JPS60124014A - 垂直磁気ヘッド装置およびその製造方法 - Google Patents
垂直磁気ヘッド装置およびその製造方法Info
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- JPS60124014A JPS60124014A JP23105083A JP23105083A JPS60124014A JP S60124014 A JPS60124014 A JP S60124014A JP 23105083 A JP23105083 A JP 23105083A JP 23105083 A JP23105083 A JP 23105083A JP S60124014 A JPS60124014 A JP S60124014A
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
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- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する分野〕
本発明は垂直磁気ヘッド装置およびその製造方法の改良
に関するものである。
に関するものである。
従来、磁気ディスク装置などにおいて高密度記録を実現
する手段として種々の構造の垂直磁気へ、ドが開発され
ている。第１図はその一例として補助磁極励磁型垂直へ
、ドの原理説明図を示したものである。これは垂直磁化
膜２に高透磁率の面内磁化層５を裏打ちした記録媒体１
を主磁極４と補助磁極５とではさみこみ、補助磁極５を
励磁コイル６により励磁することにより主磁極４の下の
垂直磁界７で垂直磁化［２を磁化させる方式であるが、
欠配のような欠点がある。すなわち（イ）記録媒体を片
面しか使えない。（ロ）ヘッド構造が記録媒ディスクに
は適さない。
する手段として種々の構造の垂直磁気へ、ドが開発され
ている。第１図はその一例として補助磁極励磁型垂直へ
、ドの原理説明図を示したものである。これは垂直磁化
膜２に高透磁率の面内磁化層５を裏打ちした記録媒体１
を主磁極４と補助磁極５とではさみこみ、補助磁極５を
励磁コイル６により励磁することにより主磁極４の下の
垂直磁界７で垂直磁化［２を磁化させる方式であるが、
欠配のような欠点がある。すなわち（イ）記録媒体を片
面しか使えない。（ロ）ヘッド構造が記録媒ディスクに
は適さない。
第２図は垂直ヘッドの第２の従来例を示す原理より第１
図のヘッドの上記問題点を解決した構成となっているが
、次に述べるように量産性に問題の主磁極１２．コイル
１５などがスライダ１０の端面にもうけられているため
、第５図（（）に示すように基板２０に磁極部、コイル
部を形成後、基板をスライシングして第５図（ロ）Ｋ示
すような少数個段階でスライダ加工を行ない、次に第３
図（うに示すように個々のヘッドに切断する必要がある
。このように工程数が多く、スライダ加工を少数または
個々の単位で行わねばならないので、量産性において問
題が生じる。
図のヘッドの上記問題点を解決した構成となっているが
、次に述べるように量産性に問題の主磁極１２．コイル
１５などがスライダ１０の端面にもうけられているため
、第５図（（）に示すように基板２０に磁極部、コイル
部を形成後、基板をスライシングして第５図（ロ）Ｋ示
すような少数個段階でスライダ加工を行ない、次に第３
図（うに示すように個々のヘッドに切断する必要がある
。このように工程数が多く、スライダ加工を少数または
個々の単位で行わねばならないので、量産性において問
題が生じる。
本発明は上記の問題点を解消するためになされたもので
、量産性が優れ、かつ構成の単純な垂直磁気ヘッド装置
およびその製造方法を提供することを目的とする。
、量産性が優れ、かつ構成の単純な垂直磁気ヘッド装置
およびその製造方法を提供することを目的とする。
本発明の第１番目は、基板と、この基板上にもうけられ
その端面がヘッド面における磁極間スペースを形成する
突起部と、この突起部を介して対向し前記ヘッド面にお
いて磁極端面を形成するとともに前記突起部端面以外の
部分で互いに結合する第１および第２の薄膜磁極部と、
前記突起部端面以外の部分にもうけられ前記第１および
第２の薄膜磁極部め少くともいずれか一方と鎖交する導
体コイル部とを有し、前記磁極端面の幅は前記第２の薄
膜磁極部が前記突起部形状と膜厚で磁極幅が決まる前記
第１の薄膜磁極部よりも大きいことを特徴とする垂直磁
気−Ｓ７ド装置を提供するものである。
その端面がヘッド面における磁極間スペースを形成する
突起部と、この突起部を介して対向し前記ヘッド面にお
いて磁極端面を形成するとともに前記突起部端面以外の
部分で互いに結合する第１および第２の薄膜磁極部と、
前記突起部端面以外の部分にもうけられ前記第１および
第２の薄膜磁極部め少くともいずれか一方と鎖交する導
体コイル部とを有し、前記磁極端面の幅は前記第２の薄
膜磁極部が前記突起部形状と膜厚で磁極幅が決まる前記
第１の薄膜磁極部よりも大きいことを特徴とする垂直磁
気−Ｓ７ド装置を提供するものである。
（Ｓ ）
本発明の第２番目は、ヘッド面上に薄膜磁気ヘッドをも
うける垂直磁気ヘッドの製造方法において、基板上に突
起部を形成し、この突起部端面を含む部分に磁極層を形
成し、前記突起部端面以外の部分で前記磁極層と鎖交す
るように導体コイル部を形成し、その上に保護膜層を形
成した後前記突起部端面より下の深さまで表面を除去し
て前記ヘッド面を形成するとともに前記ヘッド面上に所
定の幅の第１．第２磁極端面と磁極間スペースを形成す
るようにしたととを特徴とする垂直磁気へ、ドの製造方
法を提供するものである。
うける垂直磁気ヘッドの製造方法において、基板上に突
起部を形成し、この突起部端面を含む部分に磁極層を形
成し、前記突起部端面以外の部分で前記磁極層と鎖交す
るように導体コイル部を形成し、その上に保護膜層を形
成した後前記突起部端面より下の深さまで表面を除去し
て前記ヘッド面を形成するとともに前記ヘッド面上に所
定の幅の第１．第２磁極端面と磁極間スペースを形成す
るようにしたととを特徴とする垂直磁気へ、ドの製造方
法を提供するものである。
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第４図は本発明に係る垂直磁気ヘッド装置の構成を示す
断面図である。図において４０は非磁性体よりなる基板
、４１はこの基板４０上にエツチングなどでもうけられ
た突起部、４２と４５は、この突起部４１を介して対向
するそれぞれ第１の薄膜磁極（主磁極）と第２の薄膜磁
極（補助磁極）、４４はこの第１．の磁極４２と第２の
磁極４３との間で磁極間スペ（４） −スを形成する前記突起部４１の端面、４５はこの第１
の薄膜磁極４２に鎖交するように形成された薄膜の導体
コイル部、４６は前記スライダ基板４０の表面を覆う保
護膜、４７はこの保護膜と、前記端面４４゜磁極４５．
４２の表面部分から構成されるヘッド面（本実施例のよ
うに浮動式磁気ヘッドの場合スライダ面とも呼ぶ）であ
る。
断面図である。図において４０は非磁性体よりなる基板
、４１はこの基板４０上にエツチングなどでもうけられ
た突起部、４２と４５は、この突起部４１を介して対向
するそれぞれ第１の薄膜磁極（主磁極）と第２の薄膜磁
極（補助磁極）、４４はこの第１．の磁極４２と第２の
磁極４３との間で磁極間スペ（４） −スを形成する前記突起部４１の端面、４５はこの第１
の薄膜磁極４２に鎖交するように形成された薄膜の導体
コイル部、４６は前記スライダ基板４０の表面を覆う保
護膜、４７はこの保護膜と、前記端面４４゜磁極４５．
４２の表面部分から構成されるヘッド面（本実施例のよ
うに浮動式磁気ヘッドの場合スライダ面とも呼ぶ）であ
る。
このような構成の垂直磁気ヘッドの動作を次に説明する
。第４図において記録媒体１は上層がＣｏ −Ｃｒなど
の硬磁性垂直磁化膜２、下層がパーマロイ（Ｆｅ −Ｎ
ｉ ）などの軟磁性面内磁化膜３で構成され、本ヘッド
のヘッド面４７と対向して、矢印人の方向に回転してい
る。データ記録の際には励磁コイル４５に所定の電流を
流して磁極４２ 、４３を励磁する。端面４４付近の磁
束４８は図に示すように、幅の狭い主磁極４２の真下の
部分には強い垂直方向の磁界が発生し、垂直磁化膜２は
磁界方向に磁化してデータが記録される。幅の広い補助
磁極４３の真下では磁束４８が拡がって磁界が弱まるの
で垂直磁化膜２は磁化されるにはいたらない。データ再
生る導体コイル４５両端の誘起電圧を再生信号として用
いる。
。第４図において記録媒体１は上層がＣｏ −Ｃｒなど
の硬磁性垂直磁化膜２、下層がパーマロイ（Ｆｅ −Ｎ
ｉ ）などの軟磁性面内磁化膜３で構成され、本ヘッド
のヘッド面４７と対向して、矢印人の方向に回転してい
る。データ記録の際には励磁コイル４５に所定の電流を
流して磁極４２ 、４３を励磁する。端面４４付近の磁
束４８は図に示すように、幅の狭い主磁極４２の真下の
部分には強い垂直方向の磁界が発生し、垂直磁化膜２は
磁界方向に磁化してデータが記録される。幅の広い補助
磁極４３の真下では磁束４８が拡がって磁界が弱まるの
で垂直磁化膜２は磁化されるにはいたらない。データ再
生る導体コイル４５両端の誘起電圧を再生信号として用
いる。
第５図は上記の垂直磁気ヘッドの製造方法を示すための
説明図でおる。（イ）〜に）は各製造段階における垂直
磁気ヘッドの断面図、（ホ）〜（７）はこの各断面図（
イ）〜に）にそれぞれ対応する平面図（ただし保護膜層
部分は省略）である。まず第５図（イ）（ホ）に示すよ
うに、基板５１に例えば単結晶シリコンを使用し、異方
性アルカリエツチングにて突起部５２を形成し、その上
から突起部５２の端面６０を含む部分にパーマロイ（Ｆ
ｅ−Ｎｉ）薄膜などで第１の磁極層５３を形成する。次
に第５図（ロ）（へ）に示すように、ＣｕまたはＭなど
で導体□コイル部５４を薄膜形成し、この導体コイル部
５４をその取り出し端子部分を除いて覆うようにＡｔ２
０３，５１０２またはハードキーアレシストなどの非磁
性電気絶縁性物質を用いて保護膜層５５を形成する。次
に第５図（ハ）（ト）に示すように、パーマロイ（Ｆｅ
−Ｎｉ）などの薄膜で第２の磁極層５６を前記コイル部
５４をまたぐ形で形成し、前記第１の磁極層５３との間
に磁気的閉ループを形成する。さらにその上から全体を
覆うようにＳ１０．、Ａｔ２０３などの非磁性・電気絶
縁性の硬質材料で保護膜層５６を形成する。最後に第５
図に）（ホ）に示すように、表面を基板５１の下面に平
行に、突起部５２の端面が露出するまで（第５図Ｐｅの
Ｂ線の深さまで）研摩するとヘッド面５８Ｆに磁極間ス
ペース５９が現われる。磁極間スペース５９の幅ｇは突
起部５２の幅によって殆んど決まってしまうので、第５
図（イ）（ホ）の段階で所定の寸法に突起部５２を形成
しておけばよい。
説明図でおる。（イ）〜に）は各製造段階における垂直
磁気ヘッドの断面図、（ホ）〜（７）はこの各断面図（
イ）〜に）にそれぞれ対応する平面図（ただし保護膜層
部分は省略）である。まず第５図（イ）（ホ）に示すよ
うに、基板５１に例えば単結晶シリコンを使用し、異方
性アルカリエツチングにて突起部５２を形成し、その上
から突起部５２の端面６０を含む部分にパーマロイ（Ｆ
ｅ−Ｎｉ）薄膜などで第１の磁極層５３を形成する。次
に第５図（ロ）（へ）に示すように、ＣｕまたはＭなど
で導体□コイル部５４を薄膜形成し、この導体コイル部
５４をその取り出し端子部分を除いて覆うようにＡｔ２
０３，５１０２またはハードキーアレシストなどの非磁
性電気絶縁性物質を用いて保護膜層５５を形成する。次
に第５図（ハ）（ト）に示すように、パーマロイ（Ｆｅ
−Ｎｉ）などの薄膜で第２の磁極層５６を前記コイル部
５４をまたぐ形で形成し、前記第１の磁極層５３との間
に磁気的閉ループを形成する。さらにその上から全体を
覆うようにＳ１０．、Ａｔ２０３などの非磁性・電気絶
縁性の硬質材料で保護膜層５６を形成する。最後に第５
図に）（ホ）に示すように、表面を基板５１の下面に平
行に、突起部５２の端面が露出するまで（第５図Ｐｅの
Ｂ線の深さまで）研摩するとヘッド面５８Ｆに磁極間ス
ペース５９が現われる。磁極間スペース５９の幅ｇは突
起部５２の幅によって殆んど決まってしまうので、第５
図（イ）（ホ）の段階で所定の寸法に突起部５２を形成
しておけばよい。
このような製造方法では磁極、コイル部などをヘッド面
側に形成するので、磁極部、コイル部形成とスライダ加
工とが切断前の大きな基板の段階（第３図の（イ））で
行なえることになり、大幅４製造工数の削−につながる
。
側に形成するので、磁極部、コイル部形成とスライダ加
工とが切断前の大きな基板の段階（第３図の（イ））で
行なえることになり、大幅４製造工数の削−につながる
。
また、磁極間スペースは基板上の突起部の幅で決まるた
め精度よく形成することができる。
め精度よく形成することができる。
また主磁極幅は突起部の傾斜角θ、主磁極膜厚ｔが決ま
ればＷ＋＝ｔ ／ ｓｉｎθで自動的に決まるため高（
７） 精度化が可能である。
ればＷ＋＝ｔ ／ ｓｉｎθで自動的に決まるため高（
７） 精度化が可能である。
また主磁極、補助磁極とも高透磁率軟磁性膜を使用する
ため、高周波特性に優れている。（従来のこのタイプの
ヘッドでは補助磁極に高周波特性の劣る、バルクのフェ
ライトなどを用いていた。）第６図は本発明に係る垂直
磁気ヘッド装置の他線断面図である。製造方法は、まず
導体コイル下側層６１を形成し、次に磁極層６２を形成
し、さらに導体コイル上側層６３を形成し、最後に保護
膜層６４を形成した後、Ｄ線の深さまで研摩して磁極間
スペース６５を得る。このような導体コイルをジグザグ
型にした構成の磁気ヘッド装置は、導体コイル長が短か
くて済むので直流抵抗が小さく、発熱も少なくなるとい
う長所を有する。
ため、高周波特性に優れている。（従来のこのタイプの
ヘッドでは補助磁極に高周波特性の劣る、バルクのフェ
ライトなどを用いていた。）第６図は本発明に係る垂直
磁気ヘッド装置の他線断面図である。製造方法は、まず
導体コイル下側層６１を形成し、次に磁極層６２を形成
し、さらに導体コイル上側層６３を形成し、最後に保護
膜層６４を形成した後、Ｄ線の深さまで研摩して磁極間
スペース６５を得る。このような導体コイルをジグザグ
型にした構成の磁気ヘッド装置は、導体コイル長が短か
くて済むので直流抵抗が小さく、発熱も少なくなるとい
う長所を有する。
第７図は本発明に係る磁気ヘッド装置の他の実施例の製
造方法および構成を示すための平面図で、基板上に他の
部材を付着することにより突起部７１を構成したもので
ある。例えばガラスを印刷・焼（８） 成することにより形成できる。Ｅは研摩線である。
造方法および構成を示すための平面図で、基板上に他の
部材を付着することにより突起部７１を構成したもので
ある。例えばガラスを印刷・焼（８） 成することにより形成できる。Ｅは研摩線である。
なお第１の実施例（第４．５図）で述べた特長。
利点は第６図および第７図の実施例にも同様にあてはま
る。
る。
なお上記の実施例では浮動式磁気ヘッドの場合を示した
が、これに限らずフロッピーディスクや磁気テープ装置
のヘッドなどに用いることもできる。
が、これに限らずフロッピーディスクや磁気テープ装置
のヘッドなどに用いることもできる。
以上述べたように本発明によれば、量産性が優れ、かつ
構成の単純な垂直磁気ヘッド装置を容易に実現できる。
構成の単純な垂直磁気ヘッド装置を容易に実現できる。
第１図および第２図は垂直磁気ヘッド装置の従来例を示
す原理説明図、第３図は第２図の垂直磁気ヘッドの製造
方法を示す説明図、第４図は本発明に係る垂直磁気ヘッ
ド装置の第１の実施例を示す構成断面図、第５図は第４
図の垂直磁気へ、ド装置の製造方法を示すための説明図
、第６図および第７図は本発明の他の実施例を示す図で
ある。 ４０．５１・・・基板、４１．５２．７１・・・突起部
、４２・・・第１の薄膜磁極、４３・・・第２の薄膜磁
極、４４．６０・・・端面−４５、５４，６Ｌ ６５・
・・導体コイル部、４７．５８・・・ヘット９面、 ５
５．５６．６２・・・磁極層、５７・・・保護膜層、５
９．６５・・・磁極間スペース。
す原理説明図、第３図は第２図の垂直磁気ヘッドの製造
方法を示す説明図、第４図は本発明に係る垂直磁気ヘッ
ド装置の第１の実施例を示す構成断面図、第５図は第４
図の垂直磁気へ、ド装置の製造方法を示すための説明図
、第６図および第７図は本発明の他の実施例を示す図で
ある。 ４０．５１・・・基板、４１．５２．７１・・・突起部
、４２・・・第１の薄膜磁極、４３・・・第２の薄膜磁
極、４４．６０・・・端面−４５、５４，６Ｌ ６５・
・・導体コイル部、４７．５８・・・ヘット９面、 ５
５．５６．６２・・・磁極層、５７・・・保護膜層、５
９．６５・・・磁極間スペース。
Claims (2)
- （１）基板と、この基板上にもうけられその端面がヘッ
ド面における磁極間スペースを形成する突起部と、この
突起部を介して対向し前記ヘッド面において磁極端面を
形成するとともに前記突起部端面以外の部分で互いに結
合する第１および第２の薄膜磁極部と、前記突起部端面
以外の部分にもうけられ前記第１および第２の薄膜磁極
部の少くともいずれか一方と鎖交する導体コイル部とを
有し、前記磁極端面の幅は前記第２の薄膜磁極部が前記
突起部形状と膜厚で磁極幅が決まる前記第１の薄膜磁極
部よ抄亀大きいことを特徴とする垂直磁気ヘッド装置。 - （２）へ、ド面上に薄膜磁気ヘッドをもうける垂直磁気
ヘッドの製造方法において、基板上に突起部を形成し、
この突起部端面を含む部分に磁極層を形成し、前記突起
部端面以外の部分で前記磁極層と鎖交するように導体コ
イル部を形成し、その上に保護膜層を形成した後前記突
起部端面より下の深さまで表面を除去して前記ヘッド面
を形成するとともに前記ヘッド面上に所定の幅の第１．
第２磁極端面と磁極間スペースを形成するようにしたこ
とを特徴とする垂直磁気へ、ドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23105083A JPS60124014A (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | 垂直磁気ヘッド装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23105083A JPS60124014A (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | 垂直磁気ヘッド装置およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60124014A true JPS60124014A (ja) | 1985-07-02 |
| JPS6362804B2 JPS6362804B2 (ja) | 1988-12-05 |
Family
ID=16917496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23105083A Granted JPS60124014A (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | 垂直磁気ヘッド装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60124014A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001022407A1 (en) * | 1999-09-20 | 2001-03-29 | Seagate Technology, Llc | Magnetic recording head including background magnetic field generator |
| US6646827B1 (en) | 2000-01-10 | 2003-11-11 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head with write pole which reduces flux antenna effect |
| US6717770B1 (en) | 2000-03-24 | 2004-04-06 | Seagate Technology Llc | Recording head for applying a magnetic field perpendicular to the magnetizations within magnetic storage media |
| US6798615B1 (en) | 2000-03-24 | 2004-09-28 | Seagate Technology Llc | Perpendicular recording head with return poles which reduce flux antenna effect |
| US6876519B1 (en) | 1999-09-20 | 2005-04-05 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording head including background magnetic field generator |
-
1983
- 1983-12-07 JP JP23105083A patent/JPS60124014A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001022407A1 (en) * | 1999-09-20 | 2001-03-29 | Seagate Technology, Llc | Magnetic recording head including background magnetic field generator |
| US6876519B1 (en) | 1999-09-20 | 2005-04-05 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording head including background magnetic field generator |
| US6646827B1 (en) | 2000-01-10 | 2003-11-11 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head with write pole which reduces flux antenna effect |
| US6717770B1 (en) | 2000-03-24 | 2004-04-06 | Seagate Technology Llc | Recording head for applying a magnetic field perpendicular to the magnetizations within magnetic storage media |
| US6798615B1 (en) | 2000-03-24 | 2004-09-28 | Seagate Technology Llc | Perpendicular recording head with return poles which reduce flux antenna effect |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6362804B2 (ja) | 1988-12-05 |
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