JP2500118Y2 - 圧電積層体 - Google Patents
圧電積層体Info
- Publication number
- JP2500118Y2 JP2500118Y2 JP14591489U JP14591489U JP2500118Y2 JP 2500118 Y2 JP2500118 Y2 JP 2500118Y2 JP 14591489 U JP14591489 U JP 14591489U JP 14591489 U JP14591489 U JP 14591489U JP 2500118 Y2 JP2500118 Y2 JP 2500118Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- external electrode
- laminate
- young
- internal electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Laminated Bodies (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は圧電積層体に係り、とりわけ圧電積層体の内
部電極と外部電極との接続の信頼性を改良に関する。
部電極と外部電極との接続の信頼性を改良に関する。
圧電素子を銀パラジウム、白金等から選ばれた内部電
極層を介して積層し、一体焼成して得られる積層体の側
面に銀等からなる外部電極層を被着して成る圧電積層体
は知られている。そして、内部電極層と外部電極層の接
続を確実にするために積層体の側面の内部電極露出部に
溝を形成することも提案されている（実開昭64−5465号
公報）。また、外部電極として導電性接着材を用いるこ
とも提案されている（実開昭59−195760号公報）。
極層を介して積層し、一体焼成して得られる積層体の側
面に銀等からなる外部電極層を被着して成る圧電積層体
は知られている。そして、内部電極層と外部電極層の接
続を確実にするために積層体の側面の内部電極露出部に
溝を形成することも提案されている（実開昭64−5465号
公報）。また、外部電極として導電性接着材を用いるこ
とも提案されている（実開昭59−195760号公報）。
上記のような構成の圧電積層体では、素子の駆動時
に、素子の伸縮に対して外部電極が追随できずに、内部
電極との接合部に接続不良が発生して圧電積層体の信頼
性が低いという問題がある。
に、素子の伸縮に対して外部電極が追随できずに、内部
電極との接合部に接続不良が発生して圧電積層体の信頼
性が低いという問題がある。
そこで、本考案は外部電極と内部電極との接続の信頼
性を高めた圧電積層体を提供することを目的とする。
性を高めた圧電積層体を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本考案は、内部電極層を
介して圧電素子を積層した積層体の側面に該内部電極と
の接続用溝を有し、該溝内及び前記積層体側面上に外部
電極層を被着して成る圧電積層体において、該外部電極
層をヤング率が150kgf/mm2以下の導電性樹脂で形成した
ことを特徴とする圧電積層体を提供する。
介して圧電素子を積層した積層体の側面に該内部電極と
の接続用溝を有し、該溝内及び前記積層体側面上に外部
電極層を被着して成る圧電積層体において、該外部電極
層をヤング率が150kgf/mm2以下の導電性樹脂で形成した
ことを特徴とする圧電積層体を提供する。
ヤング率が150kgf/mm2以下の導電性樹脂としては弾性
エポキシ樹脂又はシリコン樹脂に銀粉を混入したものな
どを用いることができる。
エポキシ樹脂又はシリコン樹脂に銀粉を混入したものな
どを用いることができる。
ヤング率が150kgf/mm2以下の導電性樹脂を用いること
により、外部電極が柔軟性を有するため、駆動時の素子
（ヤング率3000kgf/mm2）の伸縮に追随できるので、外
部電極と内部電極の接続の信頼性が高められる。
により、外部電極が柔軟性を有するため、駆動時の素子
（ヤング率3000kgf/mm2）の伸縮に追随できるので、外
部電極と内部電極の接続の信頼性が高められる。
チタン酸ジルコン酸鉛Pb(TixZr1-x）O3〔ｘ＝0.4〜0.
6でモル比を示す〕を主成分とする圧電材料仮焼粉末
に、微量の有機バインダを添加し、これを有機溶媒中に
分散させたスラリーを準備した。通常の積層セラミック
コンデンサの製造に使用されるキャスティング製膜装置
により、このスラリーをマイラフィルム上に600ミクロ
ンの厚さに塗布し乾燥させた。これをフィルムからはく
離し圧電材料グリーンシートを得た。このグリーンシー
ト１を30mm×30mmの寸法に切り、更に内部電極２とし
て、白金ペーストを30mm×27mmの大きさでスクリーン印
刷し、30mm×27mmの印刷部分２と、30mm×3mmの未印刷
部分３に分れたシートを得た。その後印刷したグリーン
シートの印刷部分２と未印刷部分３が一層ごと交互にな
るように20枚、一番上には未印刷シートを一枚、計21枚
積層し、熱プレスにより圧着一体化した後、500℃でバ
インダーを飛散し1250℃で１時間焼成し表面研磨を行っ
て内部電極間距離500ミクロンの圧電積層体を得た。
6でモル比を示す〕を主成分とする圧電材料仮焼粉末
に、微量の有機バインダを添加し、これを有機溶媒中に
分散させたスラリーを準備した。通常の積層セラミック
コンデンサの製造に使用されるキャスティング製膜装置
により、このスラリーをマイラフィルム上に600ミクロ
ンの厚さに塗布し乾燥させた。これをフィルムからはく
離し圧電材料グリーンシートを得た。このグリーンシー
ト１を30mm×30mmの寸法に切り、更に内部電極２とし
て、白金ペーストを30mm×27mmの大きさでスクリーン印
刷し、30mm×27mmの印刷部分２と、30mm×3mmの未印刷
部分３に分れたシートを得た。その後印刷したグリーン
シートの印刷部分２と未印刷部分３が一層ごと交互にな
るように20枚、一番上には未印刷シートを一枚、計21枚
積層し、熱プレスにより圧着一体化した後、500℃でバ
インダーを飛散し1250℃で１時間焼成し表面研磨を行っ
て内部電極間距離500ミクロンの圧電積層体を得た。
焼成・表面研磨を終えた圧電積層体を一層おき交互に
内部電極の露出した１組の対向する面の、内部電極とそ
の近傍の圧電材料をレーザカッタで、切り込みを入れ、
導電材料４を埋め込んだ（第３図）。
内部電極の露出した１組の対向する面の、内部電極とそ
の近傍の圧電材料をレーザカッタで、切り込みを入れ、
導電材料４を埋め込んだ（第３図）。
次いで、第４図の如く、積層体の両側面に外部電極と
して導電材料５を印刷した。導電材料としては従来例の
銀ペーストのほか、様々のヤング率を有する導電性樹脂
を用いた。導電性のヤング率はエポキシ樹脂とシリコン
の混入比を変えて調整した。なお、銀ペーストを用いた
場合には、外部電極を印刷後500℃で焼き付け、また導
電性樹脂の場合には150℃に加熱して硬化させた。
して導電材料５を印刷した。導電材料としては従来例の
銀ペーストのほか、様々のヤング率を有する導電性樹脂
を用いた。導電性のヤング率はエポキシ樹脂とシリコン
の混入比を変えて調整した。なお、銀ペーストを用いた
場合には、外部電極を印刷後500℃で焼き付け、また導
電性樹脂の場合には150℃に加熱して硬化させた。
それから、シリコンオイル中、100℃で外部電極間に
電圧を1000V印加し、30分間分極処理を行った。
電圧を1000V印加し、30分間分極処理を行った。
こうして、でき上った圧電積層体を−200〜600Vでパ
ルス駆動させて、外部電極と内部電極の接続部がはがれ
るまでの駆動回数を調べた。
ルス駆動させて、外部電極と内部電極の接続部がはがれ
るまでの駆動回数を調べた。
第１図に、こうして測定された圧電素子の耐久性（駆
動回数）を外部電極のヤング率に対して示す。
動回数）を外部電極のヤング率に対して示す。
第１図より、外部電極のヤング率を小さくしてゆく
と、素子の耐久性が向上し、ヤング率が150kgf/mm2以下
では耐久性が107回以上に改良されることが認められ
る。なお、外部電極として銀ペーストを用いた場合（ヤ
ング率10000kgf/mm2）の耐久性は105回であった。な
お、実開昭59−195760号公報に開示されている導電性接
着剤のヤング率は300kgf/mm2以上である。
と、素子の耐久性が向上し、ヤング率が150kgf/mm2以下
では耐久性が107回以上に改良されることが認められ
る。なお、外部電極として銀ペーストを用いた場合（ヤ
ング率10000kgf/mm2）の耐久性は105回であった。な
お、実開昭59−195760号公報に開示されている導電性接
着剤のヤング率は300kgf/mm2以上である。
本考案によれば、駆動時の素子の伸縮に対して外部電
極が追随するので、圧電素子の耐久性が向上する。
極が追随するので、圧電素子の耐久性が向上する。
第１図は外部電極のヤング率に対する圧電積層体の耐久
性を示すグラフ図、第２〜４図は圧電積層体の製造工程
を示す模式図である。 １……圧電素子、２……内部電極（印刷部分）、３……
内部電極非印刷部分、４……外部電極。
性を示すグラフ図、第２〜４図は圧電積層体の製造工程
を示す模式図である。 １……圧電素子、２……内部電極（印刷部分）、３……
内部電極非印刷部分、４……外部電極。
Claims (1)
- 【請求項１】内部電極層を介して圧電素子を積層した積
層体の側面に該内部電極との接続用溝を有し、該溝内及
び前記積層体側面上に外部電極層を被着して成る圧電積
層体において、該外部電極層をヤング率が150kgf/mm2以
下の導電性樹脂で形成したことを特徴とする圧電積層
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14591489U JP2500118Y2 (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | 圧電積層体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14591489U JP2500118Y2 (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | 圧電積層体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0385672U JPH0385672U (ja) | 1991-08-29 |
| JP2500118Y2 true JP2500118Y2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=31692534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14591489U Expired - Lifetime JP2500118Y2 (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | 圧電積層体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2500118Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-12-20 JP JP14591489U patent/JP2500118Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0385672U (ja) | 1991-08-29 |
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