JPS60125212A - 液体の脱泡装置およびその脱泡方法 - Google Patents
液体の脱泡装置およびその脱泡方法Info
- Publication number
- JPS60125212A JPS60125212A JP23170283A JP23170283A JPS60125212A JP S60125212 A JPS60125212 A JP S60125212A JP 23170283 A JP23170283 A JP 23170283A JP 23170283 A JP23170283 A JP 23170283A JP S60125212 A JPS60125212 A JP S60125212A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- liquid
- space
- container
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Processes Of Treating Macromolecular Substances (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は例えば液体を物質表面に全く気泡のない状態で
塗布するために気泡を含まない液体を吐出供給すること
が要求される例えば半導体、光ディスクの製造工程に使
用できる液体の脱泡とその製造方法に関するものである
。
塗布するために気泡を含まない液体を吐出供給すること
が要求される例えば半導体、光ディスクの製造工程に使
用できる液体の脱泡とその製造方法に関するものである
。
従来例の構成とその問題点
光ディスクの製造方法の１つに紫外線硬化樹脂（以下Ｕ
Ｖ樹脂と略す）を用いてスタンパに形成された信号トラ
ックのレプリカを作成するいわゆる２Ｐ（フォトポリマ
ー）法がある。
Ｖ樹脂と略す）を用いてスタンパに形成された信号トラ
ックのレプリカを作成するいわゆる２Ｐ（フォトポリマ
ー）法がある。
２Ｐ法において微細な信号を転写するためのＵＶ樹脂に
は微細な異物はもちろん微細な気泡もあってはならない
。したがってＵＶ樹脂はあらかじめフィルターでろ過さ
れた後、気泡が脱泡されてスタンパに供給される。
は微細な異物はもちろん微細な気泡もあってはならない
。したがってＵＶ樹脂はあらかじめフィルターでろ過さ
れた後、気泡が脱泡されてスタンパに供給される。
従来のＵＶ樹脂の脱泡と供給を行なう装置を第１図にお
いて説明する。第１図において、１は液状のＵＶ樹脂２
を上部に空間３を残して収納するタンクである。４は高
圧気体源、６は排気ポンプ、６．７，８．９は開閉弁（
以下弁と略す）、１０゜１１．１２はＵＶ樹脂を吐出供
給するための配管である。
いて説明する。第１図において、１は液状のＵＶ樹脂２
を上部に空間３を残して収納するタンクである。４は高
圧気体源、６は排気ポンプ、６．７，８．９は開閉弁（
以下弁と略す）、１０゜１１．１２はＵＶ樹脂を吐出供
給するための配管である。
ＵＶ樹脂２の脱泡は弁６，８が閉で７が開の状態で排気
ポンプ５を運転し前記空間３を真空引して行なわれる。
ポンプ５を運転し前記空間３を真空引して行なわれる。
空間３の真空度が上るにつれてＵＶ樹脂２に溶は込んで
いた気体はＵｖｆＥ：脂の液中で大きな気泡に成゛長し
て空間３に浮上し、脱泡される。脱泡が終了すると弁７
を閉じ、次に弁６を開いて空間３を加圧する。次に弁８
，９を開いてＵＶ樹力旨２を配管１０、弁８、配管１１
、弁９を通して配管１２の開口端まで送出し弁９を閉じ
る。
いた気体はＵｖｆＥ：脂の液中で大きな気泡に成゛長し
て空間３に浮上し、脱泡される。脱泡が終了すると弁７
を閉じ、次に弁６を開いて空間３を加圧する。次に弁８
，９を開いてＵＶ樹力旨２を配管１０、弁８、配管１１
、弁９を通して配管１２の開口端まで送出し弁９を閉じ
る。
その後必要に応じて弁９を開閉すれば配管１２の開口端
からＵＶ樹脂２が吐出供給される。
からＵＶ樹脂２が吐出供給される。
このような従来の方式は次の欠点を有している。
脱泡が終了してＵＶ樹脂２を配管１０．１１を通して配
管１２の開口へ送出する時、ＵＶ樹脂２自身は十分に脱
泡されているが、弁８の出側半分と配管１１、弁９、配
管１２は大気圧であるからその経路を通過する間に多量
の気泡を巻き込んだ状態となる。ある程度ＵＶ樹脂を空
１しすれば気泡を多量に含んだＵＶ樹脂は配管から排出
されるが、弁内部あるいは継手等の凹凸の多い複雑な部
分に残留する気泡は排出されにくくかなり大量のＵＶ樹
脂を排出した後も少しづつ前記残留する気泡が微細な気
泡となってＵＶ樹脂に混入し、その微細な気泡を含むＵ
Ｖ樹脂が弁９を通過することになる。ＵＶ樹脂を吐出供
給するたびに弁９を開閉する時、弁９の動作部材が液中
゛で動作することにより、部分的に負圧が発生し、ＵＶ
樹脂中に混入した多数の微細な気泡が前記脱泡時と同様
に前記負圧によりいくつを集まって比較的大きな気泡に
成長する。成長した気泡の大きさと数は弁の構造、微細
な気泡の混入状態によっても異なるが直径１０〜２００
μｍの気泡が数個〜１０数個発生することがある。この
ような気泡が混ったＵＶ樹脂で作製したレプリカは多く
の欠陥を有することになり、信頼性の高い記録あるいは
再生を行なうことができない。
管１２の開口へ送出する時、ＵＶ樹脂２自身は十分に脱
泡されているが、弁８の出側半分と配管１１、弁９、配
管１２は大気圧であるからその経路を通過する間に多量
の気泡を巻き込んだ状態となる。ある程度ＵＶ樹脂を空
１しすれば気泡を多量に含んだＵＶ樹脂は配管から排出
されるが、弁内部あるいは継手等の凹凸の多い複雑な部
分に残留する気泡は排出されにくくかなり大量のＵＶ樹
脂を排出した後も少しづつ前記残留する気泡が微細な気
泡となってＵＶ樹脂に混入し、その微細な気泡を含むＵ
Ｖ樹脂が弁９を通過することになる。ＵＶ樹脂を吐出供
給するたびに弁９を開閉する時、弁９の動作部材が液中
゛で動作することにより、部分的に負圧が発生し、ＵＶ
樹脂中に混入した多数の微細な気泡が前記脱泡時と同様
に前記負圧によりいくつを集まって比較的大きな気泡に
成長する。成長した気泡の大きさと数は弁の構造、微細
な気泡の混入状態によっても異なるが直径１０〜２００
μｍの気泡が数個〜１０数個発生することがある。この
ような気泡が混ったＵＶ樹脂で作製したレプリカは多く
の欠陥を有することになり、信頼性の高い記録あるいは
再生を行なうことができない。
発明の目的
本発明は吐出供給開口部において気泡の混入のない液体
を供給することができる液体の脱泡装置およびその脱泡
方法を提供することを目的とする。
を供給することができる液体の脱泡装置およびその脱泡
方法を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は容器に収納された液体を第１の排気手段により
脱泡すると共に、液体を吐出供給する配管内を第２の排
気出段により真空引きした後、前記配管内の真空度を前
記容器の真空度よりも高くした状態で前記液体を吐出供
給する配管を通過させてこの配管を通過する時に気泡を
をき込むことを防止すると共に、配管内に気泡が残留す
ることを防止し、きわめて気体の混入量が少ない液体を
吐出供給できるものである。
脱泡すると共に、液体を吐出供給する配管内を第２の排
気出段により真空引きした後、前記配管内の真空度を前
記容器の真空度よりも高くした状態で前記液体を吐出供
給する配管を通過させてこの配管を通過する時に気泡を
をき込むことを防止すると共に、配管内に気泡が残留す
ることを防止し、きわめて気体の混入量が少ない液体を
吐出供給できるものである。
実施例の説明
本発明の一実施例を従来と同様にＵＶ樹脂の脱泡と供給
を行なう装置に適用した場合について第２図において説
明する。第２図〜第４図において第１図と同一構成要素
は同一番号で示しである。
を行なう装置に適用した場合について第２図において説
明する。第２図〜第４図において第１図と同一構成要素
は同一番号で示しである。
以下従来例と異なる点について説明する。第２図におい
て、１３は小タンクで、１４は前記配管１２を脱着自在
に接続する継手である。１５は前記継手から小タンク１
３へ延長する配管である。
て、１３は小タンクで、１４は前記配管１２を脱着自在
に接続する継手である。１５は前記継手から小タンク１
３へ延長する配管である。
１６は排気ポンプで１７は弁である。
ＵＶ樹脂２の脱泡は前記従来例と同様に行なわれ、それ
と同時に弁９と１７を開いた状態で排気ポンプ１６を動
作させて配管１１．１２．１５と弁９の内部及び小タン
ク１３の内部を真空引する。
と同時に弁９と１７を開いた状態で排気ポンプ１６を動
作させて配管１１．１２．１５と弁９の内部及び小タン
ク１３の内部を真空引する。
次に小タンク１３内の真空度を空間３の真空度よりも高
くする。これは弁７を閉じた抜弁６をごくわずかに開く
こと、あるいは弁７を絞ってポンプ５の排気速度を下げ
ること等の方法で実施できる０ この状態で弁８を開くと小タンク１３内の圧力よりも空
間３の圧力の方がわずかではあるが高いのでＵＶ樹脂２
は配管１０、弁８、配管１１、弁９、配管１２、配管１
５の順にゆっくり通って小り／り１３内に配管１５を通
って滴下する。小タンク１３の少なくとも一部を透明と
しておけば滴下を目視することができる。小タンク１３
はＵＶ樹脂のトラップであり、排気ポンプ１６がＵＶ樹
脂を吸込むことを防止している。
くする。これは弁７を閉じた抜弁６をごくわずかに開く
こと、あるいは弁７を絞ってポンプ５の排気速度を下げ
ること等の方法で実施できる０ この状態で弁８を開くと小タンク１３内の圧力よりも空
間３の圧力の方がわずかではあるが高いのでＵＶ樹脂２
は配管１０、弁８、配管１１、弁９、配管１２、配管１
５の順にゆっくり通って小り／り１３内に配管１５を通
って滴下する。小タンク１３の少なくとも一部を透明と
しておけば滴下を目視することができる。小タンク１３
はＵＶ樹脂のトラップであり、排気ポンプ１６がＵＶ樹
脂を吸込むことを防止している。
滴下が始まった時、弁８，７．９を閉じ次に弁６を開い
て空間３を加圧する。
て空間３を加圧する。
一方弁１７を閉じて配管１２を継手１４から外し、弁８
を開けば従来と同様に弁９の開閉により配管１２の開口
からＵＶ樹脂２が吐出供給される。
を開けば従来と同様に弁９の開閉により配管１２の開口
からＵＶ樹脂２が吐出供給される。
この実施例の構成では脱泡されたＵＶ樹脂２を真空に保
った弁８、配管１１、弁９、配管１２のシー 経路を通して配管１２開口へ送出できるのでその経路を
通る間に気泡を巻き込むことはない。またその経路は真
空引′きされているので弁内部あるいは継手等の凹凸の
多い複雑な部分にも気泡が残留することはない。
った弁８、配管１１、弁９、配管１２のシー 経路を通して配管１２開口へ送出できるのでその経路を
通る間に気泡を巻き込むことはない。またその経路は真
空引′きされているので弁内部あるいは継手等の凹凸の
多い複雑な部分にも気泡が残留することはない。
前記実施例においては排気ポンプを２台用いたが第３図
に示すように排気ポンプは１台としてもよい。１８がそ
の排気ポンプである７、また、ＵＶ樹脂２を＋Ｍ Ｗタ
ンクに入れるのではなく、第４図に示すようにＵＶ樹脂
２を入れたビン等の容器１９をタンク１に入れてもよい
。また、前記実施例において配管１１及び弁９の真空の
漏れに対する信頼性が高ければ弁８を省略してもよい。
に示すように排気ポンプは１台としてもよい。１８がそ
の排気ポンプである７、また、ＵＶ樹脂２を＋Ｍ Ｗタ
ンクに入れるのではなく、第４図に示すようにＵＶ樹脂
２を入れたビン等の容器１９をタンク１に入れてもよい
。また、前記実施例において配管１１及び弁９の真空の
漏れに対する信頼性が高ければ弁８を省略してもよい。
さらに、小タンク１３に必要に応じて一端が大気に開放
された弁を取シつけ、配管１２を継手から外す前にこの
弁を開いて小タンク１３内部を大気圧に戻してもよい。
された弁を取シつけ、配管１２を継手から外す前にこの
弁を開いて小タンク１３内部を大気圧に戻してもよい。
発明の効果
以上のように本発明によれば容器に収納された液体を第
１の排気手段によシ脱泡すると共に、液体を吐出供給す
る配管内を第２の排気手段により真空引きした後、前記
配管内の真空度を前記容器の真空度よシも高くした状態
で前記液体を吐出供給する配管を通過させることにより
、この配管を通過する時に気泡を巻き込むことが防止で
きると共に、配管内に気泡が残留することが防止でき、
きわめて気体の混入量が少ない液体を吐出供給すること
ができる。この装置を光ディスクの２Ｐ法に適用した場
合きわめて気泡による欠陥の少ない光ディスクを製造す
ることができる。また従来のように大量の液体を空出し
して気泡を大量に含んだ部分を捨てる必要もない。
１の排気手段によシ脱泡すると共に、液体を吐出供給す
る配管内を第２の排気手段により真空引きした後、前記
配管内の真空度を前記容器の真空度よシも高くした状態
で前記液体を吐出供給する配管を通過させることにより
、この配管を通過する時に気泡を巻き込むことが防止で
きると共に、配管内に気泡が残留することが防止でき、
きわめて気体の混入量が少ない液体を吐出供給すること
ができる。この装置を光ディスクの２Ｐ法に適用した場
合きわめて気泡による欠陥の少ない光ディスクを製造す
ることができる。また従来のように大量の液体を空出し
して気泡を大量に含んだ部分を捨てる必要もない。
第１図は従来例における液体脱泡装置の原理図、第２図
は本発明の一実施例における液体脱泡装置の原理図、第
３図、第４図はそれぞれ同地の実施例における液体脱泡
装置の原理図である。 １・・・・・・タンク、２・・・・・・ＵＶ樹脂、３・
・・・・・空間、４・・・・・・高圧気体源、５，１６
．１８・・・・・・排気ポンプ、６，７，８，９．１７
・・・・・・開閉弁、１０゜１１．１２．１６・・・・
・・配管、１４・・・・・・継手、１３・・・・・・小
タンク。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２１１ １１ＰＪ３図 第４図
は本発明の一実施例における液体脱泡装置の原理図、第
３図、第４図はそれぞれ同地の実施例における液体脱泡
装置の原理図である。 １・・・・・・タンク、２・・・・・・ＵＶ樹脂、３・
・・・・・空間、４・・・・・・高圧気体源、５，１６
．１８・・・・・・排気ポンプ、６，７，８，９．１７
・・・・・・開閉弁、１０゜１１．１２．１６・・・・
・・配管、１４・・・・・・継手、１３・・・・・・小
タンク。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２１１ １１ＰＪ３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｑ） 内部に第１の空間を残して液体を収納する第１の
容器と、この第１の容器の外に配設された第２の容器と
、前記液体中に一端が開口し、他端が前記第２の容器の
内部空間に開口する配管と、この配管に設けられた開閉
弁と、前記第１の空間を≠排気する第１の排気手段と、
前記第１の空間を加圧する加圧手段と、前記第２の容器
の内部空間を排気する第２の排気手段とを備えた液体の
脱泡装置。 （２）内部に第１の空間を残して液体を収納する第１の
容器と、この第１の容器の外に配設された第２の容器と
、前記液体中に一端が開口し、他端が前記第２の容器の
内部空間に開口する配管と、この配管に設けられた開閉
弁と、前記第１の空間を排気する第１の排気手段と、前
記第１の空間を加圧する加圧手段と、前記第２の容器の
内部空間を排気する第２の排気手段とを備え、前記開閉
弁を閉じた状態にて前記第１と第２の排気手段により、
第１と第２の容器及び配管の内部空間を真空引きして前
記液体の脱泡を行ない、次に前記第２の空間の真空度を
前記第１の空間の真空度よシも高くした状態で前記閉じ
た開閉弁を開いて前記配管に液体を充填した後再び所要
の開閉弁を閉じ、その後前記加圧手段によシ前記第１の
空間を加圧すると共に、前記配管の他端を前記第２の容
器から外し、前記所要の開閉弁を開閉して前記配管の他
端から液体を吐出供給することを特徴とする液体の脱泡
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23170283A JPS60125212A (ja) | 1983-12-08 | 1983-12-08 | 液体の脱泡装置およびその脱泡方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23170283A JPS60125212A (ja) | 1983-12-08 | 1983-12-08 | 液体の脱泡装置およびその脱泡方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60125212A true JPS60125212A (ja) | 1985-07-04 |
Family
ID=16927658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23170283A Pending JPS60125212A (ja) | 1983-12-08 | 1983-12-08 | 液体の脱泡装置およびその脱泡方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60125212A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6733604B2 (en) * | 1996-04-19 | 2004-05-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacture of laminated optical disc |
-
1983
- 1983-12-08 JP JP23170283A patent/JPS60125212A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6733604B2 (en) * | 1996-04-19 | 2004-05-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacture of laminated optical disc |
| US6733606B2 (en) * | 1996-04-19 | 2004-05-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacture of laminated optical disc including defoaming adhesive |
| US6960269B2 (en) * | 1996-04-19 | 2005-11-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacture of laminated optical disc including centerer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI278911B (en) | Chemical supplying device and gas-separation method thereof | |
| JP6830755B2 (ja) | 炭酸入り充填物を容器に充填する装置および方法 | |
| ATE102295T1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur erzeugung eines vakuums. | |
| HUT59359A (en) | Method and apparaus for carbonating and cooling fluid | |
| JPS60125212A (ja) | 液体の脱泡装置およびその脱泡方法 | |
| JPH07227504A (ja) | 溶存酸素除去方法 | |
| JPH07325279A (ja) | 減圧処理装置及び方法 | |
| JP2003515244A (ja) | 半導体ウェーハから汚染物を減らす方法と装置 | |
| JPH01257800A (ja) | 集液装置 | |
| JP2759152B2 (ja) | 液体処理装置及び液体処理方法及びレジスト塗布装置 | |
| CA2102589A1 (en) | Method and apparatus for removing air locks within manually operated micro-filtration devices | |
| JPS63276482A (ja) | 潅流培養装置における薬液注入排出装置 | |
| WO2023058298A1 (ja) | 液封式ポンプの運転方法、膜脱気装置、純水製造システム及び純水製造方法 | |
| JPH0511260A (ja) | 液晶セルの製造方法及び液晶注入装置 | |
| JPS6067664A (ja) | 真空成膜装置 | |
| JPH085545Y2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| US20020046653A1 (en) | Apparatus and method for avoiding gas bubbles when transporting a liquid by means of pumps | |
| JPH0857205A (ja) | 脱気装置 | |
| JP2000205499A (ja) | 液体供給装置及び液体供給装置におけるパ―ジ方法 | |
| JP3535019B2 (ja) | 切り換え式フィルターの切り換え方法と装置 | |
| JP2001200999A (ja) | 液体注入方法および液体注入装置 | |
| JPS59150655A (ja) | ダイカスト部品への含浸方法及び装置 | |
| JPS5763107A (en) | Method for preventing inclusion of air bubble in viscous liquid | |
| JPS60176657A (ja) | 高圧蒸気式滅菌器 | |
| JPS60131442A (ja) | 包埋装置におけるパラフイン障害除去装置 |