JPS60176983A - 被覆黒鉛部品 - Google Patents
被覆黒鉛部品Info
- Publication number
- JPS60176983A JPS60176983A JP3208084A JP3208084A JPS60176983A JP S60176983 A JPS60176983 A JP S60176983A JP 3208084 A JP3208084 A JP 3208084A JP 3208084 A JP3208084 A JP 3208084A JP S60176983 A JPS60176983 A JP S60176983A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- graphite
- coated
- coated graphite
- powder
- parts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ルツボ、ヒーター、その他の用途として高温
で使用される黒鉛部品に関し、特に耐熱セラミックスで
被覆した黒鉛部品に関するものである。
で使用される黒鉛部品に関し、特に耐熱セラミックスで
被覆した黒鉛部品に関するものである。
黒鉛は耐熱性に優れるため高温用部材として広く利用さ
れている。しかしながら、黒鉛は高温において酸化反応
を生ずるため、真空中またはＡｒ若しくはＮ２ガス中で
使用されるのが一般的である。
れている。しかしながら、黒鉛は高温において酸化反応
を生ずるため、真空中またはＡｒ若しくはＮ２ガス中で
使用されるのが一般的である。
どころで最近注目されているセラミックスとして、窒化
珪素、サイアロン等の窒化物セラミックスがあるが、こ
れら窒化物セラミックスの焼結にはもっばら黒鉛ヒータ
を用いた炉や黒鉛ルツボが使用されている。しかしなが
ら、これら窒化物セラミックスの焼結においては、焼結
体もしくは詰粉より生成するガスのため、黒鉛ヒータお
よび黒鉛ルツボが著しく損傷を受けるという問題がある
。
珪素、サイアロン等の窒化物セラミックスがあるが、こ
れら窒化物セラミックスの焼結にはもっばら黒鉛ヒータ
を用いた炉や黒鉛ルツボが使用されている。しかしなが
ら、これら窒化物セラミックスの焼結においては、焼結
体もしくは詰粉より生成するガスのため、黒鉛ヒータお
よび黒鉛ルツボが著しく損傷を受けるという問題がある
。
この損傷を軽減するために、本発明者等は種々検討した
結果、ホラミープレス用の黒鉛型の場合には、黒鉛型と
プレス体との反応参を防１１−シ、黒鉛型からプレス体
を剥離し易く覆るために、離型材どじでＢＮ粉を黒鉛型
に塗布する方法が採用されＣいることに看目し、ＢＮ粉
末をスプレー法等で被覆する方法を発明し、試験検討を
加えた。イの結果、このような塗布法では一応の成果は
見られるものの、皮膜に通気性があること、又、密着性
がないために剥離しやすいこと等の欠点があり、明袖さ
れた効果が必ずしも得られないことが判明した。
結果、ホラミープレス用の黒鉛型の場合には、黒鉛型と
プレス体との反応参を防１１−シ、黒鉛型からプレス体
を剥離し易く覆るために、離型材どじでＢＮ粉を黒鉛型
に塗布する方法が採用されＣいることに看目し、ＢＮ粉
末をスプレー法等で被覆する方法を発明し、試験検討を
加えた。イの結果、このような塗布法では一応の成果は
見られるものの、皮膜に通気性があること、又、密着性
がないために剥離しやすいこと等の欠点があり、明袖さ
れた効果が必ずしも得られないことが判明した。
このため、より優れた特性を有する黒鉛部品の出現が要
望されている３゜ 本発明は、−１−記要求にズ・１処づるためになされた
しのであり、通気性が無く、かつ密着性に優れた皮膜を
有す−る極めて長寿命の黒ｉ９部品を提供することを目
的とする、１ −１−記目的を達成するために本光明は、黒鉛部品の表
面に化学気相析出法（以下ＣＶＤ法という）により形成
されたＢＮＮ皮膜を設けたことを特徴とするものである
。
望されている３゜ 本発明は、−１−記要求にズ・１処づるためになされた
しのであり、通気性が無く、かつ密着性に優れた皮膜を
有す−る極めて長寿命の黒ｉ９部品を提供することを目
的とする、１ −１−記目的を達成するために本光明は、黒鉛部品の表
面に化学気相析出法（以下ＣＶＤ法という）により形成
されたＢＮＮ皮膜を設けたことを特徴とするものである
。
本発明において、皮膜をＢＮとしたのは、高）品におい
ても黒鉛との反応がなく、安定なセラミ・ンクス皮膜が
形成できたためである。
ても黒鉛との反応がなく、安定なセラミ・ンクス皮膜が
形成できたためである。
また、ＣＶＤ法は約１０００°Ｃ以上の高温でセラミッ
クスを合成する方法どして知られているものであり、該
方法により形成された皮膜は密着性があり、かつ気孔の
ない高密度の皮膜が得られるという利点がある。
クスを合成する方法どして知られているものであり、該
方法により形成された皮膜は密着性があり、かつ気孔の
ない高密度の皮膜が得られるという利点がある。
我々は、ＣＶＤ法の係る特徴を活かし、黒鉛上へのＢＮ
コーディングを検討した結果、十分効果が期待しうろこ
とが判り本発明を完成したものである。本発明において
、黒鉛上へのコーディングされた皮膜の効果的な厚さは
０．ＯＯ１ｍｎ＋以トである。
コーディングを検討した結果、十分効果が期待しうろこ
とが判り本発明を完成したものである。本発明において
、黒鉛上へのコーディングされた皮膜の効果的な厚さは
０．ＯＯ１ｍｎ＋以トである。
０．００１ｍｍ未満では、ＢＮ皮膜に欠陥が生じ下地の
黒鉛の雰囲気により損傷防１−は完全ではない。また、
本発明において、ｆ３ Ｎコーディングは厚くなっても
黒鉛上に安定に形成されるが、熱膨張率の差により、繰
返し高温で使用されると剥離が生じるため１ｍｍが上限
である。さらにＣＶ Ｄ法によれば、純粋なガス反応に
よるセラミックスが生成されるため、耐熱性に優れ、ス
プレー法等のように不純物の影響がないことも利点であ
る。
黒鉛の雰囲気により損傷防１−は完全ではない。また、
本発明において、ｆ３ Ｎコーディングは厚くなっても
黒鉛上に安定に形成されるが、熱膨張率の差により、繰
返し高温で使用されると剥離が生じるため１ｍｍが上限
である。さらにＣＶ Ｄ法によれば、純粋なガス反応に
よるセラミックスが生成されるため、耐熱性に優れ、ス
プレー法等のように不純物の影響がないことも利点であ
る。
以下、本発明を実施例に基づいて、より説明する。
実施例１
黒鉛と−タ試験片として５ｍｎ１Ｘ ２０ｍｍＸ ５０
ｍｍをつくり、表面をエメリー研磨紙で平滑にした。こ
の黒鉛試験片−Ｌに、ＣＶＤ法によりＢＮ被覆を行った
。ＣＶＤ条件は、高周波加熱方式により１８００’Ｃに
加熱し、反応ガスとしてＢＣｌ３．ＮＨ３を用い、キャ
リアカスどして１１２を用いた。流口は、Ｆ３ Ｃｌ
３ １０ＣＣ／’ｌ１ｌｌｎ 、 Ｎ Ｈ３５０ＣＣ７
’ｌｌｌ！１１ 、 ト１２５００ＣＣ／’ ｍ ！
ｎとし、真空ポンプの１１１気によりガス圧を５０丁ｏ
ｒｒに一定に保った。１時間の反応により試験片、ｌ−
に密着性があり、かつ気孔の全くないＢ Ｎ ｈ＜ ０
．Ｏ５ｎ１ｍ生成した。第１図は、得られたＢＮ皮膜の
断面を示ず顕微鏡写真である。一方、比較のためスプレ
ー法によりＢＮ粉末を０．２〜０．３ｍｍ厚さＣコーデ
ィングした試験片をつくった。
ｍｍをつくり、表面をエメリー研磨紙で平滑にした。こ
の黒鉛試験片−Ｌに、ＣＶＤ法によりＢＮ被覆を行った
。ＣＶＤ条件は、高周波加熱方式により１８００’Ｃに
加熱し、反応ガスとしてＢＣｌ３．ＮＨ３を用い、キャ
リアカスどして１１２を用いた。流口は、Ｆ３ Ｃｌ
３ １０ＣＣ／’ｌ１ｌｌｎ 、 Ｎ Ｈ３５０ＣＣ７
’ｌｌｌ！１１ 、 ト１２５００ＣＣ／’ ｍ ！
ｎとし、真空ポンプの１１１気によりガス圧を５０丁ｏ
ｒｒに一定に保った。１時間の反応により試験片、ｌ−
に密着性があり、かつ気孔の全くないＢ Ｎ ｈ＜ ０
．Ｏ５ｎ１ｍ生成した。第１図は、得られたＢＮ皮膜の
断面を示ず顕微鏡写真である。一方、比較のためスプレ
ー法によりＢＮ粉末を０．２〜０．３ｍｍ厚さＣコーデ
ィングした試験片をつくった。
上記試験片を実際の窒化珪素焼結条件下におき、被覆の
効果を調べた。第２図は試験に用いたルツボおよび試験
片の置き方の説明図である。即ち、黒１））製のルツボ
１の中に、窒化珪素焼結用の詰粉どじてＳ！ 、Ｎ４本
５）と１３Ｎ寧５）を３二１に混合しＩこ粉末３を入れ
、黒１；）の蓋２をおいた。この益の１−に１記２秤類
のＢＮ被覆試験片および被覆しない黒１１）試験片４を
７１５さ、１気圧のＮ２力ス中１８００℃で１０時間保
持した。
効果を調べた。第２図は試験に用いたルツボおよび試験
片の置き方の説明図である。即ち、黒１））製のルツボ
１の中に、窒化珪素焼結用の詰粉どじてＳ！ 、Ｎ４本
５）と１３Ｎ寧５）を３二１に混合しＩこ粉末３を入れ
、黒１；）の蓋２をおいた。この益の１−に１記２秤類
のＢＮ被覆試験片および被覆しない黒１１）試験片４を
７１５さ、１気圧のＮ２力ス中１８００℃で１０時間保
持した。
テスト後の試験片の状態を調へた結果を第１表に示刀。
被覆しない黒鉛は、表面に（１，５ｍ ｌｌｌ程度の気
孔４有する凹凸ある状態になっていた。一方、ＢＮとス
プレーコーチ゛イングＩ）た黒鉛は、−１記のごとき気
孔はみられなかったが、表面はアスト前に比べて粗くな
っていた。さらにＢ Ｎが部分的に剥渾１した部分では
、亡はり気孔を伴なう凹凸が生じていた。
孔４有する凹凸ある状態になっていた。一方、ＢＮとス
プレーコーチ゛イングＩ）た黒鉛は、−１記のごとき気
孔はみられなかったが、表面はアスト前に比べて粗くな
っていた。さらにＢ Ｎが部分的に剥渾１した部分では
、亡はり気孔を伴なう凹凸が生じていた。
ＣＶＤで１３ Ｎ召−被覆した黒２１１は、アスト後も
何ら表面状態に変化は見られず、剥離も生じなかった。
何ら表面状態に変化は見られず、剥離も生じなかった。
以”土説明した如く、本発明ににる黒鉛部品は、高温で
使用する黒鉛部品、特に窒化■↑素焼結のような反応性
雰囲気で使用されるルツボ、ヒーター等の黒鉛部品に有
効で゛あることが判った。待にＣＶ Ｄ ＞１、による
ＢＮ被覆を施した本発明品は、従来採用されている［３
Ｎ粉末スプレーコーテイングよりも剥離がなく、完全な
保護皮膜であり、黒鉛ヒータやルツボに適用づることに
より、これら高価な部品の長寿命化が約束され、生産コ
ストの大幅な低減が可能である。
使用する黒鉛部品、特に窒化■↑素焼結のような反応性
雰囲気で使用されるルツボ、ヒーター等の黒鉛部品に有
効で゛あることが判った。待にＣＶ Ｄ ＞１、による
ＢＮ被覆を施した本発明品は、従来採用されている［３
Ｎ粉末スプレーコーテイングよりも剥離がなく、完全な
保護皮膜であり、黒鉛ヒータやルツボに適用づることに
より、これら高価な部品の長寿命化が約束され、生産コ
ストの大幅な低減が可能である。
／
合図は本発明の効果をテス１へ覆るための方法を示す説
明図である。 １：黒鉛ルツボ、２：黒ｉ；）盈、ｒ３：Ｓｉ３Ｎ４粉
どＢＮ粉の混合粉末、４；黒鉛試験片 第 ７ 図 手続ネＦｌｉ 、＋、Ｅ書 事件の表示 昭和５９年 特許願 第３２０８０号 発明の名称 被覆黒鉛部品 補正をＪる省 事件どの関係 特許出願人 住所 東京都千代田区丸ノ内二丁Ｌｔ １番２号名称
（５０８）日立金属株式会社 代表者 河 野 典 夫 代理人 住所 東京都千代ｆｌ−１区丸の内−丁１１番２号日
亡 金 屈 株 式 会 社 内 補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄。 補正の内容
明図である。 １：黒鉛ルツボ、２：黒ｉ；）盈、ｒ３：Ｓｉ３Ｎ４粉
どＢＮ粉の混合粉末、４；黒鉛試験片 第 ７ 図 手続ネＦｌｉ 、＋、Ｅ書 事件の表示 昭和５９年 特許願 第３２０８０号 発明の名称 被覆黒鉛部品 補正をＪる省 事件どの関係 特許出願人 住所 東京都千代田区丸ノ内二丁Ｌｔ １番２号名称
（５０８）日立金属株式会社 代表者 河 野 典 夫 代理人 住所 東京都千代ｆｌ−１区丸の内−丁１１番２号日
亡 金 屈 株 式 会 社 内 補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄。 補正の内容
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、黒鉛部品の表面に化学気相析出法（以下ＣＶＤ法と
いう）により形成されたＢＮ皮膜を設【プたことを特徴
とする被覆黒鉛部品。 ２、上記皮膜の厚さが０．００１〜１ｍｍであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の被覆黒鉛部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3208084A JPS60176983A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | 被覆黒鉛部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3208084A JPS60176983A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | 被覆黒鉛部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60176983A true JPS60176983A (ja) | 1985-09-11 |
Family
ID=12348898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3208084A Pending JPS60176983A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | 被覆黒鉛部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60176983A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02164783A (ja) * | 1988-12-15 | 1990-06-25 | Hitachi Chem Co Ltd | ＳｉＣ黒鉛複合材の製造法 |
| JPH02212381A (ja) * | 1989-02-13 | 1990-08-23 | Suzuki Motor Co Ltd | セラミックスの超塑性加工法 |
-
1984
- 1984-02-22 JP JP3208084A patent/JPS60176983A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02164783A (ja) * | 1988-12-15 | 1990-06-25 | Hitachi Chem Co Ltd | ＳｉＣ黒鉛複合材の製造法 |
| JPH02212381A (ja) * | 1989-02-13 | 1990-08-23 | Suzuki Motor Co Ltd | セラミックスの超塑性加工法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5934156B2 (ja) | アルミナ被覆した窒化アルミニウム焼結体 | |
| US4717693A (en) | Process for producing beta silicon nitride fibers | |
| JPS6272583A (ja) | 高温構造部材用炭化珪素焼結部材 | |
| JPS60176983A (ja) | 被覆黒鉛部品 | |
| JP3481717B2 (ja) | 静電吸着機能を有するウエハ加熱装置 | |
| Morisada et al. | A New Water‐Resistant Coating for AlN Powders | |
| JPH03146470A (ja) | 炭化ケイ素質材料 | |
| JPS60118685A (ja) | 窒化珪素被覆黒鉛質耐火物の製造方法 | |
| JPS6225635B2 (ja) | ||
| JPS6128626B2 (ja) | ||
| JPS60200877A (ja) | 金属化合物被膜の形成方法 | |
| JPH03288639A (ja) | 断熱材 | |
| JP2948357B2 (ja) | 複層セラミックスヒ−タ− | |
| JPH0232233B2 (ja) | ||
| JPH02221364A (ja) | 非酸化物セラミックスコーティング材料 | |
| WO1994013853A1 (en) | Metal nitride coated substrates | |
| JP2000119081A (ja) | 多層構造を形成した炭素系材料及びその製造方法 | |
| JPH027000B2 (ja) | ||
| JP2000273632A (ja) | 化学気相蒸着法により反りの無いフラットなセラミックバルク材料を製造する方法 | |
| JPS6033361A (ja) | セラミツクス・金属接合体の製造方法 | |
| JPS6272582A (ja) | 高温構造部材用窒化珪素焼結部材 | |
| JPH0859373A (ja) | 炭素材料の酸化防止被覆方法 | |
| JPH03211046A (ja) | 窒化アルミニウムセラミックス焼成用セッター | |
| JPS58213686A (ja) | 窒化けい素コーティング膜を有する溶融シリカ質焼結体の製造方法 | |
| JPH04342478A (ja) | セラミックスピストンヘッドおよびその製造方法 |