JPS60194264A - 極低温冷凍機及び極低温冷凍機を熱源に変換するための方法 - Google Patents

極低温冷凍機及び極低温冷凍機を熱源に変換するための方法

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JPS60194264A
JPS60194264A JP59186645A JP18664584A JPS60194264A JP S60194264 A JPS60194264 A JP S60194264A JP 59186645 A JP59186645 A JP 59186645A JP 18664584 A JP18664584 A JP 18664584A JP S60194264 A JPS60194264 A JP S60194264A
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cam
slide
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cryogenic refrigerator
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    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B9/00Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
    • F25B9/14Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
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    • F25B2309/003Gas cycle refrigeration machines characterised by construction or composition of the regenerator

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 背景 本発明は、周知のギフオード−マクマホンサイクルの改
良に関する。このサイクルを教示した従来の代表的な特
許としては、米国特許第2,966.055号、418
8.818号、3,218,815号、4、505.7
41号、4.559.927号および4、388.80
9号などがある。
最大限の効率と信頼度を得るためには、再生器を通して
移送するガスの容積を最大限にすることが肝要である。
そしてそれを達成するには、押のけ器が上死点または下
死点に達したときガスの流れの方向が逆転されるように
することが肝要である。本発明は、そのような特徴を有
する冷凍機をいかにして熱源に変換するかという問題を
解決することを企図したものである。
発明の概要 本発明は、囲い体内に可変容積の第1室と第2室を画定
する可動押のけ器を備えた極低温冷凍機に関する。冷媒
流体は、押のけ器の移動に応じて第1室と第2室との間
で流路に活って循環される。
本発明の冷凍機は、スライドを案内するための室を備え
ている。スライドは、押のけ器に連結してあり、押のけ
器の移動を制御するために該スライドに電気モータを連
結する。高圧および低圧流体の流れを制御するためのス
プール弁体を備えた弁を設け、該弁体の往復動は、上記
モータによって駆動されるカムによって行う。
本発明の目的は、安価に、かつ、容易にヒートポンプに
変換することができる極低温冷凍機を提供することであ
る。
実施例の説明 本発明の冷凍機10は、第1図に示されるように、第1
段12を有している。使用するときは、これらの段は真
空ハウジング(図示せず)内に配設する。図には1つの
作動段しか示されていないが、このような段は、1個ま
たは複数個設けることができる。各段は、ハウジング1
6のようなハウジングを有しており、該ハウジング内に
は押のけ器18を設ける。押のけ器18は、その上側に
暖温画室20を、そして下側に冷温画室22を画定する
ようにハウジング16の全長より短い長さとする。ここ
では、吸温および冷温という用語は、当業者には周知の
ように相対的な意味で用いられている。
押のけ器18内には、マトリックスを包含した再生器2
6を設ゆる。連通口28により再生器26内のマトリッ
クスの上端を暖温画室20に連通させる。マトリックス
の下端は、半径方向の連通口30により押のけ器18の
下端の外周面とノ・クランク16の内周面との間のクリ
アランス空間32に連通させる。かくして、再生器26
内のマトリックスの下端は、連通口30およびクリアラ
ンス32を通して冷温画室22と連通ずる。クリアラン
ス32は環状の熱交換器の役割を果す。
再生器26のマトリックスは、無酸素鋼のような高い比
熱を有する250メツシニ材の積重体から成るものであ
ることが好ましい。このマトリックスは、空隙率が低く
、圧力降下が低い。マトリックスは、鉛球、ナイロン、
ガラスなどの他の材料であってもよい。
モータハウジング36内に例えば可逆同期ステップモー
タのような電気モータ34を配設する。
上記ハウジング16は、モータハウジング36から垂下
させ、ハウジング16に付設したフランジ37をボルト
によってモータハウジング66に固定する。モータ34
の出力軸46には、止ねじ40によってカラー58を調
節自在に取付ける。
カラー38は、軸46に平行に突出したピン42を有し
ている。ピン42は、カム48の表面に形成した溝44
内に嵌入させる。カム48には、出力軸46を挿通する
ための穴50を穿設する。穴50と溝44とは同心関係
である(第4図)。溝44は、180°の円弧に亘って
延長している。
カム48の局面にはころ軸受52を取付げる。
軸46には、また、キーおよび止ねじによってクランク
54を固定する。カム48は、クランク54&C調節自
在のボール型回り止め53を介して連結する。回り止め
53とそのボールを外方へ押圧するばねを収容した回り
止めハウジングは、クランク54に螺着させ、ボールが
押圧ばねによりカム48の側面の凹部内へ押しつけられ
るようkする(第3図)。クランク54は、軸46の軸
線から離隔し、該軸線に平行なりランクビン56を有し
ている。クランクビン56にはころ軸受5Bを装着し、
該ころ軸受をスライド60に形成した横断方向のスロッ
ト内に嵌着させる。スライド60は、押のけ器18の上
端に連結する。スライド60には、クリアランス密封ス
リーブ型軸受64によって案内される円筒形軸受挿入体
62およびクリアランス密封スリーブ型軸受68によっ
て案内される円筒形軸受挿入体66を装着する。
これらの軸受挿入体62.66およびスリーブ型軸受6
4.68は、セラミック材または炭化珪素のような他の
硬質材料で形成するのが好ましい。
スリーブ型軸受68は、ハウジング36に連結させた保
持部材70によって所定位置に保持する。
スリーブ凰軸受64内の室72は、スライド60に設け
た軸方向の流体通路74を通して再生器26に連通させ
る。通路74は、不ライド60が上昇するにつれて室7
2内の空気を再生器26へ逃がすことによって室72内
の空気が圧縮される、のを防止する。従って、スライド
6oは、その両端の直径が均一である場合、ガス圧的に
均衡化される。
ハウジング36には、スライド60に平行な内孔を設け
、その内孔内に好ましくはセラミック材製のクリアラン
ス密封スリーブ型軸受76を装着し、その軸受内にスプ
ール弁78を配設する。弁78は、両端の間の外周面に
溝82を有する円筒形スプール弁体80を備えている。
溝82は、弁体80をガス圧的に均衡化させる。弁体8
oは、軸方向の圧力均衡化用通路83を有している。軸
受76と保持部材70との間にはシーに84を設ける。
部材18.64.68.76にも、第1図に示されるよ
うに0リングシールを設けることが好ましい。
カム48に装着したころ軸受52を弁体8oの上端に係
合させる。弁体80をころ軸受52に圧接する方向に押
圧するためにコイルばね85を弁体80と保持部材70
との間に介設する。弁体80は、カム48によって下降
せしめられ、ばね85の膨張によって上昇せしめられる
第1図を参照して説明すると、圧縮機88の吐出側から
高圧の冷媒ガスが連通ロ86内へ導入される。連通口8
6は、弁体8oが第1図に示される位置にあるときは溝
82と連通し、溝82は、通路90を通して温暖画室2
oと連通する。
ハウジング36の内部から延長させた連通口92は、弁
体80が第1図の位置にあるときは弁体80によって閉
鎖されている。弁体8oが最上方位置におかれると、溝
82が通路9oを連通口92と連通させる。ハウジング
36の内部は、連通口96を通して圧縮機88の吸入側
に連通させる。室98は、ハウジング56の内部と直接
連通している。連通口92から96への冷媒の流れは、
モータ34に対し冷却作用を及ぼす。所望ならば、弁体
80が上死点に達したとき溝82をg981C連通させ
るように構成することによって連通口92を省除するこ
とができる。溝82の軸方向の長さは、連通口86と9
2との間の軸方向の距離より短くし、それKよって連通
口86.92と通、路90との間での高圧ガスの漏れを
最少限にする。
ハウジング36は、その機械加工および組立を容易にし
、弁体80およびスライド60へのアクセスを容易にす
るために複数の部片で構成する。
ハウジングを複数の部片で構成する態様はここには詳し
く図示しないが、当業者には明らかであろう。ビン42
は、冷凍サイクル中カム4Bを第2図でみて反時計回り
方向に駆動する。カム48は、第5図に示される位置に
あるときは、弁体80の周縁に接触する。その時点で、
ばね85の上向き力(弁体80に作用する摩擦力を差引
く)が、軸46の軸線を中心とするモーメントを創生じ
、カラー38のビン42を溝44の反対の端部へ9動さ
せようとする。そのような9動が生じたとすると、弁7
8の作動タイミングを不確実なものにする。カム48の
回転方向の如何に拘らず、そのような不確実なタイミン
グを防止するためにボール型回り止め53がぽ−ね85
の上向き力による上記モーメントに抵抗し、クランク5
4および軸46が、従ってカラー38およびビン42が
回転するのを防止する。クランク48に対面する側のカ
ム48の端面には、回り止め53のボールを受容するた
めの2個の凹部55が1000間隔を置いて形成されて
いる(第3図)。
冷凍機10は、ヘリウムなどの極低温流体と共に使用す
るように設計することが好ましいが、空気や窒素等の他
の流体を使用することもできる。
図示の冷凍機10は、770にで少くとも65ワツトの
出力が得られ、20°にで少くとも5ワツトの出力が得
られるように設計されたものである。
冷凍作動 第1図に示されるよう忙、押のけ器1日は下死点にある
。スライド60の上下往復動(昇降)は、カム48の回
転位置と、ころ軸受即ちカム従節58と該従節を受容し
ているスライド6oの溝との間の協同によって制御され
る。カム48がスグール弁体80の上端に接触する給米
として弁体80は、その最下方位置にあり、ばね85は
圧縮される。高圧流体が連通口86から溝82を通り、
通路90を通って温暖画室20へ導入される。連通口9
2は弁体80によって閉鎖されている。
再生器26の機能は、それを通って下方へ流れる冷媒ガ
スを冷却することと、それを通って上昇するガスを加熱
することである。ガスは、再生器を通って流下する間に
再生器によって冷却されて圧力を低下せしやられるので
、更に多くのガスが系内へ流入し、それによって最大限
のサイクル圧を維持する。冷温画室22内でのガスの温
度低下は、ヒートステーション24に連結される装置(
図示せず)によって必要とされる有用な冷却作用を提供
する。
ガスは、再生器26内を通って上昇する間に再生器のマ
トリックスによって周囲温度近くにまで加熱され、それ
によってマトリックスを冷却する。
モータ34がカム48を第2図でみて反時計回り方向に
回転させ、それによって押のけ器18が下死点から上昇
せしめられる間、カム48の作用表面がサイクルの吸入
部分を制御する。カム48が回転するにつれて、弁体8
0がばね85の圧力によって上昇せしめられて連通口8
6からの流体の流れを遮断する。カム48が引続き回転
すると、スライド60および押のゆ器18が上昇し続け
、スライド60が上死点に接近する時点では、カム4B
は、弁体80を、その溝82を介して通路90と連通口
92とを連通させるのに十分なだけ上昇させ、それによ
ってサイクルの吐出部分を開始させる。サイクルの吐出
部分のタイミングは、カム48の輪郭によって制御され
る。カム48が引続き回転すると、弁体80が下降せし
められ、カム表面のうちの、連通口86からの高圧ガス
の導入時期を規定する部分に接触するに至る。かくして
、1回のサイクルが完成する。
代表的な実施例では、冷凍機1oは、毎分72〜82サ
イクルの割合で作動する。押のけ器18の行程(ストν
−り)は、弁体8oの行程より長いが、両者の往復動は
、同じ方向に同時に行われるように同期される。従って
、弁体8oと押のけ器18とは異る速度で往復動するよ
うにカム48によってタイミングが予め定められる。押
のけ器18の行程を501111とした場合、弁体80
の行程、の長さは、それより短く、例えば9〜12鱈程
度である。弁体80には、それが下降するたびkばね8
2を収容している空間内の空気が圧縮されないように、
室98と該空間とを連通ずる軸方向の流体通路83を設
けることができる。
従来の装置の1つの問題点は、スライドのスリーブ型軸
受の内径が僅か約0.25in(6,5畷)しかないこ
とである。本発明においては、スライド60も、弁体8
0も、ガス圧的に均衡化(バランス)されているので、
クリアランス密封軸受64.68の内径を0.75 i
n (18,9■)とし、面積でみれば、従来のものの
9倍もにすることができ、従って、単位面積当りに受け
る力をVにすることができる。従って、軸受64.68
は、従来の装置におけるように急速に摩耗することがな
い。
ヒートステーション24において得られる冷凍作用は、
いろいろな装置と関連して利用することができる。その
ような装置の一例はクライオポンプである。本発明の冷
凍機の構成によれば、高圧冷媒ガスの導入と低圧冷媒ガ
スの排出とが確実な態様で同期されるようにスライド6
0と弁体80との同時併行運動に対する確実な制御を可
能にする。本発明によれば、高圧ガスの導入と低圧ガス
の排出が、それぞれスライド60の下死点と上死点の正
確な位置で行われるので、冷媒ガスの完全な導入および
排出が保証され、効率が高められる。
ヒートポンプ クライオポンプは、飽和状態になって、もはや貴ガスを
吸収しなくなると、熱くなり、ヒートステー ジョン2
4に負荷を課する。ヒートステーション24の温度が約
200Kに達すると、り2イオボンプに設置されている
ダイオードなどによって信号が発せられる。その後、ク
ライオポンプに熱を加える必要がある。これは、冷凍機
1oを加熱モードに変換することによって行うことがで
きる。
冷凍機10を加熱モードで作動させるKは、単に、モー
タ34の回転方向を逆転させてカム48を第2図でみて
時計回り方向に回転させればよい。
モータ34を逆転させると、最初、ピン42が溝44の
一端から他端へ移動し、回り止め53のボールが第3図
に示される凹部53へ移動する間生動が生じる。その後
は、モータ34の回転によりカム48およびクランク5
4が駆動される。弁体80は、冷凍モードのときの位相
から180°ずらされる。
極低温冷凍機を、単にその駆動モータの回転方向を逆転
させることによってヒートポンプに変換することができ
ることは予想外のことであった。
、かくして、クライオポンプは、従来の方法では再生す
るのに3.5時間を要したのに比べ、僅か35分で再生
することができる。クライオポンプに設置した慣用のダ
イオードを用いることによって、冷凍機10の加熱モー
ドの始めと終りにモータ34の逆転を開始させるように
することができる。
モータ34を逆転させても、スライド60および押のけ
器18を往復動させる能力には変りがなく、P■グラフ
の面積は変らない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による冷凍機の垂直断面図、第2図は第
1図の線2−2に沿ってみた断面図、第5図は第2図の
線3−3に沿ってみた断面図、第4図はカムおよびその
駆動機構の分解図、第5図は第2図と同様の図であるが
、カムが90°時計回り方向に回転したところを示す。 16:ハンジング(囲い体) 1日:押のけ器 20.22:画室 24:ヒートステーション 26:再生器 64:モータ 42:ビン 44:溝 46:出力軸 48:カム 52:ころ軸受 53:回り止め 54:り2ンク 58:ころ軸受(カム従節) 60ニスライド 64.68:クリアランス密封スリーブ型軸受74:流
体通路 78:弁 80:弁体 85:ばね

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1画室と第2画室とを画定し、紋押のけ器の移動によっ
    て冷媒流体を第1画室と第2画室との間で流路を通して
    循環させるようにした極低温冷凍機において、 前記押のけ器に連結されたスライドを案内するための室
    構成手段を設け、該スライドを往復動させるための可逆
    モータを該スライドに連結し、高圧冷媒流体および低圧
    冷媒流体の流れを制御するための往復動自在の弁体を有
    する弁を設け、該モータは、前記押のけ器がその移動行
    程の各終端に達したとき該弁体が高圧冷媒流体を第1画
    室または第2画室へ導入させるよ5に該弁体を該スライ
    ドの往復動と調時間係をなして往復動させるようになさ
    れたカムに連結されており、該極低温冷凍機を冷凍機ま
    たはヒートポンプとして選択的に作動させることができ
    るようにしたことを特徴とする極低温冷凍機。 2)前記カムの局面に装着したころ軸受をガス圧的に均
    衡化された前記弁体の一端に接触させ、該弁体な該カム
    に接触するよ5に偏倚させる偏倚ばねを設けた特許請求
    の範囲第1項記載の極低温冷凍機。 3)前記カムは、180°の生動を伴う連結手段を介し
    て前記モータの出力軸に連結されている特許請求の範囲
    第1項記載の極低温冷凍機。 4)前記生動を伴う連結手段は、前記カムと出力軸のど
    ちらか一方に形成された、咳出力軸と同軸の半円形の溝
    と、該カムと出力軸の他方に固定され該溝に受容される
    ようkなされたビンとから成るものである特許請求の範
    囲第3項記載の極低温冷凍機。 5)前記モータはクランクを介して前記スライドに連結
    されており、誼クランクと前記カムとの間にそれらを所
    定の位相に維持するための回り止めが設けられている特
    許請求の範囲第4項記載の極低温冷凍機。 6)前記押のけ器は、内部に再生器を収容しており、前
    記スライドは、ガス圧的に均衡化されており、一端で該
    再生器と連通した軸方向の流体通路を有しており、該ス
    ライドを受容するための、少くとも12.71111(
    0,5in)の内径を有するセラミック製のクリアラン
    ス密封スリーブ型軸受が設ゆられている特許請求の範囲
    第1〜5項のいずれかに記載の極低温冷凍機。 7)囲い体内に可動押のけ器により可変容積の第1画室
    と第2画室とを画定し、紋押のけ器の移動と関連させて
    冷媒流体を第1画室と第2画室との間で流路を通して循
    環させるようにした極低温冷凍機において、 前記押のけ器に連結されたスライドを設け、前記流路を
    通しての前記流体の流れを制御するための弁を設け、該
    押の移動を制御するための電気モータを設け、該モータ
    は、前記スライドの移動な該押の移動と調時間係をなし
    て制御するように該スライドに連結されており、該モー
    タは、可逆モータであり、該冷凍機を冷凍モードで作動
    させていたときに比べて前記弁を180°異る位相で作
    動−させることにより該冷凍機を加熱モードで作動する
    ように切換えすることができるように構成したことを特
    徴とする極低温冷凍機。 8)前記モータの出力軸は、前記弁の移動を制御するた
    めのカムを備えており、該出力軸は、該カムに取付けら
    れたカム従節な介して前記スライドに連結されており、
    該カム従節は、該カムが前記弁を作動させて高圧冷媒ガ
    スを前記第1および第2画室内へ流入させることを可能
    にするような該カム上の部位に取付けられている特許請
    求の範囲第7項記載の極低温冷凍機。 9)前記弁は、前記カムと接触するようにばねにより偏
    倚せしめられた摺動自在の弁体を有している特許請求の
    範囲第7項または8項記載の極低温冷凍機。 10)前記スライドは、両端において均一な断面積を有
    し、ガス圧的に均衡化査れており、前記弁はガス圧的に
    均衡化される弁体を備えている特許請求の範囲第7〜9
    項のいずれかた記載の極低温冷凍機。 11)極低温冷凍機を熱源に変換するための方法であっ
    て、 物体を冷却するように構成された冷凍機のヒートステー
    ションに低温を発生させ、該低温発生工程は、押のけ器
    と弁体を相関関係をもたせて電気モータにより移動させ
    、紋押のけ器がその移動行程の一方の終端に達したとき
    高圧冷媒ガスを紋押のけ器に関連した可変容積の画室内
    へ導入させる操作を含むものとし、 前記モータの回転方向を逆転させ、前記弁体な前記低温
    発生工程において作動されるときとは180°異る位相
    で移動させることによって該冷凍機を、前記物体を加熱
    するための熱源に変換することから成る変換方法。 12)前記物体としてクライオポンプを用いることを含
    む特許請求の範囲第11項記載の変換方法。
JP59186645A 1984-03-06 1984-09-07 極低温冷凍機及び極低温冷凍機を熱源に変換するための方法 Granted JPS60194264A (ja)

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US06/586,575 US4520630A (en) 1984-03-06 1984-03-06 Cryogenic refrigerator and heat source

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JPS60194264A true JPS60194264A (ja) 1985-10-02
JPH04195B2 JPH04195B2 (ja) 1992-01-06

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GB (1) GB2155606B (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6312891A (ja) * 1986-07-03 1988-01-20 Sanyo Electric Co Ltd クライオポンプの再生方法
JPS6433474A (en) * 1987-07-29 1989-02-03 Hitachi Ltd Cooling device and operating method thereof
WO1993010407A1 (en) * 1991-11-18 1993-05-27 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Cryogenic refrigerating device

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6256747A (ja) * 1985-09-05 1987-03-12 三菱電機株式会社 不純物除去装置
FR2705587A1 (fr) * 1993-05-25 1994-12-02 Tabone Herve Cryostat de microtomie, notamment pour travaux histologiques.
AU2003273058A1 (en) * 2003-10-20 2005-05-05 Pascal Engineering Corporation Balancer mechanism for rotating shaft
KR101104171B1 (ko) * 2007-07-23 2012-01-12 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 크라이오 펌프
EP2310768B1 (en) * 2008-05-21 2018-12-26 Brooks Automation, Inc. Linear drive cryogenic refrigerator
CN102171454B (zh) * 2008-09-30 2014-03-12 佳能安内华股份有限公司 真空抽吸系统、衬底处理设备、电子装置的制造方法和真空抽吸系统的操作方法
US20100162727A1 (en) * 2008-12-31 2010-07-01 Linde. Inc. Freezer with pulse flow generator
KR101498348B1 (ko) * 2010-04-19 2015-03-03 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 로터리밸브 및 이를 사용한 극저온냉동기

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2398229A (en) * 1943-08-16 1946-04-09 Samuel R Kassouf Fluid pressure operated servomotor
US2832327A (en) * 1956-11-13 1958-04-29 Lorenz Harald Mechanically operated springless circular eccentric valve gear
US2966034A (en) * 1959-06-16 1960-12-27 Little Inc A Reciprocating flow gas expansion refrigeration apparatus and device embodying same
NL113898C (ja) * 1957-11-14
FR1290089A (fr) * 1960-06-01 1962-04-06 Philips Nv Système frigorifique à étages
US3188818A (en) * 1963-11-12 1965-06-15 Little Inc A Refrigeration method and apparatus embodying fluid expansion
US3312239A (en) * 1964-06-17 1967-04-04 Little Inc A Crosshead assembly
US3218815A (en) * 1964-06-17 1965-11-23 Little Inc A Cryogenic refrigeration apparatus operating on an expansible fluid and embodying a regenerator
IT1174725B (it) * 1978-03-16 1987-07-01 Galileo Spa Off Apparecchiatura criogenica per bassissime temperature
US4305741A (en) * 1979-10-29 1981-12-15 Oerlikon-Buhrle U.S.A. Inc. Cryogenic apparatus
US4339927A (en) * 1981-07-06 1982-07-20 Oerlikon-Burhle U.S.A. Inc. Gas-driven fluid flow control valve and cryopump incorporating the same
US4388809A (en) * 1982-04-19 1983-06-21 Cvi Incorporated Cryogenic refrigerator
US4438631A (en) * 1982-07-15 1984-03-27 Cvi Incorporated Cryogenic refrigerator

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6312891A (ja) * 1986-07-03 1988-01-20 Sanyo Electric Co Ltd クライオポンプの再生方法
JPH0674784B2 (ja) * 1986-07-03 1994-09-21 三洋電機株式会社 クライオポンプの再生方法
JPS6433474A (en) * 1987-07-29 1989-02-03 Hitachi Ltd Cooling device and operating method thereof
JP2507452B2 (ja) * 1987-07-29 1996-06-12 株式会社日立製作所 冷却装置およびその運転方法
WO1993010407A1 (en) * 1991-11-18 1993-05-27 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Cryogenic refrigerating device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04195B2 (ja) 1992-01-06
GB2155606B (en) 1987-02-11
FR2560978A1 (fr) 1985-09-13
FR2560978B1 (fr) 1988-08-19
GB2155606A (en) 1985-09-25
CA1224053A (en) 1987-07-14
US4520630A (en) 1985-06-04
GB8416123D0 (en) 1984-08-01

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