JPS60158418A - 光制御装置 - Google Patents
光制御装置Info
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- JPS60158418A JPS60158418A JP1414584A JP1414584A JPS60158418A JP S60158418 A JPS60158418 A JP S60158418A JP 1414584 A JP1414584 A JP 1414584A JP 1414584 A JP1414584 A JP 1414584A JP S60158418 A JPS60158418 A JP S60158418A
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- control device
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- plzt
- electrode
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/055—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect the active material being a ceramic
- G02F1/0551—Constructional details
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電気光学結晶素子を利用した光制御装置、特
に平行電界型光制御装置に関する。
に平行電界型光制御装置に関する。
電圧印加によって光学的異方性を示す電気光学結晶、例
えば透明セラミックＰＬＺＴ （Ｐｂ 、 Ｌａ）・（
Ｚｒ ＋ Ｔ ｔ ）０５ ）は、印加される電圧に応
じて偏光の偏光面を回転させる。したがって、直交ニコ
ルの状態に組合わされた偏光子と検光子との間に置かれ
たＰＬＺＴは、これに供給される電気信号に基づいて、
偏光子によって得られる直線偏光の偏光面を回転させて
検光子に対する前記偏光の通過を制御する光制御装置、
即ち元シャッターとして作動し、その応答速度は速い。
えば透明セラミックＰＬＺＴ （Ｐｂ 、 Ｌａ）・（
Ｚｒ ＋ Ｔ ｔ ）０５ ）は、印加される電圧に応
じて偏光の偏光面を回転させる。したがって、直交ニコ
ルの状態に組合わされた偏光子と検光子との間に置かれ
たＰＬＺＴは、これに供給される電気信号に基づいて、
偏光子によって得られる直線偏光の偏光面を回転させて
検光子に対する前記偏光の通過を制御する光制御装置、
即ち元シャッターとして作動し、その応答速度は速い。
このような元シャッターは閃光保膿メガネ、立体ＴＶシ
ステムなどに応用される。また、このような光シヤツタ
ーが一次元的に配列して構成された元シャッターアレイ
は高速プリンタ（例えば電子写真プリンタ）、高輝度プ
ロジェクタなどへの応用が期待されている。
ステムなどに応用される。また、このような光シヤツタ
ーが一次元的に配列して構成された元シャッターアレイ
は高速プリンタ（例えば電子写真プリンタ）、高輝度プ
ロジェクタなどへの応用が期待されている。
背景技術とその問題点
従来〜透明ＰＬＺＴを利用した光シヤツターアレイは、
第１図に示すように、表面電極型のものであった。即ち
、ＰＬＺＴ基板１の一方の面に電極２，３が所定ピッチ
で２列に形成され、こねに対応する位置で他方の面にも
対向電析（図示せず）が形成されている。
第１図に示すように、表面電極型のものであった。即ち
、ＰＬＺＴ基板１の一方の面に電極２，３が所定ピッチ
で２列に形成され、こねに対応する位置で他方の面にも
対向電析（図示せず）が形成されている。
このような表面電極型光シャッターアレイでは、駆動電
圧が高いこと、電極近傍の不平行電界に起因する散乱効
果を生じること、瞬接する箪極間谷量によるクロストー
クが発生し、誤動作が起こりやすいこと、および応答速
度が低いことなどの問照点があった。
圧が高いこと、電極近傍の不平行電界に起因する散乱効
果を生じること、瞬接する箪極間谷量によるクロストー
クが発生し、誤動作が起こりやすいこと、および応答速
度が低いことなどの問照点があった。
これらの問題点は、電気光学結晶素子に完全平行電界を
生じ得る平行電界型光シャッターアレイによって大幅に
改善される。しかし、従来の平行電界型光シャッターに
は、第２図に示す構成を有するものが提案されていた（
特開昭５５−１１２４６号参照）。即ち、各ＰＬＺＴ４
の両側面にそれぞれ電極５ａ、５ｂが設けられ、各ＰＬ
ＺＴ４は、電極間の接着剤層７により一体に結合されて
いる。この型の光シヤツターの製造には接着工程を必要
とし、工程が複雑になり、また電極と接着剤層との間で
剥離の問題が生じ易く、その上、電極間距離はＰＬＺＴ
４の厚さに制限されて１００μｍ以下にすることが困難
であった◇Ｐ、ＬＺＴ光シャッターの駆動電圧は電極間
距離に比例するため、電極間距離を小さくすることが好
ましい６発明の目的 本発明は、上述の点に鑑み、前記剥離の問題が回避され
、駆動電圧の低減が可能な、平行電界型光制御装置を提
供するものである。
生じ得る平行電界型光シャッターアレイによって大幅に
改善される。しかし、従来の平行電界型光シャッターに
は、第２図に示す構成を有するものが提案されていた（
特開昭５５−１１２４６号参照）。即ち、各ＰＬＺＴ４
の両側面にそれぞれ電極５ａ、５ｂが設けられ、各ＰＬ
ＺＴ４は、電極間の接着剤層７により一体に結合されて
いる。この型の光シヤツターの製造には接着工程を必要
とし、工程が複雑になり、また電極と接着剤層との間で
剥離の問題が生じ易く、その上、電極間距離はＰＬＺＴ
４の厚さに制限されて１００μｍ以下にすることが困難
であった◇Ｐ、ＬＺＴ光シャッターの駆動電圧は電極間
距離に比例するため、電極間距離を小さくすることが好
ましい６発明の目的 本発明は、上述の点に鑑み、前記剥離の問題が回避され
、駆動電圧の低減が可能な、平行電界型光制御装置を提
供するものである。
発明の概要
本発明では上述の目的を達成するために、電極が設けら
れた電気光学結晶素子を有してなる光制御装置において
、電気光学結晶素子が電気光学結晶の複数の層からなり
かつ隣接した各前記層が電極を介して焼結によって一体
に結合されている。
れた電気光学結晶素子を有してなる光制御装置において
、電気光学結晶素子が電気光学結晶の複数の層からなり
かつ隣接した各前記層が電極を介して焼結によって一体
に結合されている。
前記電極と、前記電気光学結晶素子に電気信号を供給す
るリード線との接続は公知の技術により種々の方法で行
うことができる。
るリード線との接続は公知の技術により種々の方法で行
うことができる。
本発明の平行電界型光制御装置では、各層間が電極を介
して焼結によって結合されているので、層間剥離の問題
を回避すること、電極間距離を容易に１００μｍ以下に
小さくすること、したがって駆動電圧を低減させること
、および高い生産性で製造することが可能となる。
して焼結によって結合されているので、層間剥離の問題
を回避すること、電極間距離を容易に１００μｍ以下に
小さくすること、したがって駆動電圧を低減させること
、および高い生産性で製造することが可能となる。
実施例
以下に、本発明の実施例を図面について説明する。
第６図は本発明の実施例を示し、平行電界型光制御装置
８は１０ｍｍＸ２．５１ｍＸ３ ｏ Ｏμｍの寸法を有
し、１０ｍｍＸ３００μｍＸ５０μｍ （＝厚さ）のＰ
ＬＺＴ層９が５０層、各電極１０（厚さ２〜６μｍ）を
介して焼結によって一体に結合されている。
８は１０ｍｍＸ２．５１ｍＸ３ ｏ Ｏμｍの寸法を有
し、１０ｍｍＸ３００μｍＸ５０μｍ （＝厚さ）のＰ
ＬＺＴ層９が５０層、各電極１０（厚さ２〜６μｍ）を
介して焼結によって一体に結合されている。
このように構成されている平行電界型光制御装置８は各
ＰＬＺＴ層９が各電極１０のみを介して、し力１も焼結
によって一体Ｉこ結合されているため、各層間の接着強
度が極めて大きく、前記従来例における接着剤層７の存
在に起因する層間剥離の問題を回避することができ、接
着剤を使用する接着工程が不必要であるため、高い生産
性で製造するときが可能となる。また、本実施例におい
ては、電極間距離が５０μｍと小さいので、駆動電圧を
従来の平行電界型光制御装置の場合（駆動電圧は約７０
Ｖ以上）に比べて低くすることができる。′なお、本実
施例において、電極間距離、即ち、各ＰＬＺＴ層９の厚
さは、目的に応じて変化させることができ、６０μｍ程
度までとすることができる。
ＰＬＺＴ層９が各電極１０のみを介して、し力１も焼結
によって一体Ｉこ結合されているため、各層間の接着強
度が極めて大きく、前記従来例における接着剤層７の存
在に起因する層間剥離の問題を回避することができ、接
着剤を使用する接着工程が不必要であるため、高い生産
性で製造するときが可能となる。また、本実施例におい
ては、電極間距離が５０μｍと小さいので、駆動電圧を
従来の平行電界型光制御装置の場合（駆動電圧は約７０
Ｖ以上）に比べて低くすることができる。′なお、本実
施例において、電極間距離、即ち、各ＰＬＺＴ層９の厚
さは、目的に応じて変化させることができ、６０μｍ程
度までとすることができる。
第６図の光制御装置８は例えば次のようにして製造する
ことができる。
ことができる。
酸化鉛（ＰｂＯ）、酸化ランタフ （Ｌａ２０３）、酸
化ジルコニラＬ （Ｚｒ０２） および酸化チタン（Ｔ
ｉＯ２） の各粉末をＰｂＯ，９１ＬａＯ，０９（Ｚｒ
、６５’Ｉ’ｉ ｏ、ｓｓ ） ０，９７７５０ａとな
るように配合し、ボールミルで６０時間混合する。この
混合粉を濾過、乾燥後、 ５００ ｋｇ／ｃａｒ２の圧
力で直径５０ｗ１厚さ１０＋ｍ＋に成形し、９００Ｃで
１時間仮焼する。得られる仮焼物を拙解し、ボールミル
で６０時間粉砕後、濾過、乾燥してＰＬＺＴ仮焼粉末と
する。ＰＬＺＴ仮焼粉末１００１１ トリクロルエチレ
ン１０Ｉ１１エチルアルコール１７１１ポリビニルブチ
ラール４Ｆ、ジオクチルフタレート２ｇおよびソルビタ
ンセスキオレート０．５ ＃から成る混合物を５００
ｍｌのポリポット中で２４時間ボールミル混合してスラ
リーを調製する。このスラリーをポリエステルフィルム
上でドクターブレードによりシート状に成形後、自然乾
燥して、厚さ７０μｍのグリーンシートとする。このグ
リーンシートを直径２０ｍに切断し、Ｐｄ ペーストを
印刷、乾燥し、 Ｐｄ ［極付グリーンシートとする。
化ジルコニラＬ （Ｚｒ０２） および酸化チタン（Ｔ
ｉＯ２） の各粉末をＰｂＯ，９１ＬａＯ，０９（Ｚｒ
、６５’Ｉ’ｉ ｏ、ｓｓ ） ０，９７７５０ａとな
るように配合し、ボールミルで６０時間混合する。この
混合粉を濾過、乾燥後、 ５００ ｋｇ／ｃａｒ２の圧
力で直径５０ｗ１厚さ１０＋ｍ＋に成形し、９００Ｃで
１時間仮焼する。得られる仮焼物を拙解し、ボールミル
で６０時間粉砕後、濾過、乾燥してＰＬＺＴ仮焼粉末と
する。ＰＬＺＴ仮焼粉末１００１１ トリクロルエチレ
ン１０Ｉ１１エチルアルコール１７１１ポリビニルブチ
ラール４Ｆ、ジオクチルフタレート２ｇおよびソルビタ
ンセスキオレート０．５ ＃から成る混合物を５００
ｍｌのポリポット中で２４時間ボールミル混合してスラ
リーを調製する。このスラリーをポリエステルフィルム
上でドクターブレードによりシート状に成形後、自然乾
燥して、厚さ７０μｍのグリーンシートとする。このグ
リーンシートを直径２０ｍに切断し、Ｐｄ ペーストを
印刷、乾燥し、 Ｐｄ ［極付グリーンシートとする。
次に、電極付グリーンシートを５０枚積層し、室温で１
、０００ｋｇ／Ｃｍ２の圧力を加えて圧着体とする。
、０００ｋｇ／Ｃｍ２の圧力を加えて圧着体とする。
先に得たＰＬＺＴ仮焼粉末の一部に水を加えて造粒し、
ｉ 、 ｏ ｏ ｏｔｒ４１７ｃｍ２の圧力で直径２０
ｍｍ、厚さ５ｍｍに成形してＰＬＺＴ成形体とする。
ｉ 、 ｏ ｏ ｏｔｒ４１７ｃｍ２の圧力で直径２０
ｍｍ、厚さ５ｍｍに成形してＰＬＺＴ成形体とする。
ＰＬＺＴ成形体上に前記電極付グリーンシートの圧着体
をのせ、さらに最上部にＰＬＺＴ成形体をのせ、ホット
プレスのアルミナ型に入れ、酸素雰囲気中で、２００
ｋｇ ／１ｗｒ２（７）圧力をカケ、１．２５ｒｌＣで
４時間焼成を行い、焼結体とする。この焼結体をアルミ
ナ型から取り出し、四面カットして、厚さ５０μｍのＰ
ＬＺＴ層１２層厚２２〜３μｍの電極１３を介して焼結
によって一体に結合したΦ 角柱状ＰＬＺ焼結体１１を得る。この焼結体１１を電極
１３と直交する入方向に所定寸法にスライスし、光を透
過させる対向−側面を光学研磨する。
をのせ、さらに最上部にＰＬＺＴ成形体をのせ、ホット
プレスのアルミナ型に入れ、酸素雰囲気中で、２００
ｋｇ ／１ｗｒ２（７）圧力をカケ、１．２５ｒｌＣで
４時間焼成を行い、焼結体とする。この焼結体をアルミ
ナ型から取り出し、四面カットして、厚さ５０μｍのＰ
ＬＺＴ層１２層厚２２〜３μｍの電極１３を介して焼結
によって一体に結合したΦ 角柱状ＰＬＺ焼結体１１を得る。この焼結体１１を電極
１３と直交する入方向に所定寸法にスライスし、光を透
過させる対向−側面を光学研磨する。
本発明の光制御装置は光シヤツターとして例えば第５図
に示すように構成して使用することができる。
に示すように構成して使用することができる。
前記実施例に記載したと同じ光制御装置において、電極
１０の端部に一層おきにダイヤモンドブ形成されている
。電極１０が電気的に並列接続されるように、光制御装
置の両側面にＡｇ電極１５ａ。
１０の端部に一層おきにダイヤモンドブ形成されている
。電極１０が電気的に並列接続されるように、光制御装
置の両側面にＡｇ電極１５ａ。
１５ｂが設けられている。電極１５ａと電極１５ｂとの
間に電圧を印加することにより、各電極１０間の各ＰＬ
ＺＴ層９（両端のＰＬＺＴ層は除く）企− である。
間に電圧を印加することにより、各電極１０間の各ＰＬ
ＺＴ層９（両端のＰＬＺＴ層は除く）企− である。
また、本発明の光制御装置を光シヤツターアレイとして
、例えば第６図に示すように構成して使用することがで
きる。
、例えば第６図に示すように構成して使用することがで
きる。
大きさが異なる以外は実施例に記載したのと同じ構成の
光制御装置が透明ガラス基板１６上に透明接着剤（例え
ばレンズボンド（ＰＪｉ５品名））で接着固定され、上
面にＯｒとＡｕをこの順で蒸着し、ホトリソグラフィで
パターン化して形成された平面電極１７ａ、１７ｂ（タ
テ１５０μｍ、ヨコ７Ｑμｍ）が第６図に示すように交
互に配置されて、電極１０ａに接続されている。平面電
極１７ａと、ガラス基板１６上に形成されて電気信号を
供給する互いに独立した電極端子１８とは、ワイヤーボ
ンディング１９ａで接続されている。一方、平面電極１
７ｂと、ガラス基板１６上に形成されて接地される共通
電極２０とがワイヤーボンディング１９ｂで接続されて
いる。
光制御装置が透明ガラス基板１６上に透明接着剤（例え
ばレンズボンド（ＰＪｉ５品名））で接着固定され、上
面にＯｒとＡｕをこの順で蒸着し、ホトリソグラフィで
パターン化して形成された平面電極１７ａ、１７ｂ（タ
テ１５０μｍ、ヨコ７Ｑμｍ）が第６図に示すように交
互に配置されて、電極１０ａに接続されている。平面電
極１７ａと、ガラス基板１６上に形成されて電気信号を
供給する互いに独立した電極端子１８とは、ワイヤーボ
ンディング１９ａで接続されている。一方、平面電極１
７ｂと、ガラス基板１６上に形成されて接地される共通
電極２０とがワイヤーボンディング１９ｂで接続されて
いる。
この構成では、半波長電圧■λは２２Ｃ（７）環境は単
独で作動し、その他の各ＰＬＺＴ層は、互いに隣接する
２個が一緒に（例えばＰＬＺＴ層９ｄと９ｅ）同じ作動
をする。
独で作動し、その他の各ＰＬＺＴ層は、互いに隣接する
２個が一緒に（例えばＰＬＺＴ層９ｄと９ｅ）同じ作動
をする。
発明の効果
本発明によれば、電気光学結晶の複数の層が各層間の電
極を介して焼結によって一体に結合されている。
極を介して焼結によって一体に結合されている。
したがって、接着剤層が存在しないため、製造工程を単
純化しかつ眉間剥離の問題を回避すること、および各層
の厚さの小さい構成となし得るため駆動電圧を低減させ
ることが可能となる０
純化しかつ眉間剥離の問題を回避すること、および各層
の厚さの小さい構成となし得るため駆動電圧を低減させ
ることが可能となる０
第１図と第２図とは従来例を示す図、第６図は本発明の
一実施例を示す図、第４図は第３図の実施例の製造を説
明する図、第５図と第６図は本発明の光制御装置の適用
例を示す図である。 なお、図面に用いられた符号において、８・・−・・・
・・・・・・・・・光制御装置９・・・・・・・・・・
・・・・・ＰＬＺＴ層１０．１０ａ・・・・・・・・電
極 １１ ・・・・・・・・−・・・ＰＬＺＴ焼結体１２・
・・・・・・・・・・・ＰＬＺＴ層１６・・・・・・・
・・・・・電極 である。 代理人 上屋 勝 ｌ 常包芳男
一実施例を示す図、第４図は第３図の実施例の製造を説
明する図、第５図と第６図は本発明の光制御装置の適用
例を示す図である。 なお、図面に用いられた符号において、８・・−・・・
・・・・・・・・・光制御装置９・・・・・・・・・・
・・・・・ＰＬＺＴ層１０．１０ａ・・・・・・・・電
極 １１ ・・・・・・・・−・・・ＰＬＺＴ焼結体１２・
・・・・・・・・・・・ＰＬＺＴ層１６・・・・・・・
・・・・・電極 である。 代理人 上屋 勝 ｌ 常包芳男
Claims (1)
- 電極が設けられた電気光学結晶素子を有してなる光制御
装置において、電気光学結晶素子が電気光学結晶の複数
の層からなりかつ隣接した各前記層は電極を介して焼結
によって一体に結合されていることを特徴とする光制御
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59014145A JPH06100739B2 (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | 光制御装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59014145A JPH06100739B2 (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | 光制御装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60158418A true JPS60158418A (ja) | 1985-08-19 |
| JPH06100739B2 JPH06100739B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=11852981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59014145A Expired - Fee Related JPH06100739B2 (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | 光制御装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06100739B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0229716A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-01-31 | Fujitsu General Ltd | 固体表示装置の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5739403A (en) * | 1980-08-18 | 1982-03-04 | Toshiba Corp | Sequence control device |
| JPS57205710A (en) * | 1981-06-12 | 1982-12-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Light intensity stabilizer |
-
1984
- 1984-01-27 JP JP59014145A patent/JPH06100739B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5739403A (en) * | 1980-08-18 | 1982-03-04 | Toshiba Corp | Sequence control device |
| JPS57205710A (en) * | 1981-06-12 | 1982-12-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Light intensity stabilizer |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0229716A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-01-31 | Fujitsu General Ltd | 固体表示装置の製造方法 |
| JPH059773B2 (ja) * | 1988-07-20 | 1993-02-05 | Fujitsu General Ltd |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06100739B2 (ja) | 1994-12-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |