JPS60155511A - ヒドロキシルアミン或はその塩の安定化水溶液或はアルコ−ル溶液及びその製造方法 - Google Patents
ヒドロキシルアミン或はその塩の安定化水溶液或はアルコ−ル溶液及びその製造方法Info
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- JPS60155511A JPS60155511A JP59264673A JP26467384A JPS60155511A JP S60155511 A JPS60155511 A JP S60155511A JP 59264673 A JP59264673 A JP 59264673A JP 26467384 A JP26467384 A JP 26467384A JP S60155511 A JPS60155511 A JP S60155511A
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- hydroxylamine
- stabilized
- salt
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/082—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals
- C01B21/14—Hydroxylamine; Salts thereof
- C01B21/149—Stabilisation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
- C07C53/00—Saturated compounds having only one carboxyl group bound to an acyclic carbon atom or hydrogen
- C07C53/08—Acetic acid
- C07C53/10—Salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
- C07C53/00—Saturated compounds having only one carboxyl group bound to an acyclic carbon atom or hydrogen
- C07C53/122—Propionic acid
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(技術分野ン
本発明は、ヒドロキシルアミン或はその塩の安定化水溶
液或はアルコール溶液及び安定化剤添加によるその製造
方法に関するものである。
液或はアルコール溶液及び安定化剤添加によるその製造
方法に関するものである。
(従来技#i)
ヒドロキシルアンモニウム塩溶液は、室温では除々に、
高温では温度に相応して迅速に分解する。
高温では温度に相応して迅速に分解する。
これは遊離ヒドロキシルアミン溶液の場合において更に
甚だしい。ヒドロキシルアミン及びその塩の溶液の貯蔵
性を改善するためにこれを安定化することは試みとして
ないではない。安定化剤として、米国特許明細書354
4270号によれば尿素誘導体が、同3480391号
によればアミドキシムが、同3480392号によれば
ヒドロキサム酸が使用される。
甚だしい。ヒドロキシルアミン及びその塩の溶液の貯蔵
性を改善するためにこれを安定化することは試みとして
ないではない。安定化剤として、米国特許明細書354
4270号によれば尿素誘導体が、同3480391号
によればアミドキシムが、同3480392号によれば
ヒドロキサム酸が使用される。
また米国特許明細書3145082号により、安定化剤
としてエチレンジアミンテトラ醋酸のナトリウム塩の如
きキレート化剤を使用することも公知である。更に日本
国特許公報82−100908号によれば、ヒドロキシ
ルアミンの安定化剤として8−ヒドロキシキノリンが適
当であることが公知である。しかしながら、これまで使
用されて来た安定化剤は何れも改善を要する不満足なも
のであった。
としてエチレンジアミンテトラ醋酸のナトリウム塩の如
きキレート化剤を使用することも公知である。更に日本
国特許公報82−100908号によれば、ヒドロキシ
ルアミンの安定化剤として8−ヒドロキシキノリンが適
当であることが公知である。しかしながら、これまで使
用されて来た安定化剤は何れも改善を要する不満足なも
のであった。
従って、従来よりも長期間にわたって安定であり、こと
に遊離ヒドロキシルアミンの分解か最少限度に抑えられ
た、ヒドロキシルアミン或はその塩の安定化溶液を提供
することがこの分野の技術的課題であった。
に遊離ヒドロキシルアミンの分解か最少限度に抑えられ
た、ヒドロキシルアミン或はその塩の安定化溶液を提供
することがこの分野の技術的課題であった。
(発明の構成)
この課題は8−ヒドロキシキナルジンを含有することを
特徴とする、本発明による、ヒドロキシルアミン或はそ
の塩の安定化水溶液或はアルコール溶液により解決され
る。
特徴とする、本発明による、ヒドロキシルアミン或はそ
の塩の安定化水溶液或はアルコール溶液により解決され
る。
本発明の更に他の対象は、ヒドロキシルアミン或はその
塩の安定化されるべき水溶液或はアルコール溶液中に溶
解含有されている分子酸素を、分子酸素を含有しない窒
素により処理して該溶液から除去し、次いで8−ヒドロ
キシキナルジンを添加することを特徴とする、安定化水
溶液による安定化溶液の製造方法である。
塩の安定化されるべき水溶液或はアルコール溶液中に溶
解含有されている分子酸素を、分子酸素を含有しない窒
素により処理して該溶液から除去し、次いで8−ヒドロ
キシキナルジンを添加することを特徴とする、安定化水
溶液による安定化溶液の製造方法である。
ヒドロキシルアミン或はその塩の本発明による安定化水
溶液或はアルコール溶液は、従来よりも長期間にわたり
安定であり、ことに遊離ヒドロキシルアミンの分解を最
少限度に抑え得る利点を有する。
溶液或はアルコール溶液は、従来よりも長期間にわたり
安定であり、ことに遊離ヒドロキシルアミンの分解を最
少限度に抑え得る利点を有する。
本発明はヒドロキシルアミン或はその塩の水溶液或は炭
素原子1乃至4個のアルコール溶液から出発スる。ヒド
ロキシルアミンの適当な塩は、例えば硫酸、硝酸、塩酸
の如き強い鉱酸との塩、或は醋酸、プロピオン酸の如き
脂肪酸との塩である。
素原子1乃至4個のアルコール溶液から出発スる。ヒド
ロキシルアミンの適当な塩は、例えば硫酸、硝酸、塩酸
の如き強い鉱酸との塩、或は醋酸、プロピオン酸の如き
脂肪酸との塩である。
溶解度の関係から、ヒドロキシルアミンの場合は水溶液
、アルコール溶液の何れでもよいが、その塩の場合は水
溶液であることが好ましい。ヒドロキシルアミン或はそ
の塩の含有量は原則的に10乃至70重箪%である。出
発溶液は一般1c8乃至11のpH値を有する。ことに
永住ヒドロキシルアミン溶液から出発するのが好ましい
。
、アルコール溶液の何れでもよいが、その塩の場合は水
溶液であることが好ましい。ヒドロキシルアミン或はそ
の塩の含有量は原則的に10乃至70重箪%である。出
発溶液は一般1c8乃至11のpH値を有する。ことに
永住ヒドロキシルアミン溶液から出発するのが好ましい
。
安定化剤としては8−ヒドロキシキナルジンが使用され
る。以下の式 (式中只及びR″は水素、ヒドロキシル基、炭素数1乃
至4個のアルコキシ基或は炭素数1乃至4個のアルキル
基を意味する)を有するものが好ましい。このよっな8
−ヒドロキシキナルジンとして、例えば6−メチル−8
−ヒドロキシキナルジン、5,8−ジヒドロキシキナル
ジンが挙げられる。
る。以下の式 (式中只及びR″は水素、ヒドロキシル基、炭素数1乃
至4個のアルコキシ基或は炭素数1乃至4個のアルキル
基を意味する)を有するものが好ましい。このよっな8
−ヒドロキシキナルジンとして、例えば6−メチル−8
−ヒドロキシキナルジン、5,8−ジヒドロキシキナル
ジンが挙げられる。
コノキナルジンは、安定化されるべき溶液に対して0.
005乃至1重量%、ことに0.01乃至0.1重量%
の割合で使用するのが有利である。追加的にポリヒドロ
キシベンゼン、ことにピロガロールを併合使用するのが
更に有利である。ポリヒドロキシベンゼンは、安定化さ
れるべき溶液に対して0.005乃至0.1重量%の割
合で添加することが好ましい。8−ヒドロキシキナルジ
ンとポリヒドロキシベンゼンを併合使用することにより
相乗的効果がもたらされることに注目されるべきである
。
005乃至1重量%、ことに0.01乃至0.1重量%
の割合で使用するのが有利である。追加的にポリヒドロ
キシベンゼン、ことにピロガロールを併合使用するのが
更に有利である。ポリヒドロキシベンゼンは、安定化さ
れるべき溶液に対して0.005乃至0.1重量%の割
合で添加することが好ましい。8−ヒドロキシキナルジ
ンとポリヒドロキシベンゼンを併合使用することにより
相乗的効果がもたらされることに注目されるべきである
。
ヒドロキシルアミン或はその塩の安定化水溶液或はアル
コール溶液は、本発明によれば以下のようにして製造さ
れる。まず安定化されるべき溶液中に溶解含有されてい
る分子酸素を、分子酸素を含有しない窒素で処理して該
溶液から除去する。
コール溶液は、本発明によれば以下のようにして製造さ
れる。まず安定化されるべき溶液中に溶解含有されてい
る分子酸素を、分子酸素を含有しない窒素で処理して該
溶液から除去する。
これは例えば酸素を含有しない窒素ガスを5乃至10分
程度安定化されるべき溶液中に吹き込むことによって行
われる。次いで8−ヒドロキシキナルジン、場合により
更にポリヒドロキシベンゼンを安定化されるべき溶液に
添加し溶解させる。この場合温度を5°乃至40°Cに
保持することが好ましい。
程度安定化されるべき溶液中に吹き込むことによって行
われる。次いで8−ヒドロキシキナルジン、場合により
更にポリヒドロキシベンゼンを安定化されるべき溶液に
添加し溶解させる。この場合温度を5°乃至40°Cに
保持することが好ましい。
安定化剤はあらかじめ溶解状態にして、例えば炭素数1
乃至4個のアルカノールに溶解させて、安定化されるべ
き溶液に添加することもできる。
乃至4個のアルカノールに溶解させて、安定化されるべ
き溶液に添加することもできる。
このようにして安定化された溶液は、重金属、ことに銅
或は貴金属と接触しないようにする配慮が望ましい。こ
れはヒドロキシルアミンをl[1IIIに分解させるか
らである。重金属含有量は1 ppm以下とするべきで
ある。更に、適当に着色したガラス容器により高エネル
ギ輻射線から遮断することが好ましい。安定化溶液は4
0°C以下の温度、ことに5°乃至20°Cの温度で貯
蔵することが望ましい。
或は貴金属と接触しないようにする配慮が望ましい。こ
れはヒドロキシルアミンをl[1IIIに分解させるか
らである。重金属含有量は1 ppm以下とするべきで
ある。更に、適当に着色したガラス容器により高エネル
ギ輻射線から遮断することが好ましい。安定化溶液は4
0°C以下の温度、ことに5°乃至20°Cの温度で貯
蔵することが望ましい。
このヒドロキシルアミン或はその塩の安定化溶液は、オ
キシムの製造に適する。
キシムの製造に適する。
以下の実施例により本発明を更iC詳細に説明す実施例
ヒドロキシルアミン水溶液に、酸素を含有しない窒素ガ
スを20°CVcおいて10分間にわたり吠き込み、次
いで安定化剤を添加した。安定化剤の種類及び添加Nな
らびに時間と結果との関係を以下の表に示す。
スを20°CVcおいて10分間にわたり吠き込み、次
いで安定化剤を添加した。安定化剤の種類及び添加Nな
らびに時間と結果との関係を以下の表に示す。
表
特許出願人 パス7 アクチェンゲゼルシャフト代理人
弁理士 1) 代 蒸 治 第1頁の続き 0発 明 者 ヨーゼフ、 リツ ドイツ連邦共スラー
、ヴ工 0発 明 者 エルヴイン、トーツス ドイツ連邦共セ
、12 0発 明 者 フランッーヨーゼフ、ドイツ連邦共。
弁理士 1) 代 蒸 治 第1頁の続き 0発 明 者 ヨーゼフ、 リツ ドイツ連邦共スラー
、ヴ工 0発 明 者 エルヴイン、トーツス ドイツ連邦共セ
、12 0発 明 者 フランッーヨーゼフ、ドイツ連邦共。
ヴアイス り、1
fFQ、670oXルートヴイヒスハーフエン、オーク
、8
、8
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)8−ヒドロキシキナルジンを含有することを特徴
とする、ヒドリキシルアミン或はその塩の安定化水溶液
或はアルコール溶液。 (2、特許請求の範囲(1)に記載された安定化溶液に
おいて、以下の式 (式中R及びR1は水素、ヒドロキシル基、炭素数1乃
至4個のアルコキシ基或は炭素数1乃至4個のアルキル
基を示す〕の8−ヒドロキシキナルジンを含有する安定
化溶液。 (8)特許請求の範囲(1)或は(2)に記載された安
定化溶液において、安定化されるべき溶液に対して0.
005乃至1重量%のキナルジンを含有することを特徴
とする安定化溶液。 (4)特許請求の範囲(1)から(3)の何れかに記載
された安定化溶液において、安定化されるべき溶液が1
0乃至70重量−のヒドロキシルアミンを含有すること
を特徴とする安定化溶液。 (5)特許請求の範囲(1)から(4)の何れかに記載
された安定化溶液において、追加的にピロガロールを含
有することを特徴とする安定化溶液。 (6)ヒドリキシルアミン或はその塩の安定化されるべ
き水溶液或はアルコール溶液に溶解含有されている分子
酸素を、分子酸素を含有しない窒素で処理して該溶液か
ら除去し、次いで8−ヒドロキシキナルジンを添加する
ことを特徴とする、安定化剤添加による安定化溶液の製
造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3345734.4 | 1983-12-17 | ||
DE19833345734 DE3345734A1 (de) | 1983-12-17 | 1983-12-17 | Stabilisierte loesungen von hydroxylamin oder dessen salze in wasser oder alkoholen sowie deren herstellung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60155511A true JPS60155511A (ja) | 1985-08-15 |
Family
ID=6217255
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59264673A Pending JPS60155511A (ja) | 1983-12-17 | 1984-12-17 | ヒドロキシルアミン或はその塩の安定化水溶液或はアルコ−ル溶液及びその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4629613A (ja) |
EP (1) | EP0147706B1 (ja) |
JP (1) | JPS60155511A (ja) |
DE (2) | DE3345734A1 (ja) |
DK (1) | DK162762C (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3528463A1 (de) * | 1985-08-08 | 1987-02-19 | Basf Ag | Verfahren zur herstellung von waessrigen loesungen von freiem hydroxylamin |
DE4030123A1 (de) * | 1990-09-24 | 1992-04-02 | Ant Nachrichtentech | Anordnung zum betrieb von verbrauchern an einer redundanten stromversorgung |
US5209858A (en) * | 1991-02-06 | 1993-05-11 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Stabilization of choline and its derivatives against discoloration |
US5141730A (en) * | 1991-05-23 | 1992-08-25 | American Cyanamid Company | Stabilization of hydroxylamine solutions |
GB2303848B (en) * | 1992-08-17 | 1997-04-16 | Grace W R & Co | Inhibition of oxygen corrosion in aqueous systems |
US5703323A (en) * | 1996-09-17 | 1997-12-30 | Olin Corporation | Pyridine and pyridone stabilizers for hydroxylammonium nitrate and hydroxylamine-containing compositions |
US5906805A (en) * | 1997-04-30 | 1999-05-25 | Alliedsignal Inc. | Stabilized hydroxylamine solutions |
US6235935B1 (en) * | 1998-11-24 | 2001-05-22 | Silicon Valley Chemlabs, Inc. | Method of manufacturing high purity oximes from aqueous hydroxylamine and ketones |
DE10008080A1 (de) * | 2000-02-22 | 2001-08-23 | Basf Ag | Stabilisator für Hydroxylaminlösungen |
US20090111965A1 (en) * | 2007-10-29 | 2009-04-30 | Wai Mun Lee | Novel nitrile and amidoxime compounds and methods of preparation |
US8802609B2 (en) | 2007-10-29 | 2014-08-12 | Ekc Technology Inc | Nitrile and amidoxime compounds and methods of preparation for semiconductor processing |
EP2207750A1 (en) * | 2007-10-29 | 2010-07-21 | EKC Technology, INC. | Stabilization of hydroxylamine containing solutions and method for their preparation |
WO2009058272A1 (en) * | 2007-10-29 | 2009-05-07 | Ekc Technology, Inc. | Copper cmp polishing pad cleaning composition comprising of amidoxime compounds |
WO2009058274A1 (en) * | 2007-10-29 | 2009-05-07 | Ekc Technology, Inc. | Chemical mechanical polishing and wafer cleaning composition comprising amidoxime compounds and associated method for use |
US8062429B2 (en) * | 2007-10-29 | 2011-11-22 | Ekc Technology, Inc. | Methods of cleaning semiconductor devices at the back end of line using amidoxime compositions |
US7838483B2 (en) * | 2008-10-29 | 2010-11-23 | Ekc Technology, Inc. | Process of purification of amidoxime containing cleaning solutions and their use |
US20100105595A1 (en) * | 2008-10-29 | 2010-04-29 | Wai Mun Lee | Composition comprising chelating agents containing amidoxime compounds |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3145082A (en) * | 1959-12-07 | 1964-08-18 | Dow Chemical Co | Stabilized hydroxylamine and its method of preparation |
CH385846A (de) * | 1960-03-31 | 1964-12-31 | Geigy Ag J R | Verfahren zur Herstellung von neuen 7-Acyl-8-hydroxy-chinolinen und ihre Verwendung als Fungizide und Bakterizide im Pflanzen- und Materialschutz |
US3480391A (en) * | 1967-08-24 | 1969-11-25 | Sinclair Research Inc | Hydroxylamine solutions stabilized with an amide oxime and method for their preparation |
US3480392A (en) * | 1967-08-24 | 1969-11-25 | Sinclair Research Inc | Hydroxylamine solutions stabilized with a hydroxamic acid and method for their preparation |
US3544270A (en) * | 1968-08-13 | 1970-12-01 | Sinclair Oil Corp | Aqueous hydroxylamine solutions stabilized with hydroxyurea or hydroxythiourea derivatives |
JPS57100908A (en) * | 1980-12-16 | 1982-06-23 | Nisshin Kako Kk | Stabilization of hydroxylamine or solution containing it by addition of 8 hydroxyquinoline |
JPS595575B2 (ja) * | 1981-10-20 | 1984-02-06 | 日進化工株式会社 | ヒドロキシルアミンの安定化剤 |
-
1983
- 1983-12-17 DE DE19833345734 patent/DE3345734A1/de not_active Withdrawn
-
1984
- 1984-12-10 EP EP84115036A patent/EP0147706B1/de not_active Expired
- 1984-12-10 DE DE8484115036T patent/DE3469886D1/de not_active Expired
- 1984-12-14 DK DK600784A patent/DK162762C/da not_active IP Right Cessation
- 1984-12-17 JP JP59264673A patent/JPS60155511A/ja active Pending
- 1984-12-17 US US06/682,071 patent/US4629613A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0147706B1 (de) | 1988-03-16 |
DE3345734A1 (de) | 1985-06-27 |
US4629613A (en) | 1986-12-16 |
DK600784A (da) | 1985-06-18 |
EP0147706A2 (de) | 1985-07-10 |
DK162762B (da) | 1991-12-09 |
EP0147706A3 (en) | 1986-02-19 |
DE3469886D1 (en) | 1988-04-21 |
DK600784D0 (da) | 1984-12-14 |
DK162762C (da) | 1992-04-27 |
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