JPS60198445A - 湿度センサ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は圧電素子の共振周波数或いは共振周波数におけ
るインピーダンス又はアドミッタンスの変化を利用して
雰囲気中の湿度の検出を行なう湿度センサーに関するも
のである。

従来の湿度センサーは第１図に示すように、圧電素子（
例えばＹカットサれた水晶）／の両面に（＋）電極２と
（→電極２′を固定シフ、その上に親水性高分子で形成
した吸湿部材３．３′を設け、両電極２，２′に夫々リ
ード線グ、ｙ′を接続する。

この湿度センサーは、吸湿による吸湿部材３゜３′の重
量増加で圧電素子／の共振周波数が変化するのを利用し
て湿度変化を周波数変化出力とするようになっている。

前記の湿度センサーは、いずれか一方の吸湿部材を接地
できない電極側に取付けなけねばならず、接地できない
電極側に取付けられた吸湿部材に、何らかの理由により
接地されている導体或いは、それに近い電気的状態のも
のに接触した場合には、吸湿部材に電流が流れて焼損す
る等、装置として致命的事故と々る欠点がある。

尚、接地電極側のみに吸湿部材を設けた場合には感度が
低下することになる。

そこで、本発明においては、吸湿部材を常に接地電極上
に設けることにより、電流が流れて焼損等の手放発生を
防止することができる湿度センサーを提供するのが目的
である。

本発明の構成を第２図に示す実施例に基き詳細に説明す
ると、高圧側の（＋）電極２を両圧電素子／、／で挟持
し、圧電素子／、／の反（＋）電極２側に夫々接地され
ている（→電極２’　、　２’を取付け、この（−）電
極、ＩＩ、２／の夫々表面に親水性高分子で形成した吸
湿部材３，３′を取付けている。

そして、（＋）電極２にリード線グを、両（→電極λ′
。

２′に夫々リード線り′、ｙ′を接続して接地している
。

本実施例は前記のように構成したもので、図示されてい
々い交流信号発生器よりの電気信号をリード線り、グ′
を通して電極２　、２’　、　２’に印加することによ
り、圧電素子／、／は成る瞬間には、矢印で示す方向へ
、次の瞬間には逆の方向への力が交互に働くことにより
屈曲振動が発生する。そして、この屈曲振動の共振周波
数に駆動周波数を合せることにより、効率良く動作させ
ることができる。

そして、雰囲気中の湿度の変化に応じて、両回湿部材３
，３′へ付着する水分の量が変化することにより吸湿部
材３，３′の質量は変化し、共振周波数の変化と斤る。

又、共振周波数におけるインピーダンス或いはアドミッ
タンスの変化となる。

即ち、気体中の湿度変化を、共振周波数の変化或いは共
振周波数におけるインピーダンス又はアドミッタンスの
変化としてとらえた湿度センサーとすることができる。

尚、共振周波数におけるインピーダンスをめるには、圧
電素子／、／へ流れる電流１と電圧ＶをめＶ　／　１と
すればよく、又アドミッタンスをめるにはコ／ｖとすれ
ばよい。

前記実施例においては屈曲振動を例として説明しだが、
圧電素子の分極方向を考慮することにより厚み振動とす
ることも可能である。

本発明は前記のよう々構成、作用を有するもので、吸湿
部材３，３′を接地された（−）電極２′。

２′に取付けているので、焼損事故等が発生するよう々
ことがなく、・・−安全に対する高信頼度を有するもの
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の湿度センサーの断面図、第２図は本発明
に係る湿度センサーの一実施例を示す断面図である。 尚、図中／は圧電素子、ノは（＋）電極、２′は（−）
電極、３．３’は吸湿部材である・ 特許出願人　島田理化工業株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （＋）電極ノを圧電素子／、／で挾持し、両圧電素子／
   、／の反（＋）電極２側に接地きれた（−）電極λ′、
   ２′を取付け、（−）電極２′、２′の表面に夫々親水
   性高分子で形成した吸湿部材３，３′を取付けたことを
   特徴とする湿度センサー。