JP2000164324A - 水冷電極 - Google Patents
水冷電極Info
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- JP2000164324A JP2000164324A JP10347980A JP34798098A JP2000164324A JP 2000164324 A JP2000164324 A JP 2000164324A JP 10347980 A JP10347980 A JP 10347980A JP 34798098 A JP34798098 A JP 34798098A JP 2000164324 A JP2000164324 A JP 2000164324A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の真空用水冷電極においては、抵抗発熱
体の給電電極本体を有する真空炉に対する水冷管の電気
的絶縁が複雑でコスト高となる欠点があった。 【解決手段】 本発明の水冷電極においては、抵抗発熱
体の端子に夫々接続される電極本体に溝を貫通して設
け、この溝内に金属水冷管を挿入し、この金属水冷管と
上記溝間に電気絶縁物を充填せしめる。
体の給電電極本体を有する真空炉に対する水冷管の電気
的絶縁が複雑でコスト高となる欠点があった。 【解決手段】 本発明の水冷電極においては、抵抗発熱
体の端子に夫々接続される電極本体に溝を貫通して設
け、この溝内に金属水冷管を挿入し、この金属水冷管と
上記溝間に電気絶縁物を充填せしめる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は水冷電極、特に、真
空炉内で使用する抵抗発熱体の給電電極として用いる水
冷電極に関するものである。
空炉内で使用する抵抗発熱体の給電電極として用いる水
冷電極に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空炉中で使用する抵抗発熱体に
電極を介して電力を供給する場合には、抵抗発熱体から
の伝導熱や輻射熱によって電極の温度が上昇し、抵抗値
が増加したり、熱膨張等による破損や接触不良となるこ
とを防ぐ為に水冷管を電極に取り付けて冷却することが
行なわれている。
電極を介して電力を供給する場合には、抵抗発熱体から
の伝導熱や輻射熱によって電極の温度が上昇し、抵抗値
が増加したり、熱膨張等による破損や接触不良となるこ
とを防ぐ為に水冷管を電極に取り付けて冷却することが
行なわれている。
【０００３】図５及び図６はこのような従来の真空炉用
水冷電極装置を示し、１は真空炉の炉壁、２は真空炉内
に配置した抵抗発熱体、３はこの抵抗発熱体２に電力を
供給するための角状断面の給電電極本体、４はこの給電
電極本体３と電源（図示せず）間を接続する給電線、５
は上記給電電極本体３を冷却するため上記給電電極本体
３内を貫通せしめた水冷管である。
水冷電極装置を示し、１は真空炉の炉壁、２は真空炉内
に配置した抵抗発熱体、３はこの抵抗発熱体２に電力を
供給するための角状断面の給電電極本体、４はこの給電
電極本体３と電源（図示せず）間を接続する給電線、５
は上記給電電極本体３を冷却するため上記給電電極本体
３内を貫通せしめた水冷管である。
【０００４】上記水冷管５の材質は、ナイロンなどの樹
脂類やゴム類を用いると水圧に対して比較的弱く、真空
中ではガス透過や脱ガスにより高真空を保てないという
問題があるために、通常は金属パイプが用いられてい
る。
脂類やゴム類を用いると水圧に対して比較的弱く、真空
中ではガス透過や脱ガスにより高真空を保てないという
問題があるために、通常は金属パイプが用いられてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、金属パイ
プの水冷管５を用いると、水冷管５にも電圧が印加され
てしまうので、電極が複数の場合には電気絶縁を考慮し
て配管するのは非常に困難となり、真空チャンバー内で
水冷管同士、或いは水冷管と対地間でショートする可能
性がある。
プの水冷管５を用いると、水冷管５にも電圧が印加され
てしまうので、電極が複数の場合には電気絶縁を考慮し
て配管するのは非常に困難となり、真空チャンバー内で
水冷管同士、或いは水冷管と対地間でショートする可能
性がある。
【０００６】また、炉壁１が金属製の真空チャンバーの
場合には、水冷管５を真空チャンバーに導入する部分で
夫々電気絶縁された絶縁導入口６を介してから配管しな
ければならないので、電極３が複数ある場合には絶縁導
入口６の数が多くなり、装置が煩雑になる。さらに絶縁
導入口６の金属部分にも電圧が加わるので、真空チャン
バーの外側においても電気絶縁を考慮しなければならな
い。特に絶縁導入口６に冷却水を供給するために金属パ
イプを使用した場合には電気絶縁を考慮して配管するこ
とは非常に困難となるため、樹脂類やゴム類のチューブ
７を用いることになり高真空を保持できず、また、水圧
に対して弱く、水漏れなどの問題がある。
場合には、水冷管５を真空チャンバーに導入する部分で
夫々電気絶縁された絶縁導入口６を介してから配管しな
ければならないので、電極３が複数ある場合には絶縁導
入口６の数が多くなり、装置が煩雑になる。さらに絶縁
導入口６の金属部分にも電圧が加わるので、真空チャン
バーの外側においても電気絶縁を考慮しなければならな
い。特に絶縁導入口６に冷却水を供給するために金属パ
イプを使用した場合には電気絶縁を考慮して配管するこ
とは非常に困難となるため、樹脂類やゴム類のチューブ
７を用いることになり高真空を保持できず、また、水圧
に対して弱く、水漏れなどの問題がある。
【０００７】本発明は上記の欠点を除くようにしたもの
である。
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の水冷電極は、抵
抗発熱体の端子に夫々接続される電極本体と、この電極
本体に貫通して設けたその一側面が開口された溝と、こ
の溝内に挿入した金属水冷管と、この金属水冷管と上記
溝間に充填せしめた電気絶縁物とより成ることを特徴と
する。
抗発熱体の端子に夫々接続される電極本体と、この電極
本体に貫通して設けたその一側面が開口された溝と、こ
の溝内に挿入した金属水冷管と、この金属水冷管と上記
溝間に充填せしめた電気絶縁物とより成ることを特徴と
する。
【０００９】また、本発明の水冷電極は、抵抗発熱体の
端子に夫々接続される電極本体と、この電極本体に設け
たその一端面が開口された盲孔と、この盲孔内に挿入し
た金属水冷管と、この金属水冷管と上記盲孔間に充填せ
しめた電気絶縁物とより成ることを特徴とする。
端子に夫々接続される電極本体と、この電極本体に設け
たその一端面が開口された盲孔と、この盲孔内に挿入し
た金属水冷管と、この金属水冷管と上記盲孔間に充填せ
しめた電気絶縁物とより成ることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下図面によって本発明の実施例
を説明する。
を説明する。
【００１１】本発明においては、図１及び図２に示すよ
うに、角状断面の電極本体３の下面に下方に開口した溝
８を形成し、この溝８内に水冷管５を挿入せしめるよう
にすると共に、上記溝８に接する水冷管５の外周面を電
気絶縁物９によって取り囲み、上記水冷管５を上記溝８
の下方開口に合致する押さえ蓋１０によって上記電気絶
縁物９を介して上記溝８内に固定せしめる。
うに、角状断面の電極本体３の下面に下方に開口した溝
８を形成し、この溝８内に水冷管５を挿入せしめるよう
にすると共に、上記溝８に接する水冷管５の外周面を電
気絶縁物９によって取り囲み、上記水冷管５を上記溝８
の下方開口に合致する押さえ蓋１０によって上記電気絶
縁物９を介して上記溝８内に固定せしめる。
【００１２】また、上記電極本体３に形成した溝８の両
端開口部を例えば鉛ガラスシール等の電気絶縁性シール
１１によって真空シールせしめ、電気絶縁物９から発生
するガスが外部に洩れないようにする。
端開口部を例えば鉛ガラスシール等の電気絶縁性シール
１１によって真空シールせしめ、電気絶縁物９から発生
するガスが外部に洩れないようにする。
【００１３】なお、上記電気絶縁物９としてマグネシア
粉やアルミナ粉を用いる場合にはこの絶縁物９の外周を
金属パイプ１２によって取り囲みこれを縮径（スウェー
ジング）して上記金属パイプ１２と電気絶縁物９と電極
本体３と水冷管５を一体に固定せしめる。
粉やアルミナ粉を用いる場合にはこの絶縁物９の外周を
金属パイプ１２によって取り囲みこれを縮径（スウェー
ジング）して上記金属パイプ１２と電気絶縁物９と電極
本体３と水冷管５を一体に固定せしめる。
【００１４】本発明の他の実施例においては、図３に示
すように、角状断面の電極本体３の一端面に盲孔１３を
形成し、この盲孔１３内に水冷管５を挿入せしめるよう
にすると共に、上記盲孔１３に接する水冷管５の外周面
を電気絶縁物９によって取り囲み、上記盲孔１３の開口
端を電気絶縁性シール１１によって真空シールせしめ、
電気絶縁物９から発生するガスが外部に漏れないように
する。
すように、角状断面の電極本体３の一端面に盲孔１３を
形成し、この盲孔１３内に水冷管５を挿入せしめるよう
にすると共に、上記盲孔１３に接する水冷管５の外周面
を電気絶縁物９によって取り囲み、上記盲孔１３の開口
端を電気絶縁性シール１１によって真空シールせしめ、
電気絶縁物９から発生するガスが外部に漏れないように
する。
【００１５】なお、この実施例においては、上記水冷管
５は２重管構造とし、その一端入口５ａから導入した冷
却水が上記水冷管５内を流れた後、折り返し、電極外部
に位置する側面出口５ｂから流出されるようにする。
５は２重管構造とし、その一端入口５ａから導入した冷
却水が上記水冷管５内を流れた後、折り返し、電極外部
に位置する側面出口５ｂから流出されるようにする。
【００１６】
【発明の効果】本発明の水冷電極は、上記のような構成
であるから水冷管５が電極本体３から完全に電気的に絶
縁され、従って水冷管５として金属パイプを使用でき、
水漏れも無くなると共に、図４に示すように抵抗発熱体
２の両端子に給電する給電電極本体３の冷却を一本の連
続した水冷管５により行なうことができるようになり、
電極が多数ある場合でも、その水冷構造を簡単となし得
る等種々の利益がある。
であるから水冷管５が電極本体３から完全に電気的に絶
縁され、従って水冷管５として金属パイプを使用でき、
水漏れも無くなると共に、図４に示すように抵抗発熱体
２の両端子に給電する給電電極本体３の冷却を一本の連
続した水冷管５により行なうことができるようになり、
電極が多数ある場合でも、その水冷構造を簡単となし得
る等種々の利益がある。
【図１】本発明の水冷電極の縦断正面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明の水冷電極の他の実施例を示す縦断正面
図である。
図である。
【図４】本発明の水冷電極の更に他の実施例を示す斜視
図である。
図である。
【図５】従来の真空用水冷電極の縦断正面図である。
【図６】図５に示す真空用水冷電極の斜視図である。
１ 炉壁 ２ 抵抗発熱体 ３ 給電電極本体 ４ 給電線 ５ 水冷管 ５ａ 一端入口 ５ｂ 側面出口 ６ 絶縁導入口 ７ チューブ ８ 溝 ９ 電気絶縁物 １０ 蓋 １１ シール １２ 金属パイプ １３ 盲孔
Claims (2)
- 【請求項１】 抵抗発熱体の端子に夫々接続される電極
本体と、この電極本体に貫通して設けたその一側面が開
口された溝と、この溝内に挿入した金属水冷管と、この
金属水冷管と上記溝間に充填せしめた電気絶縁物とより
成ることを特徴とする水冷電極。 - 【請求項２】 抵抗発熱体の端子に夫々接続される電極
本体と、この電極本体に設けたその一端面が開口された
盲孔と、この盲孔内に挿入した金属水冷管と、この金属
水冷管と上記盲孔間に充填せしめた電気絶縁物とより成
ることを特徴とする水冷電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34798098A JP3000080B1 (ja) | 1998-11-24 | 1998-11-24 | 水冷電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34798098A JP3000080B1 (ja) | 1998-11-24 | 1998-11-24 | 水冷電極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3000080B1 JP3000080B1 (ja) | 2000-01-17 |
| JP2000164324A true JP2000164324A (ja) | 2000-06-16 |
Family
ID=18393929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34798098A Expired - Fee Related JP3000080B1 (ja) | 1998-11-24 | 1998-11-24 | 水冷電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3000080B1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003109724A (ja) * | 2001-10-01 | 2003-04-11 | Nikko Materials Co Ltd | ＭｏＳｉ２製板状ヒーター及びその製造方法 |
| CN103344121A (zh) * | 2013-06-24 | 2013-10-09 | 北京航空航天大学 | 一种用于真空电阻加热炉的水冷电极装置 |
| CN105101484A (zh) * | 2015-09-21 | 2015-11-25 | 核工业理化工程研究院 | 防漏水的水冷电极结构 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103002605B (zh) * | 2012-12-05 | 2015-01-28 | 湖南省鑫源新材料股份有限公司 | 一种高温电阻炉电极与加热器的连接组件 |
| CN106906512B (zh) * | 2017-04-14 | 2023-03-28 | 南京晶能半导体科技有限公司 | 用于半导体级硅单晶炉电极的水冷芯管及其应用 |
-
1998
- 1998-11-24 JP JP34798098A patent/JP3000080B1/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3000080B1 (ja) | 2000-01-17 |
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