JPS6017065A - スパツタリングによる鉄鋼への窒化チタン膜形成方法 - Google Patents

スパツタリングによる鉄鋼への窒化チタン膜形成方法

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JPS6017065A
JPS6017065A JP12284283A JP12284283A JPS6017065A JP S6017065 A JPS6017065 A JP S6017065A JP 12284283 A JP12284283 A JP 12284283A JP 12284283 A JP12284283 A JP 12284283A JP S6017065 A JPS6017065 A JP S6017065A
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JP
Japan
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steel
sputtering
gaseous
titanium nitride
nitride film
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Pending
Application number
JP12284283A
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English (en)
Inventor
Hitoshi Ito
均 伊藤
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Seikosha KK
Original Assignee
Seikosha KK
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Publication date
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/024—Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、スパッタリングによって鉄鋼表面に窒化チタ
ン膜を形成する方法に関する。
一般に窒化チタンは耐食耐摩耗性に優れているところか
ら各種工具の表面硬化に用いられ、また美しい黄金色を
呈するところから装飾品や時計側に金メッキの代替えと
しても利用されている。この窒化チタンの被膜は一般に
は塩浴法にて形成することが多いが、スパッタリングに
よって形成する技術も既に知られている。しかしスパッ
タリングによる従来法によれば、鉄鋼等の処理物の表面
に窒化チタンの被膜がいきなり形成され、密着性が悪い
欠点があった。
そこで本発明は、スパッタリングによって鉄鋼表面に窒
化チタン膜を形成するに際し、鉄鋼と窒化チタン膜との
密着性を向上せんとするものである。
実施例について説明する。
まず最初に処理物たる鉄鋼を陰極側に取り付け、以下の
条件で鉄鋼をターゲットとして逆スパツタリングを行な
った。
逆スパツタリングの条件 Ｎ２の分圧力　３．５　Ｘ　１０→ＴｏｒｒＡｒ＋Ｎ２
　の全圧力　５．　ＯＸ　１Ｏ−３Ｔｏｒｒ高周波入力
パワー　８００Ｗ 処理時間　３ｓｌ＋ この逆スパツタリングにおいて、Ａｒ＋とＨ＋が負電位
の鉄鋼表面に衝突する。このときＡｒ＋の衝突によって
鉄鋼表面がスパッタリングされて表面がきれいになり、
一方Ｈ＋は反応性が強いために鉄鋼と反応してその表面
に窒化層を形成する。上記条件下では、窒化層は約１０
０１前後のものが得られる。
この前処理（逆スパツタリング）を実施した鉄鋼に対し
て、以下の条件下で周知のＴｉＮの反応性スパッタリン
グを実施した。
反応性スパッタリングの条件 Ｎ２の分圧力　３．５Ｘ１０→　ＴＯｒｒＡ　ｒ　＋　
Ｎ　２の全圧力　５．０Ｘ１０′１Ｔｏｒｒ高周波入力
パワー　８００Ｗ 処理時間　５０１ＮＩｎ 鉄鋼とターゲット（Ｔ１） 藺の距離３０ｍｍ この反応性スパッタリングにより、鉄鋼の表面（窒化層
）にＴ　：１．　Ｎが約１．５μ鵠の厚さで形成された
。
上述の手順を経て形成されたＴｉＨの被膜は、鉄鋼の表
面が逆スパツタリングにより平滑になっているのに加え
て、その表面層が窒化され、この平滑な窒化層の上にＴ
ｉＨの被膜が形成されることになる。
この結果、鉄鋼の内部組織がら最外層のＴｉＮ被膜に至
るまでの組織変化が従来のように急変することなく段階
的に変化し、なおがっＴｉＮ被膜ス１ｆ窒化層に対して
なじみ易いために、ＴｉＮ被膜の密着性が極めて良好と
なり、ＴｉＮ被膜が剥離Ｔ７難い。
以　上 出願人　株式会社　精工台 代理人　弁理士　最上　務 ３６６−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 アルゴンと少量の窒素ガスとを導入ガスとして鉄鋼を逆
    スパツタリングし、 これにより上記鉄鋼の表面に窒化層を形成し、しかる後
    に、アルゴンと少量の窒素ガスとを導入ガスとしてチタ
    ンを上記鉄鋼にスパッタリングし、 上記鉄鋼の窒化層の上に窒化チタン膜を形成すること を特徴とするスパッタリングによる鉄鋼への窒化チタン
    膜形成方法。
JP12284283A 1983-07-06 1983-07-06 スパツタリングによる鉄鋼への窒化チタン膜形成方法 Pending JPS6017065A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62274070A (ja) * 1986-05-21 1987-11-28 Kawasaki Steel Corp 黄金色を呈する装飾用鋼板およびその製造方法
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