JPS6018961B2 - 光学ストライプフイルタの製造方法 - Google Patents
光学ストライプフイルタの製造方法Info
- Publication number
- JPS6018961B2 JPS6018961B2 JP52154018A JP15401877A JPS6018961B2 JP S6018961 B2 JPS6018961 B2 JP S6018961B2 JP 52154018 A JP52154018 A JP 52154018A JP 15401877 A JP15401877 A JP 15401877A JP S6018961 B2 JPS6018961 B2 JP S6018961B2
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- JP
- Japan
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- filter
- glass substrate
- etching
- manufacturing
- stripe
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光学ストライプフィル夕の製造方法に関する。
現在、光学ストライプフィル夕とｉ，してダィクロィツ
クフィル夕が良く用いられる。これは耐熱性退色性、経
時変化、透過率などが優れていることによる。このダイ
クロイツクフイル夕をストライプ化する方法として、ホ
トェッチングを用いて化学的にフィル夕をエッチングし
てストライプ化する方法、リバースエッチング法でスト
ライプ化する方法などが知られている。ここでトイｂ学
的にフィル夕をエッチングする方法はフィルタが多層構
造のためエッチング液の選択と、ストライプ形状の精度
に問題がある。この点、リバ・‐スェツチング法ではリ
バースエッチング材料に．１ッチングし易い金属を使用
でき、フィル夕のストライプ化が精度よくできる。リバ
ースエッチング法を用いたダイクロイツクストライプフ
ィル夕の形成は、従来ガラス基板上に設けられたＣｒ，
Ａｇ，Ｃｕ，Ａｕなどの金属薄膜上にレジストを塗布し
、所定パターンを作成する。
クフィル夕が良く用いられる。これは耐熱性退色性、経
時変化、透過率などが優れていることによる。このダイ
クロイツクフイル夕をストライプ化する方法として、ホ
トェッチングを用いて化学的にフィル夕をエッチングし
てストライプ化する方法、リバースエッチング法でスト
ライプ化する方法などが知られている。ここでトイｂ学
的にフィル夕をエッチングする方法はフィルタが多層構
造のためエッチング液の選択と、ストライプ形状の精度
に問題がある。この点、リバ・‐スェツチング法ではリ
バースエッチング材料に．１ッチングし易い金属を使用
でき、フィル夕のストライプ化が精度よくできる。リバ
ースエッチング法を用いたダイクロイツクストライプフ
ィル夕の形成は、従来ガラス基板上に設けられたＣｒ，
Ａｇ，Ｃｕ，Ａｕなどの金属薄膜上にレジストを塗布し
、所定パターンを作成する。
そして、金属薄膜のエッチングを行ない、レジストも除
去する。次にガラス基板及び金属薄膜上にダィクロィツ
クフィル夕を形成し、金属エッチング液に浸糟させると
金属薄膜及びその上部のダイクロィツクフィル夕が除去
され、ダィクロイックストライプフィルタが得られる。
ここで問題となるのはリバースエッチングが長時間に及
ぶと、ガラス基板とフィル夕材料に影響を与え、特にガ
ラス基板とフィルタ表面の変色とそれに伴なう分光特性
の低下などの問題点があった。本発明は上記問題重点を
解決できた光学ストライプフィル夕の製造方法を提供す
るものである。
去する。次にガラス基板及び金属薄膜上にダィクロィツ
クフィル夕を形成し、金属エッチング液に浸糟させると
金属薄膜及びその上部のダイクロィツクフィル夕が除去
され、ダィクロイックストライプフィルタが得られる。
ここで問題となるのはリバースエッチングが長時間に及
ぶと、ガラス基板とフィル夕材料に影響を与え、特にガ
ラス基板とフィルタ表面の変色とそれに伴なう分光特性
の低下などの問題点があった。本発明は上記問題重点を
解決できた光学ストライプフィル夕の製造方法を提供す
るものである。
以下、本発明の一実施例を第１図を用いて説明する。第
１図ａに示すようにガラス基板１上に金属薄膜として銅
薄腰２を形成し、第１図ｂで示すようにレジスト３を塗
布し、フオトェッチングで第１図ｃに示すように銅簿膜
２をストライプ状にする。
１図ａに示すようにガラス基板１上に金属薄膜として銅
薄腰２を形成し、第１図ｂで示すようにレジスト３を塗
布し、フオトェッチングで第１図ｃに示すように銅簿膜
２をストライプ状にする。
次にこの基板を真空中あるいは不活性ガスなどのＩＪバ
ースエッチング材料が酸化しない状態真で熱処理された
ガラス基板１と鋼薄膜２上にダィクロィツクフイル夕４
を形成後、銅薄膜２のエッチング液として塩化第２鉄水
溶液中に浸潰し、銅薄膜とその上のフィル夕４を除去し
、第１図ｅで示されるダィクロィックストライプフィル
タを得る。以上のように熱処理して製作されたダイクロ
イツクストライプフイルタのリバースエッチングでの浸
濃時間と熱処理温度との関係を第２図に示した。
ースエッチング材料が酸化しない状態真で熱処理された
ガラス基板１と鋼薄膜２上にダィクロィツクフイル夕４
を形成後、銅薄膜２のエッチング液として塩化第２鉄水
溶液中に浸潰し、銅薄膜とその上のフィル夕４を除去し
、第１図ｅで示されるダィクロィックストライプフィル
タを得る。以上のように熱処理して製作されたダイクロ
イツクストライプフイルタのリバースエッチングでの浸
濃時間と熱処理温度との関係を第２図に示した。
図中０は本賜の方法によるもの、×は熱処理工程のない
従来の方法によるものである。この図から明らかなよう
に、本発明によれば、リバースエッチングの時間が著し
く短縮された。
従来の方法によるものである。この図から明らかなよう
に、本発明によれば、リバースエッチングの時間が著し
く短縮された。
また、そのときの熱処理温度は３５０℃以上で良好であ
るが、５０ぴ０以上で行なうと熱歪が大きく、Ｃ渡肇膜
の剥離があった。このことから、３５ぴ○〜４５０℃が
特に有効であった。本発明は上述のように熱処理工程を
備えることで、ガラス基板とフィル夕のりバースエッチ
ングにおける変質で分光特性が低下するという従来の問
題点を除去することができる。
るが、５０ぴ０以上で行なうと熱歪が大きく、Ｃ渡肇膜
の剥離があった。このことから、３５ぴ○〜４５０℃が
特に有効であった。本発明は上述のように熱処理工程を
備えることで、ガラス基板とフィル夕のりバースエッチ
ングにおける変質で分光特性が低下するという従来の問
題点を除去することができる。
第１図ａ〜ｅは従来の光学フィル夕の形成方法を示す工
程図、第２図は本発明での一実施例を行なったときのＩ
Ｊバースエッチングの時間を従来例でのりバースエッチ
ング時間で規格化し、熱処理温度とともに示す図である
。 １・・・・・・ガラス基板、２・・・・・・鋼薄膜、３
・・・・・・レジスト、４……フイルタ。 第１図 第２図
程図、第２図は本発明での一実施例を行なったときのＩ
Ｊバースエッチングの時間を従来例でのりバースエッチ
ング時間で規格化し、熱処理温度とともに示す図である
。 １・・・・・・ガラス基板、２・・・・・・鋼薄膜、３
・・・・・・レジスト、４……フイルタ。 第１図 第２図
Claims (1)
- １ ガラス基板上にストライプ金属パターンを形成する
工程と、前記ガラス基板に真空中もしくは不活性ガス中
で３５０℃〜４５０℃で熱処理を施す工程と、前記スト
ライプ金属および露出したガラス基板上に光学フイルタ
を蒸着する工程と、前記ストライプ金属をエツチングに
より溶解する工程とを具備した光学ストライプフイルタ
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52154018A JPS6018961B2 (ja) | 1977-12-20 | 1977-12-20 | 光学ストライプフイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52154018A JPS6018961B2 (ja) | 1977-12-20 | 1977-12-20 | 光学ストライプフイルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5485741A JPS5485741A (en) | 1979-07-07 |
| JPS6018961B2 true JPS6018961B2 (ja) | 1985-05-14 |
Family
ID=15575100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52154018A Expired JPS6018961B2 (ja) | 1977-12-20 | 1977-12-20 | 光学ストライプフイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6018961B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6270037A (ja) * | 1985-09-25 | 1987-03-31 | 福山パ−ル紙工株式会社 | 耐熱容器成形用の複合シ−ト |
| JPS6442213U (ja) * | 1987-09-04 | 1989-03-14 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59119406U (ja) * | 1983-01-31 | 1984-08-11 | 大日本印刷株式会社 | 着色画像素子 |
-
1977
- 1977-12-20 JP JP52154018A patent/JPS6018961B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6270037A (ja) * | 1985-09-25 | 1987-03-31 | 福山パ−ル紙工株式会社 | 耐熱容器成形用の複合シ−ト |
| JPS6442213U (ja) * | 1987-09-04 | 1989-03-14 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5485741A (en) | 1979-07-07 |
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