数の溝を設け
、この溝に搬送シュートを着脱自在に取り付けてなる試
料搬送部を有するハンドラとすることにより、コンパク
トな搬送部とでき、しかも、搬送７−−トを試料の形状
に相応した大きさに調節することにより種々の形状の試
料を同一のハンドラで取り扱うことができるようにした
ものである。

〔実施例〕

本発明の一実施例であるハンドラは、第３図に示すよう
に、試料供給部５と、試料搬送部６と、測定部７と、試
料搬送部８と、収容部９と、制御操作部１０とから構成
されている。以下、本発明の特徴である試料搬送部６，
８について詳細に説明する。

第４図は、前記試料搬送部６内に設けられる搬送機構１
１を示す概略斜視図である。この搬送機構１１は、大別
すると、ドラム１２と、その外部外周を囲み、長手方向
に対して一部開口１３を有する保温壁１４と、前記ドラ
ム１２を回転させるためのモータ１５とからなっている
。

第５図は、前記搬送機構１１の拡大側面図を示し、第６
図は、特に前記保温壁１４の開口１３付近の拡大図を示
す。

ドラム１２は、その円周面長手方向に、ドラム円周に対
して等間隔に複数本形成された溝１６を有し、異なった
形状を有する搬送シュート１７をも、ねじ１８等により
着脱自在に取り付は得るものである。それぞれの搬送シ
ュート１７には、その長手方向に複数個の半導体装置（
以下試料とする）１９が載置されて彎る。２０は、試料
保護体であり、試料１９を、試料１９の上面長手方向両
端付近から対になって覆うように、ドラム１２長手方向
にねじ等２１をもって着脱自在に取り付けられている。

この試料保護体２０は、開口部な有し、ドラム１２が回
転しても試料１９が搬送シュート１７から落脱しないよ
うに設けられるもので、ドラム１２の複数本の溝１６に
取り付けられた搬送ノー、ト１７に対応して取り付けら
れている。

なお、試料保護体２０をＳ字状に湾曲させて形成し、保
温壁１４の開口１３に位置しない際には、その一部が保
温壁１４内側に接触する一方、試料１９を押え得るよう
にし、開口１３に位置した際に、保温壁１４内側との接
触がなくなることによって、試料１９を押える役目を解
除し得るようにしてもよい。この場合、試料保護体２ｏ
は、弾性拐料などを用いた伸縮自在な構造のものとする
こともできる。

上述した構成の搬送機構１１は、前記搬送部６において
は、試料１９に、低温、あるいは高温処理が必要な場合
、ドラム１２内部に、冷却機構、またはヒータ等の加熱
機構を挿入することにより対応できる。

なお、搬送機構１１は、長手方向に傾斜され、自重落下
により試料を搬送してもよい。また、水平装置にして試
料を自重落下ではなく強制搬送する態様のものであって
もよい。

次に作用を説明する。

本実施例では、ドラム１２１Ｃ１１６本の搬送シー−）
１７を取り付は得るように構成されている。

例えば、第３図における試料搬送部６において４種類の
異なった形状を有する搬送／ｚ−ト１７を、４本ずつ等
間隔、交互にドラム１２に取り付ける。

第１の種類の試料１９を取り扱う際、第１の種類の試料
１９に対応した搬送ゾーート１７のうち、１本目のもの
が、保温壁１４の開口１３に位置すると、第３図におけ
る試料供給部５かも、搬送／ニート１７に試料１９が供
給される。１本目の搬送ソユート１７が試料１９で満た
されると、ドラム１２が回転し、２本目の搬送シュート
１７が、保温壁１４の開口１３に位置する。同様にして
試料１９が供給され、さらにドラム１２が回転し、３本
目の搬送シュート１７が保温壁１４の開−口１３に位置
する。その間、１木目、２本目の搬送シュート１７に供
給された試料１９は、必要に応じて、低温、高温処理さ
れ続ける。４本目の搬送シ−ト１７が試料で満たされ、
ドラム１２が回転し、１本目の搬送／ニート１７が保温
壁１４の開口１３に位置すると、必要に応じて低温、高
温処理されているため、所望の条件に満たされた試料１
９は、測定部７に搬送され、測定され、ることになる。

１本目の搬送ゾーート１７に保持されていた試料１９が
すべて測定部７に供給されると、試料供給部５かも、新
たな試料１９が１本目の搬送ゾーート１７に供給され、
ドラム１２が回転し、２本目の搬送シュート１７カζ、
保温壁１４０開口１３に位置し、同様にして所望の条件
に満たされた試料１９が測定部７に搬送され、上述した
動作をくり返す。

一方、測定部７で測定された試料１９は、試料搬送部８
における搬送機構１１の、第１の種類の試料に対応した
搬送ゾーート１７を用いて搬送され、測定結果にもとづ
いて分類され、収容部９に収容される。

ところで、第２の種類の試料を取り扱う際、第２の種類
の試料に対応した大きさの搬送ノーートを、ドラムの回
転により選択でき、上述した第１の′＃ｉ類の試料を取
り扱うのと同様にして、第２の種類の試料を取り扱うこ
とができる。つまり、上述した実施例によれば、４種類
の試料を取り扱うのに、搬送シーートを交換することな
く、また、多種のハンドラを使用することもなく、ドラ
ムを回転させるだけで対応できることになり、ハンドラ
を効率よく移動させることができる。

また、低温、あるいは高温処理を必要とし、その条件に
達するまで、時間を要する試料を取り扱う際には、その
試料に対応した大ぎさの搬送ノー−トを、ドラムに機数
本取り付け、ドラムが回転する間、低温または高温処理
を施こす一方、順に試料を、試料供給部から供給すれば
、効率良（試料を取り扱うことができる。

すなわち、本実施例によれば、ドラムに取り付ける搬送
ゾーートの大きさ、形状、態様を任意に選択でき、ドラ
ムの回転により任意の搬送７ユートを容易に選択するこ
とができること、さらに、ドラムの回転速度や、回転方
向を任意に設定しておくことにより、種々の形状や、種
々の取り扱い条件を有する試料を同一のハンドラで取り
扱うことができる。

なお、本実施例では、低温、高温処理するための冷却機
構、またはヒータ等の加熱機構を、ドラム内部に挿入し
、試料を処理するようにしているが、外部に設けた冷却
機構、またはヒータ、赤外線照射等の加熱機構を用いて
もよい。

また、本実施例では、１本の搬送／ニートで、１種類の
試料を取り扱い得る、搬送／−−トを用いているが、１
本の搬送シーートで、複数種の試料を取り扱い得る搬送
ソー−トを用いてもよい。

この場合は、前述したものに比較してより効率のよいハ
ンドラの態様となる。

本実施例では、ドラムに１６本の溝を設けているが、溝
の本数は設計仕様により任意の数にすることができるも
のである。

ドラムについても、円筒状のドラムに限らず、多角柱状
のドラムを用いてもよい。

試料の搬送方式は、自重落下方式に限らず、つめ等によ
る強制送り方式を採用し、試料搬送部を水平配置するも
のであってもよい。

〔効果〕

１、試料搬送部を、回転可能なドラムの円周面に多数の
溝を設け、この溝に搬送シーートを着脱自在に取り付け
てなる搬送機構で構成している。また、ドラムの溝に種
々の形状（態様）の搬送シュートを取り付け、ドラムの
回転により容易に任意の形状（態様）の搬送シュートを
選択して使用できるようにしている。そのため、種々形
状の試料を同一のハンドラで取り扱うことができるとい
う効果が得られる。

２、試料搬送部を、回転可能なドラムの円周面に多数の
溝を設け、この溝に搬送７−−トを着脱自在に取り付け
てなる搬送機構で構成し、ドラムの溝を種々の形状（態
様）にすることができると共に、その溝に取り付けられ
る搬送シーートも種々の形状（態様）のものにできる。

しかも容易に任意の形状（態様）の搬送シーートな適宜
選択して使用できる。さらに前述した構成により、ドラ
ムの回転速度９回転方向を試料の試験、測定目的に応じ
任意に設定できることにより、試料の電気的特性試験等
における種々の取り扱い条件に対して、ならびに多品種
の試料に対して、同一のハンドラで極めて効率良く試験
、測定などの取り扱いを行なうことができるという効果
が得られる。

３、ハンドラの試料搬送部を、回転可能なドラムの円周
面に多数の溝を設け、この溝に搬送シュートを着脱自在
に取り付けてなる搬送機構で構成することにより、平面
的に複数個の搬送シーートを並べて構成した試料搬送部
を有するハンドラに比べ、コンパクトなハンドラを得る
ことができるという効果が得られる。

以上本発明者によってなされた発ゆＪを実施例にもとづ
き具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定され
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更
可能であることは、いうまでもない。

たとえば、試料搬送部を、搬送方向と直交する方向にス
ライド可能な移動板に着脱自在な搬送シーートを複数本
設けた構成としてもよい。

また、矩形動作可能なブロックを複数本並べ、種々大き
さの試料に対応した部分にあるブロックを矩形動作させ
て試料を搬送し得るような試料搬送機構を設けてもよい
。

〔利用分野〕

以上の説明では、主として本発明者によってなされた発
明をその背景となった利用分野である半導体装置の試験
用ハンドラに適用した場合について説明したが、それに
限定されるものではなく、たとえば、撮像装置などの半
導体装置以外の電子部品、あるいは小物品に対するハン
ドラに適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は、自重落下方式による搬送シュートの
一例を示す図で、第１図は斜視図、第２図は側面図、第３図は、本発明の一実施例であるハンドラの全体を示
ず概略正面図、第４図は、搬送皐、構を示す概略斜視図、第５図は、搬
送機構を示す側面図、第６図は、保温壁の開口付近の拡大図である。１・・・加熱部、２，１７・・・搬送シーート、３，１
９・・・試料（半導体装置）、４・・・ヒートブロック
、５・・・試料供給部、６，８・・・試料搬送部、７・
・・測定部、９・・・収容部、１０・・・制御操作部、
１１・・・搬送機構、１２・・・ドラム、１３・・・開
口、１４・・・保温壁、１５・・・モータ、１６・・・
溝、１８．２１・・・ねじ等、２゜・・・試料保護体。第　１　図第　２　図第　３　図

Claims

【特許請求の範囲】】、試料供給部、測定部、収容部、制御操作部及び試料
搬送部とを備えるハンドラであって、試料搬送部の一部
は、円周面に複数個の溝を有する回転可能なドラムと、
前記溝に着脱自在に取り付けられている搬送シュートと
、前記溝の上側に開口部を有し前記ドラムに着脱自在に
取り付けられている試料保獲体とを備えていることを特
徴とするハンドラ。２、前記ドラムには搬送シーートの温度調節を行なう温
度調節器が取り付けられていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のハンドラ。