JPS60172329A - 無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法 - Google Patents
無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法Info
- Publication number
- JPS60172329A JPS60172329A JP59242575A JP24257584A JPS60172329A JP S60172329 A JPS60172329 A JP S60172329A JP 59242575 A JP59242575 A JP 59242575A JP 24257584 A JP24257584 A JP 24257584A JP S60172329 A JPS60172329 A JP S60172329A
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- Japan
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- concentration
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は無塵室の汚染物の濃度の程度を制御する方法に
関する。以下使用される無塵室なる用語は一般に物品、
医薬品もしくは化学薬品を製造するための工場の無塵室
、又病院の手術室及び空気中の粒子もしくはバクテリア
による汚染が厳格に制御されなければならない類似の環
境を含んでいる。
関する。以下使用される無塵室なる用語は一般に物品、
医薬品もしくは化学薬品を製造するための工場の無塵室
、又病院の手術室及び空気中の粒子もしくはバクテリア
による汚染が厳格に制御されなければならない類似の環
境を含んでいる。
従来無塵室では圧力によって一定の空気の層流が汚染か
ら防護さるべき製品もしくは他の製品を含む領域に指向
されていて、乱流防止手段が取られていた。通常この空
気の層流は空気を天井に設置された高効率微粒子空気(
HEPA、)フィルタ及び拡散装置を通して一定の速度
で防護さるべき物体もしくは領域に向けて下方に指向さ
れ、完全に格子状にされた床中の開孔を通り、復帰ダク
トを介して天井に戻され、再びHEPAフィルタを介し
て実質上連続的に循環されていた。
ら防護さるべき製品もしくは他の製品を含む領域に指向
されていて、乱流防止手段が取られていた。通常この空
気の層流は空気を天井に設置された高効率微粒子空気(
HEPA、)フィルタ及び拡散装置を通して一定の速度
で防護さるべき物体もしくは領域に向けて下方に指向さ
れ、完全に格子状にされた床中の開孔を通り、復帰ダク
トを介して天井に戻され、再びHEPAフィルタを介し
て実質上連続的に循環されていた。
米国特許第3367257号、第4100347号及び
第4137831号は濾過された空気が拡散され、空気
の層流と[7て作業領域を通して指向される無塵室もし
くは実質上聞じた環境を開示している。又1962年8
月刊Ashrae Journal第37頁の” Je
t Stream Ventilation forE
xtreme Air C1eanliness ”な
る論文は完全に層流をなし、従って比較的厚い境界層を
なさなければならない空気の循環する流れによって患者
のまわりに完全にフィルタされた空気の殺菌、消毒領域
が与えられた病院の手術室を開示している。
第4137831号は濾過された空気が拡散され、空気
の層流と[7て作業領域を通して指向される無塵室もし
くは実質上聞じた環境を開示している。又1962年8
月刊Ashrae Journal第37頁の” Je
t Stream Ventilation forE
xtreme Air C1eanliness ”な
る論文は完全に層流をなし、従って比較的厚い境界層を
なさなければならない空気の循環する流れによって患者
のまわりに完全にフィルタされた空気の殺菌、消毒領域
が与えられた病院の手術室を開示している。
この垂直層流(VLF )型の無塵室は極めて満足に動
作していて、使用されているHEPAフィルタによって
供給される出来るだけ清浄な空気が作業領域に与えられ
ている。従ってこれ等の無塵室に米国連邦標準209B
に従ってクラス10、クラス100さらにはクラス10
00として分類される事が好ましい。しかしながらこれ
等のVFLシステムは多数のI(EPAフィルタを必要
とするので極めて高価につく。
作していて、使用されているHEPAフィルタによって
供給される出来るだけ清浄な空気が作業領域に与えられ
ている。従ってこれ等の無塵室に米国連邦標準209B
に従ってクラス10、クラス100さらにはクラス10
00として分類される事が好ましい。しかしながらこれ
等のVFLシステムは多数のI(EPAフィルタを必要
とするので極めて高価につく。
コストを軽減するためには、クラス1ooo。
もしくはクラス100000として分類される、即ち超
清浄に保持される必要のない無塵室に特に適した無塵室
の汚染管理に対する新らしい方法が必要である。
清浄に保持される必要のない無塵室に特に適した無塵室
の汚染管理に対する新らしい方法が必要である。
本発明の目的は汚染物が完全に除去される必要のない無
塵室の環境で空気によって運ばれる汚染物の濃度を制御
する改良方法を与える事にある。
塵室の環境で空気によって運ばれる汚染物の濃度を制御
する改良方法を与える事にある。
本発明に従いHEPAフィルタから供給される空気の下
流に意図的に攪乱が加えられ、濾過された空気が完全に
混合され、空気は略均−となる。
流に意図的に攪乱が加えられ、濾過された空気が完全に
混合され、空気は略均−となる。
感知された粒子計数に従って、循環される空気の体積を
制御する事によって微粒子の濃度が制御され、粒子の数
は略予じめ選択された濃度に保持される。
制御する事によって微粒子の濃度が制御され、粒子の数
は略予じめ選択された濃度に保持される。
本発明に従℃・、汚染物粒子を含む空気は濾過後乱流に
されて均一にされ、空気中の粒子の数が測定され、規準
値と比較され、偏差に従って空気の流量が調節されるの
で、従来の層流を使用し、乱流防止手段及び高価な多数
のフィルタを使用した方法に比して、汚染物粒子の濃度
を安価に規準値に保持する事が出来る。
されて均一にされ、空気中の粒子の数が測定され、規準
値と比較され、偏差に従って空気の流量が調節されるの
で、従来の層流を使用し、乱流防止手段及び高価な多数
のフィルタを使用した方法に比して、汚染物粒子の濃度
を安価に規準値に保持する事が出来る。
第1図に示された如く、本発明を実施するシステムはモ
ータ11によって連続的に駆動され、ダクト12A、1
2B及びHE P Aフィルタ13A116Bft:介
して空気を無塵室14の如き実質的に包囲された環境に
供給するファー10より成る。
ータ11によって連続的に駆動され、ダクト12A、1
2B及びHE P Aフィルタ13A116Bft:介
して空気を無塵室14の如き実質的に包囲された環境に
供給するファー10より成る。
濾過された空気は床の近くにある前置フィルタ15A1
15Bを通して吸引され、復帰ダクト16Aq16B’
、+(通して上昇され、ファン10によって再びフィル
タ13A113Bを通して連続的に循環される。
15Bを通して吸引され、復帰ダクト16Aq16B’
、+(通して上昇され、ファン10によって再びフィル
タ13A113Bを通して連続的に循環される。
本発明に従って、無塵室14に供給される濾過された空
気は意図的に乱流にされ、完全に混合され、無塵室を流
れる空気の流率、従って濾過された空気の体積が必要に
応じて制御され、空気中の粒子(もしくはバクテリア)
の濃度が予じめオペレータによって選択された値に保持
される。第1図に示された如く、乱流はファン10によ
って達成され、又無塵室14内の揺動ファン20A、’
20B等の如きかきまぜ装置によって支援される。
気は意図的に乱流にされ、完全に混合され、無塵室を流
れる空気の流率、従って濾過された空気の体積が必要に
応じて制御され、空気中の粒子(もしくはバクテリア)
の濃度が予じめオペレータによって選択された値に保持
される。第1図に示された如く、乱流はファン10によ
って達成され、又無塵室14内の揺動ファン20A、’
20B等の如きかきまぜ装置によって支援される。
ファン20は連続的に動作され、濾過後の空気の完全な
混合が保証され、無塵室内の空気は略均−にされる。即
ち単位体積当り略一定の数の粒子が与えられる様にされ
る。
混合が保証され、無塵室内の空気は略均−にされる。即
ち単位体積当り略一定の数の粒子が与えられる様にされ
る。
第2図を参照するに、粒子計数器21は無塵室 ′14
内の空気によって運ばれる粒子(もしくはバクテリア)
の数をたえず感知する。この計数器21は実際の粒子の
計数を示す電気的入力信号を例えば差動比較器22でよ
い制御装置に与える。比較器22はオペレータによって
予じめ選択された所望の粒子計数に対応する他の入力を
有する。比較器22は出力として夫々実際の粒子の計数
が予じめ選択された粒子の濃度計数よりも小さいか、大
きいかに従い、実際の計数と予じめ選択された計数の偏
差の程度に対応する大きさの正もしくは負の誤差信号e
を与える様に動作する。
内の空気によって運ばれる粒子(もしくはバクテリア)
の数をたえず感知する。この計数器21は実際の粒子の
計数を示す電気的入力信号を例えば差動比較器22でよ
い制御装置に与える。比較器22はオペレータによって
予じめ選択された所望の粒子計数に対応する他の入力を
有する。比較器22は出力として夫々実際の粒子の計数
が予じめ選択された粒子の濃度計数よりも小さいか、大
きいかに従い、実際の計数と予じめ選択された計数の偏
差の程度に対応する大きさの正もしくは負の誤差信号e
を与える様に動作する。
誤差信号eは通常のサンプラ・スイッチ26及び保持装
置24を介してモータ制御回路25に送られる。スイッ
チ23は各T秒毎に短時間開じる事によってその時点に
存在する誤差信号eをサンプルし、各サンプリング時点
0、T12Tにパルスの列を発生する。サンプリング時
点間には信号eのサンプリングは生じないが、保持装置
24はサンプルされた信号を対応する連続信号に変換し
、モータ制御回路25を動作して、サンプル及び保持さ
れた誤差信号eに従ってファン・モータ11の速度を調
節する。従って、サンプラ・スイッチ26及び保持装置
24は必要に応じてファン10の速度、従って無塵室を
通して循環される空気の体積を定期的に(連続的でなく
)調節する事によって成る程度のヒステリシスもしくは
ダンピングを与える様に動作し、計数器21によって測
定される粒子の計数をオペレータによって予じめ選択さ
れた濃度に保持する。第2図において、装置21−25
.11及び10を結ぶ実線はアナログもしくはディジタ
ル信号を送る電気的接続を示し、破線で結ばれたものは
空気の流路中の部品を示している。
置24を介してモータ制御回路25に送られる。スイッ
チ23は各T秒毎に短時間開じる事によってその時点に
存在する誤差信号eをサンプルし、各サンプリング時点
0、T12Tにパルスの列を発生する。サンプリング時
点間には信号eのサンプリングは生じないが、保持装置
24はサンプルされた信号を対応する連続信号に変換し
、モータ制御回路25を動作して、サンプル及び保持さ
れた誤差信号eに従ってファン・モータ11の速度を調
節する。従って、サンプラ・スイッチ26及び保持装置
24は必要に応じてファン10の速度、従って無塵室を
通して循環される空気の体積を定期的に(連続的でなく
)調節する事によって成る程度のヒステリシスもしくは
ダンピングを与える様に動作し、計数器21によって測
定される粒子の計数をオペレータによって予じめ選択さ
れた濃度に保持する。第2図において、装置21−25
.11及び10を結ぶ実線はアナログもしくはディジタ
ル信号を送る電気的接続を示し、破線で結ばれたものは
空気の流路中の部品を示している。
第6図に示された如き、本発明の好ましい実施例のオプ
ショナルな変形によれば夫々ダクト12及び16中には
ダンパ(風方向スイッチ)50.61が介在し、無塵室
14の空気の流れのパターンを繰返し変化させている。
ショナルな変形によれば夫々ダクト12及び16中には
ダンパ(風方向スイッチ)50.61が介在し、無塵室
14の空気の流れのパターンを繰返し変化させている。
この手段は無塵室が極めて大きく、空気の導入管12A
、12B及び復帰ダク)16A及び16Bの間隔が隔れ
ている場合に特に望まれる。ダンパ30.31は予じめ
選択された時間間隔の終りに実線で示された夫々第1の
位置から破線で示された夫々の第2の位置に繰返し移動
され、次に夫々の第1の位置に戻される。
、12B及び復帰ダク)16A及び16Bの間隔が隔れ
ている場合に特に望まれる。ダンパ30.31は予じめ
選択された時間間隔の終りに実線で示された夫々第1の
位置から破線で示された夫々の第2の位置に繰返し移動
され、次に夫々の第1の位置に戻される。
従って、第1及び第6図に示された如く、ファン10か
らの空気の流れは先づダク)12Aを通る様に転流され
、フィルタ13A及び前置フィルタ15B及び復帰ダク
)1611介してファン10に戻される。予じめ選択さ
れた時間の後に、タイミング装置(図示されず)はダン
パ30.31を同時に夫々の第1の位置から夫々の第2
の位置にスイッチする様に動作し、第2の位置にある時
にファン10かもの空気の流れはダク)12B。
らの空気の流れは先づダク)12Aを通る様に転流され
、フィルタ13A及び前置フィルタ15B及び復帰ダク
)1611介してファン10に戻される。予じめ選択さ
れた時間の後に、タイミング装置(図示されず)はダン
パ30.31を同時に夫々の第1の位置から夫々の第2
の位置にスイッチする様に動作し、第2の位置にある時
にファン10かもの空気の流れはダク)12B。
フィルタ13’B及び前置フィルタ15A及び復帰ダク
ト16Aを介してファン10に戻される。しかしながら
ダンパ30、’31は夫々の流れを遮げる位置にある時
も、若干の残留流れを与え、フィルタ13A、16Bの
下流側の表面が汚染しない事が保証される必要がある事
に注意されたい。又特定の無塵室の構造に対する流れの
パターンの変化の頻度は実験によって決定されなければ
ならず、流れは特定の流れのパターンが確立された後直
ちに反転されなければならない。
ト16Aを介してファン10に戻される。しかしながら
ダンパ30、’31は夫々の流れを遮げる位置にある時
も、若干の残留流れを与え、フィルタ13A、16Bの
下流側の表面が汚染しない事が保証される必要がある事
に注意されたい。又特定の無塵室の構造に対する流れの
パターンの変化の頻度は実験によって決定されなければ
ならず、流れは特定の流れのパターンが確立された後直
ちに反転されなければならない。
上述の事からダンパ30.31は一斉に動作し復帰空気
はその時空気を無塵室14に供給しているHEPAフィ
ルタ160反対側から引込まれる。
はその時空気を無塵室14に供給しているHEPAフィ
ルタ160反対側から引込まれる。
これによって、空気の望ましいブツシュ・プル流が生じ
、繰返し無塵室14中の流れのパターンが変化される。
、繰返し無塵室14中の流れのパターンが変化される。
本発明の改良された方法によれば、はとんど粒子が発生
されない低活動度期間中は空気の流れが最小に保持され
、エネルギが節約される。しかしながら、活動度が増大
すると、流れが自動的に増大され、粒子の計数はすみや
かに予じめ選択された濃度値に戻される。同様に、ファ
ン2OA、20Bは混合を増大し、定常の流れ火減少す
る事が好ましいが、すべての場合には必要とされない。
されない低活動度期間中は空気の流れが最小に保持され
、エネルギが節約される。しかしながら、活動度が増大
すると、流れが自動的に増大され、粒子の計数はすみや
かに予じめ選択された濃度値に戻される。同様に、ファ
ン2OA、20Bは混合を増大し、定常の流れ火減少す
る事が好ましいが、すべての場合には必要とされない。
もし好ましければ、誤差信号eはマイクロプロセッサに
関連する索引表をアクセスして、適切な修正信号を同定
1−これをモータ制御回路25に印加するのに使用され
る。
関連する索引表をアクセスして、適切な修正信号を同定
1−これをモータ制御回路25に印加するのに使用され
る。
従来無塵室では汚染除去に空気の層流が使用され、乱流
防止手段が使用され、又HEPAフィルタが多数使用さ
れたので高価についたが、本発明では乱流が使用され、
空気が均一にされて、空気中の粒子の濃度が測定され、
予定の規準濃度と比較(、て、その偏差に従って空気の
流量が制御されるので汚染濃度が安価に規準値に保持さ
れる。
防止手段が使用され、又HEPAフィルタが多数使用さ
れたので高価についたが、本発明では乱流が使用され、
空気が均一にされて、空気中の粒子の濃度が測定され、
予定の規準濃度と比較(、て、その偏差に従って空気の
流量が制御されるので汚染濃度が安価に規準値に保持さ
れる。
第1図は本発明に従う希釈制御された無塵室システムの
概略図である。第2図は第1図のシステムの粒子の濃度
を制御するだめの回路の概略図である。第3図はオプシ
ョナルなダンピング機構を組込んだ第1図のシステムの
一部の破断図である。 10・・・・ファン、11・・・・モータ、12A、B
・・・・ダクト、13A、B・・・・フィルタ、14・
・・・無塵室、15A、B・・・・前置フィルタ、16
A。 B・・・・復帰ダクト、20A1 B・・・・揺動ファ
ン、21・・・・粒子計数器、22・・・・差動比較器
、25・・・・モータ制御装置。 出願人 インクづbeカル1ジネス・マシ―Zズ・コー
ポレーション代理人 弁理士 山 本 仁 朗 (外1名) 手続補正書(肱) 昭和60年 3月73日 特許庁長官 志 賀 学 殿 1、事件の表示 昭和59年 特許願 第242575号2、発明の名称 無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法3、
補正をする者 事件との関係 特許出願人 4、代理人 5、補正命令の日付 昭和60年 2月26日 6、補正の対象 (1) 明細書の発明の詳細な説明の欄7、補正の内容 (1) 明細書第3頁第7行乃至第9行のrAshra
a・・・・なる論文」とあるのを「の成る専門誌に示さ
れている一輪文」と訂正する。
概略図である。第2図は第1図のシステムの粒子の濃度
を制御するだめの回路の概略図である。第3図はオプシ
ョナルなダンピング機構を組込んだ第1図のシステムの
一部の破断図である。 10・・・・ファン、11・・・・モータ、12A、B
・・・・ダクト、13A、B・・・・フィルタ、14・
・・・無塵室、15A、B・・・・前置フィルタ、16
A。 B・・・・復帰ダクト、20A1 B・・・・揺動ファ
ン、21・・・・粒子計数器、22・・・・差動比較器
、25・・・・モータ制御装置。 出願人 インクづbeカル1ジネス・マシ―Zズ・コー
ポレーション代理人 弁理士 山 本 仁 朗 (外1名) 手続補正書(肱) 昭和60年 3月73日 特許庁長官 志 賀 学 殿 1、事件の表示 昭和59年 特許願 第242575号2、発明の名称 無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法3、
補正をする者 事件との関係 特許出願人 4、代理人 5、補正命令の日付 昭和60年 2月26日 6、補正の対象 (1) 明細書の発明の詳細な説明の欄7、補正の内容 (1) 明細書第3頁第7行乃至第9行のrAshra
a・・・・なる論文」とあるのを「の成る専門誌に示さ
れている一輪文」と訂正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御するため、 沢過された空気を無塵室環境に供給し、供給された空気
を乱流にする事によって沢過された空気の混合を増強し
て、沢過された空気の汚、染濃度を略均−にし、 上記無塵室環境内の濾過された空気中の微粒子の計数を
感知し。 上記感知された微粒子の計数に従って、循環される空気
の体積を制御して、微粒子の計数を略予じめ選択された
濃度に対応する計数に保持する諸段階より成る無塵室環
境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/570,573 US4530272A (en) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | Method for controlling contamination in a clean room |
US570573 | 1984-01-13 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60172329A true JPS60172329A (ja) | 1985-09-05 |
Family
ID=24280177
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59242575A Pending JPS60172329A (ja) | 1984-01-13 | 1984-11-19 | 無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4530272A (ja) |
EP (1) | EP0151735B1 (ja) |
JP (1) | JPS60172329A (ja) |
DE (1) | DE3479828D1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2007165421A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Oppama Kogyo Kk | 内燃機関の無接点点火装置用固定子 |
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