JPS6014159A - イオンセンサ− - Google Patents

イオンセンサ−

Info

Publication number
JPS6014159A
JPS6014159A JP58122027A JP12202783A JPS6014159A JP S6014159 A JPS6014159 A JP S6014159A JP 58122027 A JP58122027 A JP 58122027A JP 12202783 A JP12202783 A JP 12202783A JP S6014159 A JPS6014159 A JP S6014159A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion
electrode
sensor
film
resistance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP58122027A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Muramatsu
宏 村松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP58122027A priority Critical patent/JPS6014159A/ja
Publication of JPS6014159A publication Critical patent/JPS6014159A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/28Electrolytic cell components
    • G01N27/30Electrodes, e.g. test electrodes; Half-cells
    • G01N27/333Ion-selective electrodes or membranes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/4035Combination of a single ion-sensing electrode and a single reference electrode

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、溶液中のイオン活量を測定するイオン選択性
電極を備えたFETイオンセンサーの構造に関する。
イオンセンサーは、溶液中のイオン活量を測定するもの
で、化学的な計測に幅広く利用さnておシ、医療関係に
おいては、特に小型化が望ま扛ている。
従来技術 従来、イオン活量の測定には主に、ガラス電極結晶膜電
極、イオン交換膜電極などが用いらnてきた。しかし、
こnらの電極は、小型化、応答時間、安定性、耐久性な
どの問題があり、実用上大きな障害となっていた。
この欠点を解決するために、電界効果型トランジスタを
利用し、そのゲート部にイオン感応In取シ付は直接電
解液に接触させイオン活量を測定するイオンセンサーの
開発がすでに特開昭51−139289、特開昭52−
26292等に報告さnている。しかし、イオン感応部
がガラス膜である場合、熱処理は重要なプロセスである
が、このFETイオンセン・サーは、イオン感応部の作
製にあたっては、1000℃以上に熱処理できないこと
等の制限があり、使用にあたつ1は、FKTが溶液中に
浸漬さiLるため、FETの特別の耐水性が必要であっ
た。
発明の目的 本発明では、こnらの欠点を解決し、実用に耐え得るイ
オンセンサーを開発することを目的とし7′?−0 発明の構成および作用 本発明はPETのゲート部に任意の形状のイオン選択性
電極を接続し、イオン選択性電極のイオン活測定のため
の先端部以外の部分全絶縁膜で覆った構造をなすイオン
センサーを作成することによって、印1述した問題を解
決した。
すなわち〜 (1) イオン選択性電極1FETと別途に作成した後
、FETのゲート部に作成した等電性物質と接合させる
ことによって、イオンセンサーの弱点となるFITと、
イオン選択性電極の接合を行なうため、イオン選択性電
極の作成にあたって、1OOO℃以上に温度を上げらn
ないこと等、従来、11’l!iTの特性変化を防ぐた
めとらしてきた制約条件は排除さ’Afc0 (蜀 従来のFETイオンセンサーは、FETを溶液中
に浸漬して使用するとい−う、通常の電子部品では考え
ら扛ない可酷な条件で使用するため、特別な耐水性を要
求さnたが、本発明によ肚ば、FETが溶液中に浸漬さ
nることなく測定が行なえるので、従来のFF1Tイオ
ンセンサーのよりに特別、耐水性について考慮する必要
がなくなった。
以上の2点のようなことから、従来のFETイオンセン
サーにおけるような寿命の短がいイオンセンサーに代わ
って、長期間にわたって安定に測定の行なえるFETイ
オンセンサーを製作することができた。
さらに、溶液に浸漬するイオン感応部具外の部分を絶縁
膜で覆ったイオン選択性電極の絶縁膜の周りをさらに導
電性シールド膜、絶縁膜の順に被覆し、被覆し几S電性
シールド膜を比較電極と接続することによって、高抵抗
のイオン感応M合有するイオンセンサーの微小化が可能
となった。
すなわち、イオン選択透過膜が高抵抗であるイオン電極
においては、イオン感応部を10 ”−” cm”程度
に微小化することによって、イオン感応部の抵抗が、1
0100以上になってしまい、この微小電極の微小であ
るという特徴を維持しつつ、イオン感応部具外の電極部
を絶縁することは困難であった。第111i、FETイ
オンセンサーによるイオン活量測定系を表わした図であ
る。こnと第2図を用いて説明を行なう。Vokイオン
感応膜電極の測定さ扛るべき真の電位差とし、Roをイ
オン感応膜の抵抗とする。また、v、i絶縁膜の存在す
る部分での電位差、R1’に絶縁抵抗とした場合、R8
がR6に比してきわめて大きな値であnば、測定さnる
電位差Vは、■、の影響を受けず、■。に等しくなるが
、R8がR8と七tはど変らない8匹に大きくなった場
合には、電位■。を測定することは困難である。こnに
対し本発明では、第3図に示すような測定系を考案した
。こnと第4図を用いて説明を行なう、第3図に示した
ように、イオン感応電極・、l囲に導電性シールド、嘆
を設けることによって、第2図に示したよりなV、の影
響は完全に除去さnる。シールド膜とイオン感応電極の
間の抵抗をR2とすnば、電位■は、■= (Rt /
 (Ro +Rz ))’xVoで表わさn。
RoがR3と等しくなったとしても、測定さnる電位V
は、Voの2分のJ、の値として安定に測定することが
できる。
また、導電性シールドBit設けることは、センサーの
電位に影響を与えるノイズからセンサーを保護すること
も目的としている。
ここで、イオン電極におけるイオン感応膜は、ガラス膜
、難溶性金机塩の固体膜、化学修飾電極酵素および微生
物を含む膜などを用いることができる。
このうち、特に高抵抗であるガラス膜については、すぐ
なくとも溶液に浸漬さ扛る部分は、絶縁膜の下であって
も電極がガラス、膜でV:覆さしていることが望せしい
貰た、本発明における電極の芯となる導電物質の材質は
、チタン、白金、カーボン、スズ、アルミなどが望まし
く、表面を酸化、膜で被覆してもか寸わない。
さらに、本イオンセンサーの絶縁膜において、絶縁性を
高めるために、絶縁膜を多層構造とすることも可能であ
る。絶縁膜としては、Si02mA’203 m ” 
iM N4 p TcL205などを用いることができ
る。
実施例 〔実施例1〕 X発明の実施例として作成したPHセンサーを第5図に
示す。第5図@)は、外観図でらシ、第5図(1))は
、横から見た断面図である。第5図(d)は、水素イオ
ン感応部10周辺ヲ肝しく表わしたものであり、第5図
(C)は、FET4の周辺を詳しく表わしたものである
。水素イオン感応ガラス膜9は白金被覆チタン板10の
上に高周波スパッタにより、本実施例では直径4間のガ
ラス膜を成長させたのち、1200℃、1時間、N2中
で熱処理を行なったものである。表面にアルミ膜全蒸着
したゲート13は、電極10とはんだ16によって接合
さfている。11は、sho、絶縁膜、[2および17
は、絶縁性樹脂、14は、ソース電極、15は、ドレイ
ン電極、 18 、1.9は、そnぞnソース端子、ド
レイン端子である。
こうして作らしたPHセンサーは、ネルンスト応答を示
すことが確認さn1長期間安定に動作した。
(実施例2) 本発明の実施例として作成した塩素イオンセンサーの外
観は、第6図(cL)に示す。第6図(b)は、イオン
感応膜周辺の断面図である。Ct−イオン感応膜20は
、hgalを直径41厚さ約1露に成形したものである
。この感応膜は、白金被覆チタン板10に導電性接着剤
21によって接合さnている。
こうして作らした塩素イオンセンサーは、ネルンスト応
答を示すことが確認さn、長期間安定に動作した。
(実施例3) 本発明の実施例として作成した微小PHセンサーを第7
図に示す。第7図(cL)は、外観を示した図であり、
第7図(b)は、断面図である。H+イオン感応性ガラ
ス膜6は、半径O01調の白金線22に高目波スパッタ
によp被覆したもので、N2中で1200℃、1時間の
熱処理を行なったものである。24I′!、、Sgo、
絶縁膜であシ、2!5が、Plシールド膜であシ、シー
ルド、膜リード線部に接続さnている。2Gは、比較電
極に接続さnる。
こうして作らf′1.た、微小PHセンサーは、ネルン
スト応答を示すことが確認さn1長期間安定に動作した
効果 以上述べてきたように、本発明による、FETイオンセ
ンセンにおいては、 (1)1000℃以上の熱処理を行なうことができる。
(2) FETを溶液中に浸漬することなく測定ができ
るため、イオン感応部の耐水性について、極端な注意を
払わずにすむようになった (3)導電性シールド膜を設けることによって、高抵抗
のイオン感応膜を有するイオンセンサーの微小化が可能
となった。
(4)導電性シールド膜を設けることによって、センサ
ーのノイズ?防ぐことができるようになったまた、次の
ような応用も考えら肚る。
(1)本発明のイオンセンサーは、イオン感応部の形状
を任意に変えることができるので、用途に応じて、形状
および大きさ全自由に変えることができる。
(2)本発明のイオンセンサー全複数個取υ付け、そ0
ぞnのイオン感応膜の種類を変えることによって複数の
イオンを同時に測定することができる。このうち、イオ
ンに感応しない電極を取り付けることによって、比較電
極を一体化し、イオンセンサーを超小型化することもで
きる。例えば、第8図に示すようなイオン感応部27を
複数備えた、イオンセンサーをあげることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は特許請求範囲第1項のイオン活量測定系を示す
図、第2図は第1図のモデル図、第3図は特許請求の範
囲第2項のイオン活量測定系を示す図、第4図は第2図
のモデル図、第5図@)〜(d′)はFETPHセンサ
ーの図、第6図(G) (b)はFFtT塩素イオンセ
ンサーを示す図、第7図(G) 、 (b)はFIT微
小PRセンサーを示す図、第8図はマルチ化したFIT
イオンセンサーを示す図である。 1、。電極、21.イオン感応膜、3.。絶縁膜、4゜
。FF!T、5.、測定器、C0゜比較電極、7゜。被
測定溶液、8.。導電性シールド膜以上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 弁理士最上 務 第1図 第5図rへ) 第6図1 第4図 「 第5図(C) (a) 第6図(か〕 第′7図(a) 第′7図(b)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)絶縁ゲート型電界効果トランジスタと、比較電極
    とからなシ、前記N!3緑ゲート型電界効果トランジス
    タ及び前記比較電極を組み合わせて、被測定出力に応じ
    てイオン活量全測定するイオンセンサーにおいて、前記
    絶縁ゲート型電界効果トランジスタのゲートにW続さr
    tたイオン選択性電極と、このイオン選択性電極の少な
    くとも一部を覆うように設けらnf?:、絶縁層とを備
    え、この絶、徴層から露出した部分の前記イオン選択性
    電Weイオン感応部としたことを特徴とするイオンセン
    サー。 (2、特許請求の範囲第1項記載のイオンセンサーにお
    いて、前記絶縁層の内部に該絶縁層により絶縁さnた導
    電性シールド、膜を設け、この導電性シールド膜を前記
    比較電極に接続したことを特徴とするイオンセンサー。
JP58122027A 1983-07-05 1983-07-05 イオンセンサ− Pending JPS6014159A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58122027A JPS6014159A (ja) 1983-07-05 1983-07-05 イオンセンサ−

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58122027A JPS6014159A (ja) 1983-07-05 1983-07-05 イオンセンサ−

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6014159A true JPS6014159A (ja) 1985-01-24

Family

ID=14825775

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58122027A Pending JPS6014159A (ja) 1983-07-05 1983-07-05 イオンセンサ−

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6014159A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62276452A (ja) * 1986-02-14 1987-12-01 Terumo Corp イオン選択性fetセンサ
EP0280230A2 (en) * 1987-02-27 1988-08-31 General Signal Corporation Instrument for potentiometric electrochemical measurements in an electrolyte solution
CN104049008A (zh) * 2014-06-16 2014-09-17 安徽省农业科学院农产品加工研究所 一种微型氧化还原电位传感器的制备方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62276452A (ja) * 1986-02-14 1987-12-01 Terumo Corp イオン選択性fetセンサ
EP0280230A2 (en) * 1987-02-27 1988-08-31 General Signal Corporation Instrument for potentiometric electrochemical measurements in an electrolyte solution
CN104049008A (zh) * 2014-06-16 2014-09-17 安徽省农业科学院农产品加工研究所 一种微型氧化还原电位传感器的制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4218298A (en) Selective chemical sensitive FET transducer
US4968400A (en) Enzyme sensor
US7727370B2 (en) Reference pH sensor, preparation and application thereof
JPS636451A (ja) 酵素センサ
US5186808A (en) Film-coated sensor
US5352352A (en) Carbonic acid gas sensor
JPS61181441A (ja) 電極構造体
JPS6014159A (ja) イオンセンサ−
US6863792B1 (en) Method of making electrochemical detectors based on iridium oxide
US8148756B2 (en) Separative extended gate field effect transistor based uric acid sensing device, system and method for forming thereof
JPS59176662A (ja) 半導体センサ
JPS59206756A (ja) 参照電極を一体化したfet化学センサ−
JP3427600B2 (ja) 使い捨てpHセンサ
JPS63134946A (ja) 酵素電極
JPH04363651A (ja) 集積化イオンセンサ
JPH02266255A (ja) 酵素電極
JPH02249962A (ja) Fetセンサ
JP2810779B2 (ja) 容量式薄膜湿度センサおよびその製造方法
JPS6391548A (ja) 酵素電極
JPH0375552A (ja) 酵素電極
JPH0350984B2 (ja)
JPH0422291Y2 (ja)
JP2514222B2 (ja) 電気化学式センサ
JPS6050448A (ja) Fetガスセンサ
JPH11132992A (ja) 小型酸素電極