JPS6017501A - プロセス制御装置のシ−ケンス制御方式 - Google Patents
プロセス制御装置のシ−ケンス制御方式Info
- Publication number
- JPS6017501A JPS6017501A JP58124405A JP12440583A JPS6017501A JP S6017501 A JPS6017501 A JP S6017501A JP 58124405 A JP58124405 A JP 58124405A JP 12440583 A JP12440583 A JP 12440583A JP S6017501 A JPS6017501 A JP S6017501A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- control
- controlling
- controlling unit
- abnormality
- control unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
- G05B23/0267—Fault communication, e.g. human machine interface [HMI]
- G05B23/0272—Presentation of monitored results, e.g. selection of status reports to be displayed; Filtering information to the user
-
- G—PHYSICS
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- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
- G05B23/0283—Predictive maintenance, e.g. involving the monitoring of a system and, based on the monitoring results, taking decisions on the maintenance schedule of the monitored system; Estimating remaining useful life [RUL]
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- Safety Devices In Control Systems (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は半導体製造等に用いられるプロセス制御装置の
シーケンス制御方式に関する。
シーケンス制御方式に関する。
例えば半導体製造装置のシーケンス制御途中に、自己診
断機能により制御異常が発生し７、その対応に電源を遮
断しての保守、保全作業が必要となった場合は、プロセ
ス制御装置全体の電源ケ遮断するのが一般的である。上
記シーケンス制御途中に制（１１１＋異常が発生し、そ
の対応に電源を遮断しての保守、保全作業が必要となる
場合とは、センサ、スイッチ、モータ、ソレノイドの入
出力関係の部品交換が主であり、その交換作業時間は早
ければ５分間、長くても３０分以内である。また半導体
製造装置のなかでも、ウェハプロセスに絡む半導体製造
装置はその製造プロセス上、製品投入からアウトプット
されるまでに数時間必要とするものもあり、その間のシ
ーケンス制御も時間管理を行なっていることも少くない
。また複数のＩＭ、造プロセスを連続処理する半導体製
造装置−〇、製品投入時に後工程の製造プロセス処理条
件□を各種記憶している。
断機能により制御異常が発生し７、その対応に電源を遮
断しての保守、保全作業が必要となった場合は、プロセ
ス制御装置全体の電源ケ遮断するのが一般的である。上
記シーケンス制御途中に制（１１１＋異常が発生し、そ
の対応に電源を遮断しての保守、保全作業が必要となる
場合とは、センサ、スイッチ、モータ、ソレノイドの入
出力関係の部品交換が主であり、その交換作業時間は早
ければ５分間、長くても３０分以内である。また半導体
製造装置のなかでも、ウェハプロセスに絡む半導体製造
装置はその製造プロセス上、製品投入からアウトプット
されるまでに数時間必要とするものもあり、その間のシ
ーケンス制御も時間管理を行なっていることも少くない
。また複数のＩＭ、造プロセスを連続処理する半導体製
造装置−〇、製品投入時に後工程の製造プロセス処理条
件□を各種記憶している。
このような製造プロセス形態をもつ半導体製造装置にお
いてシーケンス制御途中に制御異常が発生し、その対応
に電源を遮断し７ての保守、保全作業が必要となること
は、現在処理中の製品が全て処理のやり直しになること
であり、そのロスは、異常発生までの処理時間、やり直
しに要する時間、前後工程への影響等を考えれば、非常
に大きなものとなる。
いてシーケンス制御途中に制御異常が発生し、その対応
に電源を遮断し７ての保守、保全作業が必要となること
は、現在処理中の製品が全て処理のやり直しになること
であり、そのロスは、異常発生までの処理時間、やり直
しに要する時間、前後工程への影響等を考えれば、非常
に大きなものとなる。
シーケンス制御途中に制御異常が発生し、その対応に電
源を遮断しての保守、保全作業が必要な場合、従来はプ
ロセス制御装置単位で電源遮断を行なっていたものを、
本発明ではシーケンス制御上独立した制御ユニット単位
ユニット毎に用意される電源制御機構により、制御異常
の発生要因に応じて必要最少限度の制御ユニット単位で
電源の遮断を行ない、保守、保全作業を行なう。その間
他の制御ユニットは許容される範囲内で処理を継続し、
保守、保全作業後に制御異常の発生した制御ユニットを
含んでの処理を行なう。これにより保守、保全作業によ
る処理中止を回避できるプロセス制御装置のシーケンス
制御方式を提供しようとするものである。
源を遮断しての保守、保全作業が必要な場合、従来はプ
ロセス制御装置単位で電源遮断を行なっていたものを、
本発明ではシーケンス制御上独立した制御ユニット単位
ユニット毎に用意される電源制御機構により、制御異常
の発生要因に応じて必要最少限度の制御ユニット単位で
電源の遮断を行ない、保守、保全作業を行なう。その間
他の制御ユニットは許容される範囲内で処理を継続し、
保守、保全作業後に制御異常の発生した制御ユニットを
含んでの処理を行なう。これにより保守、保全作業によ
る処理中止を回避できるプロセス制御装置のシーケンス
制御方式を提供しようとするものである。
本発明は、プロセス制御装置のシーケンス制御形態上独
立して制御可能な入出力制御機能を複数個の制御ユニッ
トとして分割し、制御ユニット単位で入出力制御用電源
のスイッチ機能をもたせ、各種自己診断機能の中の一つ
であるシーケンス制御中の診断機能により、異常発生制
御ユニットの入出力制御用電源のスイッチを遮断し、制
御ユニット単位の保守、保全作４を可能としたものであ
る。
立して制御可能な入出力制御機能を複数個の制御ユニッ
トとして分割し、制御ユニット単位で入出力制御用電源
のスイッチ機能をもたせ、各種自己診断機能の中の一つ
であるシーケンス制御中の診断機能により、異常発生制
御ユニットの入出力制御用電源のスイッチを遮断し、制
御ユニット単位の保守、保全作４を可能としたものであ
る。
以下図面を参照して本発明の一実施ダｊを説明する。第
１図においてｌＯはプロセス制御装置１１のシーケンス
制御の核となるマスク制御ユニット、：ｌＯ，３０，４
０，５０はシーケンス制御の入出力制御を行なう制御ユ
ニットである。
１図においてｌＯはプロセス制御装置１１のシーケンス
制御の核となるマスク制御ユニット、：ｌＯ，３０，４
０，５０はシーケンス制御の入出力制御を行なう制御ユ
ニットである。
２１．３１．４１，５１Ｊｄ’マスタ制御ユニツトと各
制御ユニット間の情報伝達を行なう゛制御ユニットイン
ターフェースである。１２はアドレスライン、１３はデ
ータライン、１４はコントロールラインである。
制御ユニット間の情報伝達を行なう゛制御ユニットイン
ターフェースである。１２はアドレスライン、１３はデ
ータライン、１４はコントロールラインである。
第２図は制御ユニットインターフェースの基本回路図で
、２１１はマスク制御ユニット１０からの信号により、
制御ユニットに必要な信号をつくり出すセレクタ回路で
ある。２Ｚ２゜２１３は制御ユニットへの出力信号を取
り出すラッチ回路である。２１４，２１５は出力信号を
アイソレーションして制御ユニットへ伝達す“ るカプ
ラ回路である。２１６，２１７は制御ユニットからの人
出信号をアイソレーションしているカプラ回路である。
、２１１はマスク制御ユニット１０からの信号により、
制御ユニットに必要な信号をつくり出すセレクタ回路で
ある。２Ｚ２゜２１３は制御ユニットへの出力信号を取
り出すラッチ回路である。２１４，２１５は出力信号を
アイソレーションして制御ユニットへ伝達す“ るカプ
ラ回路である。２１６，２１７は制御ユニットからの人
出信号をアイソレーションしているカプラ回路である。
２１８，２１９はアイソレーション後の入力信号をラッ
チしてデータライン上へのせるバッファトライバである
。
チしてデータライン上へのせるバッファトライバである
。
２１０はマスク制御ユニットｌＯによる自己診断結果に
よって電源スィッチがオンまたはオフ起動される電源制
御機構である。
よって電源スィッチがオンまたはオフ起動される電源制
御機構である。
上記のような構成の動作を第３図のタイミングチャート
を用いて説明する。シーケンス制御途中の自己診断方法
としては各種の方法がある。
を用いて説明する。シーケンス制御途中の自己診断方法
としては各種の方法がある。
マスク制御ユニット１０で採用している方法は、動作時
間制限による制御異常検知としている。
間制限による制御異常検知としている。
その−列を脱骨すれば、成る物体をＡ点からＢ点に移動
させる場合、正常な場合は５秒間でＢ点へいたるものが
、１０秒たっても到らない場合に制御異常と判定するも
のであるが、現象から即原因が分らぬため・により詳細
な分析が必要になってくる。そのためにはＡ点、Ｂ点の
位置検出センサ、物体の検出センサ、移動機構の機能を
計算に入れた診断機能とする。診断結果の表示機能とし
ては、一般的には液晶またはＬＥＤ（発光ダイオード）
のキャラクタディスプレイ、ビデオモニタ、ＣＲＴ（陰
極線管）等がある。
させる場合、正常な場合は５秒間でＢ点へいたるものが
、１０秒たっても到らない場合に制御異常と判定するも
のであるが、現象から即原因が分らぬため・により詳細
な分析が必要になってくる。そのためにはＡ点、Ｂ点の
位置検出センサ、物体の検出センサ、移動機構の機能を
計算に入れた診断機能とする。診断結果の表示機能とし
ては、一般的には液晶またはＬＥＤ（発光ダイオード）
のキャラクタディスプレイ、ビデオモニタ、ＣＲＴ（陰
極線管）等がある。
マスク制御ユニットｌＯは、ここでは１６桁ＬＫＤキャ
ラクタディスプレイを採用し、診断結果をＢ点位置検出
センサネ良という具合に個有名称にて表示させる。この
表示と同時にマスク制御ユニットＩＯは、制御異常発生
要因を含む制御ユニット例えば２０に対応する制御ユニ
ットインターフェース２１に対して電源遮断信号ＡＢ２
０を送出する。制御ユニットインターフエ・−ス２１は
＠源制御機構２１０の動作により、制御ユニット２０へ
供給し−Ｃいる入出力用電源を遮断してしまワ１．その
場合制御６ユニツトインターノエース２１の入出力カブ
ラ回路２１４〜２１７０制御ユニット側の電源も同時に
遮断される。この電源遮断により、制御ユニット２０に
対しての保守、保全作業はあらゆる方法を用いて行なえ
る。保守、保全作業終了ののち、オペレータの判断によ
り再スタート要求信号５Ｒ２０がマスク制御ユニットｌ
Ｏから制御ユニットインターフェース２１へ送出される
と、制御ユニットインターフェース２１は電源制御機構
２１０の動作により、制御ユニット２θへ再び電源を供
給開始する。
ラクタディスプレイを採用し、診断結果をＢ点位置検出
センサネ良という具合に個有名称にて表示させる。この
表示と同時にマスク制御ユニットＩＯは、制御異常発生
要因を含む制御ユニット例えば２０に対応する制御ユニ
ットインターフェース２１に対して電源遮断信号ＡＢ２
０を送出する。制御ユニットインターフエ・−ス２１は
＠源制御機構２１０の動作により、制御ユニット２０へ
供給し−Ｃいる入出力用電源を遮断してしまワ１．その
場合制御６ユニツトインターノエース２１の入出力カブ
ラ回路２１４〜２１７０制御ユニット側の電源も同時に
遮断される。この電源遮断により、制御ユニット２０に
対しての保守、保全作業はあらゆる方法を用いて行なえ
る。保守、保全作業終了ののち、オペレータの判断によ
り再スタート要求信号５Ｒ２０がマスク制御ユニットｌ
Ｏから制御ユニットインターフェース２１へ送出される
と、制御ユニットインターフェース２１は電源制御機構
２１０の動作により、制御ユニット２θへ再び電源を供
給開始する。
以上説明した如く本発明によれば、制御異常発生要因を
含む制御ユニットの電源を個別に制御することにより、
プロセス制御装置全体の電源を遮断せずとも、入力セン
サ、スイッチ交換等の作業が行なえるようになり、プロ
セス制御要求されることになり、診断技術の向上にもつ
ながる。また他の制御ユニットは製品を処理しているな
かで、該当する制御ユニットの保守、保全作業となるた
めに保守、保全を考慮した構造設計、回路設計等となる
ために平均修理時間の大幅短縮となり、省力、無人化シ
ステム志向に合致したプロセス制御装置が提供できるも
のである。
含む制御ユニットの電源を個別に制御することにより、
プロセス制御装置全体の電源を遮断せずとも、入力セン
サ、スイッチ交換等の作業が行なえるようになり、プロ
セス制御要求されることになり、診断技術の向上にもつ
ながる。また他の制御ユニットは製品を処理しているな
かで、該当する制御ユニットの保守、保全作業となるた
めに保守、保全を考慮した構造設計、回路設計等となる
ために平均修理時間の大幅短縮となり、省力、無人化シ
ステム志向に合致したプロセス制御装置が提供できるも
のである。
第１図は本発明の一実施例の概略的構成図、第２図は同
構成を更に詳却１化して示す構成図、第３図は同構成の
動作ケ示すタイミングチャートである。 １０・・・マスタ制御ユニット、１１・・・プロセス制
御装置、２０，３０．４’０．５０・・・制御ユニット
、２１ 、３ Ｊ 、 ４１ 、５１−・・制御ｊ−’
ニツ）インターフェース、２１Ｑ・・・電源制御機構。
構成を更に詳却１化して示す構成図、第３図は同構成の
動作ケ示すタイミングチャートである。 １０・・・マスタ制御ユニット、１１・・・プロセス制
御装置、２０，３０．４’０．５０・・・制御ユニット
、２１ 、３ Ｊ 、 ４１ 、５１−・・制御ｊ−’
ニツ）インターフェース、２１Ｑ・・・電源制御機構。
Claims (1)
- シーケンス制御機構上独立した複数個の制御ユニ・ット
から構成され′るプロセス制御装置をシーケンス制御す
るものであって、シーケンス制御途中の制御異常を自動
的に診断し、該異常診断結沫から制御異常の発生原因を
表示し、前記制御異常の発生要因がある制御ユニットの
電源を遮断し、前記制御異常の発生要因除去後の再スタ
ート要求信号により該当する制御ユニットへ電源供給を
開始するようにしたことを特徴とするプロセス制御装置
のシーケンス制御方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58124405A JPS6017501A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | プロセス制御装置のシ−ケンス制御方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58124405A JPS6017501A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | プロセス制御装置のシ−ケンス制御方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6017501A true JPS6017501A (ja) | 1985-01-29 |
Family
ID=14884637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58124405A Pending JPS6017501A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | プロセス制御装置のシ−ケンス制御方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6017501A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62179116A (ja) * | 1986-02-03 | 1987-08-06 | Canon Inc | 半導体製造装置 |
| JPS62232367A (ja) * | 1986-04-03 | 1987-10-12 | Showa Denko Kk | 工業的な食品の脱水法 |
| JPH04149601A (ja) * | 1990-10-09 | 1992-05-22 | Toshiba Corp | プラント設備の監視制御装置 |
-
1983
- 1983-07-08 JP JP58124405A patent/JPS6017501A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62179116A (ja) * | 1986-02-03 | 1987-08-06 | Canon Inc | 半導体製造装置 |
| JPH0587007B2 (ja) * | 1986-02-03 | 1993-12-15 | Canon Kk | |
| JPS62232367A (ja) * | 1986-04-03 | 1987-10-12 | Showa Denko Kk | 工業的な食品の脱水法 |
| JPH04149601A (ja) * | 1990-10-09 | 1992-05-22 | Toshiba Corp | プラント設備の監視制御装置 |
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