JPS60127685A - 真空容器加熱用電極 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は真空容器内を加熱する為に用いられる真空容
器加熱用電極に関するものである。

この種の真空容器加熱用電極にあっては、真空容器の相
対向する壁を夫々貫通させて一対の電極保持器を容器内
に突出させ、それらの間に棒状のカーボン電極を位置さ
せ、両側の保持器を相互に近づけることによってカーボ
ン電極を圧着状挾持する構成がとられている。（例えば
実開昭３２−／ψ１００！ｉ号公報参照）この様にして
電極を支持した装置は両側の壁から夫々突出する保持器
の芯合せをする必要があシ、芯ずれを起こすとカーボン
電極が折損するという大きな問題点があった。

又電極を両側から支持する為には真空容器の両側に電極
を支持する為の装置を必要とし、それの設備費は勿論の
こと保守点検費も倍加する欠点があった。

そこで本発明は、上述の欠点を除くようにしたもので、
真空容器の一方の側にのみ電極を支持する装置を配設す
ることができ、電極における発熱主体部は片持状にして
芯合せの心配を無くし、しかもそのように芯合せを必要
としない片持構造であってもカーボン電極そのものは両
側から支持されると同様になるように構成した真空容器
加熱用電極を提供しようとするものである。

以下本願の実施例を示す図面について説明する。

１は通常一般に知られている真空容器を示し、２はその
室内を示し、一般に脱カス槽内とも称されている。３は
電極を挿入する為の開口部を示す。

次に４は電極支持機構を示し、５は電極における発熱主
体部を示す。６は電極の元部を示し、上記電極支持機構
４に連結させた部分である。次に１０は芯材を示し、硬
質の耐熱、導電性の棒状体、例えば水冷用鋼管を用いて
構成したものである。芯材１０の一端１１は支持装置４
における本体あに対して矢印お方向への移動を可能に装
着しである。また他端νは自由端としてあり、この芯材
１０の内部には冷水用の水路１６が構成されている。１
３は水路を構成する為の水冷管１４に水を供給する為の
取入口を示し、水冷管１４における開放端Ｌ５は前記水
路１６に連らなシ、図中左方の口紹から入・苑水は開放
端１５を通って水冷銅管１０の内部を冷却しながら支持
装置４の方に戻り、排水口１３′　よシ排出される。１
７はこの種の一般の装置に用いられる電極材料で構成さ
れたカーボン電極を示し、その形状はして取付けられて
いる連結部１９によって支持されている。その連結構造
は連結部１９の自由端側に対してカーボン電極の元部迅
の内側を嵌め入れる状態で連結しておる。尚あは連結部
を冷却する為の冷却水を通過させる為の通路を示し、こ
の連結部−１９を水冷によって保護する様にしである。

カーボン電極１７の他端２１は、上記芯材１０の自由端
しに対して連結しておる。その連結構造は締付用キャッ
プηの四部の内周に設けられた雌ねじ部ｎ′　を水冷銅
管１０の自由端外周に設けた対応の雄ねじに螺合させる
ことにより締付用キャップρの外周斜面２２′　でもっ
てカーボン電極の内周斜面を押圧し、両者の電気的及び
機械的な連結を可能ならしめている。尚締付用キャップ
としてはカーボン材料等耐熱性のある導電材を用いる。

冴は着脱どきに用いる係合部である。

次にカーボン電極１７を取替える場合は真空容器輪四を
利用して後退させると、容器内にあった主体部５は容易
に外方へ引き出すことができる。次に締付用キャップｎ
を外すとカーボン電極１７は軸　゛右方向（図面上右方
向）へ容易に抜き出すことができる。次に新しい円筒形
カーボン電極１７を上記とは逆にし、て装着し、再び締
伺用キャップηを締付けると芯材１０に対するカーボン
電極１７の一体化が図れる。尚この場合芯材１Ｏの外周
面とカーボン電極１７の内周面との間に耐熱性のある材
料、例えグ拐等任意の耐熱構造になっている硬質材を介
設しておくとカーボン電極１７は中間部分においても芯
材１０によって支えられることになる。繰返すと、絶縁
性支持材５を一又複数個介設することによシ水冷鋼管１
０に上る支持点が多くなシ、カーボン電極１７の外周に
スプラッシュが付着して荷重が大きくなシ、撓み現象が
生じてもカーボン電極１７の折損は極めて効果的に防止
される。このような状態で壁１に対して支持装置４の連
結部ρを連結し、次に芯材１０の側の給電端あとカーボ
ン電極１７の側の連結部１９に取付けである給電端おの
間に直流電圧を加えると上記カーボン電極には電流が流
れて発熱し、目的に合う熱エネルギーを発生する。この
熱によシ芯材１０は軸方向に伸びるが、これは本体列に
おいて上記の芯材１０は矢印側方向への移動が可能に支
持されているので、そこでその移動量が吸収される。又
介設物Ｗは左右の空気が流通しない様にシールするもの
で、耐熱材で構成されておシ、更には芯材１０が軸方向
にスライドでもルように設けである。２７′は介設物Ｉ
を固定するためのスリーブである。

次に電極の元部６において、芯材１０の元部には給電部
材としての給電端勢が取付けられており、これは電気絶
縁材あ′を介して芯材支持部材６ａに取付けられている
。支持部材６ａはローラ７を介して本体あに苅して矢印
（資）方向への移動を可能に装着しである。また給電端
調は矢印（資）方向へのヌヲイドを可能に圧縮ばね３７
を利用しそ常時図中左方向へ付勢し、脱ガス槽内２が真
空になった時の押圧力を相殺するようになっている。な
お、ａ′は電気絶縁材である。１４′は水路１６を構成
するためおよび水冷管１４を支持するために水冷管１４
に設けられたフランジであり、調′はフランジ１４′ト
給電端あを連結する為の電気絶縁材である。また、１４
′は水冷管１４を支えかつこれを芯材１Ｏの中央に配す
るための中間部材でろシ、水冷管】４に溶接されている
。

なお上記連結部１９において、冷却水は給水口々′から
通路あを通し、排水口々′に向かわせることによシ連結
部１９の冷却を行なうことができる。さらに上記のカー
ボン電極１７の内側は水冷することによシそこが低温化
し、蒸発損耗が少なくなる。

以上のようにこの発明にあっては、発熱主体部５を真空
容器内２に位置させるものであるから、これに通電して
容器内２を加熱することができる。

しかもその場合、発熱主体部５の元部側は一方の側にあ
る電極支持機構４によって支持されるものであって、他
方の側は支持には全く無関係にできるので、相手の壁面
に別のもう一つの支持機構を設ける必要はなく、また他
との芯合せの必要もなく、また芯ずれの心配もないとい
う利点がある。

また主体部５を構成するカーボン電極１７は、電極主体
部５が片持ち構造であるにもかかわらず、一端は上記支
持機構によシ、他方は芯材１０の自由端しにより支持さ
れ、両持構造になるものであるから、折損し難く、長寿
命で利用できる効果もある。

【図面の簡単な説明】

図面は本願の実施例を示すもので、第１図は装置の要部
縦断面図、第２図は第１図の卜」位置におけるカーボン
電極と芯材との関係位置を示す要部断面図。 １・・・真空容器の壁、５・・発熱主体部、４・・・電
極支持機構、１０・・・芯材、１７・・・カーボン電極
。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）元部を真空容器外に備えさせる一電極支持機構に
   よって支持され、自体の発熱主体部は真空容器内に位置
   させた真空容器加熱用電極において、上記発熱主体部は
   、中空円筒形の発熱用のカーボン電極と、そのカーボン
   電極内に挿通存置させた導電性の芯材とを備え、上記芯
   材の一端は上記電極支持機構によって支持されていると
   共にこれには給電端の一方が接続されておシ、他端は自
   由端となっておシ、さらに上記カーボン電極の一端は」
   −記電極支持機構によって支持されていると共にこれに
   は給電端の他方が接続されており、他端は上記芯材の自
   由端に対して電気的な導通をａｆ能に連結されていて、
   上記の両給電端間の電路を構成すると共に上記カーボン
   電極の他端を上記芯材の自由端で支持するようにしであ
   ることを特徴とする真空容器加熱用電極。
2. （２）上記中空円筒形の発熱用のカーボン電極の内面と
   芯材の外面との間には−又は複数個の絶縁性支持材を、
   芯材によってカーボン電極を支持できるように介在させ
   であることを特徴とする特許請求の範囲第１項の真空容
   器加熱用電極。