JPS63180032A - クリ−ンル−ム - Google Patents

クリ−ンル−ム

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Publication number
JPS63180032A
JPS63180032A JP1209287A JP1209287A JPS63180032A JP S63180032 A JPS63180032 A JP S63180032A JP 1209287 A JP1209287 A JP 1209287A JP 1209287 A JP1209287 A JP 1209287A JP S63180032 A JPS63180032 A JP S63180032A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dust
amount
room
blower
clean room
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1209287A
Other languages
English (en)
Inventor
Manabu Tateishi
学 立石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Kyushu Ltd
Original Assignee
NEC Kyushu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Kyushu Ltd filed Critical NEC Kyushu Ltd
Priority to JP1209287A priority Critical patent/JPS63180032A/ja
Publication of JPS63180032A publication Critical patent/JPS63180032A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はクリーンルームに関し、特に室内清浄度を適正
に保つように送風器の能力を自動制御した半導体装置製
造用クリーンルームに関する。
〔従来の技術〕
従来、この種のクリーンルーム用送風器としては、室内
塵埃量によって能力を変化する手段を有しておらず、一
定態力の送風機によって送風する方式が用られていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来のクリーンルームは、室内清浄度を保つよ
うに加圧された空気を、高性能除塵能力を有するろ過器
（以下ＨＥＰＡフィルタと称す）　−を介して室内に送
り込んでいる。この際の空気を加圧する送風機が常に一
定の能力で運転を行なう方式となっているので、室内の
発塵量が増大した場合には室内の塵埃量が増大し、半導
体装置の製造上重大な支障があった。また、この場合と
は逆に室内の発塵量が減少した時でも送風機能能力が一
定であるため、このクリーンルームの必要とする清浄度
以上の清浄度となって、一般に運転中コストが高価とな
り、クリーンルーム運営管理上無駄なエネルギ消費とな
る欠点があった。
本発明の目的は、このような欠点を除き、送風能力を適
切に制御できるようにして、発塵量を最適に制御すると
共に電力消費を節減したクリーンルームを提供すること
にある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の構成は、密閉された室内に送風機により加圧さ
れた空気を、高性能除塵機能を有するろ過器を介して吹
き出してその室内空気を高清浄度に保つようにしたクリ
ーンルームにおいて、前記室内に空気を送り込む送風機
の回転数が、この室内に置かれた塵埃量測定手段の出力
塵埃量に応じて自動的に可変制御されることを特徴とす
る。
〔実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の模式的側断面図である０本
実施例は、クリーンルーム室内１にＨＥＰＡフィルタ２
を介して加圧された空気を送り込む送風機３と、この送
風機３の能力を制御する制御器４とを有し、クリーンル
ーム室内１に設置された塵埃測定器５により塵埃量に比
例した電気信号を制御器４に送る事により、この制御器
４に連動した送風機６の能力を塵埃量に比例して制御す
ることができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明は、クリーンルーム内に設
置した塵埃測定器により、常時クリーンルーム内の塵埃
量を測定して送風機能力をクリーンルーム内の塵埃力に
比例して制御するので、クリーンルーム内の発塵量変化
に関係なく常に一定の空気清浄度を保つ事ができ、半導
体装置の品質が均一化できる。また、運転コストが高価
となりがちなりリーンルームを低コストに運営できると
いう効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の側断面図である。 １・・・クリーンルーム、２・・・ＨＥＰＡフィルタ、
３・・・送風機、４・・・制御器、５・・・自動塵埃量
測定器。 ４＃り０咋り琴１ ￥Ｊ１＠

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 密閉された室内に送風機により加圧された空気を、高性
    能除塵機能を有するろ過器を介して吹き出してその室内
    空気を高清浄度に保つようにしたクリーンルームにおい
    て、前記室内に空気を送り込む送風機の回転数が、この
    室内に置かれた塵埃量測定手段の出力塵埃量に応じて自
    動的に可変制御されることを特徴とするクリーンルーム
    。
JP1209287A 1987-01-20 1987-01-20 クリ−ンル−ム Pending JPS63180032A (ja)

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JPS63180032A true JPS63180032A (ja) 1988-07-25

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0864348A1 (en) * 1997-03-11 1998-09-16 Philips Electronics N.V. Gas purifier

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5737640A (en) * 1980-08-20 1982-03-02 Shimizu Constr Co Ltd System for varying draft of air in clean room
JPS60172329A (ja) * 1984-01-13 1985-09-05 インタ−ナショナル　ビジネス　マシ−ンズ　コ−ポレ−ション 無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法

Patent Citations (2)

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JPS60172329A (ja) * 1984-01-13 1985-09-05 インタ−ナショナル　ビジネス　マシ−ンズ　コ−ポレ−ション 無塵室環境中の微粒子汚染物の濃度を制御する方法

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