JPS60172329A - 無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法 - Google Patents

無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法

Info

Publication number
JPS60172329A
JPS60172329A JP59242575A JP24257584A JPS60172329A JP S60172329 A JPS60172329 A JP S60172329A JP 59242575 A JP59242575 A JP 59242575A JP 24257584 A JP24257584 A JP 24257584A JP S60172329 A JPS60172329 A JP S60172329A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
dust
concentration
free
control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59242575A
Other languages
English (en)
Inventor
コンラツド・ハワード・ストークス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of JPS60172329A publication Critical patent/JPS60172329A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ventilation (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は無塵室の汚染物の濃度の程度を制御する方法に
関する。以下使用される無塵室なる用語は一般に物品、
医薬品もしくは化学薬品を製造するための工場の無塵室
、又病院の手術室及び空気中の粒子もしくはバクテリア
による汚染が厳格に制御されなければならない類似の環
境を含んでいる。
〔従来技術〕
従来無塵室では圧力によって一定の空気の層流が汚染か
ら防護さるべき製品もしくは他の製品を含む領域に指向
されていて、乱流防止手段が取られていた。通常この空
気の層流は空気を天井に設置された高効率微粒子空気(
HEPA、)フィルタ及び拡散装置を通して一定の速度
で防護さるべき物体もしくは領域に向けて下方に指向さ
れ、完全に格子状にされた床中の開孔を通り、復帰ダク
トを介して天井に戻され、再びHEPAフィルタを介し
て実質上連続的に循環されていた。
米国特許第3367257号、第4100347号及び
第4137831号は濾過された空気が拡散され、空気
の層流と[7て作業領域を通して指向される無塵室もし
くは実質上聞じた環境を開示している。又1962年8
月刊Ashrae Journal第37頁の” Je
t Stream Ventilation forE
xtreme Air C1eanliness ”な
る論文は完全に層流をなし、従って比較的厚い境界層を
なさなければならない空気の循環する流れによって患者
のまわりに完全にフィルタされた空気の殺菌、消毒領域
が与えられた病院の手術室を開示している。
この垂直層流(VLF )型の無塵室は極めて満足に動
作していて、使用されているHEPAフィルタによって
供給される出来るだけ清浄な空気が作業領域に与えられ
ている。従ってこれ等の無塵室に米国連邦標準209B
に従ってクラス10、クラス100さらにはクラス10
00として分類される事が好ましい。しかしながらこれ
等のVFLシステムは多数のI(EPAフィルタを必要
とするので極めて高価につく。
コストを軽減するためには、クラス1ooo。
もしくはクラス100000として分類される、即ち超
清浄に保持される必要のない無塵室に特に適した無塵室
の汚染管理に対する新らしい方法が必要である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明の目的は汚染物が完全に除去される必要のない無
塵室の環境で空気によって運ばれる汚染物の濃度を制御
する改良方法を与える事にある。
〔問題点を解決するだめの手段〕
本発明に従いHEPAフィルタから供給される空気の下
流に意図的に攪乱が加えられ、濾過された空気が完全に
混合され、空気は略均−となる。
感知された粒子計数に従って、循環される空気の体積を
制御する事によって微粒子の濃度が制御され、粒子の数
は略予じめ選択された濃度に保持される。
〔作用〕
本発明に従℃・、汚染物粒子を含む空気は濾過後乱流に
されて均一にされ、空気中の粒子の数が測定され、規準
値と比較され、偏差に従って空気の流量が調節されるの
で、従来の層流を使用し、乱流防止手段及び高価な多数
のフィルタを使用した方法に比して、汚染物粒子の濃度
を安価に規準値に保持する事が出来る。
〔実施例〕
第1図に示された如く、本発明を実施するシステムはモ
ータ11によって連続的に駆動され、ダクト12A、1
2B及びHE P Aフィルタ13A116Bft:介
して空気を無塵室14の如き実質的に包囲された環境に
供給するファー10より成る。
濾過された空気は床の近くにある前置フィルタ15A1
15Bを通して吸引され、復帰ダクト16Aq16B’
、+(通して上昇され、ファン10によって再びフィル
タ13A113Bを通して連続的に循環される。
本発明に従って、無塵室14に供給される濾過された空
気は意図的に乱流にされ、完全に混合され、無塵室を流
れる空気の流率、従って濾過された空気の体積が必要に
応じて制御され、空気中の粒子(もしくはバクテリア)
の濃度が予じめオペレータによって選択された値に保持
される。第1図に示された如く、乱流はファン10によ
って達成され、又無塵室14内の揺動ファン20A、’
20B等の如きかきまぜ装置によって支援される。
ファン20は連続的に動作され、濾過後の空気の完全な
混合が保証され、無塵室内の空気は略均−にされる。即
ち単位体積当り略一定の数の粒子が与えられる様にされ
る。
第2図を参照するに、粒子計数器21は無塵室 ′14
内の空気によって運ばれる粒子(もしくはバクテリア)
の数をたえず感知する。この計数器21は実際の粒子の
計数を示す電気的入力信号を例えば差動比較器22でよ
い制御装置に与える。比較器22はオペレータによって
予じめ選択された所望の粒子計数に対応する他の入力を
有する。比較器22は出力として夫々実際の粒子の計数
が予じめ選択された粒子の濃度計数よりも小さいか、大
きいかに従い、実際の計数と予じめ選択された計数の偏
差の程度に対応する大きさの正もしくは負の誤差信号e
を与える様に動作する。
誤差信号eは通常のサンプラ・スイッチ26及び保持装
置24を介してモータ制御回路25に送られる。スイッ
チ23は各T秒毎に短時間開じる事によってその時点に
存在する誤差信号eをサンプルし、各サンプリング時点
0、T12Tにパルスの列を発生する。サンプリング時
点間には信号eのサンプリングは生じないが、保持装置
24はサンプルされた信号を対応する連続信号に変換し
、モータ制御回路25を動作して、サンプル及び保持さ
れた誤差信号eに従ってファン・モータ11の速度を調
節する。従って、サンプラ・スイッチ26及び保持装置
24は必要に応じてファン10の速度、従って無塵室を
通して循環される空気の体積を定期的に(連続的でなく
)調節する事によって成る程度のヒステリシスもしくは
ダンピングを与える様に動作し、計数器21によって測
定される粒子の計数をオペレータによって予じめ選択さ
れた濃度に保持する。第2図において、装置21−25
.11及び10を結ぶ実線はアナログもしくはディジタ
ル信号を送る電気的接続を示し、破線で結ばれたものは
空気の流路中の部品を示している。
第6図に示された如き、本発明の好ましい実施例のオプ
ショナルな変形によれば夫々ダクト12及び16中には
ダンパ(風方向スイッチ)50.61が介在し、無塵室
14の空気の流れのパターンを繰返し変化させている。
この手段は無塵室が極めて大きく、空気の導入管12A
、12B及び復帰ダク)16A及び16Bの間隔が隔れ
ている場合に特に望まれる。ダンパ30.31は予じめ
選択された時間間隔の終りに実線で示された夫々第1の
位置から破線で示された夫々の第2の位置に繰返し移動
され、次に夫々の第1の位置に戻される。
従って、第1及び第6図に示された如く、ファン10か
らの空気の流れは先づダク)12Aを通る様に転流され
、フィルタ13A及び前置フィルタ15B及び復帰ダク
)1611介してファン10に戻される。予じめ選択さ
れた時間の後に、タイミング装置(図示されず)はダン
パ30.31を同時に夫々の第1の位置から夫々の第2
の位置にスイッチする様に動作し、第2の位置にある時
にファン10かもの空気の流れはダク)12B。
フィルタ13’B及び前置フィルタ15A及び復帰ダク
ト16Aを介してファン10に戻される。しかしながら
ダンパ30、’31は夫々の流れを遮げる位置にある時
も、若干の残留流れを与え、フィルタ13A、16Bの
下流側の表面が汚染しない事が保証される必要がある事
に注意されたい。又特定の無塵室の構造に対する流れの
パターンの変化の頻度は実験によって決定されなければ
ならず、流れは特定の流れのパターンが確立された後直
ちに反転されなければならない。
上述の事からダンパ30.31は一斉に動作し復帰空気
はその時空気を無塵室14に供給しているHEPAフィ
ルタ160反対側から引込まれる。
これによって、空気の望ましいブツシュ・プル流が生じ
、繰返し無塵室14中の流れのパターンが変化される。
本発明の改良された方法によれば、はとんど粒子が発生
されない低活動度期間中は空気の流れが最小に保持され
、エネルギが節約される。しかしながら、活動度が増大
すると、流れが自動的に増大され、粒子の計数はすみや
かに予じめ選択された濃度値に戻される。同様に、ファ
ン2OA、20Bは混合を増大し、定常の流れ火減少す
る事が好ましいが、すべての場合には必要とされない。
もし好ましければ、誤差信号eはマイクロプロセッサに
関連する索引表をアクセスして、適切な修正信号を同定
1−これをモータ制御回路25に印加するのに使用され
る。
〔発明の効果〕
従来無塵室では汚染除去に空気の層流が使用され、乱流
防止手段が使用され、又HEPAフィルタが多数使用さ
れたので高価についたが、本発明では乱流が使用され、
空気が均一にされて、空気中の粒子の濃度が測定され、
予定の規準濃度と比較(、て、その偏差に従って空気の
流量が制御されるので汚染濃度が安価に規準値に保持さ
れる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に従う希釈制御された無塵室システムの
概略図である。第2図は第1図のシステムの粒子の濃度
を制御するだめの回路の概略図である。第3図はオプシ
ョナルなダンピング機構を組込んだ第1図のシステムの
一部の破断図である。 10・・・・ファン、11・・・・モータ、12A、B
・・・・ダクト、13A、B・・・・フィルタ、14・
・・・無塵室、15A、B・・・・前置フィルタ、16
A。 B・・・・復帰ダクト、20A1 B・・・・揺動ファ
ン、21・・・・粒子計数器、22・・・・差動比較器
、25・・・・モータ制御装置。 出願人 インクづbeカル1ジネス・マシ―Zズ・コー
ポレーション代理人 弁理士 山 本 仁 朗 (外1名) 手続補正書(肱) 昭和60年 3月73日 特許庁長官 志 賀 学 殿 1、事件の表示 昭和59年 特許願 第242575号2、発明の名称 無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法3、
補正をする者 事件との関係 特許出願人 4、代理人 5、補正命令の日付 昭和60年 2月26日 6、補正の対象 (1) 明細書の発明の詳細な説明の欄7、補正の内容 (1) 明細書第3頁第7行乃至第9行のrAshra
a・・・・なる論文」とあるのを「の成る専門誌に示さ
れている一輪文」と訂正する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御するため、 沢過された空気を無塵室環境に供給し、供給された空気
    を乱流にする事によって沢過された空気の混合を増強し
    て、沢過された空気の汚、染濃度を略均−にし、 上記無塵室環境内の濾過された空気中の微粒子の計数を
    感知し。 上記感知された微粒子の計数に従って、循環される空気
    の体積を制御して、微粒子の計数を略予じめ選択された
    濃度に対応する計数に保持する諸段階より成る無塵室環
    境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法。
JP59242575A 1984-01-13 1984-11-19 無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法 Pending JPS60172329A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/570,573 US4530272A (en) 1984-01-13 1984-01-13 Method for controlling contamination in a clean room
US570573 1984-01-13

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60172329A true JPS60172329A (ja) 1985-09-05

Family

ID=24280177

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59242575A Pending JPS60172329A (ja) 1984-01-13 1984-11-19 無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4530272A (ja)
EP (1) EP0151735B1 (ja)
JP (1) JPS60172329A (ja)
DE (1) DE3479828D1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63180032A (ja) * 1987-01-20 1988-07-25 Nec Kyushu Ltd クリ−ンル−ム
JP2007165421A (ja) * 2005-12-12 2007-06-28 Oppama Kogyo Kk 内燃機関の無接点点火装置用固定子

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI83696B (fi) * 1987-01-27 1991-04-30 Halton Oy Foerfarande foer reglering av ventilation.
US4749385A (en) * 1987-03-27 1988-06-07 Rca Licensing Corporation Method and apparatus for providing clean air
US4742761A (en) * 1987-07-20 1988-05-10 The Boeing Company Method and apparatus for controlling the concentration of carbon dioxide in an aircraft cabin
US5010777A (en) * 1987-12-28 1991-04-30 American Environmental Systems, Inc. Apparatus and method for establishing selected environmental characteristics
JP2638955B2 (ja) * 1988-07-14 1997-08-06 日本精工株式会社 無塵室用作動装置
US5626820A (en) * 1988-12-12 1997-05-06 Kinkead; Devon A. Clean room air filtering
US5582865A (en) * 1988-12-12 1996-12-10 Extraction Systems, Inc. Non-woven filter composite
SE467089B (sv) * 1989-11-29 1992-05-25 Frigoscandia Food Process Syst Foerfarande foer foerhindrande av bakterietillvaext i en livsmedelsanlaeggning samt saadan anlaeggning foer genomfoerande av foerfarandet
EP0456420A1 (en) * 1990-05-07 1991-11-13 Hortotec( Ireland) Limited A safety cabinet
JPH0480538A (ja) * 1990-07-20 1992-03-13 Mitsubishi Electric Corp クリーンルーム空調装置
US5171336A (en) * 1991-06-17 1992-12-15 Shulick Robert J Purge air system
SE9103371L (sv) * 1991-11-15 1993-03-15 Ventilatorverken Ab Ventilationsfoerfarande foer taelt eller liknande, t ex mobila sjukvaardsenheter, samt medel haerfoer
US5236476A (en) * 1992-02-21 1993-08-17 Klick Ronald C Air purification system for enclosed arenas
DK85093D0 (da) * 1993-07-16 1993-07-16 Landsforeningen Til Kraeftens Method and apparatus for performing operations
US5620425A (en) * 1993-11-03 1997-04-15 Bracco International B.V. Method for the preparation of pre-filled plastic syringes
US5607647A (en) * 1993-12-02 1997-03-04 Extraction Systems, Inc. Air filtering within clean environments
WO1995019828A1 (en) * 1994-01-25 1995-07-27 Extraction Systems, Inc. Air filtering
US5856198A (en) * 1994-12-28 1999-01-05 Extraction Systems, Inc. Performance monitoring of gas-phase air filters
US5641354A (en) * 1995-07-10 1997-06-24 Seh America, Inc. Puller cell
NL1001522C2 (nl) * 1995-10-30 1997-05-02 Cleyera Corp N V Inrichting voor het stofvrij maken van verder te behandelen voorwerpen.
SE505549C2 (sv) * 1995-12-01 1997-09-15 Otto Andersson Anordning vid ventilationsanläggning
JP2914318B2 (ja) * 1996-09-26 1999-06-28 日本電気株式会社 クリーンルーム用フィルターの交換方法
US6096267A (en) * 1997-02-28 2000-08-01 Extraction Systems, Inc. System for detecting base contaminants in air
WO1998038508A1 (en) * 1997-02-28 1998-09-03 Extraction Systems, Inc. System for detecting amine and other basic molecular contamination in a gas
US5922095A (en) 1997-03-20 1999-07-13 Acoustiflo, Llc Air handling system for buildings and clean rooms
US5922130A (en) * 1997-03-31 1999-07-13 Sermatech International, Inc. Spray booth for applying coatings to substrate
US5947170A (en) * 1998-02-10 1999-09-07 Vital Signs Inc. Aseptic liquid filling
AT406650B (de) * 1998-11-10 2000-07-25 Pete Herbert Dipl Ing Dr Vorrichtung zum isolieren eines in einem isolierraum vorhandenen testgases gegen einen bedienungsraum
US6207460B1 (en) 1999-01-14 2001-03-27 Extraction Systems, Inc. Detection of base contaminants in gas samples
US6174341B1 (en) 1999-03-18 2001-01-16 Byron Burge Ceiling mounted air filtration system
GB2351924B (en) * 1999-05-04 2003-03-19 Simatelex Manuf Co Air purifier
US6503462B1 (en) 2001-06-19 2003-01-07 Honeywell International Inc. Smart air cleaning system and method thereof
WO2006049609A1 (en) * 2004-10-27 2006-05-11 Novartis Vaccines And Diagnostics Inc. Air-controlled chamber with an integrated robotic workstation
PL1867932T3 (pl) * 2005-01-06 2009-07-31 Oy Halton Group Ltd Automatyczny system wentylacji wyporowej z trybem ogrzewania
JP4792611B2 (ja) * 2006-02-01 2011-10-12 リオン株式会社 粒子計測装置
WO2007106003A1 (en) * 2006-03-14 2007-09-20 Camfil Ab Air filter housing with means for measuring particle concentration
DE102006018246A1 (de) 2006-04-13 2007-10-18 M+W Zander Holding Ag Identifikationseinrichtung, insbesondere bei Reinräumen
US8003067B2 (en) * 2007-09-20 2011-08-23 Applied Materials, Inc. Apparatus and methods for ambient air abatement of electronic manufacturing effluent
US8943883B2 (en) 2012-09-14 2015-02-03 HGST Netherlands B.V. Apparatus for counting microparticles using a gas reservoir to increase stability of air pressure
WO2017200932A1 (en) * 2016-05-16 2017-11-23 Noam Gavriely Particle deflection pad and method of use
GB2551714A (en) * 2016-06-27 2018-01-03 Energy Efficiency Consultancy Group Ltd Cleanroom control system and method
US20180164204A1 (en) * 2016-12-12 2018-06-14 Aether Services, Taiwan, Ltd. Method for estimating service life of filter gauze
US20220268466A1 (en) * 2021-02-24 2022-08-25 John Doerr Collapsible Smoke Containment Apparatus

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5737640A (en) * 1980-08-20 1982-03-02 Shimizu Constr Co Ltd System for varying draft of air in clean room

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3367257A (en) * 1965-03-23 1968-02-06 Pyle National Co Air control for white room
DE1604119A1 (de) * 1966-04-05 1970-09-10 Fischer Dr Heinz Juergen Geraet zur kontaktlosen kontinuierlichen Belueftungsregelung
US3518814A (en) * 1967-03-28 1970-07-07 Smith Corp A O Airflow control for a dust-free bench
DE2608004C3 (de) * 1976-02-27 1979-06-07 Mannesmann Ag, 4000 Duesseldorf Verfahren zum Betrieb einer Entstaubungsanlage und Vorrichtung dazu
US4137831A (en) * 1976-05-08 1979-02-06 Howorth Air Engineering Limited Clean air zone
US4100347A (en) * 1976-06-10 1978-07-11 Pfizer Inc. 3,4-Dihydro-2-methyl-4-oxo-2H-1,2-benzothiazine-3-carboxylic acid-1,1-dioxide
US4412849A (en) * 1981-04-09 1983-11-01 Klenzaids Engineers Private Limited Method and apparatus for control of gas-borne particulates
GB2099034A (en) * 1981-05-26 1982-12-01 Smith David Trevor Modular partition panel for ventilated enclosure

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5737640A (en) * 1980-08-20 1982-03-02 Shimizu Constr Co Ltd System for varying draft of air in clean room

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63180032A (ja) * 1987-01-20 1988-07-25 Nec Kyushu Ltd クリ−ンル−ム
JP2007165421A (ja) * 2005-12-12 2007-06-28 Oppama Kogyo Kk 内燃機関の無接点点火装置用固定子

Also Published As

Publication number Publication date
US4530272A (en) 1985-07-23
EP0151735A2 (en) 1985-08-21
EP0151735A3 (en) 1987-08-05
DE3479828D1 (en) 1989-10-26
EP0151735B1 (en) 1989-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60172329A (ja) 無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法
US4098174A (en) Total exhaust laminar flow biological fume hood safety cabinet and method
US5810657A (en) Controller to maintain a certain set of environmental parameters in an environment
US20040262241A1 (en) High efficiency decontamination method and apparatus for the treatment of indoor air
US5912184A (en) Environmentally enhanced enclosure for managing CMP contamination
US6632260B1 (en) Adjustable clean-air flow environment
JPH0688631A (ja) 人間環境室内空気の浄化方法およびそのための空調設備
US3273323A (en) Laminar flow air hood apparatus
US6062977A (en) Source capture air filtering device
US6960244B2 (en) System and method for removing contaminates from the air in a mail-sorting room
US4905578A (en) Apparatus for ventilating controlled areas
DE3374853D1 (en) Apparatus for filling containers in a sterile environment
US5380244A (en) Safety cabinet
US20230092341A1 (en) Air filtering unit
CN113019481A (zh) 生物安全柜
JP2580375B2 (ja) クリ―ンル―ム
KR20210147486A (ko) 다중 센싱 스마트 공기정화 시스템
JPH05133598A (ja) 外気取入装置
Gmünder BSL-2 and BSL-3 Laboratory Air Exchange Rates: A Novel Proposal
Stuart et al. Survey, use, and performance of biological safety cabinets
KR20010057478A (ko) 간이 청정 작업대
Chang et al. Effect of turbulence on ultraviolet germicidal irradiation
Sandle Clean room design principles
KR101986829B1 (ko) 안전 작업 스테이션
JPH0339833A (ja) 清浄空調室の有害ガス除去装置