JPH0480538A - クリーンルーム空調装置 - Google Patents
クリーンルーム空調装置Info
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- JPH0480538A JPH0480538A JP2190482A JP19048290A JPH0480538A JP H0480538 A JPH0480538 A JP H0480538A JP 2190482 A JP2190482 A JP 2190482A JP 19048290 A JP19048290 A JP 19048290A JP H0480538 A JPH0480538 A JP H0480538A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/346—Controlling the process
-
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- B01D53/30—Controlling by gas-analysis apparatus
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、クリーンルーム空調装置、特に、薬品漏れ
によるクリーンルーム内の汚染を防止するクリーンルー
ム空調装置に関するものである。
によるクリーンルーム内の汚染を防止するクリーンルー
ム空調装置に関するものである。
［従来の技術］
第５図は従来のクリーンルーム空調装置の一例を示す断
面図であり、図において、クリーンルーム（１）に隣接
して空気を循環させる循環系空調機（２）例えば送風機
が設けられている。この循環系空調機（２）により送風
された空気は、サプライダクト（３）内を通過し空調用
フィルター（４）を介してクリーンルーム（１）内に清
浄な空気として送られる。クリーンルーム（１）内を通
った空気はグレーティング床（５）を通過し、風量調節
用のリターン口（６）及びリターンダクト（７）を通り
、再び元の循環系空調機（２）に戻る。従って、クリー
ンルーム（１）内の空気は、第５図中の矢印で示すよう
に常時循環している。
面図であり、図において、クリーンルーム（１）に隣接
して空気を循環させる循環系空調機（２）例えば送風機
が設けられている。この循環系空調機（２）により送風
された空気は、サプライダクト（３）内を通過し空調用
フィルター（４）を介してクリーンルーム（１）内に清
浄な空気として送られる。クリーンルーム（１）内を通
った空気はグレーティング床（５）を通過し、風量調節
用のリターン口（６）及びリターンダクト（７）を通り
、再び元の循環系空調機（２）に戻る。従って、クリー
ンルーム（１）内の空気は、第５図中の矢印で示すよう
に常時循環している。
従来のクリーンルーム空調装置は上述したように構成さ
れ、クリーンルーム（１）内には薬品使用設備（８）が
設けられている場合があり、この薬品使用設備（８）に
は薬品供給配管（９）により薬品等が供給されている。
れ、クリーンルーム（１）内には薬品使用設備（８）が
設けられている場合があり、この薬品使用設備（８）に
は薬品供給配管（９）により薬品等が供給されている。
［発明が解決しようとする課題］
上述したようなりリーンルーム空調装置では、薬品供給
配管（９）等で薬品が漏洩した場合、漏洩薬品（１０）
から発生する薬品ミストやガスがクリーンルーム（１）
内を循環する空気に乗って、短時間例えば７〜８秒から
数分の間にクリーンルーム（１）全体に広がることなる
。従って、毒性薬品を使用していた場合にはクリーンル
ーム（１）内の作業者の人体に影響を及ぼしたり、また
、腐食性薬品を使用した場合にはクリーンルーム（１）
内の各設備にサビを発生させたりするという問題点があ
った。
配管（９）等で薬品が漏洩した場合、漏洩薬品（１０）
から発生する薬品ミストやガスがクリーンルーム（１）
内を循環する空気に乗って、短時間例えば７〜８秒から
数分の間にクリーンルーム（１）全体に広がることなる
。従って、毒性薬品を使用していた場合にはクリーンル
ーム（１）内の作業者の人体に影響を及ぼしたり、また
、腐食性薬品を使用した場合にはクリーンルーム（１）
内の各設備にサビを発生させたりするという問題点があ
った。
この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、薬品漏洩時における薬品ミスト等がクリーン
ルーム内へ拡散するのを防止するクリーンルーム空調装
置を得ることを目的とする。
たもので、薬品漏洩時における薬品ミスト等がクリーン
ルーム内へ拡散するのを防止するクリーンルーム空調装
置を得ることを目的とする。
［課題を解決するための手段］
この発明に係るクリーンルーム空調装置は、空調リター
ン口に除害剤フィルターを設置すると共に、薬品等が漏
洩していない通常時には循環空気を除害剤フィルターを
通過させずにバイパスし、薬品等の漏洩時にはシャッタ
ーの切り替えにより除害剤フィルターを通過させ、循環
空気中に含まれる薬品ミスト等を除害剤フィルターによ
り除去するものである。
ン口に除害剤フィルターを設置すると共に、薬品等が漏
洩していない通常時には循環空気を除害剤フィルターを
通過させずにバイパスし、薬品等の漏洩時にはシャッタ
ーの切り替えにより除害剤フィルターを通過させ、循環
空気中に含まれる薬品ミスト等を除害剤フィルターによ
り除去するものである。
［作 用］
この発明においては、クリーンルームの薬品、ガス等の
漏洩時にのみ除害剤フィルターにより薬品ミスト等を除
去するため、大量の薬品等が漏洩した場合にもこれを除
去することができる。
漏洩時にのみ除害剤フィルターにより薬品ミスト等を除
去するため、大量の薬品等が漏洩した場合にもこれを除
去することができる。
［実施例コ
第１Ａ図及び第１Ｂ図はこの発明の一実施例によるクリ
ーンルーム空調装置を示す要部断面図であり、これらの
図はそれぞれ通常の作動時及び薬品漏洩時の状態を示す
。また、（１）〜（３）、（５）〜（７）は上述した従
来のクリーンルーム空調装置におけるものと全く同一で
ある。これらの図において、リターンダクト（７）には
除害剤フィルター（１０）例えば除害剤として活性炭を
用いたフィルターと、この除害剤フィルター（１０）の
入口及び出口に設けられたシャッター（１１）とが設け
られている。シャッター（１１）は、シャッター摺動部
材（１２）例えばガイドレールにより上下に動く。
ーンルーム空調装置を示す要部断面図であり、これらの
図はそれぞれ通常の作動時及び薬品漏洩時の状態を示す
。また、（１）〜（３）、（５）〜（７）は上述した従
来のクリーンルーム空調装置におけるものと全く同一で
ある。これらの図において、リターンダクト（７）には
除害剤フィルター（１０）例えば除害剤として活性炭を
用いたフィルターと、この除害剤フィルター（１０）の
入口及び出口に設けられたシャッター（１１）とが設け
られている。シャッター（１１）は、シャッター摺動部
材（１２）例えばガイドレールにより上下に動く。
上述したように構成されたクリーンルーム空調装置にお
いては、薬品等の漏洩のない通常の作動時においては、
第１Ａ図に示すように、除害剤フィルター（１）の入口
及び出口はシャッター（１１）で覆われている。従って
、クリーンルーム（１）からのリターン空気は矢印で示
すように除害剤フィルター（１０）中を通過せず、循環
系空調機（２）へ戻って行く、シかし、クリーンルーム
（１）内において薬品漏れやガス漏れ等が発生した場合
には、第１Ｂ図に示すように、薬品ミスト検知器（１３
）が薬品漏れ等を検知し、この薬品ミスト検知器（１３
）に連動したシャッター（１１）がシャッター摺動部材
（１２）により移動し、除害剤フィルター（１０）が開
放の状態となる。このため、薬品ミスト等を含んだ空気
は除害剤フィルター（１０）を通過することとなり、こ
の空気中に含まれる薬品ミスト等は除害剤フィルター（
１０）に吸着、捕集され、空気は清浄となりクリーンル
ーム（１）へ戻って行くことになる。従って、汚染され
た空気がクリーンルーム（１）を循環するのを防止する
ことができる。
いては、薬品等の漏洩のない通常の作動時においては、
第１Ａ図に示すように、除害剤フィルター（１）の入口
及び出口はシャッター（１１）で覆われている。従って
、クリーンルーム（１）からのリターン空気は矢印で示
すように除害剤フィルター（１０）中を通過せず、循環
系空調機（２）へ戻って行く、シかし、クリーンルーム
（１）内において薬品漏れやガス漏れ等が発生した場合
には、第１Ｂ図に示すように、薬品ミスト検知器（１３
）が薬品漏れ等を検知し、この薬品ミスト検知器（１３
）に連動したシャッター（１１）がシャッター摺動部材
（１２）により移動し、除害剤フィルター（１０）が開
放の状態となる。このため、薬品ミスト等を含んだ空気
は除害剤フィルター（１０）を通過することとなり、こ
の空気中に含まれる薬品ミスト等は除害剤フィルター（
１０）に吸着、捕集され、空気は清浄となりクリーンル
ーム（１）へ戻って行くことになる。従って、汚染され
た空気がクリーンルーム（１）を循環するのを防止する
ことができる。
なお、現状でも循環系空調機のリターン口に常時除害剤
フィルターを取り付けている場合があるが、除害剤フィ
ルターが劣化してしまい、大量に薬品、ガス漏洩が発生
した場合には、これに対応することができない。しかし
、この発明によるクリーンルーム空調装置では、薬品等
の漏洩時に常に新しい除害剤フィルターにより薬品ミス
ト等を除去するため、大量の薬品等の漏洩に対しても対
応することができる。
フィルターを取り付けている場合があるが、除害剤フィ
ルターが劣化してしまい、大量に薬品、ガス漏洩が発生
した場合には、これに対応することができない。しかし
、この発明によるクリーンルーム空調装置では、薬品等
の漏洩時に常に新しい除害剤フィルターにより薬品ミス
ト等を除去するため、大量の薬品等の漏洩に対しても対
応することができる。
なお、上述した実施例では、シャッター（１１）の作動
を薬品ミスト検知器（１３〉と連動させて行ったが、人
間の判断による手動操作による方法も可能である。
を薬品ミスト検知器（１３〉と連動させて行ったが、人
間の判断による手動操作による方法も可能である。
また、上述した実施例では、シャッター（１１）を上下
方向に移動させる方式について説明したが、第２図に示
すように、シャッター（１１）を横方向に移動させても
よい。さらに、第３Ａ図及び第３Ｂ図に示すように、多
数のフィンからなる回転式のシャッター（１４）、（１
５）を使用し、通常時にはシャッター（１５）から空気
を流通させることにより除害剤フィルター（１０）に空
気を通過させず、薬品等の漏洩時にはシャッター（１５
）を閉じてシャッター（１４）を開放し、薬品等を含む
空気を除害剤フィルター（１０）内を通過させてもよく
、上述の実施例と同様の効果を奏する。
方向に移動させる方式について説明したが、第２図に示
すように、シャッター（１１）を横方向に移動させても
よい。さらに、第３Ａ図及び第３Ｂ図に示すように、多
数のフィンからなる回転式のシャッター（１４）、（１
５）を使用し、通常時にはシャッター（１５）から空気
を流通させることにより除害剤フィルター（１０）に空
気を通過させず、薬品等の漏洩時にはシャッター（１５
）を閉じてシャッター（１４）を開放し、薬品等を含む
空気を除害剤フィルター（１０）内を通過させてもよく
、上述の実施例と同様の効果を奏する。
さらに、上述の実施例ではクリーンルーム内における薬
品等の漏洩について説明したが、半導体用材料ガス等の
有毒性、腐食性ガス等のガス漏洩に対しても同様の効果
を奏する。また、除害剤フィルターも除害剤として活性
炭を用いたものに限らず、他の種々の除害剤が使用でき
る。例えば、有機溶剤（アルコール、アセトン、ベンゼ
ン、キシレン等）に対しては除害剤として活性炭が好適
に使用でき、アルシン（ＡＳＨ３）、ホスフィン（Ｐ
Ｈ３）等には塩化第２鉄が好適であり、三塩化ホウ素（
ＢＣＬ）、四塩化ケイ素（ＳｉＣ１４）等には焼結マグ
ネシウムが好適に使用できる。
品等の漏洩について説明したが、半導体用材料ガス等の
有毒性、腐食性ガス等のガス漏洩に対しても同様の効果
を奏する。また、除害剤フィルターも除害剤として活性
炭を用いたものに限らず、他の種々の除害剤が使用でき
る。例えば、有機溶剤（アルコール、アセトン、ベンゼ
ン、キシレン等）に対しては除害剤として活性炭が好適
に使用でき、アルシン（ＡＳＨ３）、ホスフィン（Ｐ
Ｈ３）等には塩化第２鉄が好適であり、三塩化ホウ素（
ＢＣＬ）、四塩化ケイ素（ＳｉＣ１４）等には焼結マグ
ネシウムが好適に使用できる。
また、除害剤フィルター（１０）として単一種類の除害
剤を使用したものを示したが、第４ｒｊ！ｉに示すよう
に、複数種類の除害剤を用いた除害剤フィルター（１０
ａ）、（１０ｂ）を重ね合わせ、複数の薬品等を除去す
ることも可能である。
剤を使用したものを示したが、第４ｒｊ！ｉに示すよう
に、複数種類の除害剤を用いた除害剤フィルター（１０
ａ）、（１０ｂ）を重ね合わせ、複数の薬品等を除去す
ることも可能である。
なお、上述のように、この発明では薬品等の漏洩時のみ
に除害剤フィルターを使用するが、常時除害剤フィルタ
ーを取り付けているクリーンルーム空調装置にこの発明
の装置を併用することもでき、除害効果をさらに高める
ことができる。
に除害剤フィルターを使用するが、常時除害剤フィルタ
ーを取り付けているクリーンルーム空調装置にこの発明
の装置を併用することもでき、除害効果をさらに高める
ことができる。
［発明の効果コ
この発明は、以上説明したとおり、空調リターン口に除
害剤フィルターを設置すると共に、通常時には循環空気
を除害剤フィルターを通過させず、薬品等の漏洩時には
シャッターの切り替えにより除害剤フィルターを通過さ
せ、循環空気中に含まれる薬品ミスト等を除去するので
、クリーンルームの薬品等の漏洩時に常に新しい除害剤
フィルターにより薬品ミスト等を除去するため、大量の
薬品等が漏洩した場合にも対応できるという効果を奏す
る。
害剤フィルターを設置すると共に、通常時には循環空気
を除害剤フィルターを通過させず、薬品等の漏洩時には
シャッターの切り替えにより除害剤フィルターを通過さ
せ、循環空気中に含まれる薬品ミスト等を除去するので
、クリーンルームの薬品等の漏洩時に常に新しい除害剤
フィルターにより薬品ミスト等を除去するため、大量の
薬品等が漏洩した場合にも対応できるという効果を奏す
る。
第１Ａ図及び第１Ｂ図はこの発明の一実施例によるクリ
ーンルーム空調装置を示す要部断面図、第２図、第３Ａ
図及び第３Ｂ図はこの発明の他の実施例によるクリーン
ルーム空調装置を示す要部断面図、第４図はこの発明の
さらに他の実施例による除害剤フィルターの断面図、第
５図は従来のクリーンルーム空調装置を示す断面図であ
る。 図において、（１）はクリーンルーム、（２）は循環系
空調機、（３）はサプライダクト、（５）はグレーティ
ング床、（６）はリターン口、（７）はリターンダクト
、（１０）、（１０ｍ）、（１０ｂ）は除害剤フィルタ
ー、（１１）、（１４）、（１５）はシャッター（１２
）はシャッター摺動部材、（１３）は薬品ミスト検知器
である。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 昂］Ａ図 に１Ｂ図 フリー−ルーへ リターータ“クト ＰＩＦ）２図 話３Ａ口 に３Ｂ図 に４図 熱５図 手 続 補 正 書 平成 ４用９
ーンルーム空調装置を示す要部断面図、第２図、第３Ａ
図及び第３Ｂ図はこの発明の他の実施例によるクリーン
ルーム空調装置を示す要部断面図、第４図はこの発明の
さらに他の実施例による除害剤フィルターの断面図、第
５図は従来のクリーンルーム空調装置を示す断面図であ
る。 図において、（１）はクリーンルーム、（２）は循環系
空調機、（３）はサプライダクト、（５）はグレーティ
ング床、（６）はリターン口、（７）はリターンダクト
、（１０）、（１０ｍ）、（１０ｂ）は除害剤フィルタ
ー、（１１）、（１４）、（１５）はシャッター（１２
）はシャッター摺動部材、（１３）は薬品ミスト検知器
である。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 昂］Ａ図 に１Ｂ図 フリー−ルーへ リターータ“クト ＰＩＦ）２図 話３Ａ口 に３Ｂ図 に４図 熱５図 手 続 補 正 書 平成 ４用９
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 空気を循環させる循環系空調機と、 この循環系空調機からの空気をクリーンルーム内へ導く
サプライダクトと、 上記クリーンルーム内を循環した空気を上記循環系空調
機へ導くリターンダクトと、 このリターンダクトに設けられ、クリーンルーム内の薬
品、ガス等が漏洩した時にのみ空気中の薬品等を除去す
る除害剤フィルターと、 この除害剤フィルターを覆い薬品等が漏洩していない時
に空気が除害剤フィルターを通過するのを防止し、かつ
薬品等が漏洩した時には上記リターンダクトを覆い上記
除害剤フィルターのみから空気を通過させるシャッター
とを備えたことを特徴とするクリーンルーム空調装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2190482A JPH0480538A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | クリーンルーム空調装置 |
| US07/596,544 US5053064A (en) | 1990-07-20 | 1990-10-11 | Air conditioning apparatus for a clean room |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2190482A JPH0480538A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | クリーンルーム空調装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0480538A true JPH0480538A (ja) | 1992-03-13 |
Family
ID=16258838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2190482A Pending JPH0480538A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | クリーンルーム空調装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5053064A (ja) |
| JP (1) | JPH0480538A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05346239A (ja) * | 1992-06-15 | 1993-12-27 | Nec Corp | 清浄室対応空気調和システム |
| US6368208B1 (en) | 1999-09-24 | 2002-04-09 | Nec Corporation | Cleanroom and cleanroom ventilation method |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5582865A (en) * | 1988-12-12 | 1996-12-10 | Extraction Systems, Inc. | Non-woven filter composite |
| US5626820A (en) * | 1988-12-12 | 1997-05-06 | Kinkead; Devon A. | Clean room air filtering |
| US5127927A (en) * | 1991-09-25 | 1992-07-07 | Environet, Inc. | Flow filter device |
| JP3334929B2 (ja) * | 1993-02-04 | 2002-10-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置 |
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