JPS6018634A - 防振装置 - Google Patents
防振装置Info
- Publication number
- JPS6018634A JPS6018634A JP12566183A JP12566183A JPS6018634A JP S6018634 A JPS6018634 A JP S6018634A JP 12566183 A JP12566183 A JP 12566183A JP 12566183 A JP12566183 A JP 12566183A JP S6018634 A JPS6018634 A JP S6018634A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- liquid chamber
- partition
- partition plate
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F13/00—Units comprising springs of the non-fluid type as well as vibration-dampers, shock-absorbers, or fluid springs
- F16F13/04—Units comprising springs of the non-fluid type as well as vibration-dampers, shock-absorbers, or fluid springs comprising both a plastics spring and a damper, e.g. a friction damper
- F16F13/06—Units comprising springs of the non-fluid type as well as vibration-dampers, shock-absorbers, or fluid springs comprising both a plastics spring and a damper, e.g. a friction damper the damper being a fluid damper, e.g. the plastics spring not forming a part of the wall of the fluid chamber of the damper
- F16F13/08—Units comprising springs of the non-fluid type as well as vibration-dampers, shock-absorbers, or fluid springs comprising both a plastics spring and a damper, e.g. a friction damper the damper being a fluid damper, e.g. the plastics spring not forming a part of the wall of the fluid chamber of the damper the plastics spring forming at least a part of the wall of the fluid chamber of the damper
- F16F13/10—Units comprising springs of the non-fluid type as well as vibration-dampers, shock-absorbers, or fluid springs comprising both a plastics spring and a damper, e.g. a friction damper the damper being a fluid damper, e.g. the plastics spring not forming a part of the wall of the fluid chamber of the damper the plastics spring forming at least a part of the wall of the fluid chamber of the damper the wall being at least in part formed by a flexible membrane or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Arrangement Or Mounting Of Propulsion Units For Vehicles (AREA)
- Combined Devices Of Dampers And Springs (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の利用分野]
本発明は振動源からの振動を減少させるための防振装置
に関する。
に関する。
Iff!l?を技術]
一般的に防振ゴムと呼ばれる防振装置は、−例として自
動車のエンジンマウントに用いられて自動車エンジンの
振動を吸収し車体へ伝達させないようになっている。
動車のエンジンマウントに用いられて自動車エンジンの
振動を吸収し車体へ伝達させないようになっている。
この防振装置として2個の振動減衰液室を設け、振動源
からの振動を一方の液室の縮小力とじて伝達し、この液
室の液体を制限通路を通して他の液室へ移動させる場合
の内部摩擦に基〈抵抗力によって振動を吸収する構成が
提案されている。
からの振動を一方の液室の縮小力とじて伝達し、この液
室の液体を制限通路を通して他の液室へ移動させる場合
の内部摩擦に基〈抵抗力によって振動を吸収する構成が
提案されている。
ところがこの防振装置は制限通路を形成するための仕切
板等が液室の囲壁と干渉する可能性がある。これは特に
エンジンの振動が上下方向のみに限らず左右方向の分力
を有する場合に顕著である。
板等が液室の囲壁と干渉する可能性がある。これは特に
エンジンの振動が上下方向のみに限らず左右方向の分力
を有する場合に顕著である。
[発明の目的]
本発明は上記事実を考慮し、高周波振動をも適切に減衰
させることができ、広範囲の振動減衰が可能で仕切板と
囲壁との干渉がない防振装置を得ることが目的である。
させることができ、広範囲の振動減衰が可能で仕切板と
囲壁との干渉がない防振装置を得ることが目的である。
[発明の構成]
本発明に係る防振装置はゴムまたはゴム状弾性材t′l
の中空成形体より主として形成される吸振主体の中空室
を培基に充当し、この液室をその内部に閉じこめた液体
の流動に対する制限通路を介して相互分離し、この制限
通路に生じる液体流動の粘性抵抗に基く制振機能に併用
して振動の緩衝に供する防振装置であって、振動発生部
と振動受部の一方へ仕切板及び囲壁を取付け、前記仕切
板と囲壁との間に制限通路を形成することにより、エン
ジンが横揺れを生じた場合にも仕切板と囲壁との間隔を
維持するようになっている。
の中空成形体より主として形成される吸振主体の中空室
を培基に充当し、この液室をその内部に閉じこめた液体
の流動に対する制限通路を介して相互分離し、この制限
通路に生じる液体流動の粘性抵抗に基く制振機能に併用
して振動の緩衝に供する防振装置であって、振動発生部
と振動受部の一方へ仕切板及び囲壁を取付け、前記仕切
板と囲壁との間に制限通路を形成することにより、エン
ジンが横揺れを生じた場合にも仕切板と囲壁との間隔を
維持するようになっている。
[発明の実施例]
第1.2図には本発明が適用された防振装置の断面図が
示されている。この防振装置はエンジンマウントとして
用いられ、底板10には中央部へボルト12が固着され
て図示しない車体への取イづ用となっている。
示されている。この防振装置はエンジンマウントとして
用いられ、底板10には中央部へボルト12が固着され
て図示しない車体への取イづ用となっている。
この底板10の外周部には円筒形状の接続板14の下端
部が屈曲してカシメ固着されており、さらに底板10と
接続板14との間には弾性体で形成される下ダイアフラ
ム16の周縁部が挟持されている。底板10の中央部と
下ダイアフラム16との間は空気室18を構成しており
、下ダイアフラム16が空気室18の拡縮方向に変位可
能となっている。
部が屈曲してカシメ固着されており、さらに底板10と
接続板14との間には弾性体で形成される下ダイアフラ
ム16の周縁部が挟持されている。底板10の中央部と
下ダイアフラム16との間は空気室18を構成しており
、下ダイアフラム16が空気室18の拡縮方向に変位可
能となっている。
接続板14の上部には軸心が垂直とされた中空成形体で
あるゴム20の下端部外周が加硫接着されている。この
ゴム20に替えて他の弾性材料を用いることも可能であ
る。
あるゴム20の下端部外周が加硫接着されている。この
ゴム20に替えて他の弾性材料を用いることも可能であ
る。
ゴム20の頂部には頂板22が固着されている。この頂
板22の中央部にはボルト24が固着されて図示しない
エンジンの搭載用となっている。
板22の中央部にはボルト24が固着されて図示しない
エンジンの搭載用となっている。
ゴム20と下ダイアフラム16とによって構成される中
空室は液室26であり、この液室26内へ水等の液体が
充填されている。
空室は液室26であり、この液室26内へ水等の液体が
充填されている。
液室26内には円筒ブラケット28が設けられている。
この円筒ブラケット28は第2図に示される如く頂部2
8Aに貫通孔30を有して液室26内の液体を自由に流
通可能としている。また下端部はフランジ部28Bとさ
れて底板10と接続板14との間に挟持固定されている
。
8Aに貫通孔30を有して液室26内の液体を自由に流
通可能としている。また下端部はフランジ部28Bとさ
れて底板10と接続板14との間に挟持固定されている
。
さらに頂部28Aには軸心部にピン32の一端が固着さ
れており、このピン32の先端部は円筒グラケント28
内へ突出されている。このピン32の先端部には軸方向
に適当な間隔を隔ててつば状ストッパ34.36が突出
されており、ピン32の先端部へ保持される仕切板38
の移動量を制限している。
れており、このピン32の先端部は円筒グラケント28
内へ突出されている。このピン32の先端部には軸方向
に適当な間隔を隔ててつば状ストッパ34.36が突出
されており、ピン32の先端部へ保持される仕切板38
の移動量を制限している。
詳しく説明すると仕切板38は円板形状であり、軸心部
に穿設される円孔40にはピン32が貫通しており、仕
切板38はピン32の軸方向へ移動可能となっている。
に穿設される円孔40にはピン32が貫通しており、仕
切板38はピン32の軸方向へ移動可能となっている。
しかしこの仕りノ板38の移vJMはっは状ストッパ3
4.36間の長さだけとなっている。この仕切板38の
可能移動量を調整することにより、目的とする振幅位置
での動ばね定数の上昇を抑制可能となる。
4.36間の長さだけとなっている。この仕切板38の
可能移動量を調整することにより、目的とする振幅位置
での動ばね定数の上昇を抑制可能となる。
ここに仕切板38は液室26を上液室26Aと下流室2
6Bとに区画している。仕切板38の外周部に対応した
円筒ブラケット28の内周部分は囲壁をm戒しており、
仕切板38との間がM限通路であるオリフィス42とな
っている。従って上液室28Aと下流室28Bとはオリ
フィス42を介して連通されることになる。
6Bとに区画している。仕切板38の外周部に対応した
円筒ブラケット28の内周部分は囲壁をm戒しており、
仕切板38との間がM限通路であるオリフィス42とな
っている。従って上液室28Aと下流室28Bとはオリ
フィス42を介して連通されることになる。
このように構成された本実施例の防振装置では、底板1
0がボルト12を介して自動車の車体へ固着され、頂板
22ヘボルト24によって自動車エンジンを搭載固着す
れば取付けが完了する。
0がボルト12を介して自動車の車体へ固着され、頂板
22ヘボルト24によって自動車エンジンを搭載固着す
れば取付けが完了する。
エンジンの取付けに際しては、エンジンの自重がボルト
24へ作用するので、上液室26Aの圧力が上昇する。
24へ作用するので、上液室26Aの圧力が上昇する。
この圧力はオリフィス42を介して下流室26Bへ伝達
され、空気室18が縮小する。
され、空気室18が縮小する。
エンジンの運転時にはエンジンで生ずる振動が頂板22
を介して伝達される。ゴム20は吸振主体として作用し
、ゴム20の内部摩擦に基づく制振機能によって振動を
吸収することができる。
を介して伝達される。ゴム20は吸振主体として作用し
、ゴム20の内部摩擦に基づく制振機能によって振動を
吸収することができる。
振動の周波数が低い場合には振幅が大きく2仕切板38
はっは状ストッパ34又は36で押圧され、上流室26
Aと下流室26B内の液体はオリフィス42を介して流
通し、流体流動の粘性抵抗に基づく減衰作用で防振効果
を向上する。
はっは状ストッパ34又は36で押圧され、上流室26
Aと下流室26B内の液体はオリフィス42を介して流
通し、流体流動の粘性抵抗に基づく減衰作用で防振効果
を向上する。
またエンジンの振動が例えば50Hz以上の高周波であ
る場合には、振幅が小さいのでオリフィス42は目づま
り状態となる可能性がある。しかしこの場合には仕切板
38がつば状ストッパ34.36間で微小振動すること
により液室26の圧力上昇が防止されて振動が吸収でき
る。仕切板38の比重を液室内液体の比重と同程度とす
ることにより、仕切板38を振動し易くすることができ
る。
る場合には、振幅が小さいのでオリフィス42は目づま
り状態となる可能性がある。しかしこの場合には仕切板
38がつば状ストッパ34.36間で微小振動すること
により液室26の圧力上昇が防止されて振動が吸収でき
る。仕切板38の比重を液室内液体の比重と同程度とす
ることにより、仕切板38を振動し易くすることができ
る。
さらにエンジンが上下方向に限ら、ず、左右方向にも振
動する成分を有している場合には、ポルト24、頂板2
2及びゴム20の上部が左右方向へ振動する。しかし仕
切板38及びこれを取り囲む円筒ブラケット28は共に
底板10へ取付けられているので、水平方向に相対移動
することはなく、これによって仕切板38が円筒ブラケ
ット28へ衝突する不具合を回避することができる。
動する成分を有している場合には、ポルト24、頂板2
2及びゴム20の上部が左右方向へ振動する。しかし仕
切板38及びこれを取り囲む円筒ブラケット28は共に
底板10へ取付けられているので、水平方向に相対移動
することはなく、これによって仕切板38が円筒ブラケ
ット28へ衝突する不具合を回避することができる。
本実施例の如き構造では、仕切板38と円筒ブラケット
28との間のオリフィス42の間隙、及び液室内液体の
粒度を変更することによって、振動減衰量の調整ができ
、減衰のピーク位置を任意の周波数位置とすることがで
きる。
28との間のオリフィス42の間隙、及び液室内液体の
粒度を変更することによって、振動減衰量の調整ができ
、減衰のピーク位置を任意の周波数位置とすることがで
きる。
次に第3図には本発明の第2実施例が示されている。こ
の実施例では前記実施例と同様に上液室26Aと下流室
28Bとの間が円筒ブラケット28及び仕切板38によ
って構成されるオリフィス42を介して分離されている
。
の実施例では前記実施例と同様に上液室26Aと下流室
28Bとの間が円筒ブラケット28及び仕切板38によ
って構成されるオリフィス42を介して分離されている
。
この実施例では底板10の中央部が下方に大きく屈曲さ
れて大きな空気室18が形成されている。また底板10
はその周縁部付近からポル)12が下方へ突出されて車
体への取付部となっている。さらにこの実施例では前記
実施例の接続板14が設けられておらず、底板lOの上
へ接続平板44が固着されており、この接続平板44が
底板lOとの間に下ダイアフラム16及び貫通孔30を
挟持している。この接続平板44上には前記実施例と同
様な役目を有するゴム20が加硫接着されている。
れて大きな空気室18が形成されている。また底板10
はその周縁部付近からポル)12が下方へ突出されて車
体への取付部となっている。さらにこの実施例では前記
実施例の接続板14が設けられておらず、底板lOの上
へ接続平板44が固着されており、この接続平板44が
底板lOとの間に下ダイアフラム16及び貫通孔30を
挟持している。この接続平板44上には前記実施例と同
様な役目を有するゴム20が加硫接着されている。
従ってこの実施例においても前記実施例と同様の効果を
得ることができる。
得ることができる。
次に第4図には本発明の第3実施例が示されている。こ
の実施例では前記第1実施例の仕切板38が円筒ブラケ
ット28の上部へ取イリけられている。すなわちピン3
2は円筒ブラケット28の頂部28Aへ一端が固着され
、先端は頂部28Aかも上方向へ突出している。このピ
ン32の先端部にはっは状ストッパ34.36間へ同様
に仕切板38が移動可能に取付けられている。従ってこ
の実施例の上液室26Aは仕切板38とゴム20の内周
部との間に形成され、下流室26Bは仕切板38と頂部
28Aとの間及び円筒ブラケット28とドダイアフラム
16との間に形成されている。
の実施例では前記第1実施例の仕切板38が円筒ブラケ
ット28の上部へ取イリけられている。すなわちピン3
2は円筒ブラケット28の頂部28Aへ一端が固着され
、先端は頂部28Aかも上方向へ突出している。このピ
ン32の先端部にはっは状ストッパ34.36間へ同様
に仕切板38が移動可能に取付けられている。従ってこ
の実施例の上液室26Aは仕切板38とゴム20の内周
部との間に形成され、下流室26Bは仕切板38と頂部
28Aとの間及び円筒ブラケット28とドダイアフラム
16との間に形成されている。
またこの実施例では仕切板38の外周にはゴム20の接
続板14へ固着された内周面が対応して囲壁を形成し、
仕切板38との間にオリフィス42を設けている。
続板14へ固着された内周面が対応して囲壁を形成し、
仕切板38との間にオリフィス42を設けている。
従ってこの実施例においても前記各実施例と同様の効果
を得ることができる。
を得ることができる。
次に第5図には本発明の第4実施例が示されている。こ
の実施例は第4図に示される第3実施例の変形例である
。すなわちこの実施例では仕切板38がピン32へ相対
移動不能に固着されている。第6図〜第8図に示される
如くこの仕切板38にはvI接して上側へ円板46が固
着されている。この円板46は仕切板38との間にリン
グ状の中空室48を形成している。また円板46及び仕
切板38には同軸的な円孔50.52がそれぞれ複数個
穿設されて、上液室26A及び下流室26Bと中空室4
8とを連通している。
の実施例は第4図に示される第3実施例の変形例である
。すなわちこの実施例では仕切板38がピン32へ相対
移動不能に固着されている。第6図〜第8図に示される
如くこの仕切板38にはvI接して上側へ円板46が固
着されている。この円板46は仕切板38との間にリン
グ状の中空室48を形成している。また円板46及び仕
切板38には同軸的な円孔50.52がそれぞれ複数個
穿設されて、上液室26A及び下流室26Bと中空室4
8とを連通している。
さらに中空室48内には弾性膜54が挿入されて中空室
48内で移動可能となっている。
48内で移動可能となっている。
このような構造とされた本実施例では、低周波振動時に
弾性膜54が円孔52を閉止するため、オリフィス42
のみによって上液室26Aと下流室28Bとが連通され
て液体の流動抵抗で振動が吸収される。また高周波振動
時にはオリフィス42が目づまり状態となるが、弾性1
tA54が中空室48内で振動して減衰吸収されるので
、ばね定数が」二がることはない。またこの実施例にお
いても仕切板38と囲壁を構成するゴム20の下端は共
t:底itoへ取り付けられているのでエンジンの横揺
れ成分が生した場合にも仕切板38はゴム20と衝突す
ることはない。
弾性膜54が円孔52を閉止するため、オリフィス42
のみによって上液室26Aと下流室28Bとが連通され
て液体の流動抵抗で振動が吸収される。また高周波振動
時にはオリフィス42が目づまり状態となるが、弾性1
tA54が中空室48内で振動して減衰吸収されるので
、ばね定数が」二がることはない。またこの実施例にお
いても仕切板38と囲壁を構成するゴム20の下端は共
t:底itoへ取り付けられているのでエンジンの横揺
れ成分が生した場合にも仕切板38はゴム20と衝突す
ることはない。
次に第9図から第11図には本発明の第5実施例が示さ
れている。この実施例では前記第4実施例の円筒ブラケ
ット28へはその頂部28Aへさらに円筒プラケント5
6が固着されている。この円筒ブラケット56はその下
端部が頂部28Aへ固着されており、その頂板56Aに
は中央部に貫通孔58が穿設されている。
れている。この実施例では前記第4実施例の円筒ブラケ
ット28へはその頂部28Aへさらに円筒プラケント5
6が固着されている。この円筒ブラケット56はその下
端部が頂部28Aへ固着されており、その頂板56Aに
は中央部に貫通孔58が穿設されている。
これによって円筒ブラケット56は頂部28Aとの間に
仕切板38、円板46を取り囲む中空室を形成している
にの実施例では仕切板38及び円板4Gの外周が囲壁を
構成する円筒ブラケット56の内周と対応してオリフィ
ス42を形成している。特にこの実施例ではJR部28
A及び頂板56Aがテーパー形状とされており、項tA
2 s Aと仕切板3Bとの間もオリフィスを構成し
ており〔面オリフィス〕、これらの間の流体流通断面積
及び円板46と頂板56Aとの間の断面積が一定となっ
ており、オリフィス42の長さが等断面積で且つ長くな
って振動減衰効果を向上している。
仕切板38、円板46を取り囲む中空室を形成している
にの実施例では仕切板38及び円板4Gの外周が囲壁を
構成する円筒ブラケット56の内周と対応してオリフィ
ス42を形成している。特にこの実施例ではJR部28
A及び頂板56Aがテーパー形状とされており、項tA
2 s Aと仕切板3Bとの間もオリフィスを構成し
ており〔面オリフィス〕、これらの間の流体流通断面積
及び円板46と頂板56Aとの間の断面積が一定となっ
ており、オリフィス42の長さが等断面積で且つ長くな
って振動減衰効果を向上している。
この実施例においても前記各実施例と同様に広い周波数
に渡って振動を吸収することができ、またエンジンの横
揺れ時にも仕切板38と円筒ブラケット56とが相対移
動して衝突することはない。
に渡って振動を吸収することができ、またエンジンの横
揺れ時にも仕切板38と円筒ブラケット56とが相対移
動して衝突することはない。
なお上記各実施例においては仕切板38の外周とこれに
対応する囲壁とを共に底板lo、接続板14等の如く車
体への取付部へ形成したが、逆にこれらを共に頂板22
等の如くエンジンへの取4=J部に取付けることも可能
である。
対応する囲壁とを共に底板lo、接続板14等の如く車
体への取付部へ形成したが、逆にこれらを共に頂板22
等の如くエンジンへの取4=J部に取付けることも可能
である。
[発明の効果]
以上説明した如く本発明に係る防振装置では振動発生部
と振動受部の一方へ仕切板及び囲壁を取付けて制限通路
を形成するのでエンジンの横揺れ成分を受けた場合にも
仕切板と囲壁とが衝突することがなく、的確に振動を吸
収することができる。
と振動受部の一方へ仕切板及び囲壁を取付けて制限通路
を形成するのでエンジンの横揺れ成分を受けた場合にも
仕切板と囲壁とが衝突することがなく、的確に振動を吸
収することができる。
第1図は本発明に係る防振装置の第I実施例を示す縦断
面図、第2図はff11図の一部を示す分解剰視図、第
3図から第5図は本発明のf52実施例から第4実施例
を示す第1図に相当する断面図、ff16図は第5図の
円板を示す平面図、第7図は第5図の一部拡大図、第8
図は第5図の一部を示す分IW剰視図、159図は本発
明のt55実施例を示すt51図に相当する断面図、第
10図は第9図の円筒ブラケット及びその内部構造を示
す平面図、第11図は第9図の一部拡大図である。 20・・會ゴム、 26・−e液室 28・・・円筒ブラケット。 38φ・・仕切板、 42拳。・オリフィス46・・・
円板、 56・暢・円筒プラヶッ代理人 弁理士 中高
淳 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図 第8図 第9図
面図、第2図はff11図の一部を示す分解剰視図、第
3図から第5図は本発明のf52実施例から第4実施例
を示す第1図に相当する断面図、ff16図は第5図の
円板を示す平面図、第7図は第5図の一部拡大図、第8
図は第5図の一部を示す分IW剰視図、159図は本発
明のt55実施例を示すt51図に相当する断面図、第
10図は第9図の円筒ブラケット及びその内部構造を示
す平面図、第11図は第9図の一部拡大図である。 20・・會ゴム、 26・−e液室 28・・・円筒ブラケット。 38φ・・仕切板、 42拳。・オリフィス46・・・
円板、 56・暢・円筒プラヶッ代理人 弁理士 中高
淳 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図 第8図 第9図
Claims (1)
- (1) 振動発生部と振動受部との間へ介在され、弾性
材料の中空成形体から主としてなる吸振主体の中空室を
液室に充当し、この液室をその内部に閉しこめた液体の
流動に対する制限通路を介して相互分離し、この制限通
路に生じる液体流動の粘性抵抗に基〈減衰作用を、吸振
主体の主として内部摩擦に基づく制振機能に併用して振
動の緩衝に供する防振装置において、前記振動発生部と
振動受部の一方へ仕切板及び囲壁を取付け、前記仕切板
と囲壁との間に前記制限通路が形成されることを特徴と
した防振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12566183A JPS6018634A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 防振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12566183A JPS6018634A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 防振装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6018634A true JPS6018634A (ja) | 1985-01-30 |
Family
ID=14915522
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12566183A Pending JPS6018634A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 防振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6018634A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3823073A1 (de) * | 1987-07-07 | 1989-01-19 | Honda Motor Co Ltd | Lager |
US5196173A (en) * | 1988-10-13 | 1993-03-23 | Mitsubishi Materials Corporation | Apparatus for process for growing crystals of semiconductor materials |
-
1983
- 1983-07-11 JP JP12566183A patent/JPS6018634A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3823073A1 (de) * | 1987-07-07 | 1989-01-19 | Honda Motor Co Ltd | Lager |
US5196173A (en) * | 1988-10-13 | 1993-03-23 | Mitsubishi Materials Corporation | Apparatus for process for growing crystals of semiconductor materials |
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