JPS60124094A - 差動センスアンプ - Google Patents
差動センスアンプInfo
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- JPS60124094A JPS60124094A JP59235328A JP23532884A JPS60124094A JP S60124094 A JPS60124094 A JP S60124094A JP 59235328 A JP59235328 A JP 59235328A JP 23532884 A JP23532884 A JP 23532884A JP S60124094 A JPS60124094 A JP S60124094A
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
- H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
- H01L21/76224—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using trench refilling with dielectric materials
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- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
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- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/532—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body characterised by the materials
- H01L23/5329—Insulating materials
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K1/02—Details
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- H05K1/0313—Organic insulating material
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- H05K1/0346—Organic insulating material consisting of one material containing N
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4644—Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
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- Amplifiers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は集積回路に関するものであって、特に、データ
をストアしているセルからの小さな差動信号を受け取る
と共にこの小さな差動信号を、所望により、他の回路に
使用するのに適した高インピーダンス又は低インピーダ
ンスの何れかの出力信号へ変換させるのに適した新規な
センスアンプに関するものである。
をストアしているセルからの小さな差動信号を受け取る
と共にこの小さな差動信号を、所望により、他の回路に
使用するのに適した高インピーダンス又は低インピーダ
ンスの何れかの出力信号へ変換させるのに適した新規な
センスアンプに関するものである。
集積回路及び集積回路メモリであって、データを嵌わす
低レベル差動信号を供給するものは従来公知である。こ
の様な回路は、通常、フリツノフロッグと、先入れ先出
しく FIFO)メモリと、エンツタ結合論理(ECL
)デバイス等ヲ有シている。本発明に関連する先行技
術としては本願出願人であるモノリシックメモリーズ、
インコーポレイテッドVcll渡されている発明者Mo
5sの1979年4月24日に発行された米国特許第4
.151,609号がある。上記Mo s a特許は、
複数個の2進数(ビット)をストアする為の同複数個の
データセルを具備した独特な先入れ先出しメモリを開示
している。Mo B I特許に開示されている各データ
セルは、本願の第1図に示した如きパイステーブルラッ
チを有している。又、メモリセルとして機能するのに適
切な新規なパイステーノルラッチが、これも本願出願人
であるモノリシックメモリーズ、インコーホレイテッド
に嬢渡されている「メモリセル及びアレイ」という名称
の発明者Habsrman及びMo5sによる米国特許
出願に開示されている。尚業者等にとって明らかな如く
、多数のこの様なパイステーブルラッチが存在している
か又はデジタル情報をストアする目的の為に使用するこ
との可能な如く構成することができるものではあるが、
1例として第1図のセルに付いて説明する。パイステー
ブルラッチlOは2重エミッタNPN )ランpx夕1
1及び12を有しておシ、トランジスタ11のエミッタ
13とトランジスタ12のエミッタl4と12共にワー
ド線19に接続されている。ワード線19はセルへの制
御線として機能する観のであシ、それが高状態(論理1
1通常2.5カルト)であると、セルIOは”受信・ス
トア”動作モードとな如、その前のセルからデータを受
け取υ且つ該前のセルから次のデータを受け取る迄その
データをストアする。逆に、ワード線19が低状態(論
理0、通常0.6 &ルト)であると、セル10はその
データを次のセルへ供給し、このデータは次のセルヘコ
ビーされてストアされる。
低レベル差動信号を供給するものは従来公知である。こ
の様な回路は、通常、フリツノフロッグと、先入れ先出
しく FIFO)メモリと、エンツタ結合論理(ECL
)デバイス等ヲ有シている。本発明に関連する先行技
術としては本願出願人であるモノリシックメモリーズ、
インコーポレイテッドVcll渡されている発明者Mo
5sの1979年4月24日に発行された米国特許第4
.151,609号がある。上記Mo s a特許は、
複数個の2進数(ビット)をストアする為の同複数個の
データセルを具備した独特な先入れ先出しメモリを開示
している。Mo B I特許に開示されている各データ
セルは、本願の第1図に示した如きパイステーブルラッ
チを有している。又、メモリセルとして機能するのに適
切な新規なパイステーノルラッチが、これも本願出願人
であるモノリシックメモリーズ、インコーホレイテッド
に嬢渡されている「メモリセル及びアレイ」という名称
の発明者Habsrman及びMo5sによる米国特許
出願に開示されている。尚業者等にとって明らかな如く
、多数のこの様なパイステーブルラッチが存在している
か又はデジタル情報をストアする目的の為に使用するこ
との可能な如く構成することができるものではあるが、
1例として第1図のセルに付いて説明する。パイステー
ブルラッチlOは2重エミッタNPN )ランpx夕1
1及び12を有しておシ、トランジスタ11のエミッタ
13とトランジスタ12のエミッタl4と12共にワー
ド線19に接続されている。ワード線19はセルへの制
御線として機能する観のであシ、それが高状態(論理1
1通常2.5カルト)であると、セルIOは”受信・ス
トア”動作モードとな如、その前のセルからデータを受
け取υ且つ該前のセルから次のデータを受け取る迄その
データをストアする。逆に、ワード線19が低状態(論
理0、通常0.6 &ルト)であると、セル10はその
データを次のセルへ供給し、このデータは次のセルヘコ
ビーされてストアされる。
Fランラスタ110ベース1フはトランジスタ12のコ
レクタ21へ接続されておシ、同様にトランジスタ12
のペース18はトランジスタ11のコレクタ20へ接続
されている。重要なことであるが、所望によシ、トラン
ジスタ11及び12は、一層高速のスイッチング速度従
って一層高速のメモリデバイスを提供するショットキー
トラン2スタを有している。トランジスタ11 、12
のコレクタ20 、21は、夫々、抵抗22 、23を
介してあの供給電圧vccへ接続されている。コレクタ
20 、21は、夫々、リード26 、27及びショッ
トキーダイオード24 、25を介して次のセル(不図
示)のエミッタへ接続されている。トランジスタ11
、12のエミッタ15 e 16は、前のセルの中に設
けられているショットキーダイオードを介して前のセル
(不図示)の交差供給したトランジスタのコレクタへ接
続されている。
レクタ21へ接続されておシ、同様にトランジスタ12
のペース18はトランジスタ11のコレクタ20へ接続
されている。重要なことであるが、所望によシ、トラン
ジスタ11及び12は、一層高速のスイッチング速度従
って一層高速のメモリデバイスを提供するショットキー
トラン2スタを有している。トランジスタ11 、12
のコレクタ20 、21は、夫々、抵抗22 、23を
介してあの供給電圧vccへ接続されている。コレクタ
20 、21は、夫々、リード26 、27及びショッ
トキーダイオード24 、25を介して次のセル(不図
示)のエミッタへ接続されている。トランジスタ11
、12のエミッタ15 e 16は、前のセルの中に設
けられているショットキーダイオードを介して前のセル
(不図示)の交差供給したトランジスタのコレクタへ接
続されている。
前のセルからセル10内にデータを受信する場合に、ワ
ード819が高状態とされ且つ前のセル(不図示)のワ
ード線を低状態とする。このデータをセル10内にスト
アする場合には、ワード線19を高状態とし、前のワー
ドのワード線を高状態とすることによって新たなr−夕
がセル10へ転送されない様にする。セル10がそのデ
ータを次のセル(不図示)内に書き込む場合には、ワー
ド線19は低状態とされる。
ード819が高状態とされ且つ前のセル(不図示)のワ
ード線を低状態とする。このデータをセル10内にスト
アする場合には、ワード線19を高状態とし、前のワー
ドのワード線を高状態とすることによって新たなr−夕
がセル10へ転送されない様にする。セル10がそのデ
ータを次のセル(不図示)内に書き込む場合には、ワー
ド線19は低状態とされる。
セル10内ストアされているデータを読み取る為には(
セルlOがFIFOメモリの最下端セルであるか又は個
別的なセルであると仮定して)、リード26及び27上
の電圧を検査する。リード26及び27間の差動電圧が
正の場合(即ち、リード27がリード26に比べて正)
、論理lがストアされ、逆に、リード26と27との間
の差動電圧が負の場合(即ち、リード27がリード26
に比べて負)、論理0がストアされる。通常、リード2
6及び27間の差動電圧は室温において±450 mV
のオーダでtb、高温(例えば、集積回路装置を約12
5℃の周囲温度下で動作させる場合)において±200
mVのオーダーである。この様な比較的小さな差動電
圧は、例えば広範囲に使用されているトランジスタ・ト
ランジスタ・ロジック(TTL )装置等の如き他の回
路r/Cおいて直接使用するのに適したものでないこと
が多い。従って、との差動電圧に電圧変換を施こして、
TTL装置等の如き外部回路において直接使用するのに
適したレベルとすることが必要でおる。
セルlOがFIFOメモリの最下端セルであるか又は個
別的なセルであると仮定して)、リード26及び27上
の電圧を検査する。リード26及び27間の差動電圧が
正の場合(即ち、リード27がリード26に比べて正)
、論理lがストアされ、逆に、リード26と27との間
の差動電圧が負の場合(即ち、リード27がリード26
に比べて負)、論理0がストアされる。通常、リード2
6及び27間の差動電圧は室温において±450 mV
のオーダでtb、高温(例えば、集積回路装置を約12
5℃の周囲温度下で動作させる場合)において±200
mVのオーダーである。この様な比較的小さな差動電
圧は、例えば広範囲に使用されているトランジスタ・ト
ランジスタ・ロジック(TTL )装置等の如き他の回
路r/Cおいて直接使用するのに適したものでないこと
が多い。従って、との差動電圧に電圧変換を施こして、
TTL装置等の如き外部回路において直接使用するのに
適したレベルとすることが必要でおる。
前掲したMoma%許は独特の出力バッファラッチ71
を開示しておシ、それはパイステーブルラッチからの差
動出力電圧をTTLデバイスによって使用するのに適し
たレベルへ変換する場合に好適である。興味あることと
しては、Mo5s%許の出力バツ7アラツチ71は又ラ
ッチとしても機能し、従って一時的にデータをストアす
ることが可能である◎ Moan特許の出現後、このタイプの出力バッファラッ
チは低電圧差動データ信号を他の回路において使用する
のに適した信号へ変換する為に他の者によっても使用さ
れている。しかしながら、これらのタイプの従来のセン
スアンプは、センスする為に受け取られた極めて小さな
差動電圧がセンスアンプを構成する部品に極めて厳しい
公差を維持することを必要とするという欠点を持つもの
であることが多い。このことは設計エンジニアにとって
負担となるばかシか、半導体装置を製造する場合に良く
あることであるが、精密な抵抗値や、ドーピングレベル
や、スレッシュホールド電圧等を得ることが不可能であ
るか又は極めて慎重且つ高価表製造工程によつてのみ得
ることが可能であるに過ぎない。製造中にこの様な詳細
な事項に注意を払っていても、厳格な公差は維持されな
いことが多く、その結果、歩留ジが低下し、これらの装
置を製造するコストが増加される。
を開示しておシ、それはパイステーブルラッチからの差
動出力電圧をTTLデバイスによって使用するのに適し
たレベルへ変換する場合に好適である。興味あることと
しては、Mo5s%許の出力バツ7アラツチ71は又ラ
ッチとしても機能し、従って一時的にデータをストアす
ることが可能である◎ Moan特許の出現後、このタイプの出力バッファラッ
チは低電圧差動データ信号を他の回路において使用する
のに適した信号へ変換する為に他の者によっても使用さ
れている。しかしながら、これらのタイプの従来のセン
スアンプは、センスする為に受け取られた極めて小さな
差動電圧がセンスアンプを構成する部品に極めて厳しい
公差を維持することを必要とするという欠点を持つもの
であることが多い。このことは設計エンジニアにとって
負担となるばかシか、半導体装置を製造する場合に良く
あることであるが、精密な抵抗値や、ドーピングレベル
や、スレッシュホールド電圧等を得ることが不可能であ
るか又は極めて慎重且つ高価表製造工程によつてのみ得
ることが可能であるに過ぎない。製造中にこの様な詳細
な事項に注意を払っていても、厳格な公差は維持されな
いことが多く、その結果、歩留ジが低下し、これらの装
置を製造するコストが増加される。
本発明は以上の点に鑑みなされたものであって、上述し
た如き従来技術の欠点を解消し、例えばデータをストア
するメモリセルからの小さな差動入力信号を受信する新
規なセンスアンプを提供することを目的とする。本差動
センスアングは前記差動入力信号に応答して1対の出力
リード上に差動インピーダンスを供給する。本発明の1
実施形独においては、差動センスアンプが選択的にイネ
ーブルされる手段を有してお〕、それがディスエーブル
されると両差助出力リード上に高インピーダンスを与え
る。
た如き従来技術の欠点を解消し、例えばデータをストア
するメモリセルからの小さな差動入力信号を受信する新
規なセンスアンプを提供することを目的とする。本差動
センスアングは前記差動入力信号に応答して1対の出力
リード上に差動インピーダンスを供給する。本発明の1
実施形独においては、差動センスアンプが選択的にイネ
ーブルされる手段を有してお〕、それがディスエーブル
されると両差助出力リード上に高インピーダンスを与え
る。
以下、添付の図面を参考に本発明の具体的実施の態様に
付いて詳細に説明する。
付いて詳細に説明する。
第2図は、本発明の1実施形態に基づいて構成された2
個の差動センスアンプを示し友概略図でおって、所望に
よジ、本発明に基づいて構成される1個又はそれ以上の
センスアンプと共に使用することの可能な関連する回路
も共に示しである。第2図は、本発明の1実施例に基づ
いて構成されたセンスアンプ30m及び30bを示して
いる。センスアンf30aはNPNショットキートラン
ジスタQ34 # Q35を有しておシ、夫等のペース
は抵抗R35(通常、30にΩ)を介して共に正の電源
電圧Vcc(通常、5v)に接続されている@トランジ
スタQ34のエミッタ及びトランジスタQ35のエミッ
タは夫々リード30a”1及び30m−2を介して、例
えば第1図に示したメモリセルの如き、メモリセルから
差動信号電圧を受け取る。トランジスタQ34及びQ3
5のコレクタは、夫々、出力リード3o−3及び3o−
4へ接続されておシ、これらの出力リード上に出力バッ
ファ31の如き付加的な回路及び出力データラッチ32
への差動インピーダンスを供給する。本明細書において
は、出力バッファ31が示されておシ、それはリード3
0−3上の信号を受け取シ、且つこの信号に応答して、
TTL回路と共に使用するのに適した出力端子40上に
出力電圧Voutを提供する。当然に理解されることで
あるが、出力バッファ31を使用する必要は無く、且つ
リード30−3及び30−4上の信号電圧を単独又は組
み合せて使用し多数の他の回路の任意の1つへ信号を供
給することが可能である。例えば、リード30−3及び
30−4上の差動信号インピーダンスも又データ出力ラ
ッチ32に接続して示されておυ、この場合、入力信号
リード対30m−1e30龜−2及び30b−1、30
b−2上に受け取られるデータ状態の遷移中に適切な信
号が出力バッファ31へ供給されることを確保している
。
個の差動センスアンプを示し友概略図でおって、所望に
よジ、本発明に基づいて構成される1個又はそれ以上の
センスアンプと共に使用することの可能な関連する回路
も共に示しである。第2図は、本発明の1実施例に基づ
いて構成されたセンスアンプ30m及び30bを示して
いる。センスアンf30aはNPNショットキートラン
ジスタQ34 # Q35を有しておシ、夫等のペース
は抵抗R35(通常、30にΩ)を介して共に正の電源
電圧Vcc(通常、5v)に接続されている@トランジ
スタQ34のエミッタ及びトランジスタQ35のエミッ
タは夫々リード30a”1及び30m−2を介して、例
えば第1図に示したメモリセルの如き、メモリセルから
差動信号電圧を受け取る。トランジスタQ34及びQ3
5のコレクタは、夫々、出力リード3o−3及び3o−
4へ接続されておシ、これらの出力リード上に出力バッ
ファ31の如き付加的な回路及び出力データラッチ32
への差動インピーダンスを供給する。本明細書において
は、出力バッファ31が示されておシ、それはリード3
0−3上の信号を受け取シ、且つこの信号に応答して、
TTL回路と共に使用するのに適した出力端子40上に
出力電圧Voutを提供する。当然に理解されることで
あるが、出力バッファ31を使用する必要は無く、且つ
リード30−3及び30−4上の信号電圧を単独又は組
み合せて使用し多数の他の回路の任意の1つへ信号を供
給することが可能である。例えば、リード30−3及び
30−4上の差動信号インピーダンスも又データ出力ラ
ッチ32に接続して示されておυ、この場合、入力信号
リード対30m−1e30龜−2及び30b−1、30
b−2上に受け取られるデータ状態の遷移中に適切な信
号が出力バッファ31へ供給されることを確保している
。
差動センスアンプ30aに付いて説明すると、複数個の
ダイオードD79〜D82がトランジスタQ34及びQ
35のペースに接続されている。ダイオードD79〜D
82は夫々のカソード30m−5〜30m−8上に制御
信号を受け取シ、該制御信号は選択的に差動センスアン
f 30&をイネーブルさせる。イネーブルされると、
差動センスアンプ30aはその入力リード30a−1、
30a−2上に差動信号電圧として供給されたデータを
センスし、その出力リード30−3 e 30−4上に
低インピーダンス/高インピーダンス差動出力信号を供
給する。ダイオードD79〜D82は、夫々、端子30
a−5〜30m−8上に受け取られた制御信号を論理A
ND操作において結合させるべく機能する。端子30a
−5〜30m−8に印加される制御信号が全て論理lで
ある場合にのみ、差動センスアンプ30mはイネーブル
される。端子30m−5〜30m−8に印加される制御
信号の何れかが論理0であると、トランジスタQ34及
びQ35のペースは低状態とされ、従ってトランジスタ
Q34 、 Q35はターンオンすることを防止され、
差動センスアンf 30a B f”イスニーゾルされ
両市力リード30−3及び30−4上に高インピーダン
スを供給する。
ダイオードD79〜D82がトランジスタQ34及びQ
35のペースに接続されている。ダイオードD79〜D
82は夫々のカソード30m−5〜30m−8上に制御
信号を受け取シ、該制御信号は選択的に差動センスアン
f 30&をイネーブルさせる。イネーブルされると、
差動センスアンプ30aはその入力リード30a−1、
30a−2上に差動信号電圧として供給されたデータを
センスし、その出力リード30−3 e 30−4上に
低インピーダンス/高インピーダンス差動出力信号を供
給する。ダイオードD79〜D82は、夫々、端子30
a−5〜30m−8上に受け取られた制御信号を論理A
ND操作において結合させるべく機能する。端子30a
−5〜30m−8に印加される制御信号が全て論理lで
ある場合にのみ、差動センスアンプ30mはイネーブル
される。端子30m−5〜30m−8に印加される制御
信号の何れかが論理0であると、トランジスタQ34及
びQ35のペースは低状態とされ、従ってトランジスタ
Q34 、 Q35はターンオンすることを防止され、
差動センスアンf 30a B f”イスニーゾルされ
両市力リード30−3及び30−4上に高インピーダン
スを供給する。
差動センスアンプ30−bは差動センスアンプ30mと
同様に機能し、入力端子30b−1及び30b−2上の
差動入力信号を受け取シ且っ出力リード30−3及び3
0−4上に出力信号を供給する。端子30に+−5〜3
0b−8に印加される全ての制御信号が論理lである場
合に差動センスアンプ30bがイネ−ゾルされる。逆に
、端子30b−5〜30b−8に印加される制御信号の
何れかが論理0であると差動センスアンプ3Qbがディ
スエーブルされる。
同様に機能し、入力端子30b−1及び30b−2上の
差動入力信号を受け取シ且っ出力リード30−3及び3
0−4上に出力信号を供給する。端子30に+−5〜3
0b−8に印加される全ての制御信号が論理lである場
合に差動センスアンプ30bがイネ−ゾルされる。逆に
、端子30b−5〜30b−8に印加される制御信号の
何れかが論理0であると差動センスアンプ3Qbがディ
スエーブルされる。
本発明に基づいて任意の数の差動センスアンプを構成す
ることが可能でアシ、且つ任意の与えられた時間に差動
センスアンプの選択した1個のみをイネーブルさせる為
の適宜の制御信号を使用して1対の出力リード30−3
及び30−4へ接続させることが可能である。一方、任
意の与えられ九時間に1個を越えた数の差動センスアン
プをイネーブルさせることが可能であυ、その際に夫等
の出力リード上に複数個のイネーブルされ九センスアン
プによって受け取られるデータに関して論理操作を行な
うことによって得られる信号を供給する。1個の差動セ
ンスアンプがイネーブルされる場合には、ディスエーブ
ルされている差動センスアンプが出力リード30−3及
び30−4 K対して高インピーダンスを与え、且つ1
個のイネーブルされた差動センスアンプが出力リード3
0−3 、30−4の選択した1つに高インピーダンス
を与えると共に他方の出力リードへ低インピーダンスを
与える。どちらの出力リードがイネーブルされた差動セ
ンスアンプから低インピーダンスを受け取るかというこ
とは、イネーブルされた差動センスアンプによって受け
取られる差動信号電圧の状態によって決定される。
ることが可能でアシ、且つ任意の与えられた時間に差動
センスアンプの選択した1個のみをイネーブルさせる為
の適宜の制御信号を使用して1対の出力リード30−3
及び30−4へ接続させることが可能である。一方、任
意の与えられ九時間に1個を越えた数の差動センスアン
プをイネーブルさせることが可能であυ、その際に夫等
の出力リード上に複数個のイネーブルされ九センスアン
プによって受け取られるデータに関して論理操作を行な
うことによって得られる信号を供給する。1個の差動セ
ンスアンプがイネーブルされる場合には、ディスエーブ
ルされている差動センスアンプが出力リード30−3及
び30−4 K対して高インピーダンスを与え、且つ1
個のイネーブルされた差動センスアンプが出力リード3
0−3 、30−4の選択した1つに高インピーダンス
を与えると共に他方の出力リードへ低インピーダンスを
与える。どちらの出力リードがイネーブルされた差動セ
ンスアンプから低インピーダンスを受け取るかというこ
とは、イネーブルされた差動センスアンプによって受け
取られる差動信号電圧の状態によって決定される。
例えば、差動センスアンプ30−aがイネーブルされ且
つ差動センスアンプ30−bがディスエーブルされるも
のと仮定する。この場合に、制御端子30b−5〜30
b−8K印加される制御信号の何れか1つ又はそれ以上
が論理Oであシ、その際にトランジスタQ36 、 Q
37のベースを低状態とすることによって差動センスア
ンプ30bt−y’イスx −fルさせ、その際にトラ
ンジスタQ36及ヒQ37をターンオフさせる。トラン
ジスタQ36及びQ37がターンオフされると、トラン
ジスタQ36 # Q37のコレクタとエミッタ間に電
流が流れることか無く、従ってトランジスタQ36及び
Q37は夫々出力リード30−3及び30−4へ高イン
ピーダンスを与える。同時に、制御端子30m−5〜3
0m−8に印加される全ての制御信号は論理lでなけれ
ばならず、その際にトランジスタQ34゜Q35のベー
スを高状態とさせる。トランジスタQ34及びQ35の
ベースが高状態であると、端子30m−1及び30m−
2に印加される差動信号データがトランジスタQ34及
びQ35のどちらをターンオンさせるかということを決
定する。例えば、入力端子30m−1及び30m−2へ
印加される差動信号電圧が正であると、それは論理lで
あることを嵌わすが(即ち、入力端子30m−2が入力
端子aoa−tに関して正)、トランジスタQ34のベ
ース・エミッタ接合が順方向バイアスとなシ、トランジ
スタQ34は導通状態となる。同様に、トランジスタQ
35のベース◆エミッタ接合は順方向バイアスとはされ
ず、トランジスタQ35はターンオフされる。従って、
論理1入力信号に応答して、差動センスアンプ30mか
ら出力リード30−3は低インピーダンスを受け、且つ
出力リード30−4は高インピーダンスを受ける。
つ差動センスアンプ30−bがディスエーブルされるも
のと仮定する。この場合に、制御端子30b−5〜30
b−8K印加される制御信号の何れか1つ又はそれ以上
が論理Oであシ、その際にトランジスタQ36 、 Q
37のベースを低状態とすることによって差動センスア
ンプ30bt−y’イスx −fルさせ、その際にトラ
ンジスタQ36及ヒQ37をターンオフさせる。トラン
ジスタQ36及びQ37がターンオフされると、トラン
ジスタQ36 # Q37のコレクタとエミッタ間に電
流が流れることか無く、従ってトランジスタQ36及び
Q37は夫々出力リード30−3及び30−4へ高イン
ピーダンスを与える。同時に、制御端子30m−5〜3
0m−8に印加される全ての制御信号は論理lでなけれ
ばならず、その際にトランジスタQ34゜Q35のベー
スを高状態とさせる。トランジスタQ34及びQ35の
ベースが高状態であると、端子30m−1及び30m−
2に印加される差動信号データがトランジスタQ34及
びQ35のどちらをターンオンさせるかということを決
定する。例えば、入力端子30m−1及び30m−2へ
印加される差動信号電圧が正であると、それは論理lで
あることを嵌わすが(即ち、入力端子30m−2が入力
端子aoa−tに関して正)、トランジスタQ34のベ
ース・エミッタ接合が順方向バイアスとなシ、トランジ
スタQ34は導通状態となる。同様に、トランジスタQ
35のベース◆エミッタ接合は順方向バイアスとはされ
ず、トランジスタQ35はターンオフされる。従って、
論理1入力信号に応答して、差動センスアンプ30mか
ら出力リード30−3は低インピーダンスを受け、且つ
出力リード30−4は高インピーダンスを受ける。
逆に、差動センスアンプ30aがイネーブルされ且つ論
理0(即ち、端子30m−2が端子30m−1に関し負
)を表わす負の差動入力信号が入力端子30&−1及び
30m−2上に受け取られると、トランジスタQ35の
ベース・エミッタ接合は順方向バイアスされ且つトラン
ジスタQ35はターンオンされ、又トランジスタQ34
のベース・エミッタ接合は順方向バイアスされず、トラ
ンジスタQ34はターンオフされる。従って、リード3
0b−1及び30&−2上の論理0差動入力信号に応答
して、センスアンf30aは出力リード30−3へ高イ
ンピーダンスを与え出力リード30−4へ低インピーダ
ンスを与える。
理0(即ち、端子30m−2が端子30m−1に関し負
)を表わす負の差動入力信号が入力端子30&−1及び
30m−2上に受け取られると、トランジスタQ35の
ベース・エミッタ接合は順方向バイアスされ且つトラン
ジスタQ35はターンオンされ、又トランジスタQ34
のベース・エミッタ接合は順方向バイアスされず、トラ
ンジスタQ34はターンオフされる。従って、リード3
0b−1及び30&−2上の論理0差動入力信号に応答
して、センスアンf30aは出力リード30−3へ高イ
ンピーダンスを与え出力リード30−4へ低インピーダ
ンスを与える。
差動論理信号の状態をセンスする為に使用される従来の
センスアンプと比較して、本発明の差動センスアンプは
極めて敏感であシ、比較的小さな差動入力信号電圧に応
答してその出力リード上にインピーダンスにおける明確
に確定された変化を与える。論理O状態と論理1状態と
の間の出力リード30−3及び30−4上のインピーダ
ンス差は数倍(通常、5以上)のオーダーである。この
ことは従来の差動センスアンプと対比されることであっ
て、従来のアンプでは、出力リード上には基本的には何
のインピーダンス変化も無く、単に論理lと論理0との
間の出力リード上の差動電圧における小さな変化がセン
スされるのみである。従来の回路にはこの様な限定があ
るので、多くの従来の回路の場合、広範囲の温度に渡っ
て動作すると共に広範囲の電源供給電圧に渡って動作す
ることを確保する様に、スタンダードな半導体製造技術
及び公差を使用して設計し製造することは極めて困難で
ある。
センスアンプと比較して、本発明の差動センスアンプは
極めて敏感であシ、比較的小さな差動入力信号電圧に応
答してその出力リード上にインピーダンスにおける明確
に確定された変化を与える。論理O状態と論理1状態と
の間の出力リード30−3及び30−4上のインピーダ
ンス差は数倍(通常、5以上)のオーダーである。この
ことは従来の差動センスアンプと対比されることであっ
て、従来のアンプでは、出力リード上には基本的には何
のインピーダンス変化も無く、単に論理lと論理0との
間の出力リード上の差動電圧における小さな変化がセン
スされるのみである。従来の回路にはこの様な限定があ
るので、多くの従来の回路の場合、広範囲の温度に渡っ
て動作すると共に広範囲の電源供給電圧に渡って動作す
ることを確保する様に、スタンダードな半導体製造技術
及び公差を使用して設計し製造することは極めて困難で
ある。
本発明の新規な差動センスアンプに対するl使用例に付
いて説明するが、この点に関し第2図の出力バッファ3
1を参考に説明する。出力バッファ31は、信号電圧を
受け取シ且つ出力端子40上Ic TTLコンi4チプ
ルな出力信号V。utを供給する為に使用される典型的
な出力バッファである。出力イネーブル信号(OE )
は出力バッファ31を選択的にイネーブルすべく機能す
る。出力バッファ31はショットキーダイオードD95
を介して出力リード30−3から入力リード33上にシ
ングルエンデツド信号を受け取る。リード3〇−3上の
論理O出力信号に応答して(高インピーダンス)1ダイ
オードD95は順方向・9イアスとはされない。vco
とり−ド33との間に接続されている抵抗R41によっ
て入力リード33が高状態とされ、ショットキートラン
ジスタQ40がターンオンジ、従ってトランジスタQ4
1をターンオンされ、それによシトランジスタQ42が
ターンオンし、出力端子40を低状態とさせる。又、ト
ランジスタQ41がオンすると、トランジスタQ41の
コレクタにはトランジスタQ45及びトランジスタQ4
6の両方をターンオンさせるのに十分な電圧は無く、従
ってトランジスタQ46はオフ状態を維持する。従って
、Voqtは差動センスアンプ30m及び30bからの
出力リード30−3上の論理0(高インピーダンス)信
号に応答するTTL低状態(通常、0.3V)である。
いて説明するが、この点に関し第2図の出力バッファ3
1を参考に説明する。出力バッファ31は、信号電圧を
受け取シ且つ出力端子40上Ic TTLコンi4チプ
ルな出力信号V。utを供給する為に使用される典型的
な出力バッファである。出力イネーブル信号(OE )
は出力バッファ31を選択的にイネーブルすべく機能す
る。出力バッファ31はショットキーダイオードD95
を介して出力リード30−3から入力リード33上にシ
ングルエンデツド信号を受け取る。リード3〇−3上の
論理O出力信号に応答して(高インピーダンス)1ダイ
オードD95は順方向・9イアスとはされない。vco
とり−ド33との間に接続されている抵抗R41によっ
て入力リード33が高状態とされ、ショットキートラン
ジスタQ40がターンオンジ、従ってトランジスタQ4
1をターンオンされ、それによシトランジスタQ42が
ターンオンし、出力端子40を低状態とさせる。又、ト
ランジスタQ41がオンすると、トランジスタQ41の
コレクタにはトランジスタQ45及びトランジスタQ4
6の両方をターンオンさせるのに十分な電圧は無く、従
ってトランジスタQ46はオフ状態を維持する。従って
、Voqtは差動センスアンプ30m及び30bからの
出力リード30−3上の論理0(高インピーダンス)信
号に応答するTTL低状態(通常、0.3V)である。
逆に、これらの差動センスアンプによって論理l(低イ
ンピーダンス)が出力リード30−3上に与えられると
、ショットキーダイオードD95が順方向バイアスされ
、入力リード33が低状態となって全てのトランジスタ
Q40 * Q41 t Q42をターンオンするのに
不十分な電圧レベルとなシ、従ってトランジスタQ42
はオフ状態を維持する。同様に、トランジスタQ41が
部分的にターンオンされるに過ぎない場合には、トラン
ジスタQ41のコレクタは十分に高状態となシ、両トラ
ンゾスタQ45及びQ46をターンオンさせ、その際V
cvcoから抵抗R44及びトランジスタ446を介し
て出力端子40へ至る電流径路を与える。従って、出力
信号V。utはTTL高状態(通常、3、OV )であ
る。
ンピーダンス)が出力リード30−3上に与えられると
、ショットキーダイオードD95が順方向バイアスされ
、入力リード33が低状態となって全てのトランジスタ
Q40 * Q41 t Q42をターンオンするのに
不十分な電圧レベルとなシ、従ってトランジスタQ42
はオフ状態を維持する。同様に、トランジスタQ41が
部分的にターンオンされるに過ぎない場合には、トラン
ジスタQ41のコレクタは十分に高状態となシ、両トラ
ンゾスタQ45及びQ46をターンオンさせ、その際V
cvcoから抵抗R44及びトランジスタ446を介し
て出力端子40へ至る電流径路を与える。従って、出力
信号V。utはTTL高状態(通常、3、OV )であ
る。
興味あることであるが、センスアンプの適切な動作を維
持する為に必要とされるセンスアンプの入力リードへ印
加される差動入力信号の共通モード電圧には上限がある
。この上限は、差動信号源及びセンスアンプの出力リー
ドが接続される回路の両方に依存する。この上限の元は
、順方向に飽和した状態における出力リード30−3及
び30−4の選択した1つへ低インピーダンスを与える
べくトランジスタの動作点を維持することの必要性であ
る(センスアンf30mの場合はトラ7ノスタQ34又
はQ35の何れか1方、センスアンf 30bの場合は
トランジスタQ36又はQ37の何れか1方)。仁の共
通モード限界のことを注意し忘れると、トランジスタが
低インピーダンスを与えて、ペース・コレクタ接合が順
方向バイアスされペース・エミッタ接合が順方向されな
い状態となυ、その結果低インピーダンス出力リードか
らの所望の電流吸込みを得る代わシに低インピーダンス
出力リードに対する電流湧き出しが得られる。
持する為に必要とされるセンスアンプの入力リードへ印
加される差動入力信号の共通モード電圧には上限がある
。この上限は、差動信号源及びセンスアンプの出力リー
ドが接続される回路の両方に依存する。この上限の元は
、順方向に飽和した状態における出力リード30−3及
び30−4の選択した1つへ低インピーダンスを与える
べくトランジスタの動作点を維持することの必要性であ
る(センスアンf30mの場合はトラ7ノスタQ34又
はQ35の何れか1方、センスアンf 30bの場合は
トランジスタQ36又はQ37の何れか1方)。仁の共
通モード限界のことを注意し忘れると、トランジスタが
低インピーダンスを与えて、ペース・コレクタ接合が順
方向バイアスされペース・エミッタ接合が順方向されな
い状態となυ、その結果低インピーダンス出力リードか
らの所望の電流吸込みを得る代わシに低インピーダンス
出力リードに対する電流湧き出しが得られる。
本発明の差動センスアンプの更に別の使用例に付いて、
第2図のデータ出力ラッチ32を参考に説明する。最初
に、論理lがデータ出力ラツチ32内にストアされた場
合の例に付いて考察する。この場合、トランジスタQ3
8はオフで、トランジスタQ39はオンである。トラン
ジスタQ39がオンであると、トランジスタQ39のコ
レクタが低状態で、ダイオードD89のアノードが十分
に低状態に保持され、トランジスタQ38のペース・エ
ミッタ接合は順方向・ヤイアスとなることを防止され、
その際にトランジスタQ38はオフ状態に維持される。
第2図のデータ出力ラッチ32を参考に説明する。最初
に、論理lがデータ出力ラツチ32内にストアされた場
合の例に付いて考察する。この場合、トランジスタQ3
8はオフで、トランジスタQ39はオンである。トラン
ジスタQ39がオンであると、トランジスタQ39のコ
レクタが低状態で、ダイオードD89のアノードが十分
に低状態に保持され、トランジスタQ38のペース・エ
ミッタ接合は順方向・ヤイアスとなることを防止され、
その際にトランジスタQ38はオフ状態に維持される。
逆に、論理0がデータ出力ラッチ32内にストアされる
と、トランジスタQ39はターンオンされ且つトラン2
スタQ38はオンされる。トランジスタQ38がオンで
あると、そのコレクタは低状態であシ、従ってダイオー
ド090のアノードを十分に低状態に維持しtう/S)
スタQ39がターンオンされることを防止する。自身の
リードをリード30−3及び30−4へ接続した差動セ
ンスアyfの全てがダイスエーブルされると、両出力リ
ード30−3及び30−4が高インピーダンスとなpl
その際にデータ出力ラッチ32内にストアされているデ
ータが変化することを防止する。しかしながら、出力り
一ド30−3及び30−4上の論理0に応答して(即ち
、出力リード30−3が高インピーダンスで出力リード
30−4が低インピーダンス)、ダイオードD91がタ
ーンオンされ、その際にダイオードD90のアノードを
低状態とさせ、且つトランジスタQ39のベース◆エミ
ッタ接合が順方向バイアスされることが防止され、従っ
てトランジスタQ39がターンオフされる。又、トラン
ジスタQ39がターンオフされ且つ出力リード3o−3
が高インピーダンスであると、ダイオードD89のアノ
ードが高状態となシ、従ってトランジスタQ38のペー
ス・エンツタ接合を順方向バイアスすると共にトランジ
スタQ38をターンオンさせる。トランジスタQ39が
ターンオフし、トランジスタQ38がターンオンすると
、論、理0がデータ出力ラッチ32内にストアされる。
と、トランジスタQ39はターンオンされ且つトラン2
スタQ38はオンされる。トランジスタQ38がオンで
あると、そのコレクタは低状態であシ、従ってダイオー
ド090のアノードを十分に低状態に維持しtう/S)
スタQ39がターンオンされることを防止する。自身の
リードをリード30−3及び30−4へ接続した差動セ
ンスアyfの全てがダイスエーブルされると、両出力リ
ード30−3及び30−4が高インピーダンスとなpl
その際にデータ出力ラッチ32内にストアされているデ
ータが変化することを防止する。しかしながら、出力り
一ド30−3及び30−4上の論理0に応答して(即ち
、出力リード30−3が高インピーダンスで出力リード
30−4が低インピーダンス)、ダイオードD91がタ
ーンオンされ、その際にダイオードD90のアノードを
低状態とさせ、且つトランジスタQ39のベース◆エミ
ッタ接合が順方向バイアスされることが防止され、従っ
てトランジスタQ39がターンオフされる。又、トラン
ジスタQ39がターンオフされ且つ出力リード3o−3
が高インピーダンスであると、ダイオードD89のアノ
ードが高状態となシ、従ってトランジスタQ38のペー
ス・エンツタ接合を順方向バイアスすると共にトランジ
スタQ38をターンオンさせる。トランジスタQ39が
ターンオフし、トランジスタQ38がターンオンすると
、論、理0がデータ出力ラッチ32内にストアされる。
逆に、出カリ−)’ 30−3及び30−4上で得られ
る論理l出力信号に応答して(即ち、出力リード3o−
3が低インピーダンスで出力リード30−4が高インピ
ーダンス)、ダイオードD87がターンオンされ、従っ
てダイオードD89のアノードを低状態としトラン2ス
タQ38のペース・工建ツタ接合を順方向バイアスさせ
るのに不十分表レベルとさせ、従ってトランジスタQ3
8をターンオフさせる。
る論理l出力信号に応答して(即ち、出力リード3o−
3が低インピーダンスで出力リード30−4が高インピ
ーダンス)、ダイオードD87がターンオンされ、従っ
てダイオードD89のアノードを低状態としトラン2ス
タQ38のペース・工建ツタ接合を順方向バイアスさせ
るのに不十分表レベルとさせ、従ってトランジスタQ3
8をターンオフさせる。
又、トランジスタQ38がターンオフし、且つ出力リー
ド30−4が高インピーダンスであると、ダイオード0
90のアノードが高状態となシ、従ってトランジスタQ
390ペース・エンツタ接合を順方向バイアスさせると
共にトランジスタQ39をターンオンさせる。トランジ
スタQ39がターンオンしトランジスタQ38がターン
オフすると、論理lがr−タ出力ラツチ32内にストア
される。
ド30−4が高インピーダンスであると、ダイオード0
90のアノードが高状態となシ、従ってトランジスタQ
390ペース・エンツタ接合を順方向バイアスさせると
共にトランジスタQ39をターンオンさせる。トランジ
スタQ39がターンオンしトランジスタQ38がターン
オフすると、論理lがr−タ出力ラツチ32内にストア
される。
以上、本発明の具体的実施の態様に付いて詳細に説明し
たが、本発明はこれら具体例にのみ限定されるべきもの
では無く、本発明の技術的範囲を逸脱すること無しに種
々の変形が可能であることは勿論である。
たが、本発明はこれら具体例にのみ限定されるべきもの
では無く、本発明の技術的範囲を逸脱すること無しに種
々の変形が可能であることは勿論である。
第1図はメモリセルとして機能する従来のパイステーブ
ルラッチの概略図、第2図は本発明の1実施例に基づい
て構成された新規なセンスア/f及び説明の為に設けた
付随回路の概略図、である。 (符号の説明) 30:センスアン7’31:出力パッファ32:出力デ
ータラッチ インコーポレイテッド
ルラッチの概略図、第2図は本発明の1実施例に基づい
て構成された新規なセンスア/f及び説明の為に設けた
付随回路の概略図、である。 (符号の説明) 30:センスアン7’31:出力パッファ32:出力デ
ータラッチ インコーポレイテッド
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 16 小さな差動信号電圧を受け取る入力手段と、差動
インピーダンス出力信号を供給する出力手段とを有する
ことを特徴とする差動センスアンプ。 区 上記第1項において、前記入力手段が第1信号電圧
を受け取る第1リードと第2信号電圧を受け取る第2リ
ードとを有してお如、且つ前記第1信号電圧と前記第2
信号電圧との間の差が前記差動入力信号であることを特
徴とするセンスアンプ・ 3、上記第2項において、前記第1入カリードに接続し
た第1電流処理端子と前記第1出力リードに接続した第
2電流処理端子と制御端子とを具備した第1hランジス
タが設けられておシ、前記第2人力リードに接続した第
1電流処理端子と前記第2出力リードに接続した第2電
流処理端子と前記第1トランジスタの前記制御端子に接
続した制御端子とを具備した第2トランジスタが設けら
れており1前記第1トランジスタと第2トランノスタの
前記制御端子へ第1選択電圧を印加する手段が設けられ
ておシ、前記第2人力リードに印加される前記電圧が前
記第1入カリードに印加される電圧よシも小さい場合の
負の差動入力信号に応答して前記第1出力リードが高イ
ンピーダンスを与えると共に前記第2出力・リードが低
インピーダンスを与え、且つ前記第1入カリードに印加
される前記信号電圧が前記第2人力リードに印加される
前記信号電圧よシも正でない場合の正の差動信号電圧に
応答して前記第1出力リードが低インピーダンスを与え
ると共に前記第2出力リードが高インピーダンスを与え
ることを特徴とするセンスアンf。 4、上記第3項において、前記第1トランジスタ及び第
2トランジスタの制御端子へ第2選択電圧を印加する手
段が設けられておシ、前記gl)9ンジスタ及び第2ト
ランゾスタがターンオンすることを防止し、その際に前
記第1出力リード及び第2出力リードの両方に高インピ
ーダンスを与えることを特徴とするセンスアンプ。 5、上記第4項において、複数個の差動入力信号を受け
取る為に一連の多重操作されるセンスアンプが設けられ
てお9、前記複数個の差動センスアンプの各々の第1出
力リードが共通接続されると共に前記複数個の差動セン
スアンプの各々の前記第2出力リードが共通接続されて
おシ、且つ前記複数個の差動センスアンプの選択した1
つをイネーブルさせる手段が設けられておシ、イネ−ゾ
ルされる差動センスアンプに印加される差動入力信号に
応答して前記第1及び第2出力リードの選択し7’c1
つに前記複数個の差動センスアンプの選択した1つが低
インピーダンスを与え且つ前記複数個のセンスアンプの
残シのものがディスニーゾルされて、その際に前記出力
リード上に何等影響を与えるととが無いことを特徴とす
るセンスアンプ。 6、上記第4項において、複数個の差動入力信号を受け
取る為に一連の多重操作されるセンスアンプが設けられ
ておシ、前記複数個の差動センスアンプの各々の前記第
1出力リードが共通接続されると共に前記複数個の差動
センスアンプの各々の前記第2出力リードが共通接続さ
れておシ、前記複数個の差動センスアンプの選択した1
つをイネ−ノルさせる手段が設けられておシ、イネ−ツ
ルされる差動センスアンプに印加される差動入力信号に
応答して前記第1及び第2出力リードの選択した1方又
は両方に前記複数個の差動センスアンプの前記選択した
ものが低インピーダンスを与え且つ前記複数個のセンス
アンプの残シのものがディスニーゾルされて、その際に
前記出力リード上に何等影響を与えるξとが無いことを
特徴とするセンスアンプ。 7、上記第4項において、前記トランジスタがショット
キートランジスタであることを特徴とするセンスアンプ
。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US556734 | 1983-11-10 | ||
US55673483A | 1983-11-30 | 1983-11-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60124094A true JPS60124094A (ja) | 1985-07-02 |
Family
ID=24222626
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59188287A Pending JPS60120723A (ja) | 1983-11-30 | 1984-09-10 | 電子装置 |
JP59235328A Pending JPS60124094A (ja) | 1983-11-10 | 1984-11-09 | 差動センスアンプ |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59188287A Pending JPS60120723A (ja) | 1983-11-30 | 1984-09-10 | 電子装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0143963B1 (ja) |
JP (2) | JPS60120723A (ja) |
DE (1) | DE3485828T2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US4599136A (en) * | 1984-10-03 | 1986-07-08 | International Business Machines Corporation | Method for preparation of semiconductor structures and devices which utilize polymeric dielectric materials |
US4568601A (en) * | 1984-10-19 | 1986-02-04 | International Business Machines Corporation | Use of radiation sensitive polymerizable oligomers to produce polyimide negative resists and planarized dielectric components for semiconductor structures |
US4654120A (en) * | 1985-10-31 | 1987-03-31 | International Business Machines Corporation | Method of making a planar trench semiconductor structure |
JPH069222B2 (ja) * | 1986-01-07 | 1994-02-02 | 日立化成工業株式会社 | 多層配線構造の製造法 |
JPS62183127A (ja) * | 1986-02-06 | 1987-08-11 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体素子の製造方法 |
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DE4300765C1 (de) * | 1993-01-14 | 1993-12-23 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zum Planarisieren grabenförmiger Strukturen |
TWI311142B (en) * | 2006-10-18 | 2009-06-21 | Eternal Chemical Co Ltd | Amic acid ester oligomer, precursor composition for polyimide resin containing the same, and uses |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS503498B2 (ja) * | 1971-09-18 | 1975-02-05 | ||
DE2411682C2 (de) * | 1973-04-03 | 1982-10-07 | Hughes Aircraft Co., Culver City, Calif. | Acetylensubstituierte Polyimid-Oligomere |
US3985597A (en) * | 1975-05-01 | 1976-10-12 | International Business Machines Corporation | Process for forming passivated metal interconnection system with a planar surface |
JPS5213833A (en) * | 1975-07-07 | 1977-02-02 | Kubota Ltd | Reaperrbinder |
JPS5811449B2 (ja) * | 1977-05-23 | 1983-03-03 | ヒュ−ズ・エアクラフト・カンパニ− | アセチレン置換ポリイミドオリゴマ−より硬化された樹脂を製造する方法 |
DE3060913D1 (en) * | 1979-05-12 | 1982-11-11 | Fujitsu Ltd | Improvement in method of manufacturing electronic device having multilayer wiring structure |
JPS5761023A (en) * | 1980-06-20 | 1982-04-13 | Nasa | Polyimide prepolymer, polyimide and composition for polyimide resin reinforcing fibrous material |
US4367119A (en) * | 1980-08-18 | 1983-01-04 | International Business Machines Corporation | Planar multi-level metal process with built-in etch stop |
GB2107926A (en) * | 1981-10-13 | 1983-05-05 | Monolithic Memories Inc | Semiconductor device and method of manufacture |
JPS60119730A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-27 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | ポリイミド誘導体薄膜の形成方法 |
-
1984
- 1984-09-10 JP JP59188287A patent/JPS60120723A/ja active Pending
- 1984-10-19 DE DE8484112628T patent/DE3485828T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1984-10-19 EP EP84112628A patent/EP0143963B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1984-11-09 JP JP59235328A patent/JPS60124094A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0143963A3 (en) | 1988-09-21 |
JPS60120723A (ja) | 1985-06-28 |
DE3485828D1 (de) | 1992-08-27 |
EP0143963B1 (en) | 1992-07-22 |
EP0143963A2 (en) | 1985-06-12 |
DE3485828T2 (de) | 1993-03-11 |
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