JPS60171262A - 無機質シ−ト材の製造法 - Google Patents
無機質シ−ト材の製造法Info
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- JPS60171262A JPS60171262A JP2769184A JP2769184A JPS60171262A JP S60171262 A JPS60171262 A JP S60171262A JP 2769184 A JP2769184 A JP 2769184A JP 2769184 A JP2769184 A JP 2769184A JP S60171262 A JPS60171262 A JP S60171262A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 7
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims description 11
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 8
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 8
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 7
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 claims description 6
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000012784 inorganic fiber Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 8
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 6
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001768 carboxy methyl cellulose Substances 0.000 description 2
- 235000010948 carboxy methyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 239000008112 carboxymethyl-cellulose Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- NJLLQSBAHIKGKF-UHFFFAOYSA-N dipotassium dioxido(oxo)titanium Chemical compound [K+].[K+].[O-][Ti]([O-])=O NJLLQSBAHIKGKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 229920003043 Cellulose fiber Polymers 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000007900 aqueous suspension Substances 0.000 description 1
- 238000010009 beating Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011490 mineral wool Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000012815 thermoplastic material Substances 0.000 description 1
- 150000003568 thioethers Chemical class 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010455 vermiculite Substances 0.000 description 1
- 229910052902 vermiculite Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019354 vermiculite Nutrition 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ミクロフィブリル化セルロースをバインダー
としだ流延法による無機質微粒子または無機質短繊維の
シート材の製造法に関する。
としだ流延法による無機質微粒子または無機質短繊維の
シート材の製造法に関する。
シリカ、アルミナ、酸化チタン、チタン酸カリなどの無
機質粒子または無機質繊維は、一般に、それらの素材が
不燃性、耐熱性、耐薬品性。
機質粒子または無機質繊維は、一般に、それらの素材が
不燃性、耐熱性、耐薬品性。
高剛性率であるなどの特徴があり、シート状に成形した
ものは種々の用途が考えられる。
ものは種々の用途が考えられる。
これらの無機質でそのサイズが小さいもの、即ち、微粒
子や短繊維をシート状に成形する方法としては、抄紙法
、流延法、押出成型法などがある。抄紙法は一般に生産
性の高い方法であるが、特に粒子や繊維のサイズが微小
であり、また表面が平滑な場合、100%の歩留りでシ
ートとして取得することは困難である。また、押出法は
多量の熱可塑性物質の介在が必要であり、無機質含有が
高いシートは製造…狸である。これらに対し、流延法は
無機質の歩留りが100係で、かつ無機質含有率の高い
シートが得られる。この方法はまた、薄い均一なシート
(フィルム)の成形に適している。
子や短繊維をシート状に成形する方法としては、抄紙法
、流延法、押出成型法などがある。抄紙法は一般に生産
性の高い方法であるが、特に粒子や繊維のサイズが微小
であり、また表面が平滑な場合、100%の歩留りでシ
ートとして取得することは困難である。また、押出法は
多量の熱可塑性物質の介在が必要であり、無機質含有が
高いシートは製造…狸である。これらに対し、流延法は
無機質の歩留りが100係で、かつ無機質含有率の高い
シートが得られる。この方法はまた、薄い均一なシート
(フィルム)の成形に適している。
無機質微粒子や短繊維を流延法でシート化するには、通
常、フィルム形成能力のある物質1例えばカルボキシメ
チルセルロースやポリビニルアルコールなどの水溶性高
分子の水浴液と無機質を混合してスラリーとし、水平基
盤上に流延し、乾燥してシート化する。即ち、水溶性高
分子をバインダーとしたシートである。このようにして
製造したシートは、無機質自体が多孔質でない限り、全
体に緻密構造にすぎて含浸用には不適当である。
常、フィルム形成能力のある物質1例えばカルボキシメ
チルセルロースやポリビニルアルコールなどの水溶性高
分子の水浴液と無機質を混合してスラリーとし、水平基
盤上に流延し、乾燥してシート化する。即ち、水溶性高
分子をバインダーとしたシートである。このようにして
製造したシートは、無機質自体が多孔質でない限り、全
体に緻密構造にすぎて含浸用には不適当である。
また、一般にシートが吸湿性を有するようになり用途に
よっては問題になる。
よっては問題になる。
さらに、水溶性高分子によっては乾燥時の収縮が大きく
、部分的な内部応力、例えば周辺部と中央部で差ができ
、変形や割れの起りやすいシートになる。水板外の物質
、例えば有機溶剤を使用することについては、一般に無
機質は有機溶剤に対するなじみが悪く、スラリー中での
分散性が悪くなるので良好なシードが得られ難く、また
、コストが高くなる。
、部分的な内部応力、例えば周辺部と中央部で差ができ
、変形や割れの起りやすいシートになる。水板外の物質
、例えば有機溶剤を使用することについては、一般に無
機質は有機溶剤に対するなじみが悪く、スラリー中での
分散性が悪くなるので良好なシードが得られ難く、また
、コストが高くなる。
発明者等はさきに、ミクロフィブリル化セルロース(以
下MF’Cと略す)が、無機微粒子の抄紙法を用いたシ
ート化の際のバインダー兼分散剤としてすぐれたもので
あることを見出し、特許出願した(特開昭5’8−28
8541 )が、今回とのMFCが、流延法におけるバ
インダ゛−としても有用であることを見出した。
下MF’Cと略す)が、無機微粒子の抄紙法を用いたシ
ート化の際のバインダー兼分散剤としてすぐれたもので
あることを見出し、特許出願した(特開昭5’8−28
8541 )が、今回とのMFCが、流延法におけるバ
インダ゛−としても有用であることを見出した。
即ち、本発明は無機質微粒子または無機質短繊維と、M
FCを必須成分として含有する水性スラリーを平面基盤
上に流延し、乾燥することを特徴とする無機質シート材
の製造法に関するものである。
FCを必須成分として含有する水性スラリーを平面基盤
上に流延し、乾燥することを特徴とする無機質シート材
の製造法に関するものである。
本発明に使用するMFCとは、パルプやリンターなどの
セルロース原料を特開昭56−100801号明細書に
開示された方法を用いて、水中で粘状叩解して得られる
もので、同明細書には「微小繊維状セルロース]として
定義されている。MFCは、セルロース繊維が微細に分
割され、径が数μm以下の多数のフィブリルの集合体と
なっているものである。フィブリルの長さは、原料や製
造条件によって多少異るが、木材バルブから得られたも
のは数百μm程度のものである。MFCは原料の6倍相
度以上の保水性があり、水中でセルロース固形分04%
以上の濃度で分散したものは、安定な懸濁液を形成する
。この懸濁液を流延して乾燥すると半透明のフィルムが
得られる。
セルロース原料を特開昭56−100801号明細書に
開示された方法を用いて、水中で粘状叩解して得られる
もので、同明細書には「微小繊維状セルロース]として
定義されている。MFCは、セルロース繊維が微細に分
割され、径が数μm以下の多数のフィブリルの集合体と
なっているものである。フィブリルの長さは、原料や製
造条件によって多少異るが、木材バルブから得られたも
のは数百μm程度のものである。MFCは原料の6倍相
度以上の保水性があり、水中でセルロース固形分04%
以上の濃度で分散したものは、安定な懸濁液を形成する
。この懸濁液を流延して乾燥すると半透明のフィルムが
得られる。
本発明に適用する無機質微粒子または無機質短繊維とは
、アルミニウム、マグネシウム、鉄、チタン、ニッケル
などの酸化物、水酸化物、硫化物、塩化物または遊離金
属などや、炭化珪素、炭化チタン、窒化珪素、チタン酸
カリ、雲母、バ°−ミキュライト、ロックウール、ガラ
スファイバー、シラスバルーンなどであり、形態的には
針状、繊維状、柱状、板状、球状、無定形などのものを
包含する。
、アルミニウム、マグネシウム、鉄、チタン、ニッケル
などの酸化物、水酸化物、硫化物、塩化物または遊離金
属などや、炭化珪素、炭化チタン、窒化珪素、チタン酸
カリ、雲母、バ°−ミキュライト、ロックウール、ガラ
スファイバー、シラスバルーンなどであり、形態的には
針状、繊維状、柱状、板状、球状、無定形などのものを
包含する。
上記の無機質とMFCの水懸濁液を混合し、水平基盤上
に流延し、乾燥すると、自己形状保持性のあるシートが
得られる。MFCは、その固形分の5倍量程度までの無
機質のバインダーとしてシート化させることができる。
に流延し、乾燥すると、自己形状保持性のあるシートが
得られる。MFCは、その固形分の5倍量程度までの無
機質のバインダーとしてシート化させることができる。
従って、有機質含量の少い焼成用シートの製造に適して
いる。MFCをバインダーとして用いた場合、乾燥時の
収縮が少く、含浸性、加工性に富むシートが得られる。
いる。MFCをバインダーとして用いた場合、乾燥時の
収縮が少く、含浸性、加工性に富むシートが得られる。
無機質微粒子とMFCを含むスラリーに、他種のバイン
ダーを加え、シート強度を向上させることも可能である
。MFCは、特に水溶性高分子との親和性が良好であり
、水溶性高分子を第2のバインダーとして併用すること
により、種々の密度のシートを製造することができる。
ダーを加え、シート強度を向上させることも可能である
。MFCは、特に水溶性高分子との親和性が良好であり
、水溶性高分子を第2のバインダーとして併用すること
により、種々の密度のシートを製造することができる。
本発明の方法によって得たシート材は、含浸用基材、ラ
ミネート用基材、溶成用シートなど21゜て使用するこ
とができ、セパレーター、スピーカー振動板、プリント
基板、コンデンサー、面発熱体、その他の製造に利用す
ることができる。
ミネート用基材、溶成用シートなど21゜て使用するこ
とができ、セパレーター、スピーカー振動板、プリント
基板、コンデンサー、面発熱体、その他の製造に利用す
ることができる。
以下に実施例をあげて本発明を説明する。
実施例1゜
固形分濃度2チのMFC懸濁液100重量部に、平均粒
径1,0μmの水酸化アルミニウム(A120s、 3
H20住友化学製C−30i ) 2重量部を加えて混
合攪拌し、水性スラリーを得た。
径1,0μmの水酸化アルミニウム(A120s、 3
H20住友化学製C−30i ) 2重量部を加えて混
合攪拌し、水性スラリーを得た。
このものを平面上におかれたポリエステルシート上に、
クリアランス1 mlにのアプリケーターを用いて流延
し、自然乾燥して厚み36μmの均一なシートを得た。
クリアランス1 mlにのアプリケーターを用いて流延
し、自然乾燥して厚み36μmの均一なシートを得た。
乾燥工程における平面方向の収縮率は0チであった。
上記シートを1300℃の電気炉中で3時間焼成して自
己形状保持性のあるアルミナシートを作成した。焼成前
後の平面方向の収縮率は約14%であった。
己形状保持性のあるアルミナシートを作成した。焼成前
後の平面方向の収縮率は約14%であった。
比較例1゜
実施例1のMFC懸濁液にかえて、固形分濃族2チのカ
ルボキシメチルセルロース水溶液を用いたほかは実施例
1と同様にして、流延法によりシートを得た。
ルボキシメチルセルロース水溶液を用いたほかは実施例
1と同様にして、流延法によりシートを得た。
乾燥工程における収縮率は、流延方向が約4饅、流延方
向と直角の方向に約7%であった。
向と直角の方向に約7%であった。
乾燥シートの厚みは約22μmであったが、各所にひび
割れを生じていた。ひび割れのない部分をとp、1so
o℃で3時間焼成し、アルミナシートを得た。焼成前後
の収縮率は34%であった。
割れを生じていた。ひび割れのない部分をとp、1so
o℃で3時間焼成し、アルミナシートを得た。焼成前後
の収縮率は34%であった。
比較例2゜
実施例1のMFC懸濁液にかえて、固形分濃度2%のポ
リビニルアルコール水溶液を用いたほかは、実施例1と
同様にして、流延法によりシートを得た。乾燥シートの
厚みは27μmでおった。同様に1300℃で焼成し、
アルミナシートを得た。乾燥工程の収縮率は0チ、焼成
工程の収縮率は25チであった。
リビニルアルコール水溶液を用いたほかは、実施例1と
同様にして、流延法によりシートを得た。乾燥シートの
厚みは27μmでおった。同様に1300℃で焼成し、
アルミナシートを得た。乾燥工程の収縮率は0チ、焼成
工程の収縮率は25チであった。
特許出願人
ダイセル化学工業株式会社
Claims (1)
- 無機質微粒子または無機質短繊維とミクロフィブリル化
セルロースを必須成分とする水性スラリーを平面基盤上
に流延し、乾燥することを特徴とする無機質シート材の
製造法0
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2769184A JPS60171262A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | 無機質シ−ト材の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2769184A JPS60171262A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | 無機質シ−ト材の製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60171262A true JPS60171262A (ja) | 1985-09-04 |
JPH0411498B2 JPH0411498B2 (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=12227988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2769184A Granted JPS60171262A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | 無機質シ−ト材の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60171262A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0224087A2 (de) * | 1985-11-29 | 1987-06-03 | Bernhard Thiel | Verfahren zur Herstellung dünnwandiger Formteile aus Keramik und durch das Verfahren erhaltene Membran für Schallwandler |
EP0819787A3 (de) * | 1996-07-13 | 1998-06-03 | Hocepro GmbH | Fibrillen aus Cellulose |
WO1999041210A1 (fr) * | 1998-02-11 | 1999-08-19 | Rhodia Chimie | Association a base de microfibrilles et de particules minerales, preparation et utilisations |
JP2007533865A (ja) * | 2004-04-15 | 2007-11-22 | ナムローゼ・フェンノートシャップ・ベーカート・ソシエテ・アノニム | 金属繊維非焼結体の製造方法 |
JP2010067653A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 電気化学素子用セパレータ |
-
1984
- 1984-02-16 JP JP2769184A patent/JPS60171262A/ja active Granted
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0224087A2 (de) * | 1985-11-29 | 1987-06-03 | Bernhard Thiel | Verfahren zur Herstellung dünnwandiger Formteile aus Keramik und durch das Verfahren erhaltene Membran für Schallwandler |
EP0819787A3 (de) * | 1996-07-13 | 1998-06-03 | Hocepro GmbH | Fibrillen aus Cellulose |
WO1999041210A1 (fr) * | 1998-02-11 | 1999-08-19 | Rhodia Chimie | Association a base de microfibrilles et de particules minerales, preparation et utilisations |
JP2007533865A (ja) * | 2004-04-15 | 2007-11-22 | ナムローゼ・フェンノートシャップ・ベーカート・ソシエテ・アノニム | 金属繊維非焼結体の製造方法 |
JP4922921B2 (ja) * | 2004-04-15 | 2012-04-25 | ナムローゼ・フェンノートシャップ・ベーカート・ソシエテ・アノニム | 金属繊維非焼結体の製造方法 |
JP2010067653A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 電気化学素子用セパレータ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0411498B2 (ja) | 1992-02-28 |
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