JPS60140640A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS60140640A JPS60140640A JP24664783A JP24664783A JPS60140640A JP S60140640 A JPS60140640 A JP S60140640A JP 24664783 A JP24664783 A JP 24664783A JP 24664783 A JP24664783 A JP 24664783A JP S60140640 A JPS60140640 A JP S60140640A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning signal
- sample
- image
- distance
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試料像中の任意２点間の測長機能をＩＮｆｉえ
た電子顕微鏡に関づ−る。
た電子顕微鏡に関づ−る。
一般の透過電子顕微鏡は第１図に概略を示すような構成
となっている。図中、１は電子銃で該電了祐−ｈ＼ ら
中 九１１，１− 雷￥帥 ｔ−ｔ ｉｌＬ Ｔｌ−
Ｊ ｌノ ゝノ ブ つ 乃 γ鰐 つ １．７より集
束されて試料４上に照射される。試料を通過し１＝電子
線は対物レンズ５により結像され、その像は前記対物レ
ンズに連なる中間レンズ６及び投影レンズ７等からなる
結像レンズ系ににり更に拡大されて蛍光板８上に略伝を
結ぶ。該蛍光板８の下方には写真撮影用のカメラ装置９
が配置してあり、写真フィルム１０上に試料の像を１最
影できる。
となっている。図中、１は電子銃で該電了祐−ｈ＼ ら
中 九１１，１− 雷￥帥 ｔ−ｔ ｉｌＬ Ｔｌ−
Ｊ ｌノ ゝノ ブ つ 乃 γ鰐 つ １．７より集
束されて試料４上に照射される。試料を通過し１＝電子
線は対物レンズ５により結像され、その像は前記対物レ
ンズに連なる中間レンズ６及び投影レンズ７等からなる
結像レンズ系ににり更に拡大されて蛍光板８上に略伝を
結ぶ。該蛍光板８の下方には写真撮影用のカメラ装置９
が配置してあり、写真フィルム１０上に試料の像を１最
影できる。
このような装置において、試料の拡大像を観察しつつ試
料上の２つの目標物間の距離を測定したい場合、カメラ
装置９により略伝を写真撮影して、その時の観察化率か
ら換算して写真上から距離を測定Ｊ−るか、蛍光板上に
基準となるスケールを設置し、該蛍光板上の像を該スケ
ールと比較して目測により距離測定する方法が用いられ
ている。
料上の２つの目標物間の距離を測定したい場合、カメラ
装置９により略伝を写真撮影して、その時の観察化率か
ら換算して写真上から距離を測定Ｊ−るか、蛍光板上に
基準となるスケールを設置し、該蛍光板上の像を該スケ
ールと比較して目測により距離測定する方法が用いられ
ている。
しかしながら、前者、つまり写真１１υ影を行なう方法
ひは撮影及び現像の手間が掛かることの操作上の欠点の
他、対物レンズを始め結像レンズ系の倍率誤差がそのま
ま距離測定の誤差になり、副長精度の面からも問題があ
る。又、後者、つまり蛍光根上で目測する方法では写真
撮影の手間はないが、スケールを用いての目測になるた
め副長誤差が入り易く、旦つ写真瓶形と同様レンズ系の
倍率の誤差が副長誤差になると言う欠陥は解決できない
。
ひは撮影及び現像の手間が掛かることの操作上の欠点の
他、対物レンズを始め結像レンズ系の倍率誤差がそのま
ま距離測定の誤差になり、副長精度の面からも問題があ
る。又、後者、つまり蛍光根上で目測する方法では写真
撮影の手間はないが、スケールを用いての目測になるた
め副長誤差が入り易く、旦つ写真瓶形と同様レンズ系の
倍率の誤差が副長誤差になると言う欠陥は解決できない
。
本発明は上記従来の欠点を解消するもので、操作簡単に
して精度の高い副長機能を有した電子顕微鏡を提供する
ことに目的がある。
して精度の高い副長機能を有した電子顕微鏡を提供する
ことに目的がある。
本発明の構成は試別に電子線を照射し、該試別を透過し
ｌこ電子線を結漁・拡大する対物レンズ及びそれに連な
る結像レンズ系を備えた装置におい−（、前記対物レン
ズと結像レンズ系との間又は該結像レンズ系の中に配置
された少なくとｆ）２段の電子線偏向器、該偏向器に周
１！ＩＪ的に変化Ｊ−る偏向走査信号を与える電源、該
偏向走査信号の振幅を可変Ｊる手段及び該偏向走査信号
の振幅を直接又は試料上の距離に換算して表示する手段
を設けた電子顕微鏡に特徴がある。
ｌこ電子線を結漁・拡大する対物レンズ及びそれに連な
る結像レンズ系を備えた装置におい−（、前記対物レン
ズと結像レンズ系との間又は該結像レンズ系の中に配置
された少なくとｆ）２段の電子線偏向器、該偏向器に周
１！ＩＪ的に変化Ｊ−る偏向走査信号を与える電源、該
偏向走査信号の振幅を可変Ｊる手段及び該偏向走査信号
の振幅を直接又は試料上の距離に換算して表示する手段
を設けた電子顕微鏡に特徴がある。
第２図は本発明の一実施例を示す主要部のブロック図で
、第１図と同？ｑ号は同様な構成部材を示している。対
物レンズ′５と中間レンズ６との間には連動比のとれた
２段（実質的に２段となるようであれば３段以上でも良
い）の偏向器１１及び１２が設けられている。該各偏向
器は実際には直交Ｊ−る２組のＸ、Ｙ偏向素子からなり
、任意な方向に電子線を偏向可能に構成しである。該両
偏向器は偏向幅可変器１３を介して走査信号発生器１４
に接続している。該走査信号発生器は比較的早い周期の
矩形波信号を発生し、その振幅を偏向幅可変器１３によ
り調整して各偏向器１１．１２に供給覆る。該偏向幅可
変器の出力信号の一部は表示装置１５に送り込まれ、偏
向走査信号の波高値（振幅）が直接、又は試おｌ上の距
薗に換算して表示される。
、第１図と同？ｑ号は同様な構成部材を示している。対
物レンズ′５と中間レンズ６との間には連動比のとれた
２段（実質的に２段となるようであれば３段以上でも良
い）の偏向器１１及び１２が設けられている。該各偏向
器は実際には直交Ｊ−る２組のＸ、Ｙ偏向素子からなり
、任意な方向に電子線を偏向可能に構成しである。該両
偏向器は偏向幅可変器１３を介して走査信号発生器１４
に接続している。該走査信号発生器は比較的早い周期の
矩形波信号を発生し、その振幅を偏向幅可変器１３によ
り調整して各偏向器１１．１２に供給覆る。該偏向幅可
変器の出力信号の一部は表示装置１５に送り込まれ、偏
向走査信号の波高値（振幅）が直接、又は試おｌ上の距
薗に換算して表示される。
上記装置の動作を第３図及び第４図を参照しながら説明
する。先ず、第１図における結像レンズ系（６及び７）
により試料像の倍率を所望に設定した後、試料を移動し
て測長したい像部分（第４図において１６．１６’で示
す部分〉を蛍光板８の中央部に配置し、続いて対物レン
ズ５の励磁を調整して）Ａ−カシングを行なう。この状
態にｄ５いＣ１走査信号発生器１４から一定の振幅で周
期的に変化する走査信号（例えば矩形波）を俯向幅可変
器１３を介して２段の偏向器１１及び１２に供給づる。
する。先ず、第１図における結像レンズ系（６及び７）
により試料像の倍率を所望に設定した後、試料を移動し
て測長したい像部分（第４図において１６．１６’で示
す部分〉を蛍光板８の中央部に配置し、続いて対物レン
ズ５の励磁を調整して）Ａ−カシングを行なう。この状
態にｄ５いＣ１走査信号発生器１４から一定の振幅で周
期的に変化する走査信号（例えば矩形波）を俯向幅可変
器１３を介して２段の偏向器１１及び１２に供給づる。
この偏向器の励磁により試別４を透過し、対物レンズ５
で結像される電子線ｅは第３図においで点線ｅ１及び２
点鎖線ｅ２で示すように光軸Ｚを挟んで交互に反対方向
に偏向され、中間レンズ６の物面位置に像４ａ、４ｂを
結ぶ。この像は中間レンズ６、更には投影レンズで拡大
されて第４図に１６．１６’ で示ずにうに２重になっ
て蛍光板」−に投影される。そこで、目標と一部る２点
Ａと８の距離之を測長したいとすると、像１６ｂの１３
点と像１６′のＡ′点とが蛍光板８の中心Ｏで合致する
ように偏向幅可変器１３を制御し−（走査信号の波高値
を調整覆る。このとぎ、倍率可変は中間レンズ６以下の
レンズ系により行なわれ、像４ａど４ｂの分離には関係
ないので、偏向器１１及び１２に供給される走査信号の
波高値は該偏向器による電子線（像）の走査偏向幅に略
比例し、従って予め較正しておいた走査信号の波高値−
試料上の距離の関係に基づいて前記距離込を表示装置１
５上に、例えば８．５ａｍのように表示Ｊることができ
る。勿論、試別上の距離に変換する必要はなく、上記走
査信号の波高値をそのまま表示し、オペレータが換算表
により試料上の距離をめるようにしても良い。尚、前記
波高値と試料上の距離の較正はＸ方向、又はＹ方向のみ
でなく、両方向の合成、つまり任意な方向において可能
なように構成されている。
で結像される電子線ｅは第３図においで点線ｅ１及び２
点鎖線ｅ２で示すように光軸Ｚを挟んで交互に反対方向
に偏向され、中間レンズ６の物面位置に像４ａ、４ｂを
結ぶ。この像は中間レンズ６、更には投影レンズで拡大
されて第４図に１６．１６’ で示ずにうに２重になっ
て蛍光板」−に投影される。そこで、目標と一部る２点
Ａと８の距離之を測長したいとすると、像１６ｂの１３
点と像１６′のＡ′点とが蛍光板８の中心Ｏで合致する
ように偏向幅可変器１３を制御し−（走査信号の波高値
を調整覆る。このとぎ、倍率可変は中間レンズ６以下の
レンズ系により行なわれ、像４ａど４ｂの分離には関係
ないので、偏向器１１及び１２に供給される走査信号の
波高値は該偏向器による電子線（像）の走査偏向幅に略
比例し、従って予め較正しておいた走査信号の波高値−
試料上の距離の関係に基づいて前記距離込を表示装置１
５上に、例えば８．５ａｍのように表示Ｊることができ
る。勿論、試別上の距離に変換する必要はなく、上記走
査信号の波高値をそのまま表示し、オペレータが換算表
により試料上の距離をめるようにしても良い。尚、前記
波高値と試料上の距離の較正はＸ方向、又はＹ方向のみ
でなく、両方向の合成、つまり任意な方向において可能
なように構成されている。
尚、上記実施例にＪ３いて、走査信号として矩形波を使
用したが、第３図において対物レンズの像が４ａ、４ｂ
のように分離覆れば良いので、使用づる走査信号の波形
は正弦波、三角波あるいは台形波等任意なものが使用で
きる。又、２段偏向器１１及び１２は対物レンズと中間
レンズの中間のみでなく、中間レンズ下方の結像レンズ
系内の任意位置に配置することも可能である。但し、こ
の揚台には結像レンズ系の倍率も含めて較正する必要が
ある。更に、上記は電子顕微鏡像の所望部分の距離測定
に利用した場合であるが、電子顕微鏡を回折モードで使
用している場合には、同柾な方法により回折パターンの
逆空間距離を測定ＪることがＣ゛ぎる。
用したが、第３図において対物レンズの像が４ａ、４ｂ
のように分離覆れば良いので、使用づる走査信号の波形
は正弦波、三角波あるいは台形波等任意なものが使用で
きる。又、２段偏向器１１及び１２は対物レンズと中間
レンズの中間のみでなく、中間レンズ下方の結像レンズ
系内の任意位置に配置することも可能である。但し、こ
の揚台には結像レンズ系の倍率も含めて較正する必要が
ある。更に、上記は電子顕微鏡像の所望部分の距離測定
に利用した場合であるが、電子顕微鏡を回折モードで使
用している場合には、同柾な方法により回折パターンの
逆空間距離を測定ＪることがＣ゛ぎる。
以上説明したＪ、うに、本発明においては、対物レンズ
と結像レンズ系の間、又は結像レンズ系の内部に連動比
のとれた実質的に２段の偏向器を設置し、該偏向器に比
較的早い周期の走李信号を供給して蛍光板上に２重像を
形成し、前記走査信号の波高値（振幅）をそのまま、又
は試料土の距離に換亦して表示するにうな４１４成とな
しであるので、偏向幅可変器を調整して蛍光板上で目標
と覆る２点を合致さけるのみぐ試料土の該２点間の距離
を測定できる。又、対物レンズと結像レンズ系の間に偏
向器を設置づるど結像レンズ系の倍率に全く依存しない
ので、どのような倍率の下で測長してもｄ；差のない正
確なものとなる。
と結像レンズ系の間、又は結像レンズ系の内部に連動比
のとれた実質的に２段の偏向器を設置し、該偏向器に比
較的早い周期の走李信号を供給して蛍光板上に２重像を
形成し、前記走査信号の波高値（振幅）をそのまま、又
は試料土の距離に換亦して表示するにうな４１４成とな
しであるので、偏向幅可変器を調整して蛍光板上で目標
と覆る２点を合致さけるのみぐ試料土の該２点間の距離
を測定できる。又、対物レンズと結像レンズ系の間に偏
向器を設置づるど結像レンズ系の倍率に全く依存しない
ので、どのような倍率の下で測長してもｄ；差のない正
確なものとなる。
第１図は従来の透過電子顕微鏡の概略を説明する図、第
２図は本発明の一実施例を示す要部ブロック線図、第３
図は第２図の光学図、第４図は第３図装置ににる蛍光板
上の像の状態を説明する図である。 ４：試お１ ５；対物レンズ ６：中間レンズ ８：蛍光板 １１．１２：偏向器 １３：偏向幅可変器 １４：走査信号発生器 １５：表示装置 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫
２図は本発明の一実施例を示す要部ブロック線図、第３
図は第２図の光学図、第４図は第３図装置ににる蛍光板
上の像の状態を説明する図である。 ４：試お１ ５；対物レンズ ６：中間レンズ ８：蛍光板 １１．１２：偏向器 １３：偏向幅可変器 １４：走査信号発生器 １５：表示装置 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫
Claims (1)
- 試料に電子線を照射し、該試料を透過した電子線を結像
・拡大する対物レンズ及びそれに連なる結像レンズ系を
協えた装置にａ′−３いて、前記３４物レンズと結像レ
ンズ系との間又は該結像レンズ系の中に配置された少な
くとも２段の電子線偏向器、該偏向器に周期的に変化づ
−る偏向走査信号を勺える電源、該偏向走査信号の振幅
を可変する手段及び該偏向走査信号の振幅を直接又は試
料上の距離にｊ灸算して表示する手段を設けたことを特
徴どする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24664783A JPS60140640A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24664783A JPS60140640A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60140640A true JPS60140640A (ja) | 1985-07-25 |
Family
ID=17151520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24664783A Pending JPS60140640A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60140640A (ja) |
-
1983
- 1983-12-28 JP JP24664783A patent/JPS60140640A/ja active Pending
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