JPS6015002A - 圧延銅箔 - Google Patents
圧延銅箔Info
- Publication number
- JPS6015002A JPS6015002A JP58123650A JP12365083A JPS6015002A JP S6015002 A JPS6015002 A JP S6015002A JP 58123650 A JP58123650 A JP 58123650A JP 12365083 A JP12365083 A JP 12365083A JP S6015002 A JPS6015002 A JP S6015002A
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- JP
- Japan
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- copper foil
- oxygen
- crystal
- rolling
- rolled
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- Granted
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22F—CHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
- C22F1/00—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
- C22F1/08—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of copper or alloys based thereon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B1/00—Single-crystal growth directly from the solid state
- C30B1/02—Single-crystal growth directly from the solid state by thermal treatment, e.g. strain annealing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/09—Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metal Rolling (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の背切ど目的]
本発明はプリン1〜回路の導電材料、あるいはトランジ
スタや集積回路等の半導体装置のリードフレーム材料等
への使用に好適な圧延銅箔に関するものである。
スタや集積回路等の半導体装置のリードフレーム材料等
への使用に好適な圧延銅箔に関するものである。
プリント回路や半導体リードフレームにおいては、絶縁
体基材に積層された銅箔にエツチング等の処理を行って
所望の導電路を形成している。
体基材に積層された銅箔にエツチング等の処理を行って
所望の導電路を形成している。
一方、衛星放送、衛星通信のごときS’1−IF帯域以
上の凸周波信号を受信アンテナ等で扱うとき、プリント
回路基板をはじめとする各種電子部品の持つ高周波特性
はきわめて重要であり、プリント回路基板では絶縁体基
材として例えばテフロン含浸ガラス布基材のように、誘
電率で2,5以下と低損失が使用される。
上の凸周波信号を受信アンテナ等で扱うとき、プリント
回路基板をはじめとする各種電子部品の持つ高周波特性
はきわめて重要であり、プリント回路基板では絶縁体基
材として例えばテフロン含浸ガラス布基材のように、誘
電率で2,5以下と低損失が使用される。
更に、その絶縁体基材に積層される銅箔も、従来使用さ
れてきたような粗化面を持つ電解銅箔は必然的にリアク
タンスを大きくして高周波損失を起すために使用するこ
とはできない。
れてきたような粗化面を持つ電解銅箔は必然的にリアク
タンスを大きくして高周波損失を起すために使用するこ
とはできない。
従って、粗化面を持たない圧延銅箔が好ましいのである
が、本発明者等の研究によれば一般電気銅(タフピッチ
銅)では亜酸化銅の存在により容量性リアクタンスが発
生し、共振時の帯域幅を狭めるのには制限がある。
が、本発明者等の研究によれば一般電気銅(タフピッチ
銅)では亜酸化銅の存在により容量性リアクタンスが発
生し、共振時の帯域幅を狭めるのには制限がある。
このため、酸素含有ωが50 ppm以下の無酸素銅よ
り得た圧延銅箔が高周波特性に優れていることに着目し
、10Gf−1zの共振時のQIaを測定したところ、
無酸素銅箔を積層したテフロン基板の方がタフピッチ銅
箔を積層したテフロン基板よりも12〜18%もQ値が
向上する事実を把握しCいる。
り得た圧延銅箔が高周波特性に優れていることに着目し
、10Gf−1zの共振時のQIaを測定したところ、
無酸素銅箔を積層したテフロン基板の方がタフピッチ銅
箔を積層したテフロン基板よりも12〜18%もQ値が
向上する事実を把握しCいる。
この理由として本発明者は次のように考えている。
すなわち、金属銅は常態では微細結晶からなっており、
結晶と結晶の境界、つまり結晶粒界には酸化物、酸化物
等の不純物が集りやすく、これらは長さ方向にあたかも
微小容量をもったコンデンサが直列に1 pn当り数千
個から数万個も接続され、また断面方向には並列に接続
された状態にあると考えられる。
結晶と結晶の境界、つまり結晶粒界には酸化物、酸化物
等の不純物が集りやすく、これらは長さ方向にあたかも
微小容量をもったコンデンサが直列に1 pn当り数千
個から数万個も接続され、また断面方向には並列に接続
された状態にあると考えられる。
このため、結晶粒界の誘電的作用がQ値に大きく影゛響
することになる。
することになる。
また、本発明者は結晶粒界の誘電的作用が多重高周波信
号である音楽信号に対して位相差、減衰現象を不可避的
に伴うことも究明しており、このため無酸素銅又はタフ
ピッチ銅に比して優れた音響効果を与えることを把握し
ている。
号である音楽信号に対して位相差、減衰現象を不可避的
に伴うことも究明しており、このため無酸素銅又はタフ
ピッチ銅に比して優れた音響効果を与えることを把握し
ている。
しかしながら、タフピッチ銅に比して優れた特性を有J
る無酸素銅といえども、依然として不純物を含んだ多数
の結晶よりなり、より高度の電気特性を追及する上では
不十分である。
る無酸素銅といえども、依然として不純物を含んだ多数
の結晶よりなり、より高度の電気特性を追及する上では
不十分である。
本発明は上記に基いたもので、高周波における電気特性
、とりわけ絶縁体基板と積層して使用する場合において
優れたQ値を与える圧延銅箔の提供を目的とするもので
ある。
、とりわけ絶縁体基板と積層して使用する場合において
優れたQ値を与える圧延銅箔の提供を目的とするもので
ある。
また、本発明は音響機器用導体として使用りる場合、優
れた音響効果を実現できる圧延銅的の提供を目的とする
ものである。
れた音響効果を実現できる圧延銅的の提供を目的とする
ものである。
[発明の概要]
本発明者は上記目的を達成できる圧延銅箔について種々
検討した結果、酸素含有量が50 pprrl以下の無
酸素銅を800’C以上の不活性ガス雰囲気下に保持し
て結晶粒を巨大化させ、これを圧延して得られる圧延銅
箔は極めて優れた電気特性をちえることを見出したもの
である。
検討した結果、酸素含有量が50 pprrl以下の無
酸素銅を800’C以上の不活性ガス雰囲気下に保持し
て結晶粒を巨大化させ、これを圧延して得られる圧延銅
箔は極めて優れた電気特性をちえることを見出したもの
である。
本発明において使用される銅は酸素含有量が50ppm
以下の無酸素銅であり、その理由は第1に亜酸化鋼を含
まないことで結晶粒界の誘電的作用を小さくできること
であり、第2に亜酸化銅あるいは硫化銅が含まれると、
これらが加熱時に結晶核となって結晶の成長は途中で停
止し、脆化状態に至ってしまうためである。
以下の無酸素銅であり、その理由は第1に亜酸化鋼を含
まないことで結晶粒界の誘電的作用を小さくできること
であり、第2に亜酸化銅あるいは硫化銅が含まれると、
これらが加熱時に結晶核となって結晶の成長は途中で停
止し、脆化状態に至ってしまうためである。
無酸素銅をアルゴンガスの如き不活性ガス雰囲気中で、
800〜1000℃の高温で30分〜3時間保持して加
熱すると、硬銅状態における平均結晶サイズ0.02闇
程度から0.4〜0.6#程度にまで成長し、巨人化す
る。これによって結晶粒の数は1/20以下に減少する
わけであり、その分だけ静電容量が小さくなる。
800〜1000℃の高温で30分〜3時間保持して加
熱すると、硬銅状態における平均結晶サイズ0.02闇
程度から0.4〜0.6#程度にまで成長し、巨人化す
る。これによって結晶粒の数は1/20以下に減少する
わけであり、その分だけ静電容量が小さくなる。
更に、この巨大結晶の銅を圧延することにより、圧延化
に比例して結晶は圧延方向に配向されて線形結晶となり
、結晶粒界密度は一層稀薄化され、結晶粒界の誘電的作
用が著しく減少される。
に比例して結晶は圧延方向に配向されて線形結晶となり
、結晶粒界密度は一層稀薄化され、結晶粒界の誘電的作
用が著しく減少される。
本発明の圧延銅箔を得る最も一般的な方法としては、7
+t(M素鋼を所定厚さに圧延して得た長尺の硬銅箱を
不)6性ガス雰囲気中に保持して結晶粒を巨人化さけ、
続いてこれを再度圧延して巨大化した結晶粒を配向さμ
る方法があげられる。
+t(M素鋼を所定厚さに圧延して得た長尺の硬銅箱を
不)6性ガス雰囲気中に保持して結晶粒を巨人化さけ、
続いてこれを再度圧延して巨大化した結晶粒を配向さμ
る方法があげられる。
再圧延り−る場合の圧延方向としては、銅箔の長手方向
、幅方向のどちらであってもよく、また長手方向と幅方
向の双方向であってもよい。
、幅方向のどちらであってもよく、また長手方向と幅方
向の双方向であってもよい。
[発明の実施例I
M素含イj聞が5 ppmの無酸素鋼を加工して得た厚
さ70μrnの銅箔(硬銅)を900℃に設定されたア
ルゴンガス雰囲気中に1詩間30分保持し、その後冷却
した。
さ70μrnの銅箔(硬銅)を900℃に設定されたア
ルゴンガス雰囲気中に1詩間30分保持し、その後冷却
した。
加熱前の平均結晶粒径は0.02mm程度であったが、
加熱後はOl“6#程度に成長していた。
加熱後はOl“6#程度に成長していた。
続いてこの銅箔を圧延機で幅方向の圧延を抑制しながら
長さ方向に圧延して厚さ35μ7nの銅箔を得た。
長さ方向に圧延して厚さ35μ7nの銅箔を得た。
かくして得た銅箔の両面にテフロン含浸ガラス布を接着
剤を介して積層した。
剤を介して積層した。
この積層基板により回路を形成し、10Gl−Izにお
ける共振周波数特性Qを測定した。この結果を下表に示
す。
ける共振周波数特性Qを測定した。この結果を下表に示
す。
なお、表には比較のため各種銅箔(厚さ35μm)の両
面にテフロン含浸ガラスイIを積層した基板のQ値をも
併記しである。
面にテフロン含浸ガラスイIを積層した基板のQ値をも
併記しである。
また、上記実施例で得た銅箔の片面に紙−71ノ一ル絶
縁体基板を積層し、これをもとに作成したプリント回路
を組み込んだスプレAアンプを作成した。
縁体基板を積層し、これをもとに作成したプリント回路
を組み込んだスプレAアンプを作成した。
これを用いてステレオ再生音を聞いたところ、従来の銅
箔を使用した場合に比し、高域の畠のぬけと音色は格段
に優れたものであった。
箔を使用した場合に比し、高域の畠のぬけと音色は格段
に優れたものであった。
[発明の効果]
以上説明してきた通り、本発明は無酸素鋼の結晶粒を巨
大化させ、続いて圧延することにより結晶粒界密度を稀
薄化した圧延銅箔を提供ザるbのであり、これをプリン
ト回路や半導体リード−フレーム等の導電体としての使
用することにより電気特性に優れた回路を実現できるこ
とになる。
大化させ、続いて圧延することにより結晶粒界密度を稀
薄化した圧延銅箔を提供ザるbのであり、これをプリン
ト回路や半導体リード−フレーム等の導電体としての使
用することにより電気特性に優れた回路を実現できるこ
とになる。
Claims (1)
- 酸素含有量が50 ppm以下の無酸素銅を800℃以
上の不活性ガス雰囲気下に保持して結晶粒を巨大化させ
、続いてこれを圧延して得られることを特徴とする圧延
銅箔。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58123650A JPS6015002A (ja) | 1983-07-07 | 1983-07-07 | 圧延銅箔 |
CA000449074A CA1220121A (en) | 1983-03-11 | 1984-03-07 | Electrical conductor and method of production thereof |
DK153384A DK156776C (da) | 1983-03-11 | 1984-03-08 | Fremgangsmaade ved fremstilling af en elektrisk leder |
US06/587,774 US4582545A (en) | 1983-03-11 | 1984-03-09 | Method of producing electrical conductor |
KR1019840001205A KR900005751B1 (ko) | 1983-03-11 | 1984-03-09 | 전기 도체의 다중 주파수 신호 전송 특성개선 방법 및 구리 전기 도체 제조방법 |
DE8484102603T DE3460592D1 (en) | 1983-03-11 | 1984-03-09 | Method of producing electrical conductor |
EP84102603A EP0121152B1 (en) | 1983-03-11 | 1984-03-09 | Method of producing electrical conductor |
US07/515,777 USRE34641E (en) | 1983-03-11 | 1990-04-26 | Method of producing electrical conductor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58123650A JPS6015002A (ja) | 1983-07-07 | 1983-07-07 | 圧延銅箔 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6015002A true JPS6015002A (ja) | 1985-01-25 |
JPH046443B2 JPH046443B2 (ja) | 1992-02-05 |
Family
ID=14865851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58123650A Granted JPS6015002A (ja) | 1983-03-11 | 1983-07-07 | 圧延銅箔 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6015002A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62289304A (ja) * | 1986-06-06 | 1987-12-16 | Dowa Mining Co Ltd | 含Zr銅合金の熱間加工方法 |
JP2007247904A (ja) * | 2007-04-20 | 2007-09-27 | Jtekt Corp | 車軸用軸受装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55145159A (en) * | 1979-04-12 | 1980-11-12 | Furukawa Kinzoku Kogyo Kk | Manufacture of copper foil with superior flexibility for printed wiring plate |
-
1983
- 1983-07-07 JP JP58123650A patent/JPS6015002A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55145159A (en) * | 1979-04-12 | 1980-11-12 | Furukawa Kinzoku Kogyo Kk | Manufacture of copper foil with superior flexibility for printed wiring plate |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62289304A (ja) * | 1986-06-06 | 1987-12-16 | Dowa Mining Co Ltd | 含Zr銅合金の熱間加工方法 |
JP2007247904A (ja) * | 2007-04-20 | 2007-09-27 | Jtekt Corp | 車軸用軸受装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH046443B2 (ja) | 1992-02-05 |
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