JPH05180864A - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JPH05180864A JPH05180864A JP34673491A JP34673491A JPH05180864A JP H05180864 A JPH05180864 A JP H05180864A JP 34673491 A JP34673491 A JP 34673491A JP 34673491 A JP34673491 A JP 34673491A JP H05180864 A JPH05180864 A JP H05180864A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acceleration
- piezoelectric element
- acceleration sensor
- piezoelectric
- piezoelectric ceramic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 焦電ノイズの発生を抑制しながら他軸感度の
低減を図ることができ、構造の簡素化及び小型化を図り
つつ機械的な強度を高めることによって信頼性の向上を
実現することができる加速度センサを提供する。 【構成】 本発明にかかる加速度センサ１は、少なくと
も一対の圧電セラミックス部材６，７を加速度の作用方
向とは異なる向きに並列接合してなる加速度検出用の圧
電素子２を備えており、圧電セラミックス部材６，７の
それぞれは、加速度の作用方向に沿う向きで、かつ、互
いに逆となる向きに分極されていることを特徴とするも
のである。
低減を図ることができ、構造の簡素化及び小型化を図り
つつ機械的な強度を高めることによって信頼性の向上を
実現することができる加速度センサを提供する。 【構成】 本発明にかかる加速度センサ１は、少なくと
も一対の圧電セラミックス部材６，７を加速度の作用方
向とは異なる向きに並列接合してなる加速度検出用の圧
電素子２を備えており、圧電セラミックス部材６，７の
それぞれは、加速度の作用方向に沿う向きで、かつ、互
いに逆となる向きに分極されていることを特徴とするも
のである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子を組み込んで
構成された加速度センサにかかり、特には、圧電素子そ
のものの構造に関する。
構成された加速度センサにかかり、特には、圧電素子そ
のものの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、加速度センサの構造は圧電素
子に加わる加速度の方向に従って分類されるのが一般的
であり、これらの加速度センサのうちには、ひずみの起
こる方向が電気軸に平行となることによって縦効果型
（圧縮型）といわれるものや、ひずみの起こる方向が電
気軸に直角となることによって横効果型（屈曲型）とい
われるものがある。そして、圧縮型といわれる加速度セ
ンサ２０の一例としては、図７で示すように、その厚み
方向に沿って分極された圧電セラミックス部材２１とお
もり２２とのそれぞれを円環状に成形したうえ、これら
を同軸状に貫通する軸２３によってベース板２４に取り
付けた構造のものがある。なお、このような加速度セン
サ２０は、圧電セラミックス部材２１の複数枚（図で
は、２枚）もしくは１枚を用いて構成されるのが普通で
あり、両端面上に電極（図示していない）が形成された
圧電セラミックス部材２１ａ，２１ｂのそれぞれは互い
に逆向きとなる方向に沿って分極されている。
子に加わる加速度の方向に従って分類されるのが一般的
であり、これらの加速度センサのうちには、ひずみの起
こる方向が電気軸に平行となることによって縦効果型
（圧縮型）といわれるものや、ひずみの起こる方向が電
気軸に直角となることによって横効果型（屈曲型）とい
われるものがある。そして、圧縮型といわれる加速度セ
ンサ２０の一例としては、図７で示すように、その厚み
方向に沿って分極された圧電セラミックス部材２１とお
もり２２とのそれぞれを円環状に成形したうえ、これら
を同軸状に貫通する軸２３によってベース板２４に取り
付けた構造のものがある。なお、このような加速度セン
サ２０は、圧電セラミックス部材２１の複数枚（図で
は、２枚）もしくは１枚を用いて構成されるのが普通で
あり、両端面上に電極（図示していない）が形成された
圧電セラミックス部材２１ａ，２１ｂのそれぞれは互い
に逆向きとなる方向に沿って分極されている。
【０００３】また、屈曲型といわれる加速度センサ２５
では、図８で要部のみを簡略化して示すような原理構
造、すなわち、厚み方向に沿って分極された平板状の圧
電セラミックス部材２６と金属板２７とを１枚ずつ張り
合わせてなるユニモルフ型の振動部材２８をベース板２
９によって片持ち状に支持した構造が採用されており、
振動部材２８が加速度を受けてたわむことによって加速
度の検出を行うようになっている。なお、この場合、圧
電セラミックス部材２６の両主面上に電極が形成されて
いるのは勿論であり、さらに、感度の向上を図るべく振
動部材２８の自由端にはおもり３０を取り付けておいて
もよい。また、図示していないが、２枚の圧電セラミッ
クス部材及びこれらの間に介装された金属板を張り合わ
せてなるバイモルフ型の振動部材も用いられている。
では、図８で要部のみを簡略化して示すような原理構
造、すなわち、厚み方向に沿って分極された平板状の圧
電セラミックス部材２６と金属板２７とを１枚ずつ張り
合わせてなるユニモルフ型の振動部材２８をベース板２
９によって片持ち状に支持した構造が採用されており、
振動部材２８が加速度を受けてたわむことによって加速
度の検出を行うようになっている。なお、この場合、圧
電セラミックス部材２６の両主面上に電極が形成されて
いるのは勿論であり、さらに、感度の向上を図るべく振
動部材２８の自由端にはおもり３０を取り付けておいて
もよい。また、図示していないが、２枚の圧電セラミッ
クス部材及びこれらの間に介装された金属板を張り合わ
せてなるバイモルフ型の振動部材も用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記従来構
成の加速度センサ２０，２５においては、つぎのような
不都合が生じることになっていた。すなわち、圧縮型と
いわれる加速度センサ２０では、構造が複雑で比較的大
型となるばかりか、焦電ノイズが発生するためにＳＮ比
の劣化が生じる。そして、この加速度センサ２０では、
加速度の作用方向とは異なる他軸方向における感度、い
わゆる他軸感度が大きいという不都合もあった。
成の加速度センサ２０，２５においては、つぎのような
不都合が生じることになっていた。すなわち、圧縮型と
いわれる加速度センサ２０では、構造が複雑で比較的大
型となるばかりか、焦電ノイズが発生するためにＳＮ比
の劣化が生じる。そして、この加速度センサ２０では、
加速度の作用方向とは異なる他軸方向における感度、い
わゆる他軸感度が大きいという不都合もあった。
【０００５】また、屈曲型といわれる加速度センサ２５
では、バイモルフ型の振動部材を用いると圧電セラミッ
クス部材同士の打ち消しあいによって焦電ノイズが発生
しにくくなるという利点があるものの、共振周波数が低
いために高周波数加速度の検出が難しくなるほか、振動
部材２８を片持ち状として支持することから機械的な強
度面での不都合が生じることになってしまう。さらにま
た、これらの加速度センサ２０，２５では、圧電セラミ
ックス部材２１，２６それぞれに形成された電極と回路
基板の配線パターンとの間をリード線（いずれも図示し
ていない）によって接続することが行われるのである
が、このようにした場合には、リード線の半田付け不良
や断線などが発生することもあり、加速度センサ２０，
２５に対する信頼性の低下を招いてしまう。
では、バイモルフ型の振動部材を用いると圧電セラミッ
クス部材同士の打ち消しあいによって焦電ノイズが発生
しにくくなるという利点があるものの、共振周波数が低
いために高周波数加速度の検出が難しくなるほか、振動
部材２８を片持ち状として支持することから機械的な強
度面での不都合が生じることになってしまう。さらにま
た、これらの加速度センサ２０，２５では、圧電セラミ
ックス部材２１，２６それぞれに形成された電極と回路
基板の配線パターンとの間をリード線（いずれも図示し
ていない）によって接続することが行われるのである
が、このようにした場合には、リード線の半田付け不良
や断線などが発生することもあり、加速度センサ２０，
２５に対する信頼性の低下を招いてしまう。
【０００６】本発明は、このような不都合に鑑みて創案
されたものであって、焦電ノイズの発生を抑制しながら
他軸感度の低減を図ることができ、構造の簡素化及び小
型化を図りつつ機械的な強度を高めることによって信頼
性の向上を実現することができる加速度センサの提供を
目的としている。
されたものであって、焦電ノイズの発生を抑制しながら
他軸感度の低減を図ることができ、構造の簡素化及び小
型化を図りつつ機械的な強度を高めることによって信頼
性の向上を実現することができる加速度センサの提供を
目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる加速度セ
ンサは、このような目的を達成するために、少なくとも
一対の圧電セラミックス部材を加速度の作用方向とは異
なる向きに並列接合してなる加速度検出用の圧電素子を
備えており、圧電セラミックス部材のそれぞれは、加速
度の作用方向に沿う向きで、かつ、互いに逆となる向き
に分極されていることを特徴とするものである。
ンサは、このような目的を達成するために、少なくとも
一対の圧電セラミックス部材を加速度の作用方向とは異
なる向きに並列接合してなる加速度検出用の圧電素子を
備えており、圧電セラミックス部材のそれぞれは、加速
度の作用方向に沿う向きで、かつ、互いに逆となる向き
に分極されていることを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】上記によれば、圧電素子は加速度の作用に伴っ
てひずみの起こる方向が電気軸に対しては平行な面内の
ずれとなる、いわゆるせん断型の圧電素子として構成さ
れていることになり、この圧電素子を単体として取り付
けることによって加速度センサを構成することが可能と
なる。
てひずみの起こる方向が電気軸に対しては平行な面内の
ずれとなる、いわゆるせん断型の圧電素子として構成さ
れていることになり、この圧電素子を単体として取り付
けることによって加速度センサを構成することが可能と
なる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１０】図１は本実施例にかかる加速度センサの概
略構造を示す斜視図であり、この図における符号１は加
速度センサである。この加速度センサ１は、加速度の作
用方向及び大きさに対応した信号を出力する加速度検出
用の圧電素子２と、これから出力された信号を処理する
ための信号処理回路を内蔵した各種の電子部品３，…
と、これらを位置決めした状態で支持する回路基板４と
を備えており、この回路基板４上には所要の配線パター
ン（図示していない）が厚膜印刷などの手法によって形
成されている。すなわち、この回路基板４上に形成され
た配線パターンには、圧電素子２や電子部品３，…それ
ぞれの電極が半田付けや導電性接着剤を用いた接着によ
って取り付けられている。
略構造を示す斜視図であり、この図における符号１は加
速度センサである。この加速度センサ１は、加速度の作
用方向及び大きさに対応した信号を出力する加速度検出
用の圧電素子２と、これから出力された信号を処理する
ための信号処理回路を内蔵した各種の電子部品３，…
と、これらを位置決めした状態で支持する回路基板４と
を備えており、この回路基板４上には所要の配線パター
ン（図示していない）が厚膜印刷などの手法によって形
成されている。すなわち、この回路基板４上に形成され
た配線パターンには、圧電素子２や電子部品３，…それ
ぞれの電極が半田付けや導電性接着剤を用いた接着によ
って取り付けられている。
【００１１】この加速度センサ１における圧電素子２
は、図２で示すように、加速度の作用方向とは異なる向
き、例えば、作用方向とは直交する向きに沿って並列接
合された一対の圧電セラミックス部材６，７から構成さ
れており、圧電セラミックス部材６，７のそれぞれは、
加速度の作用方向に沿いつつも互いに逆となる向き（図
では、矢印Ａ，Ｂで示す）に沿って分極されている。な
お、図中の符号８は各圧電セラミックス部材６，７の両
端面上それぞれに形成された電極を示しており、これら
の圧電セラミックス部材６，７は一方の電極８同士が接
着剤などを用いて接着されることによって接合されてい
る。
は、図２で示すように、加速度の作用方向とは異なる向
き、例えば、作用方向とは直交する向きに沿って並列接
合された一対の圧電セラミックス部材６，７から構成さ
れており、圧電セラミックス部材６，７のそれぞれは、
加速度の作用方向に沿いつつも互いに逆となる向き（図
では、矢印Ａ，Ｂで示す）に沿って分極されている。な
お、図中の符号８は各圧電セラミックス部材６，７の両
端面上それぞれに形成された電極を示しており、これら
の圧電セラミックス部材６，７は一方の電極８同士が接
着剤などを用いて接着されることによって接合されてい
る。
【００１２】そこで、この圧電素子２は、加速度による
ひずみの起こる方向が電気軸に平行な面内のずれとな
る、いわゆるせん断型の圧電素子として機能することに
なり、この圧電素子２に加速度が作用した場合には、そ
の両端に位置する電極８のそれぞれから加速度の作用方
向及び大きさに比例した電圧信号が出力されることにな
る。そして、出力信号は回路基板４上に設けられた配線
パターン（図示していない）を通じて電子部品３，…に
流れたうえで処理されることになる。なお、このとき、
圧電素子２はその両端に位置する電極８が配線パターン
によって支持されているのであるから、その本体部の下
面と回路基板４の上面との間には隙間があり、この隙間
によって圧電素子２の振動空間が確保されていることに
なる。
ひずみの起こる方向が電気軸に平行な面内のずれとな
る、いわゆるせん断型の圧電素子として機能することに
なり、この圧電素子２に加速度が作用した場合には、そ
の両端に位置する電極８のそれぞれから加速度の作用方
向及び大きさに比例した電圧信号が出力されることにな
る。そして、出力信号は回路基板４上に設けられた配線
パターン（図示していない）を通じて電子部品３，…に
流れたうえで処理されることになる。なお、このとき、
圧電素子２はその両端に位置する電極８が配線パターン
によって支持されているのであるから、その本体部の下
面と回路基板４の上面との間には隙間があり、この隙間
によって圧電素子２の振動空間が確保されていることに
なる。
【００１３】ところで、圧電素子２の構造及び形状が図
２で示したものに限定されることはなく、その変形例と
しては図３〜図６で示すような種々の構造及び形状を有
する圧電素子が考えられる。すなわち、図３で示す圧電
素子２は、加速度の作用方向に沿う向きに沿いつつも互
いに逆となる向きに分極され、かつ、加速度の作用方向
とは異なる向きに沿って並列接合された圧電セラミック
ス部材６，７の接合面間に、導電性を有する付加質量部
材９を介装して取り付けた構造となっており、このよう
な構造の圧電素子２を用いると、圧電セラミックス部材
６，７相互間のずれ量が拡大することになって加速度セ
ンサ１の感度が高まることになる。そして、この際、図
２及び図３で示した圧電素子２において、図４で示すよ
うに、圧電素子２の両端部２ａと中間部２ｂとを加速度
の作用方向に沿う向きに沿って位置ずれさせておいても
よく、このようにした場合には、圧電素子２の振動空間
を確実に確保できることになる。なお、これらの図３及
び図４における符号８も電極を示している。
２で示したものに限定されることはなく、その変形例と
しては図３〜図６で示すような種々の構造及び形状を有
する圧電素子が考えられる。すなわち、図３で示す圧電
素子２は、加速度の作用方向に沿う向きに沿いつつも互
いに逆となる向きに分極され、かつ、加速度の作用方向
とは異なる向きに沿って並列接合された圧電セラミック
ス部材６，７の接合面間に、導電性を有する付加質量部
材９を介装して取り付けた構造となっており、このよう
な構造の圧電素子２を用いると、圧電セラミックス部材
６，７相互間のずれ量が拡大することになって加速度セ
ンサ１の感度が高まることになる。そして、この際、図
２及び図３で示した圧電素子２において、図４で示すよ
うに、圧電素子２の両端部２ａと中間部２ｂとを加速度
の作用方向に沿う向きに沿って位置ずれさせておいても
よく、このようにした場合には、圧電素子２の振動空間
を確実に確保できることになる。なお、これらの図３及
び図４における符号８も電極を示している。
【００１４】また、他の変形例として、図５で示すよう
に、圧電素子２の両端面上それぞれに出力用端子１０を
取り付けておいてもよい。さらにまた、このような出力
用端子１０を取り付けてなる圧電素子２において、図６
で示すように、これらの出力用端子１０と圧電素子２と
を加速度の作用方向に沿う向きに沿って位置ずれさせて
おいてもよいことは勿論である。
に、圧電素子２の両端面上それぞれに出力用端子１０を
取り付けておいてもよい。さらにまた、このような出力
用端子１０を取り付けてなる圧電素子２において、図６
で示すように、これらの出力用端子１０と圧電素子２と
を加速度の作用方向に沿う向きに沿って位置ずれさせて
おいてもよいことは勿論である。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる加
速度センサは、少なくとも一対の圧電セラミックス部材
を加速度の作用方向とは異なる向きに並列接合してなる
加速度検出用の圧電素子を備えており、圧電セラミック
ス部材のそれぞれは、加速度の作用方向に沿う向きで、
かつ、互いに逆となる向きに分極されていることから、
この圧電素子はせん断型の圧電素子として構成されて機
能することになり、この圧電素子を単体として取り付け
ることによって加速度センサを構成することが可能とな
る。そこで、本発明によれば、焦電ノイズの発生が少な
くなり、他軸感度の低減を図ることができるとともに、
構造の簡素化及び小型化を図りつつ機械的な強度を高め
ることができるという効果が得られる。
速度センサは、少なくとも一対の圧電セラミックス部材
を加速度の作用方向とは異なる向きに並列接合してなる
加速度検出用の圧電素子を備えており、圧電セラミック
ス部材のそれぞれは、加速度の作用方向に沿う向きで、
かつ、互いに逆となる向きに分極されていることから、
この圧電素子はせん断型の圧電素子として構成されて機
能することになり、この圧電素子を単体として取り付け
ることによって加速度センサを構成することが可能とな
る。そこで、本発明によれば、焦電ノイズの発生が少な
くなり、他軸感度の低減を図ることができるとともに、
構造の簡素化及び小型化を図りつつ機械的な強度を高め
ることができるという効果が得られる。
【００１６】また、本発明によれば、圧電素子と回路基
板の配線パターンとをリード線によって接続する必要が
ないので、リード線接続に伴う不都合が生じることはな
くなり、加速度センサにおける信頼性の向上を実現する
ことができる。
板の配線パターンとをリード線によって接続する必要が
ないので、リード線接続に伴う不都合が生じることはな
くなり、加速度センサにおける信頼性の向上を実現する
ことができる。
【図１】本実施例にかかる加速度センサの概略構造を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図２】第１実施例にかかる圧電素子を簡略化して示す
斜視図である。
斜視図である。
【図３】第２実施例にかかる圧電素子を簡略化して示す
斜視図である。
斜視図である。
【図４】第３実施例にかかる圧電素子を簡略化して示す
斜視図である。
斜視図である。
【図５】第４実施例にかかる圧電素子を簡略化して示す
斜視図である。
斜視図である。
【図６】第５実施例にかかる圧電素子を簡略化して示す
斜視図である。
斜視図である。
【図７】従来例にかかる加速度センサの概略構造を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図８】従来例にかかる他の加速度センサの概略構造を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
１ 加速度センサ ２ 圧電素子 ６ 圧電セラミックス部材 ７ 圧電セラミックス部材
Claims (5)
- 【請求項１】少なくとも一対の圧電セラミックス部材
（６，７）を加速度の作用方向とは異なる向きに並列接
合してなる加速度検出用の圧電素子（２）を備えてお
り、 圧電セラミックス部材（６，７）のそれぞれは、加速度
の作用方向に沿う向きで、かつ、互いに逆となる向きに
分極されていることを特徴とする加速度センサ。 - 【請求項２】圧電セラミックス部材（６，７）の接合面
間には、導電性を有する付加質量部材（９）を取り付け
ていることを特徴とする請求項１記載の加速度センサ。 - 【請求項３】圧電素子（２）の両端部（２ａ）と中間部
（２ｂ）とは、加速度の作用方向に沿う向きに位置ずれ
していることを特徴とする請求項１または請求項２記載
の加速度センサ。 - 【請求項４】圧電素子（２）の両端面上それぞれには、
出力用端子（１０）を取り付けていることを特徴とする
請求項１または請求項２記載の加速度センサ。 - 【請求項５】出力用端子（１０）と圧電素子（２）と
は、加速度の作用方向に沿う向きに位置ずれしているこ
とを特徴とする請求項４記載の加速度センサ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34673491A JP2689799B2 (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 加速度センサ |
| DE69208851T DE69208851T2 (de) | 1991-12-27 | 1992-12-24 | Piezoelektrischer Beschleunigungsmesser |
| EP92122015A EP0550037B1 (en) | 1991-12-27 | 1992-12-24 | Piezoelectric acceleration sensor |
| SG1996002775A SG48844A1 (en) | 1991-12-27 | 1992-12-24 | Piezoelectric acceleration sensor |
| US07/997,675 US5388459A (en) | 1991-12-27 | 1992-12-28 | Acceleration sensor with direct mounting |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34673491A JP2689799B2 (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 加速度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05180864A true JPH05180864A (ja) | 1993-07-23 |
| JP2689799B2 JP2689799B2 (ja) | 1997-12-10 |
Family
ID=18385459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34673491A Expired - Fee Related JP2689799B2 (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2689799B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6263734B1 (en) | 1998-04-13 | 2001-07-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric acceleration sensor and method of detecting acceleration and manufacturing method thereof |
-
1991
- 1991-12-27 JP JP34673491A patent/JP2689799B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6263734B1 (en) | 1998-04-13 | 2001-07-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric acceleration sensor and method of detecting acceleration and manufacturing method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2689799B2 (ja) | 1997-12-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3091766B2 (ja) | 表面取付け型圧電セラミツク式加速度計及びその製造方法 | |
| JPH09243447A (ja) | 振動検出センサー | |
| JPH1062445A (ja) | 加速度センサ | |
| KR20050078207A (ko) | 각속도(角速度) 센서 | |
| WO2005012921A1 (ja) | 加速度センサ | |
| JPH04216409A (ja) | 角速度センサ | |
| US20020069702A1 (en) | Acceleration sensor | |
| JPH1078449A (ja) | 加速度センサ | |
| JP2689799B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JP2013137330A (ja) | 圧電式加速度センサ | |
| JP3106970B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JP2732413B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JP2005114631A (ja) | 角速度センサ | |
| JP3308368B2 (ja) | 三軸圧電加速度センサー | |
| JP2722939B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JP3097411B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JPH07202283A (ja) | 圧電センサ及びその製造方法 | |
| JP3114480B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JP2000275126A (ja) | 力センサ回路 | |
| JP2001074766A (ja) | 加速度センサ | |
| JP2720697B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JPH03235317A (ja) | コンデンサ | |
| JP5270622B2 (ja) | 圧電式加速度センサ | |
| JPS6032585Y2 (ja) | 振動検出器 | |
| JPH0933260A (ja) | 角速度センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080829 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080829 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090829 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |