JPS60131411A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPS60131411A JPS60131411A JP24045283A JP24045283A JPS60131411A JP S60131411 A JPS60131411 A JP S60131411A JP 24045283 A JP24045283 A JP 24045283A JP 24045283 A JP24045283 A JP 24045283A JP S60131411 A JPS60131411 A JP S60131411A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- plane
- photoelectric conversion
- top surface
- objective body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は直方体等のように稜線を有する物体の稜線部
分に存在する凹形状の欠陥を検査する欠陥検査装置に関
するものである。
分に存在する凹形状の欠陥を検査する欠陥検査装置に関
するものである。
このような欠陥検査は従来はもっばら目視によって行わ
れ、だので、人手を必委とすること、眼の疲労の多い作
業であること、単純であきゃすい作業であること、微細
な欠陥に対しては良否の判定に個人差が入ること等の欠
点があった。
れ、だので、人手を必委とすること、眼の疲労の多い作
業であること、単純であきゃすい作業であること、微細
な欠陥に対しては良否の判定に個人差が入ること等の欠
点があった。
この発明は上記のような従来のものの欠点を祿去するた
めになされたもので、この発明では光学装置とデータ処
理装置を用いて稜線の欠陥を自動的に検出する。
めになされたもので、この発明では光学装置とデータ処
理装置を用いて稜線の欠陥を自動的に検出する。
以下この発明の実施例を図面について説明する。
第１図はこの発明の一実施例を示す説明図で図において
（１；は被慨査体、（２）は被検査体を平行移動させる
ための搬送装置、（３ａ）、（３ｂ）は搬送されてくる
被検査体（１）、の上方か、ら被検査体（１）の上面全
面に光を投射するための投射装置、（４１は被検査体（
１１の上方に置かれ、被検査体＋１）の上面の映像だ、
けが焦゛点を結んで入力するように、浅い焦点距離が設
定されたレンズ（一般的には光学装置）を内蔵する光電
変換装置で１．この光電変換装置（４１では被検査体（
１）の移動方向に直角な方＾に走査を行う。したがって
被検査体（１）の上面の高さは被検査体（１）の移動に
よりて変化しないように搬送装置（２）上に置かれてい
ることが必要であシ、また被検査体（１１の移動方向は
検査すべき稜線のうち、の１つの稜線方向と合致してい
ることが好適である。（５ａ）、（５ｂ）は光電変換装
置（４１が投射装置（３ａ）、（３ｂ）から投射される
光を直接受光しないように遮蔽するための遮蔽装置、（
６）は被検査体（１）の検査開始時期を検知す□るため
の位置検出器、（７）は光電変換装置（４１の出力を信
号処理するための信号処理装置、（８）で示す部分は被
検査体（１）の欠陥部分である。
（１；は被慨査体、（２）は被検査体を平行移動させる
ための搬送装置、（３ａ）、（３ｂ）は搬送されてくる
被検査体（１）、の上方か、ら被検査体（１）の上面全
面に光を投射するための投射装置、（４１は被検査体（
１１の上方に置かれ、被検査体＋１）の上面の映像だ、
けが焦゛点を結んで入力するように、浅い焦点距離が設
定されたレンズ（一般的には光学装置）を内蔵する光電
変換装置で１．この光電変換装置（４１では被検査体（
１）の移動方向に直角な方＾に走査を行う。したがって
被検査体（１）の上面の高さは被検査体（１）の移動に
よりて変化しないように搬送装置（２）上に置かれてい
ることが必要であシ、また被検査体（１１の移動方向は
検査すべき稜線のうち、の１つの稜線方向と合致してい
ることが好適である。（５ａ）、（５ｂ）は光電変換装
置（４１が投射装置（３ａ）、（３ｂ）から投射される
光を直接受光しないように遮蔽するための遮蔽装置、（
６）は被検査体（１）の検査開始時期を検知す□るため
の位置検出器、（７）は光電変換装置（４１の出力を信
号処理するための信号処理装置、（８）で示す部分は被
検査体（１）の欠陥部分である。
位置検出器（６）の出力が、被検査体ｆｉ＋が被検査位
置にあることを示している間、投射装置（３ａ）、（３
ｂ）から被検査体（１）の上面全面が照射され光電変換
装置（４）が走査を行う。
置にあることを示している間、投射装置（３ａ）、（３
ｂ）から被検査体（１）の上面全面が照射され光電変換
装置（４）が走査を行う。
被検査体（１）の上面からの反射光だけが光電変換装置
（４１内で焦点を結ぶので、この上面部分を走査してい
る間と、其他の部分を走査している間とでは光電変換装
置（４１の出力には顕著な差がありこの差を利用して光
電変換装置（４１の出力を容易に２値打号化することが
できる。
（４１内で焦点を結ぶので、この上面部分を走査してい
る間と、其他の部分を走査している間とでは光電変換装
置（４１の出力には顕著な差がありこの差を利用して光
電変換装置（４１の出力を容易に２値打号化することが
できる。
第２図は光電変換装置（４１の出力を２値打号化しかつ
所定のサンプリング周期でディジタル化した場合の各ビ
ットの論理を示す図で、図において正方形の升目の１つ
が１個のビットを示し、斜線を有する升目は論理「１」
のビットで被検査体上面からの反射光の強さに相当し、
斜線のない升目は論理「０」のビットで其他の部分から
の入力光の強さに相当する。Ｄは欠陥部（８）の存在の
ために発生した部分である。Ｘは被検査体（１）の進行
方向、Ｙは光電変換装置（４）の走査方向に相当する。
所定のサンプリング周期でディジタル化した場合の各ビ
ットの論理を示す図で、図において正方形の升目の１つ
が１個のビットを示し、斜線を有する升目は論理「１」
のビットで被検査体上面からの反射光の強さに相当し、
斜線のない升目は論理「０」のビットで其他の部分から
の入力光の強さに相当する。Ｄは欠陥部（８）の存在の
ために発生した部分である。Ｘは被検査体（１）の進行
方向、Ｙは光電変換装置（４）の走査方向に相当する。
したがって、論理「１」のビットの数を総計すれば、欠
陥のない場合が最大で、欠陥部分（第２図Ｄ）の面積に
従って、論理「１」のビットの総数が減少する。信号処
理装置（７１は、光電変換装置（４１の出力を２値打号
化して論理「１」のピッ４卜の総数を集計し、その総数
があらかじめ設定した基準値以上の場合正常と判定しこ
の基準、値未満の場合欠陥ありと判定する。
陥のない場合が最大で、欠陥部分（第２図Ｄ）の面積に
従って、論理「１」のビットの総数が減少する。信号処
理装置（７１は、光電変換装置（４１の出力を２値打号
化して論理「１」のピッ４卜の総数を集計し、その総数
があらかじめ設定した基準値以上の場合正常と判定しこ
の基準、値未満の場合欠陥ありと判定する。
第１図に示す被検査体（１）の姿勢ではその上面の４本
の稜線に対する検査をすることができるが、被検査体（
１）の姿勢を変え他の稜線が上面に来るようにして任意
の稜線の欠陥を検査することができる。なお、第１図に
示す装置によれは、上面の４本の稜線に存在する凹形状
の欠陥だけでなく上面内に存在する凹形状の欠陥をも検
査す、ることかできる。
の稜線に対する検査をすることができるが、被検査体（
１）の姿勢を変え他の稜線が上面に来るようにして任意
の稜線の欠陥を検査することができる。なお、第１図に
示す装置によれは、上面の４本の稜線に存在する凹形状
の欠陥だけでなく上面内に存在する凹形状の欠陥をも検
査す、ることかできる。
以上のようにこの発明によれば、光学装置とデータ処理
装置を用いて稜線の欠陥を自動的に検査するので、省力
化がはかられ、製造ラインを合理化することだできる。
装置を用いて稜線の欠陥を自動的に検査するので、省力
化がはかられ、製造ラインを合理化することだできる。
第１図はこの発明の一実施例を示す説明図、第２図は第
１図の光電変換装置の出方をサンプリングしかつ２値打
号化した場合の各ビットの論理を示す図である。 １ （１）・・・被検査体、（２）・・・搬送装置、（３ａ
）、（３ｂ）・・・光投射装置、（４）・・・光電変換
装置、閉・・・信号処理装置。 □ 代理人 大岩増雄 口 第１図 第２図 −−Ｘ Ｄ
１図の光電変換装置の出方をサンプリングしかつ２値打
号化した場合の各ビットの論理を示す図である。 １ （１）・・・被検査体、（２）・・・搬送装置、（３ａ
）、（３ｂ）・・・光投射装置、（４）・・・光電変換
装置、閉・・・信号処理装置。 □ 代理人 大岩増雄 口 第１図 第２図 −−Ｘ Ｄ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 稜線を有する被検査体の稜線上の欠陥を検査する欠陥検
査装置において、 上記被検査体の検査すべき稜−で囲まれる平面の高さを
一定に保ちながら上記被検査体を所定の方向に平行移動
させる手段、 □ 上記平面を照射する手段、 上記平曲の上方に固定される光電変換装置に対し上記平
面からの反射光だけが入力するよう浅い焦点距離を設定
する光学装置、 上記光電変換装置において上記被検査体の上記平行移動
の方向と直角な方向に光′区走査を行う手段、 上記光電変換装置の出力を２値符号化し、上記平面から
の反射に対応する論理を有するビットの総数を集計し、
その総数が所定値以上であるか否かによって上記被検査
体の良否を判定する手段を備えたことを特徴とする欠陥
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24045283A JPS60131411A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24045283A JPS60131411A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60131411A true JPS60131411A (ja) | 1985-07-13 |
Family
ID=17059704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24045283A Pending JPS60131411A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60131411A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0241108A2 (en) | 1986-02-03 | 1987-10-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Image recording apparatus |
-
1983
- 1983-12-20 JP JP24045283A patent/JPS60131411A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0241108A2 (en) | 1986-02-03 | 1987-10-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Image recording apparatus |
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