JPS60189306A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
- Publication number
- JPS60189306A JPS60189306A JP4400884A JP4400884A JPS60189306A JP S60189306 A JPS60189306 A JP S60189306A JP 4400884 A JP4400884 A JP 4400884A JP 4400884 A JP4400884 A JP 4400884A JP S60189306 A JPS60189306 A JP S60189306A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- width
- acoustic wave
- surface acoustic
- ratio
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、高性能で、しかも小形化した弾性表面波共振
子に関する。
子に関する。
弾性表面波共振子は、従来多年にわたって用いられて来
た水晶振動子に比べて、高周波での基本波発振が可能で
あることから、ＶＴＩ（のＲＦコンバータ等の発振子と
して用いられている。
た水晶振動子に比べて、高周波での基本波発振が可能で
あることから、ＶＴＩ（のＲＦコンバータ等の発振子と
して用いられている。
この弾性表面波共振子としては、圧電体基板上に多対の
くし歯状電極を設けた構成が知られて゛いるが、共振子
として高いＱを得るには電極の対数を多くしなければな
らないため、共振子の寸法が大きくなるという問題かあ
った。 ′電極対数を増さずに高いＱを得るためには、
電極指１本あたりの弾性表面波の反射率を増せ。
くし歯状電極を設けた構成が知られて゛いるが、共振子
として高いＱを得るには電極の対数を多くしなければな
らないため、共振子の寸法が大きくなるという問題かあ
った。 ′電極対数を増さずに高いＱを得るためには、
電極指１本あたりの弾性表面波の反射率を増せ。
ばよい。反射率を増すために、電極の膜厚を厚くして質
量効果によって、電極部分と無電極部分の音響インピー
ダンスの差を大きくする方法１・・が考えられるが、こ
の場合、膜厚が厚いことにより％１′５極の加工が内難
になるため、量産的に問題があった。一方、電極指の（
弾性表面波伝搬方向の）幅を広くすることによっても反
射率を向−ヒさせることが可能であり、この場合、第１
１゜図に示すように、＜シ歯状電極の電極指の幅ＷＭと
電極指間の幅（圧電体基板露出佃すなわち無電極部分の
幅）Ｗｓとの比を１より大きくすることで質量効果を増
し、反射率を向上していた。
量効果によって、電極部分と無電極部分の音響インピー
ダンスの差を大きくする方法１・・が考えられるが、こ
の場合、膜厚が厚いことにより％１′５極の加工が内難
になるため、量産的に問題があった。一方、電極指の（
弾性表面波伝搬方向の）幅を広くすることによっても反
射率を向−ヒさせることが可能であり、この場合、第１
１゜図に示すように、＜シ歯状電極の電極指の幅ＷＭと
電極指間の幅（圧電体基板露出佃すなわち無電極部分の
幅）Ｗｓとの比を１より大きくすることで質量効果を増
し、反射率を向上していた。
ここで、弾性表面波共振子の等価回路を第２図に示す。
共振子の性能の良さは、フイキーア・オブ・メリットＭ
−Ｑ／γで表され、Ｍを犬とするにはＱ＝１／ωＣＩ■
′ＬＩを犬とすると共に、容量比γ＝ＣＯ／Ｃ１を小さ
くすることが必要である。
−Ｑ／γで表され、Ｍを犬とするにはＱ＝１／ωＣＩ■
′ＬＩを犬とすると共に、容量比γ＝ＣＯ／Ｃ１を小さ
くすることが必要である。
しかし、上記の如く反射率を増すために電極指のＩＩＩ
Ｍを広くした構造では、静電容量ＣＯが増大し、γが大
となる欠点があった。
Ｍを広くした構造では、静電容量ＣＯが増大し、γが大
となる欠点があった。
本発明の目的は、＜シ歯状電極の静電容量Ｃ０１・・を
減少させ容量比γを小さくして、特性を改善した弾性表
面波共振子を提供することにある。
減少させ容量比γを小さくして、特性を改善した弾性表
面波共振子を提供することにある。
上記目的を達成するために本発明においては、振動のエ
ネルギーは、＜シ歯状電極の中心部に１゜おいて大きく
、電極端に行くにつれて減少するように分布しているこ
とに着目し、振動エネルギーが大きいくし歯状電極中心
部において電極指の幅ＷＭと電極指間の幅Ｗｓとの比α
−ＷＭ／Ｗｓを大きくシ、電極端に行（に従ってαを小
さく１．、。
ネルギーは、＜シ歯状電極の中心部に１゜おいて大きく
、電極端に行くにつれて減少するように分布しているこ
とに着目し、振動エネルギーが大きいくし歯状電極中心
部において電極指の幅ＷＭと電極指間の幅Ｗｓとの比α
−ＷＭ／Ｗｓを大きくシ、電極端に行（に従ってαを小
さく１．、。
て、このくし歯状電極の静電容量か、全体としては、小
さくなるように構成した。
さくなるように構成した。
第３図は本発明−実施例図である。同図ζこおいて、１
は水晶、ＬｔＴａＯａなどの圧電体基板、２１．・２２
はアルミニウムを材料として作られた互いに交差したく
し歯状電極、２３は電極か又岸した′電極指と呼ばれる
部分である。実際の弾性表面波共振子においては、４０
０本以上の電極指対数を用いるが、ここでは省略して模
式的に図示する６・第３図に示すように、本実施例にお
いては、振動エネルギーの集中するくし歯状電極の中心
で特に大きな反射率か得られるようにαを１以上とし、
電極の両端に向かうに従って小さくして静電容量の増加
を抑え、電極端でαか１とな１゜るように、くシ歯状電
極を構成した。
は水晶、ＬｔＴａＯａなどの圧電体基板、２１．・２２
はアルミニウムを材料として作られた互いに交差したく
し歯状電極、２３は電極か又岸した′電極指と呼ばれる
部分である。実際の弾性表面波共振子においては、４０
０本以上の電極指対数を用いるが、ここでは省略して模
式的に図示する６・第３図に示すように、本実施例にお
いては、振動エネルギーの集中するくし歯状電極の中心
で特に大きな反射率か得られるようにαを１以上とし、
電極の両端に向かうに従って小さくして静電容量の増加
を抑え、電極端でαか１とな１゜るように、くシ歯状電
極を構成した。
上記の如く構成すれば、従来のくし歯状電極全体の電極
指の幅ＷＭと電極指間の幅Ｗｓの比を一様に大きくした
場合と同程度の高いＱか得られ、しかも容量比を１〜２
割程度減少させることか出来るため、弾性表面波共振子
の特性を改善す゛ることが出来る。
指の幅ＷＭと電極指間の幅Ｗｓの比を一様に大きくした
場合と同程度の高いＱか得られ、しかも容量比を１〜２
割程度減少させることか出来るため、弾性表面波共振子
の特性を改善す゛ることが出来る。
以上説明したように本発明によれば、電極指の反射率を
向上できると共に、静電容量を減少□させることによっ
て容量比を改善できるため、性能向上と共に、電極対数
減少により小型化できる。
向上できると共に、静電容量を減少□させることによっ
て容量比を改善できるため、性能向上と共に、電極対数
減少により小型化できる。
第１図は従来の弾性表面波共振子を示す図、１・・第２
図は弾性表面波共振子の等価回路図、第３図は本発明一
実施例の模式的平面図である。 １・・・圧電体基板、 ２１．２２・・・くし歯状１．
極。 ２３・・・電極指。 代理人弁理士 高 橋 明 夫、１、 第 ２ 図 第 ３ 図
図は弾性表面波共振子の等価回路図、第３図は本発明一
実施例の模式的平面図である。 １・・・圧電体基板、 ２１．２２・・・くし歯状１．
極。 ２３・・・電極指。 代理人弁理士 高 橋 明 夫、１、 第 ２ 図 第 ３ 図
Claims (1)
- 圧電体基板の表面に、金属膜よりなる多対のくし歯状電
極を設けた弾性表面波共振子におい□て、弾性表面波伝
搬方向に濁った上記くし歯状ｖＬ極の電極指１本の幅を
ＷＭ、電極指間の圧電体基板露出部分の幅ヲＷＳとした
とき、これらＷＭとＷｓの比が、くシ歯状電極の中心か
ら電極端に近付・くにつれて、次第に小さくなるように
形成した（・・ことｆ％徴とする弾性表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4400884A JPS60189306A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4400884A JPS60189306A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | 弾性表面波共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60189306A true JPS60189306A (ja) | 1985-09-26 |
Family
ID=12679667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4400884A Pending JPS60189306A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60189306A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02250413A (ja) * | 1989-03-23 | 1990-10-08 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
-
1984
- 1984-03-09 JP JP4400884A patent/JPS60189306A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02250413A (ja) * | 1989-03-23 | 1990-10-08 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
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