JPS60146143A - 湿度計 - Google Patents

湿度計

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JPS60146143A
JPS60146143A JP136284A JP136284A JPS60146143A JP S60146143 A JPS60146143 A JP S60146143A JP 136284 A JP136284 A JP 136284A JP 136284 A JP136284 A JP 136284A JP S60146143 A JPS60146143 A JP S60146143A
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JP
Japan
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humidity
value
microcomputer
resistance value
ambient temperature
Prior art date
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Pending
Application number
JP136284A
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English (en)
Inventor
Shunji Ichida
市田 俊司
Shuji Morio
守尾 周二
Shigeru Shiragaki
白垣 成
Hitoshi Tanaka
均 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP136284A priority Critical patent/JPS60146143A/ja
Publication of JPS60146143A publication Critical patent/JPS60146143A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G01N27/121Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
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    • G01N27/122Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、湿度センサの出力にHr定の48号処理を
施して湿度に比例したレベルの電気信号を得る形式の湿
度計に関するものである。
湿度を電気的に検出するための湿度センサとしては、あ
る種の半導体あるいはセラミックが水分を吸着すること
でその抵抗値を変えるという性質を利用したものが利用
されている。第1図に、この吸着型湿度センサの代表的
な湿度−抵抗値特性を示す。この図かられかるように、
抵抗値は、湿度の増加に対して対数に近い関数特性で減
少するとともに、この湿度−抵抗値の変化特性は周囲温
度信号して非線形の温度依存性を有している。したがっ
て湿度に直線的に対応した湿度信号を得るためには、湿
度センサの出力信号に何らかの信号処理を施す必要があ
る。
この吸着型湿度センサを用いた湿度計の信号処理の従来
技術としては、第2図に示すようなものがあった。発振
器1から出力された矩形波パルスは、湿度センサ3を構
成要素とする微分回路2で交流パルス化されたのち湿度
センサ3に印加され、これによって湿度センサ3の抵抗
値に比例した電正値な有する信号が取出され、ピークホ
ールド回路4でピークホールドされる。このピークホー
ルド値は、対数増幅器5で対数変換されることで湿度対
応値に変換され、減算器6に入力される。この減算器6
は、一方の入力である湿度対応値と、他方の入力である
サーミスタ等の温度センサ7から与えられた温度対応値
との差をとることで、湿度対応値に温度補償を施し、こ
れによって湿度値が得られるようになっている。ここで
湿度センサ3に交流パルスを印加するのは、水分により
分極が生じるのを防止するためである。
このような従来の信号処理技術は、実際には正確な対数
関数でない湿度センサ3の湿度−抵抗特性を対数関数と
みなして処理しているために、このズレにより測定誤差
を生じるという欠点を有していた。また温度補償につい
ても、非線形の温度依存性は吸収できないため、精度を
保持できる温度範囲もきわめて狭い。
この発明は、従来技術が有しているこのような欠点を取
り除(ためになされたもので、マイクロコンピュータの
演算機能を有効に利用することにより、上記のような湿
度−抵抗値特性を有する湿度センサの出力信号から精度
よく湿度値をめることができるようにした湿度計を提供
することを目的としている。
つぎにこの発明の一実施例について図面を参照して説明
する。第3図において、1は発振器、2は微分回路、3
は半導体またはセラミックからなる湿度センサ、4はピ
ークホールド回路である。
これらの要素の構成および動作は第1図に示したものと
同じであり、したがってピークホールド回路4の出力と
して、湿度センサ3の抵抗値に対応する電圧値が得られ
る。
ピークホールド回路4の出力信号は増幅器8に入力され
る。アナログスイッチ9は、マイクロコンピュータ10
からの指令にしたがって複数の抵抗の一つを選択する機
能を有する。この抵抗は、増幅器8の出力と反転入力と
の間に接続され、したがって選択された抵抗の大きさに
応じて増幅器8の増幅率が変化する。そしてこの増幅器
8の出力電圧がマイクロコンピュータ10に入力される
また周囲温度は、温度センサ7の抵抗値に対応した電圧
値として検出され、これもマイクロコンピュータ10に
入力される。11は出力回路である。
第4図はマイクロコンピュータ10の71−ドウエア構
成を示し、21はCPU、22はROM、23はRAM
、24はデータ出力ボート、25は湿度電圧値入力ポー
ト、26は温度電圧値入力ボート、27は増幅率出力ボ
ート、28はバスである。増幅器8および温度センサ7
から入力された電圧値は、それぞれ入力ポート25およ
び26でA/D変換されたのち、CPU21の指令にし
たがって、バス28を介してRAM23に格納される。
一方、ROM22には2種のデータが格納されている。
第5図は、温度Tをパラメータとした、湿度RHと湿度
センサ3の抵抗値Rのlog変換値であるrとの関係の
一例を示している。この特性にもとづき、任意の湿度値
RH□〜RH5に対応する抵抗変換値r(RH□)〜r
 (RH5)が決定され、この関係が各温度T1〜T6
について下記の第1表に示すようなテーブルとしてRO
M22に格納される。
第 1 表 ROM22に格納されているもう1種のデータは、温度
センサTの抵抗値に対応する電圧値と周囲温度Tとの対
応関係を示すテーブルであるb増幅器8および温度セン
サ7から与えられた湿度電圧値および温度電圧値から湿
度値を演算するためのマイクロコンピュータ10の動作
フローチヤードを第6図に示す。ここで、検出された周
囲温度Tの値が、第7図に示すように、 Ti≦T≦Ti+1 の関係にあるものと仮定する。Ti およびTi+1は
、それぞれの温度における湿度RHと抵抗変換値rとの
関係が第1表のようなテーブルでROM22に格納され
ている温度を示すものとする。
マイクロコンピュータ10は、温度TiおよびTi+1
の湿度RHjでの抵抗変換値r7(RHj)およびr 
H+x (RH」+1)を使い、周囲温度Tにおける各
RHjでの抵抗変換値r(RHJ) を下式にしたがっ
てめる演算を行う。
−14r H(RHρXTi+x Ti+1(RHj)
X T7 )) ・−・(1)この演算によってめられ
た抵抗変換値が第7図に示したX印に相当する。
さらにマイクロコンピュータ10は、増幅器8の出力値
と、その時点におけるアナログスイッチ9の選択位置と
にもとづいて、湿度センサ3の抵抗値Rをめ、この値を
対数変換してr=1ogRをめる。このようにしてめら
れたrの値と、第7図に示すように、r(RHj)の個
々の値を直線補間した直線との交点におけるRH3の値
がめる湿度RHであり、この演算も、第6図のフローチ
ャートにしたがって、マイクロコンピュータ10で行わ
れる。
なお上記の実施例では、分極を防止するために湿度セン
サに交流パルスを印加する場合について説明したが、こ
の発明は、分極に対する影響を無視できる程度にデュー
テ比の小さい直流パルスを印加するように構成した場合
にも同様に適用できる。
以上のようにこの発明によれば、マイクロコンピュータ
のメモリに、周囲温度をパラメータとして、湿度センサ
の湿度−抵抗値特性を所定の区間区分で直線近似させた
データをテーブルとして記憶させておき、検出した周囲
温度における湿度−抵抗値特性を演算によりめ、この湿
度−抵抗特性にもとづいて、湿度センサの抵抗値から湿
度を演算によりめるようにしたので、湿度センサの抵抗
値に比例した電圧を対数変換したのち温度補償するよう
に構成した従来のものと比較して、きわめて高い測定精
度を実現できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は代表的な吸着型湿度センサの湿度−抵抗値特性
図、第2図は従来の湿度計の構成を示すブロック図、第
3図はこの発明の一実施例による湿度計の構成を示すブ
ロック図、第4図は第3図の湿度計におけるマイクロコ
ンピュータのハードウェア構成図、第5図はある温度に
おける湿度センサの湿度−抵抗特性図、第6図は第3図
の湿度計に用いられたマイクロコンピュータの動作フロ
ーチャート、第7図はこのマイクロコンピュータにおけ
る演算動作を説明するためのグラフである。 1・・・発振器、2・・・微分回路、3・・・湿度セン
サ、4・・・ピークホールド回路、7・・・温度センサ
、8・・・増幅器、9°°゛アナログスイツチ、10・
・・マイクロコンピュータ、11・・・出力回路。 第1図 鼻& RH(’ム) 第5図 R1−h RH2RH3RH4RH5RH第6図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 湿度の変化に応じて抵抗値を変える湿度センサの抵抗値
    に対応した電圧の湿度値(i7号を発生する手段と、周
    囲温度に対応した電圧の周囲温度信号を発生する手段と
    、周囲温度をパラメータとして、上記湿度センサの湿度
    −抵抗値QM性を所定の区間区分で直線近似させたデー
    タをテーブルとして記憶するメモリと、上記テーブルか
    ら、上記温度センサによって検出された周囲温度におけ
    る湿度−抵抗値特性を演算によってめる手段と、上記湿
    度信号から上記湿度センサの抵抗値を演算によりめ、そ
    の値を対数処理する手段と、この対数処理された値にも
    とづいて上記周囲温度における湿度−抵抗値特性から湿
    度値を演算によってめる手段とを備えた湿度計。
JP136284A 1984-01-10 1984-01-10 湿度計 Pending JPS60146143A (ja)

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